JP2016102496A - 真空ポンプ及び真空部品 - Google Patents

Abstract

【課題】真空ポンプ及び真空部品であって、極めて低い圧力も、できるかぎり簡単かつコスト面で安価なシールでもって実現可能であるものを提供する。【解決手段】真空装置、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はスプリットフローポンプであって、少なくとも一つの吸引開口部を介してレシーバーと接続可能であり、およびレシーバー内に１０−５ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、好ましくは１０−７ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、特に１０−９ｍｂａｒ以下の圧力の発生の為に形成されており、その際、接続部の密閉の為に、少なくとも一つのシール７０が設けられており、当該シールが、コア特にエラストマーコア７２及びカバー７４を有し、カバーが、コア７２を少なくとも部分的に、特にその吸入開口部の方の側で取り囲んでいることを特徴とする真空装置によって解決される。【選択図】図４

Description

本発明は真空ポンプ、特にターボ分子ポンプまたはスプリットフローポンプに関する。更に、本発明は、例えばフラッドバルブ（独語：Ｆｌｕｔｖｅｎｔｉｌ）又はシーリングガスバルブ（Ｓｐｅｒｒｇａｓｖｅｎｔｉｌ）、圧力センサー、及び／又は温度センサー等のような真空部品に関する。

例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプは、各プロセスに必要な真空を達成するために、異なる技術領域で使用される。ターボ分子ポンプは、ローター軸の方向において相連続する複数のステーターディスクを有する一つのステーターと、ステーターに対し相対的に、ローター軸を中心として回転可能に支承された一つのローターを有する。このローターは、一つのローター軸と、ステーターディスクの間に配置された複数のローターディスクを有する。その際、ステーターディスクとローターディスクは、それぞれポンプ効果を発する構造を有している。スプリットフローポンプは、複数の吸入開口部又は接続部を有するマルチチャンバーシステムとの接続の為又はディファレンシャルポンピングの為に設けられている真空ポンプである。

真空技術においては、シールとしてしばしばフッ素エラストマーのОリングが使用される。そのようなエラストマーシールは、しかし特に低い圧力においてガス放出を生じる可能性がある。そのようなガス放出に基づいて、及び拡散に基づいて、そのようなエラストマーシールは制限下においてのみ使用される。いわゆる予ポンプ（プリポンプ、独語：Ｖｏｒｐｕｍｐｅ）の領域、例えば、つまり１０^−４ｍｂａｒ（１０^−２Ｐａ）よりも低くない圧力領域においては、そのようなシールの問題は未だ生じていない。より低い圧力は、そのようなシールによってもはや達成不可能である。１０−５ｍｂａｒ以下（１０−３Ｐａ以下）の圧力においては、エラストマーシールによるガス放出は、真空値の著しい低下に通じる可能性がある。遅くとも、１０^−９ｍｂａｒ以下（１０^−７Ｐａ以下）の圧力において、そのようなエラストマーシールの使用は、上述した問題によって完全に排除されている。

しかし、より低い圧力においてエラストマーシールを使用することができるように、エラストマーシールと、その間に配置された吸引部（独語：Ａｂｓａｕｇｕｎｇ）を有するギャップシール（独語：ＳｐａｌｔＤｉｃｈｔｕｎｇ）からなるコンビネーションシールが既に提案されている。そのようなコンビネーションシールは、しかし相対的に効果である。

いわゆる「ＣＦシール」も既に公知である。このＣＦシールにおいては、シールの互いに向き合ったフランジが特殊鋼（独語：Ｅｄｅｌｓｔａｈｌ）から成り、そして特殊鋼フランジの間に銅シールが挿入されている。特殊鋼フランジには、フランジと一体に切断エッジが形成されている。この切断エッジは、銅リング内に圧入されるか、または切り込まれ、そしてこれによってシールを行っている。そのようなフランジは、コンフラットフランジ（米国、Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｉｎｃの登録商標）とも称される。この形式のフランジは、高真空ポンプ、又は超高真空ポンプにおいて使用可能である。しかしこれは、長期にわたる変形の結果、多段式に使用不可能であり、そしてフランジ又は完全なるハウジングが特殊鋼から形成され、このことは効果かつ高コストであるというデメリットを有する。

本発明は、冒頭に記載した形式の真空ポンプ及び真空部品であって、極めて低い圧力も、できるかぎり簡単かつコスト面で安価なシールでもって実現可能であるものを提供することである。

