JP2016099236A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品の複数の側部の外観を、検出精度の低下を抑制して、検査する外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置１０は、複数の電子部品１１をそれぞれ保持する複数の支持部１６が取り付けられた回転体１７を、間欠的に回転して、電子部品１１を撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置し、撮像位置Ｐに配置された電子部品１１の側部１２を撮像手段１８で撮像し、撮像位置Ｑに配置された電子部品１１を、角度位置調整手段３１で、所定角度、回転させ、撮像手段１９で、電子部品１１の側部１３を撮像し、撮像位置Ｒに配置された電子部品１１を、角度位置調整手段３２で、所定角度、回転させ、撮像手段２０で、電子部品１１の側部１４を撮像し、撮像位置Ｓに配置された電子部品１１を、角度位置調整手段３３で、所定角度、回転させ、撮像手段２１で、電子部品１１の側部１５を撮像して、電子部品１１の側面１１、１２、１３、１４を外観検査する。【選択図】図１

Description

本発明は、電子部品の外観検査を行う外観検査装置に関する。

ベアチップやＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）を含む各種電子部品は、出荷前に、欠けや疵の有無等が検査される。この検査は、電子部品の外観を撮像した画像を基に行われ、その具体例が、特許文献１、２に記載されている。特許文献１、２には、電子部品の複数の側部を収めた画像を基に、電子部品の側部の外観を検査する発明が開示されている。

特開２０００−２８３７３２号公報 特開２００３−２５４７２６号公報

しかしながら、電子部品が大きい（例えば、側部の長さが１０ｍｍ以上）場合、電子部品の複数の側部を一つの画像に収めようとすると、１画素あたりの撮像範囲が大きくなって、検出精度が低下するという課題があった。
また、電子部品を保持する複数の支持部が、平面視して、所定ピッチで円状に取り付けられた回転体を有し、複数の電子部品の外観を、順次、検査する装置においては、回転体を回転させるモータ等の存在により、電子部品の複数の側部をそれぞれ同時に撮像可能な位置に、複数の撮像手段を設けるのは困難であった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、電子部品の複数の側部の外観を、検出精度の低下を抑制して、検査する外観検査装置を提供することを目的とする。

前記目的に沿う第１の発明に係る外観検査装置は、複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面視して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の側部Ａを撮像する撮像手段αと、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑと、前記角度位置調整手段ｑによって回転された前記電子部品の側部Ｂを、前記撮像位置Ｑで撮像する撮像手段βと、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒと、前記角度位置調整手段ｒによって回転された前記電子部品の側部Ｃを、前記撮像位置Ｒで撮像する撮像手段γと、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｓと、前記角度位置調整手段ｓによって回転された前記電子部品の側部Ｄを、前記撮像位置Ｓで撮像する撮像手段δとを備える。

第１の発明に係る外観検査装置において、前記撮像位置Ｑに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｑ’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｒ’と、前記撮像位置Ｓに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｓ’とを更に備え、前記角度位置調整手段ｑ、ｒ、ｓはそれぞれ、前記電子部品を固定して回転する保持部を有し、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｑの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｑの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｂが撮像され、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｒの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｒの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｃが撮像され、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｓの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｓの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｄが撮像されるのが好ましい。

第１の発明に係る外観検査装置において、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部を、前記撮像手段βの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｆと、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部を、前記撮像手段γの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｇと、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部を、前記撮像手段δの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｈとを更に備えるのが好ましい。

第１の発明に係る外観検査装置において、前記支持部は、前記電子部品の上面を吸着して保持するのが好ましい。

第１の発明に係る外観検査装置において、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部と共に回転し、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部と共に回転し、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部と共に回転するのが好ましい。

第１の発明に係る外観検査装置において、前記撮像手段αと前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段βと前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段γと前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段δと前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配されるのが好ましい。

