CN111605107A - 密封元件的加工方法、密封元件及真空泵 - Google Patents

密封元件的加工方法、密封元件及真空泵 Download PDF

Info

Publication number
CN111605107A
CN111605107A CN202010561901.3A CN202010561901A CN111605107A CN 111605107 A CN111605107 A CN 111605107A CN 202010561901 A CN202010561901 A CN 202010561901A CN 111605107 A CN111605107 A CN 111605107A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sealing element
sealing
vulcanization
range
blank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010561901.3A
Other languages
English (en)
Inventor
丁印明
雷晓宏
魏民
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Tongjia Dingyuan Technology Co ltd
Original Assignee
Beijing Tongjia Dingyuan Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Tongjia Dingyuan Technology Co ltd filed Critical Beijing Tongjia Dingyuan Technology Co ltd
Priority to CN202010561901.3A priority Critical patent/CN111605107A/zh
Publication of CN111605107A publication Critical patent/CN111605107A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/002—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/007—Tempering units for temperature control of moulds or cores, e.g. comprising heat exchangers, controlled valves, temperature-controlled circuits for fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/021—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing
    • F16J15/022—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F16J15/104—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing characterised by structure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F16J15/108—Special methods for making a non-metallic packing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Oral & Maxillofacial Surgery (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)

Abstract

本发明提供了一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，其中，密封元件的加工方法，包括：通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃‑180℃的范围内，硫化时间在5min‑20min的范围内，硫化压力在10Mpa‑20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题。