この課題は、発明に従い、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプによって、及び請求項２に記載の特徴を有する真空部品によって解決される。発明に係る真空ポンプ及び発明に係る真空部品の好ましい実施形は、下位の請求項、明細書及び図面から生ずる。

発明に係る真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ又はスプリットフローポンプは、少なくとも一つの吸引開口部を介してレシーバーと接続可能であり、そしてレシーバー内に、１０^−５ｍｂａｒ以下（１０^−３Ｐａ以下）の圧力の発生の為、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下（１０^−５ＰＡ以下）の圧力の発生の為、特に、１０^−９ｍｂａｒ以下（１０^−７ＰＡ以下）の圧力の発生の為に形成されている。その際、接続部の密閉の為に、少なくとも一つのシールが設けられている。このシールは、コア、特にエラストマーコアと、当該コアを少なくとも部分的に、特にその吸引開口部の方の側で取り囲むカバーを有している。

この形成に基づいて、より低い圧力も比較的簡単かつこれに応じてコスト面においても安価なシールによって実現されることが可能である。本発明に係るシールは、１０^−８から１０^−１１ｍｂａｒ（１０^−６ＰＡから１０^−９ＰＡ）の圧力領域においてさえ使用されることが可能である。よって、コア、特にエラストマーコアのカバーは、基本的にシールの弾性を損なうことなく、シールのガス放出ができるかぎり最小限とされるか、または全くもって防止されるよう選択される一方で、必要な弾性は、コアによって保証される。各シールは、多重使用可能である（独語：ｍｅｈｒｍａｌｓ ｅｉｎｓｅｔｚｂａｒ）。この為、比較的複雑で高価な特殊鋼フランジ又は特殊鋼ハウジングが省略される。

好ましくは、シールのカバーは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン（Ｐｏｌｙ−ｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｅｔｈｙｌｅｎ））樹脂又はＰＴＦＥベースの樹脂を含む材料から成る。シールのコアは、好ましくはフッ素エラストマーを含む材料から成る。

コアは、例えばＦＫＭ（フッ化ゴム（Ｆｌｕｏｒｋａｕｔｓｃｈｕｋ））、ＶＭＱ（シリコンゴム）またはＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム（Ｅｔｈｙｌｅｎ−Ｐｒｏｐｙｌｅｎ−Ｄｉｅｎ−Ｋａｕｔｓｃｈｕｋ））又はＦＫＭ、ＶＭＱまたはＥＰＤＭを含む材料から成ることが可能である。

ＰＴＦＥ樹脂又はＰＴＦＥベースの樹脂は、拡散に関して例えばフッ素エストマー（独語：Ｆｌｕｏｒｅｓｔｏｍｅｒｅ）よりも悪い特性を有しているが、より低い圧力において少ないガスを放出する。カバーがシールコアと比較して比較的薄く形成されることが出来るので、カバーは、シールの断面の少ない部分のみを成す。その結果、シールのカバーを通しての拡散は、無視できる程度に小さい。特にフッ素エラストマーを含む材料から成るコアによる少ない拡散に基づいて、少ない分子のみがシールを通って出る。シールのカバーがＰＴＦＥ樹脂、又はＰＴＦＥベースの樹脂を含む材料から成るので、シールから、より低い圧力の領域内へのガス放出は明らかに減少される。これら両方の効果の組合せによって、カバーを有さない通常のフッ素エストマーシールよりも本質的に低い圧力が達成される。シールのコア、特にエラストマーコア又はフッ素エラストマーコアは、シールの所望の弾性的特性を保証する。よってこれは多重に使用可能である。このことは純粋なＰＴＦＥシールには当てはまらない。

好ましくはシールのカバーは、パーフルオロエチレンプロピレン（Ｐｅｒｆｌｕｏｒｅｔｈｙｌｅｎｐｒｏｐｙｌｅｎ、ＦＥＰ）樹脂及び／又はパーフルオロアルコキシアルカン（Ｐｅｒｆｌｕｏｒａｌｋｏｘｙｌａｌｋａｎ、ＰＦＡ）樹脂を含む材料から成る。

