JP2016103939A - 振動型アクチュエータおよび超音波モータ - Google Patents
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図1に示す振動型アクチュエータは、超音波モータである。図1(A)は、振動型アクチュエータの駆動移動方向直角断面を示す。図1(B)は、振動型アクチュエータの駆動移動方向断面(図1(A)中の平面Aでの断面)を示す。
図2に示すように、振動板101に形成された摺動部101bの先端が、楕円運動を起こす。圧電素子103に印加する高周波電圧の周波数や位相を変えることで、回転方向や楕円比を適宜変化させて所望の動きを発生させることができる。したがって、摺動部101bは、当該摺動部101bが圧接されるスライダー104と摩擦接触することにより駆動力を発生させる。これにより、振動子100自身が光軸方向(図1(A)中では紙面直行方向、図1(B)中では左右方向) に沿って駆動移動することが可能となる。すなわち、摺動部101bとスライダー104との当接面が、駆動力発生部150として機能する。そして、駆動力発生部150を含み、駆動移動方向である光軸方向と振動子100の加圧方向(図1)とで規定される平面A上に、駆動力伝達部120が形成される。この例では、加圧方向は光軸に直交する方向である。駆動力伝達部120については後述する。
図3は、本実施形態の振動型アクチュエータの一例としての超音波モータを構成する部品の要部斜視図である。301は連結部材であり、例えばバネ性を有するステンレスの板材により構成されている。連結部材301には振動子支持部材105との締結が行われるネジ穴部301aが形成されている。また、振動子支持部材105に固定された移動版111には、雌ネジ部111bが形成され、止めネジ113により連結部材301と振動子支持部材105とが締結される。ネジ穴部301aと雌ネジ部111b、さらに振動子支持部材に形成されたネジ穴105c(図1(B)参照)により、締結部303が構成される。
連結部材301と振動子支持部材105との締結はネジ穴部301aで行われる。ネジ穴周囲の外形部301dは、図に示す通り基台102の投影領域内、つまり図4に示されたハッチング領域内に存在する。図4の方向から見たとき、振動板101に形成された被接合部101aの外形を逸脱しない領域に存在していることがわかる。また、駆動力伝達部120が二箇所に形成されていることがわかる。上述基台と連結部材は先に組み立てることが必要である。ここまでの組み立てが終了した後、連結部材301と基台201をネジ302により締結することで、振動子100と振動子支持部材105の連結が完了する。
第一レンズ保持部材501は、第一のレンズ502を保持する。第三レンズ保持部材503は、第三のレンズ504を保持する。第三レンズ保持部材503の外周部には、筒状部503aが設けられており、先端部503bで第一レンズ保持部材501と図外のネジなどにより締結される。筒状部503aの外径部の一部には、超音波モータが固定されるユニット受け部503cが設けられており、公知のネジなどにより着脱自在に固定される。
以下に、図6を参照して、駆動負荷によってV溝部がボール120を乗り上げ、その結果、送り精度に与える影響について説明する。
T=F0×L1・・・(1)
F1=T/L2・・・(2)
また、加圧力Wは、加圧バネ108の作用により各ボールに作用する反力である。この乗り上げようとする力F1と加圧力WとのV溝部でのつり合いバランスが崩れると、駆動力発生部150が動いても駆動力伝達部701は動かないまま、移動板111(振動子支持部材)がボールを乗り越えて回転方向に動く現象が起こる。その結果、第二レンズ保持部材505の送り精度が低下する。F1とWとのつり合い条件は、下記の式(3)で表わされる。
W・cosθ=F1・sinθ (θ:V溝の片側開角)・・・(3)
L1=L2=6mm
W=100g
θ=45°
上記式(1)、(2)、(3)より、F0=100gとなる。
101 振動板
120 駆動力伝達部
150 駆動力発生部
Claims (8)
- 摺動部を有する振動子と、
前記摺動部が圧接されるスライダーと、
前記振動子を支持し、被駆動部材を駆動する支持部材とを備え、
前記摺動部と前記スライダーとの摩擦接触により、駆動力発生部において駆動力が発生し、
前記支持部材は、前記被駆動部材に駆動力を伝達する駆動力伝達部を有し、
前記駆動力伝達部は、前記被駆動部材の移動方向に沿って、前記駆動力発生部の前後2箇所に設けられる
ことを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記駆動力伝達部は、前記駆動力発生部が設けられる、前記被駆動部材の移動方向および前記振動子の加圧方向で規定される平面を含む、前記スライダーと前記支持部材との間の空間に設けられる
ことを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記駆動力伝達部は、先端半球状であり、
前記被駆動部材は、前記被駆動部材に設けられた係合部が前記駆動力伝達部を押圧する方向に回転付勢される
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記振動子に固定された基台と、
前記基台と前記支持部材とを連結する連結部材とを備える
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記支持部材を光軸に沿った方向にガイドするガイド部を備える
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記ガイド部は、
ボール部材が嵌入する第1の溝部を有し、前記支持部材に固定された移動板と、
前記第1の溝部と対向する位置に設けられた、前記ボール部材を挟持する第2の溝部を有するカバープレートとを備える
ことを特徴とする請求項5に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記振動子を前記被駆動部材の移動方向に直交する方向に加圧する加圧手段を備える
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記振動子は、電圧の印加により超音波振動する
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータとして機能する超音波モータ。
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