JP2016103597A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<基板処理方法の内容>
まず、第1の実施形態に係る基板処理方法の内容について図1A〜図1Fを用いて説明する。図1A〜図1Fは、本実施形態に係る基板処理方法の説明図である。
次に、本実施形態に係る基板処理システムの構成について図2を用いて説明する。図2は、本実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式図である。
次に、本実施形態に係る基板処理装置30の構成について図3を用いて説明する。図3は、本実施形態に係る基板処理装置30の概略構成を示す平面図である。以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
基板処理装置30の搬入出部31は、搬送室50を備え、かかる搬送室50の内部には、ウェハWを搬送する第1ウェハ搬送機構51が設けられる。第1ウェハ搬送機構51は、ウェハWを略水平に保持しつつ搬送する、2つの搬送アーム51a,51bを備える。なお、上記では、搬送アーム51a,51bが2つである場合を例に挙げたが、これに限定されるものではなく、搬送アームは1つあるいは3つ以上であってもよい。
ロードロック室32は、搬送室50の長手方向(X軸方向)の側面側、正確には、搬送室50のキャリア載置台52が設けられる側面とは反対の側面側(Y軸正方向側)に隣接して2つ設けられる。
次いで、除去処理装置34の構成について図4を参照して説明する。図4は、除去処理装置34の概略構成を示す断面図である。
次いで、熱処理装置33の構成について図5を参照して説明する。図5は、熱処理装置33の概略構成を示す断面図である。
次に、以上のように構成された基板処理装置30におけるウェハWの処理方法について図3〜図5を参照しつつ説明する。
SiO2+4HF→SiF4+2H2O ・・・(1)
SiF4+2NH3+2HF→(NH4)2SiF6 ・・・(2)
(NH4)2SiF6→SiF4+2NH3+2HF ・・・(3)
次に、基板処理システム10の具体的動作について図6を参照して説明する。図6は、本実施形態に係る基板処理システム10が実行する基板処理の手順を示すフローチャートである。基板処理システム10が備える洗浄装置20、基板処理装置30および成膜装置40の各装置は、各装置が備える制御装置の制御に従って図6に示す各処理手順を実行する。
次いで、第2の実施形態に係る基板処理システム10aについて説明する。図7は、第2の実施形態に係る基板処理システム10aの構成を示す模式図である。なお、以下においては、第1の実施形態と共通の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
次いで、第3の実施形態に係る基板処理システム10bについて説明する。図8は、第3の実施形態に係る基板処理システム10bの構成を示す模式図である。
1 シリコン層
2 下部電極膜
3 酸化膜
4 疎水基
5 保護膜
6 容量膜
7 上部電極膜
10 基板処理システム
20 洗浄装置
30 基板処理装置
33 熱処理装置
34 除去処理装置
35 除去部
36 制御装置
40 成膜装置
60 チャンバ
61 載置台
62 ガス供給機構
63 排気機構
90 チャンバ
91 載置台
92 ガス供給機構
93 排気機構
Claims (10)
- 表面に酸化膜および疎水基が形成された基板を保持する保持部と、
前記保持部によって保持された前記基板の表面に対して処理ガスを供給し、該処理ガスを用いたケミカルエッチングによって前記酸化膜および前記疎水基を前記基板の表面から除去する除去部と
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記処理ガスは、
アンモニアガスおよびフッ化水素ガスを含むこと
を特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記除去部は、
前記基板の表面に対して前記処理ガスを供給し、前記酸化膜および前記疎水基の少なくともいずれかを前記処理ガスと反応させて反応生成物に変質させるガス供給部と、
前記反応生成物を加熱して除去する加熱部と
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 表面に前記酸化膜および前記疎水基が形成された状態の前記基板に対し、洗浄処理および乾燥処理を行う洗浄装置
を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記除去部で前記酸化膜および前記疎水基が除去された前記基板に対して成膜処理を行う成膜装置
を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 表面に酸化膜および疎水基が形成された基板を保持する保持工程と、
前記基板の表面に対して処理ガスを供給し、該処理ガスを用いたケミカルエッチングによって前記酸化膜および前記疎水基を前記基板の表面から除去する除去工程と
を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記処理ガスは、
アンモニアガスおよびフッ化水素ガスを含むこと
を特徴とする請求項6に記載の基板処理方法。 - 前記除去工程は、
前記基板の表面に対して前記処理ガスを供給し、前記酸化膜および前記疎水基の少なくともいずれかを前記処理ガスと反応させて反応生成物に変質させるガス供給工程と、
前記反応生成物を加熱して除去する加熱工程と
を含むことを特徴とする請求項6または7に記載の基板処理方法。 - 表面に前記酸化膜および前記疎水基が形成された状態の前記基板に対し、洗浄処理および乾燥処理を行う洗浄乾燥工程
を含むことを特徴とする請求項6〜8のいずれか一つに記載の基板処理方法。 - 前記除去工程で前記酸化膜および前記疎水基が除去された前記基板に対して成膜処理を行う成膜工程
を含むことを特徴とする請求項6〜9のいずれか一つに記載の基板処理方法。
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