シールのカバーは、有利には、０．１ｍｍから１．５ｍｍの領域の、特に、０．２ｍｍから０．８ｍｍの領域の厚さを有する。基本的により薄い又はより厚い厚さも可能である。

接続部の密閉の為に、特に、入れ子の状態にある、特に互いに同軸な少なくとも二つのシールが設けられていることが可能である。その際、この場合、少なくとも一つの内側のシールがカバーを設けられていることが可能である。

その際、特に、内側のシールのカバーが、外側のシールの方の側で開かれる過、またはオーバーラップして形成されており、そして両方のシールの間の領域の吸引の為の手段が設けられていると有利である。そして、そのような二重のシールによって、特に低い圧力が達成されることが可能である。

外側のシールとしてカバーを有するシール、またはカバーを有さないシールが使用されることが可能である。内側のシールは、少なくとも部分的にカバーを設けられている。内側のシールのカバーが、一方の側で開かれているか、またはオーバーラップして形成されている、つまり接合部無しではなく、又は閉じられているとき、開かれた又はオーバーラップした側は、中間吸引部の方に向かって設けられている。ガス放出及び拡散する部分は、シールの間の中間吸引部を通して吸引される。内側のシールは、つまりもはや大気圧に対してシールされる必要がなく、これによってより低い圧力の側への拡散効果が減少されることが可能である。よって特に低い圧力が達成されることが可能である。

各シールは、例えば、Оリングとして又はフラットシールとして設けられることも可能である。

各シールは、断面が中実に形成されていることが可能であり、または一又は複数の中空区間を有していることも可能である。つまり、中実シール又は中空シールであることが可能である。

真空ポンプは、一又は複数の真空接続部を有することが可能である。最後のケースでは、所定の複数の真空接続部が異なる圧力レベルにあることも可能である。異なる真空接続部は、同一の平面内又は異なる平面内にあることが可能である。

発明に係る真空部品は、１０−５ｍｂａｒ以下（１０−３ＰＡ以下）の圧力、好ましくは１０−７ｍｂａｒ以下（１０−５ＰＡ以下）の圧力、特に１０−９ｍｂａｒ以下（１０−７ＰＡ以下）の圧力の為に構成されており、そして少なくとも一つのシールを有し、このシールが、一つのコア、特にエラストマーコア、と該コアを少なくとも部分的に取り囲むカバーを有している点で際立っている。

真空部品は、例えばフラッドバルブ又はシーリングガスバルブ、圧力センサー、温度センサー、視認ガラス、シールド、ガス調整バルブ、高真空スライダー、超高真空スライダー、レシーバー、及び／又は真空チャンバー等を含むことが可能である。

真空部品のシールのカバーは、好ましくは、ＰＴＦＥ樹脂、又はＰＴＦＥベースの樹脂を含む材料から成る。シールのコアは、特にフッ素エラストマーを含む材料から成る。

本発明に係る真空部品の目的に適った実践的な実施形に従い、シールのカバーはＦＥＰ樹脂及び／又はＰＦＡ樹脂を含む材料から成る。

真空部品の当該カバーが、０．１ｍｍから１．５ｍｍの領域の厚さ、特に０．２ｍｍから０．８ｍｍの領域の厚さを有していると特に有利である。

発明に係る真空部品と関連して、各接続部の密閉の為に、ここでもまた入れ子式の状態にある少なくとも二つのシールが設けられていることが可能である。これは、詳しく言うと、既に上述した実施可能性のようにオプションとして（一例として）設けられることが可能である。

本発明の別の観点は、特に、真空ポンプ（特にターボ分子ポンプ又はスプリットフローポンプ）のレシーバーとの接続部及び／又は真空部品との接続部の密閉の為のシールの使用であって、コア、特にエラストマーコアと、これを少なくとも部分的に取り囲むカバーを有するシールの使用に関する。その際、真空システムは、１０^−５ｍｂａｒ以下の圧力、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下の圧力、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力に対して構成されており、及び／又は、真空システム内において接続部の少なくとも一方の側が１０^−５ｍｂａｒ以下の圧力、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下の圧力、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力となる、またはこのような圧力とされる。

