JP2016103533A - ホールセンサ及びホールセンサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1 特開2000−252545号公報
図1は、ホール素子10の断面図の一例を示す。ホール素子10は、基板11、感磁部12、コンタクト電極13、絶縁膜14及び電極パッド15を備える。ホール素子10は、外部磁場を検出して、その大きさに比例した信号を出力する磁気変換素子である。
図10は、実施形態2に係るホール素子10の構造を示す。本例のホール素子10は、保護膜17をさらに備える点で実施形態1に係るホール素子10と異なる。
Claims (14)
- 基板と、前記基板上に配置された複数の電極と、前記複数の電極と電気的に接続する感磁部とを備えるホール素子と、
前記ホール素子の周囲に配置された複数のリード端子と、
前記複数の電極の各電極と前記複数のリード端子の各リード端子とをそれぞれ電気的に接続する複数の導線と
を備え、
前記複数の電極は、第1の電極を含み、
記複数の導線は、前記第1の電極と電気的に接続する第1の導線を含み、
前記基板の縁と前記第1の電極との距離をL1、前記第1の導線の直径をD1、としたときに、L1<D1を満たすホールセンサ。 - 前記L1は0より大きい請求項1に記載のホールセンサ。
- 前記L1は、0.5μm以上30μm以下である請求項1に記載のホールセンサ。
- 前記D1は、5μm以上50μm以下である請求項1から3のいずれか一項に記載のホールセンサ。
- 前記複数の電極は、第2から第4の電極を更に含み、
前記複数の導線は、前記第2から第4の電極の各電極に電気的に接続する第2から第4の導線を更に含み、
前記基板の縁と前記第2の電極との距離をL2、
前記基板の縁と前記第3の電極との距離をL3、
前記基板の縁と前記第4の電極との距離をL4、
前記第2の導線の直径をD2、
前記第3の導線の直径をD3、
前記第3の導線の直径をD4、
とした場合に、
L2<D2、且つ、L3<D3、且つ、L4<D4を満たす請求項1から4のいずれか一項に記載のホールセンサ。 - 前記第1の電極は、前記第3の電極と対向する位置に配置され、
前記第2の電極は、前記第4の電極と対向する位置に配置され、
前記第1から第4の電極は、
前記感磁部を平面視したときに、
前記第1の電極と前記第3の電極とを結ぶ仮想直線と、前記第2の電極と前記第4の電極とを結ぶ仮想直線が交差する位置に配置される請求項5に記載のホールセンサ。 - 前記ホール素子と前記複数のリード端子と前記複数の導線を封止する封止部材を備える請求項1から6のいずれか一項に記載のホールセンサ。
- 前記第1の電極の側面の少なくとも一部を覆う保護膜を更に備える請求項1から7のいずれか一項に記載のホールセンサ。
- 前記保護膜は、前記第1の電極の側面及び前記基板に接する請求項8に記載のホールセンサ。
- 前記保護膜は、窒化ケイ素(SiN)である請求項8又は9に記載のホールセンサ。
- 前記第1の導線の半径は前記L1よりも大きい請求項1から10のいずれか一項に記載のホールセンサ。
- 前記基板の縁におけるクラックの深さが前記D1よりも小さい請求項1から11の何れか一項に記載のホールセンサ。
- 前記基板の縁におけるクラックの深さが前記第1の導線の半径よりも小さい請求項12に記載のホールセンサ。
- 半導体ウエハに、第1の電極を含む複数の電極と、複数の電極と接続する感磁部とを備えるホール素子を複数形成する工程と、
前記半導体ウエハをダイシングして、複数の前記ホール素子を個片化する段階と、
前記ホール素子の周囲に複数のリード端子を配置する段階と、
前記複数の電極の各電極と前記複数のリード端子の各リード端子とを、第1の導線を含む複数の導線によりそれぞれ電気的に接続する段階と
を備え、
前記接続する段階において、
基板の縁と第1の電極との距離をL1、第1の導線の直径をD1、としたときに、L1<D1となるホールセンサの製造方法。
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