前記目的に沿う第２の発明に係る外観検査装置は、複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の前記側部Ａを撮像する撮像手段αと、前記側部Ａが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｐで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｐ’’と、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品の前記側部Ｂを撮像する撮像手段βと、前記側部Ｂが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｑで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑ’’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品の前記側部Ｃを撮像する撮像手段γと、前記側部Ｃが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｒで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒ’’と、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品の前記側部Ｄを撮像する撮像手段δとを備える。

第２の発明に係る外観検査装置において、前記撮像位置Ｐに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｐ’と、前記撮像位置Ｑに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｑ’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｒ’とを更に備え、前記角度位置調整手段ｐ’’、ｑ’’、ｒ’’はそれぞれ、前記電子部品を固定して回転する保持部を有し、前記側部Ａが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｐで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｐ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｐ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｐ’’の該保持部の上方に持ち上げられ、前記側部Ｂが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｑで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｑ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｑ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｑ’’の該保持部の上方に持ち上げられ、前記側部Ｃが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｒで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｒ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｒ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｒ’’の該保持部の上方に持ち上げられるのが好ましい。

第２の発明に係る外観検査装置において、前記角度位置調整手段ｐ’’の前記保持部を、前記撮像手段αの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｅ’と、前記角度位置調整手段ｑ’’の前記保持部を、前記撮像手段βの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｆ’と、前記角度位置調整手段ｒ’’の前記保持部を、前記撮像手段γの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｇ’とを更に備えるのが好ましい。

第２の発明に係る外観検査装置において、前記支持部は、前記電子部品の上面を吸着して保持するのが好ましい。

第１、第２の発明に係る外観検査装置は、電子部品の複数の側部をそれぞれ別個の撮像手段で撮像するので、電子部品の複数の側部の外観を、検出精度の低下を抑制して、検査可能である。

本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。 同外観検査装置の角度位置調整手段及び撮像手段の側部図である。 同外観検査装置の角度位置調整手段及び撮像手段の斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、それぞれ、電子部品の撮像の様子を示す説明図である。 本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。 変形例に係る外観検査装置の説明図である。 同外観検査装置の角度位置調整手段及び撮像手段の斜視図である。

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１、図２に示すように、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置１０は、複数の電子部品１１をそれぞれ保持する複数の支持部１６が、平面視して、間隔を空け円状に取り付けられた回転体１７と、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５（それぞれ側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）をそれぞれ撮像する撮像手段１８、１９、２０、２１（それぞれ撮像手段α、β、γ、δ）とを備え、複数の電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５を外観検査する装置である。以下、詳細に説明する。

外観検査の対象である電子部品１１は、図１に示すように、板状の本体部２２と、電子部品１１の側部１５に設けられ、本体部２２の一側から突出した複数のリード線２３とを備えている。電子部品１１は、平面視して、側部１２、１３、１４、１５が、順に、反時計回りに配されている。
本実施の形態において、複数の電子部品１１は、チューブに格納された状態で所定の位置に配置され、チューブから取り出されて、順次、外観検査装置１０に供給される。

外観検査装置１０は、鉛直に配された出力軸２４（鉛直の回転軸の一例）が上方に突出したモータ２５と、中心に、出力軸２４が連結された円盤状の回転体１７とを備えている。モータ２５は、一回の作動で、回転体１７を、所定角度、時計回りに回動させる。従って、回転体１７は、モータ２５の間欠的な作動により、出力軸２４を中心に間欠的に回転する。

回転体１７には、図２に示すように、鉛直方向に長い複数のガイド２６が固定され、複数のガイド２６それぞれには、支持部１６が昇降可能に取り付けられている。各支持部１６は、回転体１７の周方向に所定のピッチで配され、図示しない弾性体によってそれぞれ上向きの力が加えられている。
本実施の形態では、各支持部１６が、真空圧によって電子部品１１の上面２７を吸着して保持する。