シールのカバーは、好ましくはＰＴＦＥ樹脂又はＰＴＦＥベースの樹脂を含む材料から成る。

シールのコアが、フッ素エラストマーを含む材料から成る、及び／又はシールのカバーが、ＦＥＰ及び／又はＰＦＡ樹脂を含む材料から成ると特に有利である。

本発明に係る接続部に関しても、シールのカバーが、０．１ｍｍから１．５ｍｍの領域の厚さ、特に０．２ｍｍから０．８ｍｍの領域の厚さを有すると有利である。

当該接続部を密閉するために、特にここでもまた、入れ子式の少なくとも二つのシールが設けられ、そして少なくとも内側のシールがカバーを設けられていることが可能である。その際、内側のシールのカバーは、ここでもまた、閉じられた一つのカバー部を形成するか、または、外側のシールの方の側において開かれているか、またはオーバーラップして形成されていることが可能である。最後者の場合、好ましくは両方のシールの間の領域の吸引の為の手段が設けられている。

上述したように、各シールは例えばＯリングとして又はフラットシールとして形成されていることが可能である。

本発明の別の観点は、少なくとも一つの第一の対象及び一つの第二の対象を有する真空システムに関する。これらは、少なくとも一つの開口部を介して互いに接続可能であるか、または接続されている。その際、接続部の密閉の為に少なくとも一つのシールが設けられている。このシールは、一つのコア、特にエラストマーコアとカバーを有する。該カバーは、少なくとも部分的に、特に開口部の方の側でコアを取り囲んでおり、そしてその際、少なくとも一方の対象には、１０−５ｍｂａｒ以下の圧力、好ましくは１０−７ｍｂａｒ以下の圧力、特に１０−９ｍｂａｒ以下の圧力が、特に他の対象によって及ぶ、又はつくりだすことが可能である。

特に、カバーが、断面視においてコアを取り囲むこと、及び／又はカバーが、断面視においてコアを、その周囲の半分を越えて、好ましくは三分の二を越えて、特に四分の三を越えて取り囲むことが意図されている。カバーは、ここではつまり、例えばＯリングとして形成されたコアがただ当接し、そして例えば特に金属の、断面が長方形であるか又は軽くアーチ状になっている、Ｏリングを、例えば軽く凹状に形成された側に収容するセンタリング環の形式で公知であるような、例えばセンタリングに使用される装置などでは無い。

本発明に係るシールの可能な寸法に関して、例えば、カバーの厚さ又は厚みｍが、コアの厚さ又はいわゆるコード厚み（独語：Ｓｃｈｎｕｒｓｔａｅｒｋｅ）ｋに依存し、その際例えば、１．０ｍｍ≦ｋ＜４ｍｍに対して、ｍの値が０．２から０．３ｍｍの領域、特に約０．２５ｍｍ、４ｍｍ≦ｋ＜６ｍｍに対してｍの値が、０．３から０．５ｍｍの領域、特に約０．４ｍｍ、６ｍｍ≦ｋ＜１０ｍｍに対してｍの値が０．４から０．６ｍｍの領域、特に約０．５ｍｍ、そして１０ｍｍ≦ｋ≦２０ｍｍに対してｍの値が０．５から０．９ｍｍの領域に、特に約０．８ｍｍから選択されることが意図されていることが可能である。

シールが、閉じられたリング形状を有し、そして特にОリングシールとして形成されているとき、例えば、コアの厚み又はいわゆるコード厚みｋが、シールの内直径Ｉに依存していることが意図され得る。その際、例えば、Ｉ≧約５ｍｍに対してｋの値が１．６ｍｍから２ｍｍの領域、特に約１．８ｍｍ、Ｉ≧約７ｍｍに対してｋの値が２．４から２．８ｍｍの領域、特に約２．６ｍｍ、Ｉ≧１２ｍｍに対してｋの値が３．３から３．７ｍｍの領域、特に約３．５ｍｍ、Ｉ≧約２０ｍｍに対してｋの値が５から５．６ｍｍの領域、特に約３５．３ｍｍ、そしてＩ≧約４５ｍｍに対してｋの値が６．６から７．４ｍｍの領域、特に７ｍｍ、から選択される。内直径Ｉに対する最大の値は、約１，０００ｍｍから１，６００ｍｍの間にあることが可能である。

よって一般的に、本発明の思想は、上述したシールによって、真空密な接続が、極めて低い圧力領域に対しても実現され、真空密性、つまり高真空領域と超高真空領域においても保証されることが可能であり、その結果、シールはターボ分子ポンプに対してもまたはスプリットフローポンプに対しても、そして高真空領域に配置される真空部品に対しても使用されることが可能である。