Description

密封元件的加工方法、密封元件及真空泵
技术领域
本发明涉及真空源领域，具体而言，涉及一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵。
背景技术
现有的真空泵是泛半导体行业、化工行业、医疗医药行业所必需的真空源设备。由于使用行业的特殊性，因此对真空泵的密封性要求非常严格。通常在真空泵的定子或者泵体的连接处多使用O型圈进行密封。
但是在使用O型圈密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化，导致连接处泄露，影响设备的使用寿命。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，以解决相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种密封元件的加工方法，包括：通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。
进一步地，二次硫化成型步骤满足：硫化温度在200℃-260℃的范围内，硫化时间在4h-24h的范围内。
进一步地，对密封元件中间件进行冷却处理的时间在1h-1.5h的范围内。
进一步地，在得到密封元件步骤之后还包括：检测密封元件是否合格，合格的密封元件满足：密封元件的邵氏A硬度在75-80的范围内，密封元件的外观无缺胶、披风、气泡、缩水、熔接痕、气泡、条纹、翘曲、分层以及脱皮。
根据本发明的另一方面，提供了一种密封元件，密封元件根据上述的密封元件的加工方法得到，密封元件为密封圈，密封元件包括密封本体和设置在密封本体上的多个凸出部。
进一步地，密封元件的截面形状为上下对称结构或者左右对称结构。
进一步地，密封本体的内表面和外表面均为弧形面，密封元件的材质为氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶。
进一步地，密封元件包括元件内部和元件外部，元件外部包裹在元件内部的外侧，元件内部的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，元件外部的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且元件内部的材质不同于元件外部的材质。
进一步地，密封元件包括第一部分和第二部分，第一部分和第二部分通过粘接或者焊接或者紧固件连接在一起；第一部分和第二部分的结构相同；第一部分的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，第二部分的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且第一部分的材质不同于第二部分的材质。
根据本发明的另一方面，提供了一种真空泵，包括泵体组件，泵体组件包括定子主体、盖设在定子主体上的盖体以及位于定子主体和盖体之间的密封元件，定子主体上设置有密封槽，密封元件位于密封槽内，密封元件为上述的密封元件。
应用本发明的技术方案，密封元件的加工方法包括：通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。这样，密封元件通过密封元件的加工方法得到能够有效地提高密封元件的硬度、耐油性，耐温性，耐老化性以及耐腐蚀性。将密封元件安装至真空泵的定子或者泵体的连接处，由于提高了密封元件的耐老化性以及耐腐蚀性，在提高密封性能的同时，能够有效地抵抗工作中气体的侵蚀，避免快速老化。因此，本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明的密封元件的加工方法的实施例的流程示意图；
图2示出了根据本发明的密封元件的实施例一的局部示意图；
图3示出了根据本发明的密封元件的实施例二的局部示意图；
图4示出了根据本发明的密封元件的实施例三的局部示意图；
图5示出了根据本发明的密封元件的实施例四的剖视示意图；以及
图6示出了根据本发明的密封元件的实施例五的剖视示意图。
其中，上述附图包括以下附图标记：
1、定子主体；3、盖体；4、密封槽；10、密封元件；11、密封本体；12、凸出部；13、凹陷部；14、元件内部；15、元件外部；16、第一部分；17、第二部分。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
如图1和图2所示，本申请提供了一种密封元件的加工方法。密封元件的加工方法包括：通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件10。
应用本实施例的技术方案，密封元件的加工方法包括：通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件10。这样，密封元件10通过密封元件的加工方法得到能够有效地提高密封元件的硬度、耐油性，耐温性，耐老化性以及耐腐蚀性。将密封元件10安装至真空泵的定子或者泵体的连接处，由于提高了密封元件的耐老化性以及耐腐蚀性，在提高密封性能的同时，能够有效地抵抗工作中气体的侵蚀，避免快速老化。因此，本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题。
如图1和图2所示，二次硫化成型步骤满足：硫化温度在200℃-260℃的范围内，硫化时间在4h-24h的范围内。这样，密封元件10通过密封元件的加工方法得到还能够有效地提高密封元件的拉伸强度，断裂伸长率，低温脆性温度以及压缩永久变形。
如图1所示，由于清洗过的密封元件毛坯经过二次硫化后得到的密封元件中间件的温度较高，对密封元件中间件进行冷却处理的时间在1h-1.5h的范围内。密封元件中间件经过在1h-1.5h的范围内的冷却处理的时间后，大大提高了密封元件中间件的硬度。
如图1所示，在得到密封元件10步骤之后还包括：检测密封元件是否合格，合格的密封元件满足：密封元件10的邵氏A硬度在75-80的范围内，密封元件10的外观无缺胶、披风、气泡、缩水、熔接痕、气泡、条纹、翘曲、分层以及脱皮。这样能够进一步保证密封元件10的密封性能。
需要说明的是，在通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯之前，对密封元件毛坯之前的原料的材质的缩水率进行考虑，由于密封元件在高温中使用，因此相应的提高原料的硬度，以保证经冷却处理后得到的密封元件的密封性能。在选择原料的材质是应该参照以下数据：
1)氟橡胶(FKM)的缩水率在3.4％-2.8％的范围内，邵氏A硬度在75-80的范围内；
2)全氟橡胶(FFKM)的缩水率在3.4％-2.8％的范围内，邵氏A硬度在75-80的范围内；
3)三元乙丙橡胶(EPDM)的缩水率在2.0％-1.8％的范围内，邵氏A硬度在75-80的范围内。
本申请还提供了一种密封元件，如图2所示，实施例一的密封元件根据上述的密封元件的加工方法得到，密封元件10为密封圈，在实施例一中，密封元件10包括密封本体11和设置在密封本体11上的多个凸出部12。由于密封元件的加工方法能够解决相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题，通过上述的密封元件的加工方法得到的实施例一的密封元件具有同样的效果。需要说明的是，相邻的两个凸出部12之间形成凹陷部13。
如图2所示，在实施例一中，两个凸出部12全部位于密封本体11的上方，密封本体11的下方为平面。这样，密封元件受到挤压变形的过程中，密封本体11的平面能够有效地支撑两个凸出部12，以使两个凸出部12变形效果更佳。
如图2所示，在实施例一中，密封元件10的截面形状为左右对称结构。这样一方面便于密封元件硫化成型，另一方面在密封元件10受到挤压的过程中，变形均匀。