図１、図２に示すように、回転体１７の外周部の上方には、所定間隔で、図示しない支持部材によって複数の昇降手段２８が固定されている。各昇降手段２８は、固定されているため、回転体１７の回転に伴い移動することはない。複数の支持部１６は、回転体１７が一時停止した状態で、複数の昇降手段２８の直下にそれぞれ位置し、各支持部１６は、モータ２５が一回作動することによって、回転体１７の回転方向下流側にある昇降手段２８の直下に送られる。

各昇降手段２８は、直下に配置された支持部１６を下方に押して、支持部１６を降下させることができ、支持部１６の高さ位置を調整可能である。各支持部１６は、昇降手段２８から下向きの力が与えられていない状態で、弾性体から与えられる上向きの力により、上限位置に配される。
本実施の形態では、昇降手段２８が、サーボモータを有している。

チューブから取り出された電子部品１１の上方には、回転体１７が一時停止した状態で、一の支持部１６が配され、その支持部１６は、昇降手段２８の作動により、電子部品１１の上面２７に接触する高さまで降下し、真空圧によって、電子部品１１を吸着して保持する。
電子部品１１を保持した支持部１６は、昇降手段２８が再び作動することによって、上限位置まで上昇し、モータ２５の作動により、回転体１７の回転方向下流側に、昇降手段２８の配置ピッチ分、移動する。
以下、支持部１６が電子部品１１を取得する位置を、「取得位置」とも言う。

取得位置の回転体１７の回転方向下流側には、図１に示すように、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５が撮像される撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓが設けられている。なお、図１（図５についても同じ）では、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓをそれぞれ、Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓとして記している。
撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓは、回転体１７の回転方向下流側に向かって、順に、設けられ、回転体１７は、出力軸２４を中心に間欠的に回転して、複数の支持部１６と共に、各支持部１６に保持された電子部品１１を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する。

撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓそれぞれには、一次停止した支持部１６の直下に、電子部品１１を、所定角度（本実施の形態では、９０度）、回転させる角度位置調整手段３０、３１、３２、３３が配されている。本実施の形態では、角度位置調整手段３１、３２、３３が、それぞれ角度位置調整手段ｑ、ｒ、ｓに該当する。

角度位置調整手段３２（角度位置調整手段３０、３１、３３についても同じ）は、図２、図３に示すように、ベース台３４に、スライド機構３５を介して取り付けられている。角度位置調整手段３２は、電子部品１１が固定される保持部３６と、保持部３６を鉛直の回転軸３７を基準にして、時計回りに回転させるモータ３８を備えている。
スライド機構３５は、駆動源、ボールねじ及びガイドを有する周知の構造を備えて、角度位置調整手段３２を、水平方向に進退させる。本実施の形態では、角度位置調整手段３１、３２、３３それぞれに取り付けられたスライド機構３５が、それぞれ、スライド機構Ｆ、Ｇ、Ｈに該当する。

平面視して円形の保持部３６には、上側に、電子部品１１を収める溝３９が形成されている。溝３９は、平面視して保持部３６の中央から一側に向かって設けられ、保持部３６の平面視して一側は、上半分が、溝３９によって開口されている。電子部品１１は、図４（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、保持部３６の開口された一側に複数のリード線２３を配した状態で、溝３９に嵌入される。
回転軸３７は、図２、図３に示すように、保持部３６の下側中央に連結され、保持部３６は、保持部３６の中心を基準にして回転する。

角度位置調整手段３２が取り付けられたベース台３４には、撮像手段２０が固定され、撮像手段２０の撮像中心は、平面視して、角度位置調整手段３２の保持部３６の中心、かつ、側面視して、角度位置調整手段３２の保持部３６の上方に向けられている。本実施の形態では、撮像手段２０と撮像位置Ｒに配置された電子部品１１と回転体１７の回転中心とは、図１に示すように、順に、平面視して、直線上に配されている。角度位置調整手段３２に取り付けられたスライド機構３５は、角度位置調整手段３２（角度位置調整手段３２の保持部３６）を、撮像手段２０の撮像経路に沿って進退させる。