本発明を以下に実施例に基づいて図面を参照しつつ詳細に説明する。

本発明が実現可能である、真空ポンプの例示的実施形の簡略図。 発明に係る真空ポンプの例示的実施形の真空接続部の簡略断面図。 本発明に係る真空ポンプの別の例示的な実施形の真空接続部の簡略断面図。 発明に係るシールの複数の例の拡大断面図。

図１に示された真空ポンプ１０は、インレットフランジ１２によって取り囲まれたポンプインレット又は吸入開口部１４と、ポンプインレット１４に及ぶガスを図１に示されていないポンプアウトレットへと搬送するための複数のポンプ段を有する。真空ポンプ１０は、静的なハウジング１６を有するステーターと、ハウジング１６内に配置されたローターを有する。ローターは、ローター軸１８を中心として回転可能に支承されるローター軸２０を有している。

真空ポンプ１０は、ターボ分子ポンプとして形成されており、そして、互いにシリアルに接続されており、かつポンプ作用を奏するターボ分子的ポンプ段を有する。これらポンプ段は、ローター軸２０と接続されるターボ分子的な複数のローターディスク２２と、軸方向でこれらローターディスク２２の間に配置された、ハウジング内に固定されている複数のステーターディスク２４を有する。これらステーターディスクは、スペーサーリング２６によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。ローターディスク２２とステーターディスク２４は、吸い込み領域２８（独語：Ｓｃｈｏｅｐｆｂｅｒｅｉｃｈ）において、矢印３０の方向に向けられた軸方向のポンプ作用を提供する。

真空ポンプ１０は更に、半径方向で入れ子（ｉｎｅｉｎａｎｄｅｒ）に配置され、およびポンプ作用を奏する、互いにシリアルに接続された三つのホルベックポンプ段を有している。ホルベックポンプ段のローター側の部分は、ローター軸２０と接続されたローターハブ３２と、ローターハブ３２に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ３４，３６を有している。これらは、ローター軸１８に対して同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。更に、二つの、シリンダー側面形状のホルベックステータースリーブ３８，４０が設けられている。これらは、同様にローター軸１８に対して同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子に重ね合わせられている（独語：ｉｎｅｉｎａｎｄｅｒ ｓｃｈａｃｈｔｅｌｎ）。ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、其々、狭い半径方向のホルベック間隙を形成しつつ、互いに向き合っている、ホルベックロータースリーブ３４，３６とホルベックステータースリーブ３８，４０の半径方向の各側面によって形成されている。その際、ポンプ効果を発する表面の各一方は滑らかに形成されている。これは、本件においてはホルベックロータースリーブ３４または３６の表面である。そしてホルベックステータースリーブ３８，４０の向かい合ったポンプ効果を発する表面は、構造化部分を有する。これは、回転軸１８のまわりにねじ線形状に軸方向へ推移する複数の溝を有している。これら溝の内部を、ローターの回転によってガスが前進させられ、これによってポンピングが行われる。

ローター軸２０の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域のローラー支承部４２によって、およびポンプインレット１４の領域の永久磁石支承部４４によって行われる。

永久磁石支承部４４は、ローター側の支承半部４６とステーター側の支承半部４８を有している。これらは、各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング５０，５２を有している。その際、磁石リング５０，５２は、半径方向の支承間隙５４を形成しつつ互いに向き合っている。

永久磁石支承部４４の内部には、緊急又は安全用支承部５６が設けられている。これは、潤滑されないローラー支承部として形成されており、そして真空ポンプの通常の運転では、非接触式に空転する。そして、ローラーがステーターに向かって半径方向に過剰に傾倒した際に初めて係合するにいたり、ローターの為の半径方向のストッパーを形成する。このストッパーは、ステーター側の構造とローター側の構造の衝突を防止する。

ローラー支承部４２の領域内では、ローター軸２０に、ローラー支承部４２に向かって増加する外直径を有する円すい形状のスプラッシュナット５８が設けられている。これは、例えば潤滑媒体のような作動媒体を含ませられた複数の吸収性のディスク６０を有する作動媒体貯蔵部のスクレーパーと滑り接触している。作動中、作動媒体は毛細管作用によって作動媒体貯蔵部からスクレーパーを介して回転するスプラッシュナット５８に伝達され、そして遠心力によってスプラッシュナット５８にそって、スプラッシュナット５８の大きくなる外直径の方向へ、ローラー支承部４２の方へと搬送され、そこで例えば潤滑機能を満たす。