在实施例一中，密封本体11的内表面和外表面均为弧形面，密封元件10的材质为氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶。这样，弧形面的设置使得密封本体11在保证其自身具有足够硬度外，具有良好的密封效果。此外，由于密封元件10的材质可以从氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶中选择任一种，使得密封元件能够针对不同工况，选用与该工况相匹配材质的密封元件10，使得密封元件能够达到更可靠的密封效果。
如图3所示，在本申请还提供的密封元件的实施例二中，与实施例一的区别在于密封元件10为上下对称结构和左右对称结构。在实施例二中，两个凸出部12位于密封本体11的上方，两个凸出部12位于密封本体11的下方。这样一方面便于密封元件硫化成型，另一方面在密封元件10受到挤压的过程中，变形均匀，进一步提高了密封元件的密封效果。
如图4所示，在本申请还提供的密封元件的实施例三中，与实施例二的区别在于凸出部的数量。在实施例三中，三个凸出部12位于密封本体11的上方，三个凸出部12位于密封本体11的下方。这样一方面便于密封元件硫化成型，另一方面在密封元件10受到挤压的过程中，变形均匀，使得密封元件的密封效果更佳。
当然，如图5至图6所示，在密封元件的实施例四和实施例五中，密封元件10为上下对称结构或者左右对称结构。这样一方面便于密封元件硫化成型，另一方面在密封元件10受到挤压的过程中，变形均匀。
如图5所示，在本申请还提供的密封元件的实施例四中，与实施例一的区别在于密封元件10包括元件内部14和元件外部15。在实施例四中，元件外部15包裹在元件内部14的外侧，元件内部14的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，元件外部15的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且元件内部14的材质不同于元件外部15的材质。这样一方面便于密封元件硫化成型，另一方面能够保证密封元件的硬度，提高了密封元件的使用寿命。此外，由于元件内部14和元件外部15可以从氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶中选择任一种，使得密封元件能够针对不同工况，选用与该工况相匹配材质的密封元件10，使得密封元件能够达到更可靠的密封效果。
如图6所示，在本申请提供的密封元件的实施例五中，与实施例二的区别在于密封元件10包括第一部分16和第二部分17。在实施例五中，第一部分16和第二部分17通过粘接或者焊接或者紧固件连接在一起。第一部分16和第二部分17的结构相同。分别对第一部分16和第二部分17进行硫化成型，使得第一部分16和第二部分17加工简单。第一部分16的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，第二部分17的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且第一部分16的材质不同于第二部分17的材质。这样，在保证密封元件的硬度的同时，提高了密封元件的使用寿命。此外，由于第一部分16和第二部分17可以从氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶中选择任一种，使得密封元件能够针对不同工况，选用与该工况相匹配材质的密封元件10，使得密封元件能够达到更可靠的密封效果。
本申请还提供了一种真空泵，真空泵包括泵体组件。泵体组件包括定子主体1、盖设在定子主体1上的盖体3以及位于定子主体1和盖体3之间的密封元件10，定子主体1上设置有密封槽4，密封元件10位于密封槽4内，密封元件为上述的密封元件。由于密封元件能够解决相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题，包括密封元件的真空泵具有同样的效果。密封元件在受到定子主体1和盖体3的挤压变形后，密封元件能够将密封槽4填充满，起到了良好的密封效果。
在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种密封元件的加工方法，其特征在于，包括：
通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，所述一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；
去除所述密封元件毛坯的毛边；
清洗去除毛边后的所述密封元件毛坯，得到清洗过的所述密封元件毛坯；
清洗过的所述密封元件毛坯通过所述平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；
对所述密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件(10)。
2.根据权利要求1所述的密封元件的加工方法，其特征在于，所述二次硫化成型步骤满足：硫化温度在200℃-260℃的范围内，硫化时间在4h-24h的范围内。
3.根据权利要求1所述的密封元件的加工方法，其特征在于，对所述密封元件中间件进行冷却处理的时间在1h-1.5h的范围内。
4.根据权利要求1所述的密封元件的加工方法，其特征在于，在得到所述密封元件(10)步骤之后还包括：
检测所述密封元件是否合格，合格的所述密封元件满足：所述密封元件(10)的邵氏A硬度在75-80的范围内，所述密封元件(10)的外观无缺胶、披风、气泡、缩水、熔接痕、气泡、条纹、翘曲、分层以及脱皮。
5.一种密封元件，其特征在于，所述密封元件根据权利要求1至4中任一项所述的密封元件的加工方法得到，所述密封元件(10)为密封圈，所述密封元件(10)包括密封本体(11)和设置在密封本体(11)上的多个凸出部(12)。
6.根据权利要求5所述的密封元件，其特征在于，所述密封元件(10)的截面形状为上下对称结构或者左右对称结构。
7.根据权利要求5所述的密封元件，其特征在于，所述密封本体(11)的内表面和外表面均为弧形面，所述密封元件(10)的材质为氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶。
8.根据权利要求5所述的密封元件，其特征在于，所述密封元件(10)包括元件内部(14)和元件外部(15)，所述元件外部(15)包裹在所述元件内部(14)的外侧，所述元件内部(14)的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，所述元件外部(15)的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且所述元件内部(14)的材质不同于所述元件外部(15)的材质。
9.根据权利要求5所述的密封元件，其特征在于，所述密封元件(10)包括第一部分(16)和第二部分(17)，所述第一部分(16)和所述第二部分(17)通过粘接或者焊接或者紧固件连接在一起；所述第一部分(16)和所述第二部分(17)的结构相同；所述第一部分(16)的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，所述第二部分(17)的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且所述第一部分(16)的材质不同于所述第二部分(17)的材质。
10.一种真空泵，包括泵体组件，其特征在于，所述泵体组件包括定子主体(1)、盖设在所述定子主体(1)上的盖体(3)以及位于所述定子主体(1)和所述盖体(3)之间的密封元件(10)，所述定子主体(1)上设置有密封槽(4)，所述密封元件(10)位于所述密封槽(4)内，所述密封元件为权利要求5至9中任一项所述的密封元件。
CN202010561901.3A 2020-06-18 2020-06-18 密封元件的加工方法、密封元件及真空泵 Pending CN111605107A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010561901.3A CN111605107A (zh) 2020-06-18 2020-06-18 密封元件的加工方法、密封元件及真空泵