平面視して、撮像手段を、撮像位置Ｒに配置された電子部品と回転体の回転中心の間に配置して、電子部品の側面を撮像できるように、回転体の径を大きくすることも可能であるが、その場合、単位時間に検査できる電子部品の数が減少することとなる。これは、回転体の径を大きくすると、回転モーメントが大きくなり、回転体が回転を開始する際や、回転体を一時停止する際の動作を遅くする必要性が生じるためである。

角度位置調整手段３０、撮像手段１８、撮像位置Ｐに配置された電子部品１１、角度位置調整手段３０に取り付けられたスライド機構３５及び回転体１７の位置関係と、角度位置調整手段３１、撮像手段１９、撮像位置Ｑに配置された電子部品１１、角度位置調整手段３１に取り付けられたスライド機構３５及び回転体１７の位置関係と、角度位置調整手段３３、撮像手段２１、撮像位置Ｓに配置された電子部品１１、角度位置調整手段３３に取り付けられたスライド機構３５及び回転体１７の位置関係は、それぞれ、角度位置調整手段３２、撮像手段２０、撮像位置Ｒに配置された電子部品１１及び回転体１７の位置関係と同じである。

支持部１６に保持されて、撮像位置Ｐに搬送された電子部品１１は、図５に示すように、平面視して、側部１５が、撮像手段１８に対向して配置されている。このとき、支持部１６は、図４（Ａ）に示すように、上限位置に配されている。なお、図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）には、撮像手段１８から見た電子部品１１及び保持部３６の様子が描かれている。
その後、電子部品１１は、支持部１６の上方に設けられた昇降手段２８の作動により、支持部１６と共に降下し、図４（Ｂ）に示すように、角度位置調整手段３０の保持部３６の溝３９内に嵌入されて、角度位置調整手段３０の保持部３６に固定された状態となる。
本実施の形態では、支持部１６が、真空破壊、あるいは、大気開放によって、支持部１６による電子部品１１の保持状態を解除して、電子部品１１を保持部３６に受け渡し、昇降手段２８の作動により、支持部１６は、電子部品１１の上方に上昇する。

次に、電子部品１１は、角度位置調整手段３０のモータ３８の駆動により、図４（Ｃ）に示すように、角度位置調整手段３０の保持部３６と共に、時計回りに９０度、回転する。即ち、撮像位置Ｐに配置された電子部品１１は、支持部１６から解放され、支持部１６から離れた状態で回転する。これにより、撮像位置Ｐにおいて、電子部品１１は、図１に示すように、側部１２が、撮像手段１８に対向配置される。

そして、昇降手段２８が作動して、電子部品１１は、図４（Ｄ）に示すように、支持部１６によって、角度位置調整手段３０の保持部３６から上方に持ち上げられて、側部１２全体が、撮像手段１８から撮像可能な状態となり、側部１２全体が撮像手段１８によって撮像される。即ち、撮像手段１８は、撮像位置Ｐに配置された電子部品１１の側部１２を撮像する。

角度位置調整手段３２が取り付けられたベース台３４には、図２、図３に示すように、角度位置調整手段３２の保持部３６の上方に配された電子部品１１を照らす同軸照明４０及びボックス照明４１が固定されている。同軸照明４０及びボックス照明４１は、角度位置調整手段３０が取り付けられたベース台３４、角度位置調整手段３１が取り付けられたベース台３４及び角度位置調整手段３３が取り付けられたベース台３４にもそれぞれ取り付けられている。