真空ポンプは、ローターの回転駆動の為の駆動モーター６２を有する。その回転しは、ローター軸２０によって形成されている。制御ユニット６４が駆動モーター６２を駆動する。

ターボ分子的ポンプ段は、吸い込み領域２８内で矢印３０の方向のポンプ作用を提供する。

真空ポンプ１０は、図１から見て取れる正面側のポンプインレット１４の代わりに、またはこのポンプインレット１４に追加的に、例えば少なくとも一つの側方の吸入開口部６６を有することも可能である（図２参照）。以下で吸入開口部について話すとき、これは、真空ポンプ１０の正面側か、または側方に設けられていることが可能である。

図２は、発明に係る真空ポンプ１０１の一つの例示的な実施形の側方の真空接続部を、簡略断面図として示す。真空ポンプはフランジ１１０を有しており、ここでもまた、例えばターボ分子ポンプである。これは、吸入開口部１２７を介してレシーバー１２０（独語：Ｒｅｚｉｐｉｅｎｔｅｎ、そのフランジがここでは表されている）と接続可能であり、そして、レシーバー１２０内に１０^−５ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、特に、１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力の発生のために形成されている。レシーバーのフランジ１２０とポンプのフランジ１１０の間には、発明に係るシール７０が存在している。図２には、ポンプ１１０のうち、その軸１１１、スペーサースリーブ１１８、および高真空側のポンプ段の最後のステーターディスク１１７が表されている。ポンプ１０１をレシーバー、例えばチャンバーのフランジ１２０に取り付け及びこれから取り外すための力伝達構造１６５は、保持角度１５０、固定ねじ１５１及び拡開要素１５２，１５３を有している。この装置の構造についてこの箇所では詳細には説明しない。

その際、接続の密閉の為にシール７０が設けられている。このシール（図４ａから４ｄの断面図参照）は、エラストマーコア７２とカバー７４を有している。カバーは、この例ではエラストマーコア７２を完全に取り囲んでおり、そして閉じられている。しかしまた、代替的な形態では、一箇所が開かれていることが可能である。その際、例えばカバー７４は、周囲方向でみて３６０°を越えて覆っている、つまりオーバーラップして形成されているか、または周囲方向でみて、３６０°よりも少なく覆っている、つまり、エラストマーコアの一部は露出していることが可能である。冒頭に記載したように、カバー７４はコア７２を多い、好ましくは（周囲方向でみて）半分より多くを覆う、つまり好ましくは、例えば図４ｂに示されるように、カバー７４によるコア７２の取り囲みがもうけられる。円形断面を有するコア７２においては、カバーはよって１８０°を越える角度領域をカバーする。そのような取り囲みを行う、閉じられていないカバー７４は代替として図４ｃと４ｄの例にも設けられている。図４ｃの例は、シール７０が、中実シール（独語：Ｖｏｌｌｄｉｃｈｔｕｎｇ）である必要は無く、いわゆる中空シールであることが可能である点を示す。この中空シール内には、一又は複数の中空空間（図４ｃにおいては例えば、コア７２の内部に長手方向に延在するちょうど一つの中央の中空空間）が設けられていることが可能である。シール７０及び／又はコア７２の断面形状は、基本的に任意である。図４ｄは、シール７０またはコア７２が、基本的に角形状の断面、特に丸められた角領域を有するそれを有することが可能であることを示す。断面は、例えば、図４ｄのように、基本的に正方形又は長方形であることが可能である。楕円形（独語：ｅｌｌｉｐｔｉｓｃｈ）又は卵型（独語：ｏｖａｌ）も可能である。上述した全ての特別な特性（閉じられていないカバー、一又は複数の中空空間、断面形状等）は、基本的に任意に互いに組み合わせられることが可能である。

同一に又は異なって形成された複数の独立したコアが、特に互いに当接して一つの共通のカバーに取り囲まれていることが可能である。一または複数のコアが、複数の独立したカバーによって取り囲まれていることも可能である。

一般的にシール７０のカバー７４は、特に一つの材料から成っていることが可能である。この材料は、ＰＴＦＥ樹脂またはＰＴＦＥベースの樹脂を含む。シール７０のエラストマーコア７２は、特にフッ素エラストマーを含む材料からなることが可能である。