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010561901.3A CN111605107A (zh) 2020-06-18 2020-06-18 密封元件的加工方法、密封元件及真空泵

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111605107A true CN111605107A (zh) 2020-09-01

Family

ID=72204283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010561901.3A Pending CN111605107A (zh) 2020-06-18 2020-06-18 密封元件的加工方法、密封元件及真空泵

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111605107A (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1277575A (zh) * 1997-10-27 2000-12-20 大金工业株式会社 全氟橡胶的叠层制品及其制法
CN103923402A (zh) * 2014-04-28 2014-07-16 吴启 铝电解电容器用橡胶封口塞的配方及其制造方法
EP3026303A1 (de) * 2014-11-28 2016-06-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe, vakuumzubehör und dichtung zu dessen abdichtung
CN110005816A (zh) * 2019-03-29 2019-07-12 清华大学 一种高压往复密封结构

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1277575A (zh) * 1997-10-27 2000-12-20 大金工业株式会社 全氟橡胶的叠层制品及其制法
CN103923402A (zh) * 2014-04-28 2014-07-16 吴启 铝电解电容器用橡胶封口塞的配方及其制造方法
EP3026303A1 (de) * 2014-11-28 2016-06-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe, vakuumzubehör und dichtung zu dessen abdichtung
CN110005816A (zh) * 2019-03-29 2019-07-12 清华大学 一种高压往复密封结构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111673954B (zh) 密封元件的加工方法、密封元件及真空泵
US9452264B2 (en) Mold for gasket for prefilled syringe
KR101888571B1 (ko) 휴대용 전자기기용 미들프레임의 제조방법 및 휴대용 전자기기용 미들프레임
KR101260574B1 (ko) 실재
US8888106B2 (en) Seal plate, seal member that is used in seal plate, and method for manufacturing the same
KR20190049840A (ko) 금속 수지 복합체 및 이의 제조방법 및 이의 용도
CN109252186B (zh) 电解槽用垫圈和电解槽
CA2873930C (en) Insulating frame with corner expansion joints for electrolysis cells
CN1320169C (zh) 密封垫制造方法及其所采用的压制模具结构
CN111605107A (zh) 密封元件的加工方法、密封元件及真空泵
KR101307103B1 (ko) 자동차용 헤드램프하우징 리크시험방법
TWI575112B (zh) 結合異質材料的金屬工件的陽極處理方法
JP2011006767A (ja) 電解槽用陰極ガスケット及びそれを含む電解槽
CN104440659A (zh) 一种吸盘以及制造方法
JP2001280504A (ja) ゴムガスケット構造およびその製造方法
KR20090072080A (ko) 엘시디(ｌｃｄ) 장비 씰용 대구경 오링 제조장치
JP2014206185A (ja) プレート一体ガスケットの製造方法
CN110603128B (zh) 具有密封性的复合成型品
KR102001559B1 (ko) 밀착력이 향상된 릴투릴 제조방법
JP4634069B2 (ja) フッ素樹脂被覆リング状シール材の製造方法
JP4275433B2 (ja) ゲート弁のシールプレートおよびシール材
JP2007137037A (ja) 電子部品付タイヤの製造方法
JP5697781B1 (ja) 弁体の製造方法
CN214898359U (zh) 一种应用于半导体湿法刻蚀设备中的托盘密封件
CN110682060A (zh) 大直径封头制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination