JP6455778B2 - 治具及び治具生産方法 - Google Patents
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Claims (6)
- メッキ処理を行うために工作物を保持する治具であって、
前記工作物は、側面に平面部分を有する形状のものであり、
前記工作物を収納する内部空間を有する枠体と、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の平面部分を押さえる導電性の保持部を備え、
前記保持部は、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の第1平面部分を押さえる第1保持部と、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の前記第1平面部分とは異なる第2平面部分を押さえる第2保持部を備え、
前記第1保持部及び前記第2保持部は、それぞれ、弾性を有して前記枠体に接続し、
前記枠体は、前記第1保持部に対向する位置にある部位であって前記第1保持部が押さえる前記工作物の側面の前記第1平面部分とは前記工作物を挟んで反対側で前記工作物の側面の平面部分を保持できる部位を有するとともに、前記第2保持部に対向する位置にある部位であって前記第2保持部が押さえる前記工作物の側面の前記第2平面部分とは前記工作物を挟んで反対側で前記工作物の側面の平面部分を保持できる部位を有し、
前記第1保持部が前記工作物の側面の前記第1平面部分を押さえる力が前記枠体の前記第1平面部分とは前記工作物を挟んで反対側で前記工作物の側面の平面部分を保持できる部位に向かうとともに前記第2保持部が前記工作物の側面の前記第2平面部分を押さえる力が前記枠体の前記平面第2部分とは前記工作物を挟んで反対側で前記工作物の側面の平面部分を保持できる部位に向かうことを特徴とする、治具。 - 前記枠体における前記第1平面部分とは前記工作物を挟んで反対側で前記工作物の側面の平面部分を保持できる部位及び前記第2平面部分とは前記工作物を挟んで反対側で前記工作物の側面の平面部分を保持できる部位のいずれか一方又は両方に代えて、前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の平面部分を押さえる導電性の保持部をさらに備える、請求項1記載の治具。
- メッキ処理を行うために工作物を保持する治具であって、
前記工作物は、側面に平面部分を有する形状のものであり、
前記工作物を収納する内部空間を有する枠体と、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の平面部分を押さえる導電性の保持部を備え、
前記保持部は、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の第1平面部分を押さえる第1保持部と、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の前記第1平面部分とは異なる第2平面部分を押さえる第2保持部を備え、
前記第1保持部及び前記第2保持部は、それぞれ、弾性を有し、一か所で前記枠体に接続するものであり、
前記枠体の前記内部空間において位置が変わることにより前記第1保持部及び前記第2保持部の少なくとも一方を変形させて共に移動させる移動部を備え、
前記第1保持部及び前記第2保持部は、
変形していない状態では前記枠体との間に前記工作物よりも狭い空間とし、
前記移動部が移動することにより前記枠体との間に前記工作物よりも広い空間にして、前記工作物を押さえることが可能なものである、治具。 - 前記枠体及び前記保持部は、硬度が異なる複数の金属による多層のものである、請求項1から3のいずれかに記載の治具。
- 前記工作物は、側面に通電部を有するチップであり、
前記保持部は、取り付け電極であり、前記通電部を押さえることにより、前記工作物に対して側面給電が可能である、請求項1から4のいずれかに記載の治具。 - メッキ処理を行うために工作物を保持する金属製の治具を生産するための治具生産方法であって、
前記工作物は、側面に平面部分を有する形状であり、
前記治具は、
前記工作物を収納する内部空間を有する枠体と、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の前記平面部分を押さえる保持部を備えるものであり、
基板上に前記治具の前記枠体及び前記保持部のパターンを形成するパターニング工程と、
前記パターンを用いて電鋳して前記枠体及び前記保持部を作成する電鋳工程と、
前記パターン及び前記基板を除去して前記治具を生成する除去工程を含む治具生産方法。
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JP2014246319A JP6455778B2 (ja) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | 治具及び治具生産方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014246319A JP6455778B2 (ja) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | 治具及び治具生産方法 |
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JP2016108601A JP2016108601A (ja) | 2016-06-20 |
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Family Applications (1)
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JP2014246319A Active JP6455778B2 (ja) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | 治具及び治具生産方法 |
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US9228270B2 (en) * | 2011-08-15 | 2016-01-05 | Novellus Systems, Inc. | Lipseals and contact elements for semiconductor electroplating apparatuses |
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