側部１２が撮像された電子部品１１は、回転体１７の所定角度の回転により、撮像位置Ｐから撮像位置Ｑに搬送され、撮像位置Ｑにおいて側部１３が撮像手段１９により撮像された後、撮像位置Ｒに搬送されて側部１４が撮像手段２０により撮像され、次に、撮像位置Ｓに搬送されて側部１５が撮像手段２１により撮像される。
撮像位置Ｑにおける電子部品１１の側部１３の撮像、撮像位置Ｒにおける電子部品１１の側部１４の撮像、及び、撮像位置Ｓにおける電子部品１１の側部１５の撮像は、撮像位置Ｐで電子部品１１の側部１２が撮像されたのと同じ手順でそれぞれ行われる。

即ち、撮像位置Ｑに配置された支持部１６の上方には、撮像位置Ｑに配置された支持部１６を昇降する昇降手段２８（昇降手段ｑ’）があり、撮像位置Ｒに配置された支持部１６の上方には、撮像位置Ｒに配置された支持部１６を昇降する昇降手段２８（昇降手段ｒ’）があり、撮像位置Ｓに配置された支持部１６の上方には、撮像位置Ｓに配置された支持部１６を昇降する昇降手段２８（昇降手段ｓ’）がある。
そして、撮像位置Ｑに配置された電子部品１１は、撮像位置Ｑにおいて、昇降手段２８（昇降手段ｑ’）の作動に伴い、支持部１６と共に降下して、角度位置調整手段３１の保持部３６に固定された状態となり、角度位置調整手段３１の保持部３６と共に、９０度、時計回りに回転した後、支持部１６によって、角度位置調整手段３１の保持部３６から上方に持ち上げられ、側部１３全体が、撮像手段１９により撮像される。

撮像位置Ｒに配置された電子部品１１は、撮像位置Ｒにおいて、昇降手段２８（昇降手段ｒ’）の作動に伴い、支持部１６と共に降下して、角度位置調整手段３２の保持部３６に固定された状態となり、角度位置調整手段３２の保持部３６と共に、９０度、時計回りに回転した後、支持部１６によって、角度位置調整手段３２の保持部３６から上方に持ち上げられ、側部１４全体が、撮像手段２０により撮像される。そして、撮像位置Ｓに配置された電子部品１１は、撮像位置Ｓにおいて、昇降手段２８（昇降手段ｓ’）の作動に伴い、支持部１６と共に降下して、角度位置調整手段３３の保持部３６に固定された状態となり、角度位置調整手段３３の保持部３６と共に、９０度、時計回りに回転した後、支持部１６によって、角度位置調整手段３３の保持部３６から上方に持ち上げられ、側部１５全体が、撮像手段２０により撮像される。

側部１２、１３、１４、１５の撮像が完了した電子部品１１は、側部１２、１３、１４、１５を撮像した画像を用いて欠けや疵の有無等が検査され、その検査結果等を基に、製品レベルが判定される。良品と判定された電子部品１１は、良品と判定されなかった電子部品１１と分けられ、撮像位置Ｓの下流側で、支持部１６から解放されて、チューブ、あるいは、テープに格納される。なお、電子部品１１は、チューブやテープに格納される代わりに、ウェハに貼り付けることもできる。

このように、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５はそれぞれ、撮像手段１８、１９、２０、２１によって、撮像されるので、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５の外観検査を、高精度に、行うことができる。また、撮像手段１８、１９、２０、２１に比べ、画素数が多い撮像手段を用いて、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５の複数を１つの画像に収めて外観検査を行う場合に比べ、外観検査装置の製造コストを抑制可能である。

また、支持部１６とは別に、電子部品１１を回転させる角度位置調整手段３０、３１、３２、３３を設けているため、支持部を回転可能に設計して、電子部品１１を支持部の回転動作により、各撮像位置で回転させる場合に比べ、安定的に、電子部品１１を回転させることができる。
更に、支持部１６は電子部品１１の上面２７を吸着保持するものであり、かつ、角度位置調整手段３０、３１、３２、３３それぞれの保持部３６に、電子部品１１が嵌入される溝３９が形成されていることから、支持部１６と角度位置調整手段３０、３１、３２、３３それぞれとの電子部品１１の受け渡しを円滑に行うことができる。
そして、支持部１６を昇降可能に設計しているため、角度位置調整手段それぞれの保持部を昇降可能に設計するのに比べ、外観検査装置を簡素な構造にすることができる。