この場合、シール７０のカバー７４は、例えばＦＥＰ樹脂及び／又はＰＦＡ樹脂を含む材料から成る。

シール７０のカバー７４の厚さは、特に、０．１ｍｍから１．５ｍｍの領域にある。その際、これは好ましくは０．２ｍｍから０．８ｍｍの領域にある。

この場合、シール７０は例えばОリング（独語：Ｏ−Ｄｉｃｈｔｕｎｇ）として設けられていることが可能である。しかしこれは、特に、フランジシールとして形成されていることも可能である。

図２の図において真空接続が側方の吸入開口部６６を有する一方で、対応して形成された真空接続は、基本的に、図１から見て取れるポンプインレット１４の形式の正面側の吸入開口部６６も有しうる。

当該接続の密閉の為に、例えば互いに同軸な二つのシールが設けられることも可能である。この場合、少なくとも内側のシールが、カバーを設けられている。その際、内側のシールのカバーは、閉じられているか、または外側のシールの方の側に開かれている、またはオーバーラップして形成されていることが可能である。最後のケースでは、特に、両方のシールの間の領域の吸引の為の手段が設けられていることが可能である。外側のシールは、カバー部を有して、またはこれを有さず設けられていることが可能である。

互いに同軸な二つシール７０を有するそのような適用形の例は、図３に示されている。シール７０は、ここでは蓋部２１１とハウジング２０２の間に設けられている。複数のシール７０の間には、リングチャネル２１４が設けられている。このリングチャネル内には負圧が発生される。このため、配管２１５が設けられている。この配管は、真空ポンプ２０１のポンプ段の一つの中か、ガスアウトレットチャネル２３０に開口している。その上、図３には、すでに上述したハウジング２０２、下部構造群２０３と軸２０４が表されている。これは、第一の端部においてはローラー支承部２０８によって、そしてこれと向き合った真空側の端部においては永久磁石支承部２１７によって回転可能にサポートされている。この永久磁石支承部は、担持構造２１６によってハウジング２０内に固定されている。ポンプ２０１のポンプシステムは、ポンプ効果を発するローター構造２０５と、ポンプ効果を発するステーター構造２０６とスペーサーピース２０７を有している。更に、軸２０４の為の駆動手段２０９が設けられている。ハウジング２０２内には、真空チャンバー２２０と２２１が設けられている。これらは、接続部２２５によって互いに接続されている。チャンバー２２０は、ポンプシステムの第一のポンプ段２２２と直接接続されている。チャンバー２２１は、吸引チャネル２１０を介して中間インレット２１８と接続されている。この中間インレットを介してガスが第二のポンプ段２２３へと導入されることが可能である。チャンバー２２１の為に、開口部２２６が設けられている。これを介して、例えば、分析すべきガス又は部分流が導入されることが可能である。

上述した装置は、発明に係るシール７０の適用の為の可能な例示に過ぎない。

例えば上述したような、真空接続は、特に、１０^−５ｍｂａｒ以下の圧力、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下の圧力、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力に対して構成されている真空部品においても考え得る。そのような真空部品は、例えばフラッドバルブ、又はシーリングガスバルブ、圧力センサー、温度センサー、視認ガラス、シールド（独語：Ｂｌｅｎｄｅ）、ガス調整弁、高真空スライダー（独語：Ｓｃｈｉｅｂｅｒ）、及び／又は超高真空スライダー等を含む。

１０ 真空ポンプ
１２ インレットフランジ
１４ ポンプインレット、吸入開口部
１６ ハウジング
１８ 回転軸
２０ ローター軸
２２ ローターディスク
２４ ステーターディスク
２６ スペーサーリング
２８ 吸い込み領域
３０ 矢印
３２ ローターハブ
３４ ホルベックロータースリーブ
３６ ホルベックロータースリーブ
３８ ホルベックステータースリーブ
４０ ホルベックステータースリーブ
４２ ローラー支承部
４４ 永久磁石支承部
４６ ローター側の支承半部
４８ ステーター側の支承半部
５０ 永久磁石のリング
５２ 永久磁石のリング
５４ 半径方向の支承間隙
５６ 緊急又は安全用支承部
５８ スプラッシュナット
６０ 吸収性のディスク
６２ 駆動モーター
６４ 制御ユニット
７０ シール
７２ エラストマーコア
７４ カバー
７６ 中空空間

Claims (15)

1. 真空装置、つまり真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプ又はスプリットフローポンプであって、少なくとも一つの吸引開口部（６６）を介してレシーバー（６８）と接続可能であり、およびレシーバー（６８）内に１０^−５ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力の発生の為に形成されており、その際、接続部の密閉の為に、少なくとも一つのシール（７０）が設けられており、当該シールが、コア特にエラストマーコア（７２）及びカバー（７４）を有し、該カバーが、コア（７２）を少なくとも部分的に、特にその吸入開口部（６６）の方の側で取り囲んでいることを特徴とうする真空装置。
2. 真空装置、つまり真空部品であって、１０^−５ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下の圧力の発生のため、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力の発生の為に構成されており、少なくとも一つのシール（７０）を有し、当該シールが、コア、特にエラストマーコア（７２）とカバー（７４）を有し、該カバーが、コア（７２）を少なくとも部分的に取り囲むことを特徴とする真空装置。
3. シールのカバーが、ＰＴＦＥ樹脂、またはＰＴＦＥベースの樹脂を含む材料から成ることを特徴とする請求項１または２に記載の真空装置。
4. シールのコアが、フッ素エラストマーを含む材料から成ることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空装置。
5. シールのカバーが、ＦＥＰ樹脂及び／又はＰＦＡ樹脂を含む材料からなることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空装置。
6. シールのカバーが、０．１ｍｍから１．５ｍｍの領域の厚さ、特に０．２ｍｍから０．８ｍｍの領域の厚さを有することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空装置。
7. カバー（７４）が、断面視においてコア（７２）を取り囲んでいること、及び／又は、カバー（７４）が、断面視においてコアの周囲の半分を越えて、好ましくは三分の二を越えて、特に四分の三を越えてコア（７２）を取り囲んでいることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空装置。
8. カバーが、少なくとも一方の側で開いている、又はオーバーラップして形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空装置。
9. カバーが閉じられて、特に接合線なく閉じられて形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空装置。
10. シールが、閉じられた一つのリング形状を有し、そして特にОリングシールとして、またはフラットシールとして形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空装置。
11. 接続部の密閉の為に、入れ子の状態にある、特に互いに同軸な少なくとも二つのシールが設けられており、そして少なくとも内側のシールがカバーを設けられており、その際、特に内側のシールのカバーが、外側のシールの方の側において開かれるか、またはオーバーラップして形成されており、そして特に両方のシールの間の領域の吸引の為の手段が設けられていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空装置。
12. カバーが、特にコアと固定的に接続されたコーティングとして、又は特にコアと固定的に接続されていないカバー部として形成されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空装置。
13. 少なくとも一つの開口部（６６）によって互いに接続可能であるか、または接続されている少なくとも一つの第一の対象（１０）および第二の対象（６８）を有する真空システムであって、その際、接続部の密閉の為に、少なくとも一つのシール（７０）が設けられており、このシールが、コア、特にエラストマーコア（７２）とカバー（７４）を有し、該カバーが、コア（７２）を少なくとも部分的に、特にその開口部（６６）の方の側において取り囲み、そしてその際、対象（６８）の少なくとも一つの中に、１０^−５ｍｂａｒ以下、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力が確立しているか、または、特に他の対象（１０）によって確立可能であることを特徴とする真空システム。
14. コア、特にエラストマーコア（７２）、及び該コアを少なくとも部分的に取り囲むカバー（７４）を有するシール（７０）の真空システム（１０，６８）内での使用であって、特に真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプ又はスプリットフローポンプのレシーバー（６８）との接続部の、及び／又は真空部品との接続部の密閉の為の使用であって、
    その際、真空システム（１０，６８）が、１０^−５ｍｂａｒ以下、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力の為又は圧力の発生の為に構成されており、及び／又は、
    その際、真空システム（１０，６８）内において接続部の少なくとも一方の側で、１０^−５ｍｂａｒ以下、好ましくは１０^−７ｍｂａｒ以下、特に１０^−９ｍｂａｒ以下の圧力となっている、または該圧力が発生されることを特徴とする使用。
15. シールのカバーが、ＰＴＦＥ樹脂又はＰＴＦＥベースの樹脂を含む材料から成る、又はＦＥＰ樹脂及び／又はＰＦＡ樹脂を含む材料から成ること、及び／又はシールのコアが、フッ素エラストマーを含む材料から成ることを特徴とする請求項１４に記載の使用。

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