ここで、角度位置調整手段３０を進退させるスライド機構３５は、角度位置調整手段３０を、角度位置調整手段３０の保持部３６に固定された電子部品１１と共に、撮像手段１８の撮像方向に沿って進退させることができる。角度位置調整手段３０は、角度位置調整手段３０と共に進退した電子部品１１が、再び、支持部１６によって、吸着保持される範囲で進退することになる。これにより、撮像手段１８は単焦点のカメラであるが、撮像手段１８と電子部品１１の距離を調整して、電子部品１１の撮像手段１８によって撮像される側部１２を、撮像手段１８の焦点に配置して撮像することが可能である。これは、角度位置調整手段３１を進退させるスライド機構３５、角度位置調整手段３２を進退させるスライド機構３５及び角度位置調整手段３３を進退させるスライド機構３５についても同じである。

なお、撮像位置Ｐに、必ずしも、角度位置調整手段３０を設ける必要はない。また、角度位置調整手段の全体が進退する代わりに、角度位置調整手段の保持部のみが進退するように、設計してもよい。撮像位置Ｐに角度位置調整手段３０を設けない場合、電子部品１１が撮像位置Ｐに搬送される前に、電子部品１１の側部１２を、平面視して、回転体１７の径方向外側に配置する機構を設けることで、撮像手段１８は、撮像位置Ｐに配された電子部品１１の側部１２を撮像可能である。

ここまで、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにおいて、電子部品１１を回動させた後に、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５をそれぞれ撮像する外観検査装置１０を説明したが、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒにおいて、電子部品１１の側部１２、１３、１４をそれぞれ撮像した後に、電子部品１１を回動させてもよい。
以下、外観検査装置１０の変形例であり、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒにおいて、電子部品１１の側部１２、１３、１４をそれぞれ撮像した後に、電子部品１１を回動させる図６に示す外観検査装置５０について説明する。なお、外観検査装置１０と同じ構成については、外観検査装置１０と同じ符号を付して詳しい説明は省略する。

外観検査装置５０は、図６、図７に示すように、電子部品１１を、所定角度（本実施の形態では９０度）、回転させる角度位置調整手段５１、５２、５３、５４（角度位置調整手段５１、５２、５３は、それぞれ角度位置調整手段ｐ’’、ｑ’’、ｒ’’に該当する）を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにそれぞれ備えている。更に、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒに配置された支持部１６をそれぞれ昇降する昇降手段２８（昇降手段ｐ’、ｑ’、ｒ’）を備えている。
角度位置調整手段５１は、図７に示すように、角度位置調整手段５１を水平方向に進退させるスライド機構５５（スライド機構Ｅ’）を介して、ベース台３４に取り付けられている。

角度位置調整手段５２、５３、５４も、角度位置調整手段５２、５３、５４をそれぞれ水平方向に進退させるスライド機構５５を介して、それぞれベース台３４に固定されている。角度位置調整手段５２を進退させるスライド機構５５及び角度位置調整手段５３を進退させるスライド機構５５は、それぞれスライド機構Ｆ’、Ｇ’に該当する。
その他、角度位置調整手段５１、５２、５３、５４それぞれの配置及び構成は、外観検査装置１０の角度位置調整手段３０、３１、３２、３３と同じであるので、詳細な説明は省略する。

支持部１６が外部から取得した電子部品１１は、図６に示すように、側部１２が回転体１７の半径方向外側に配された状態で、支持部１６によって保持される。そして、電子部品１１は、回転体１７の時計回りの所定角度の回転により、撮像位置Ｐに送られ、側部１２が、撮像手段１８によって撮像される。その後、電子部品１１は、支持部１６と共に降下し、支持部１６から角度位置調整手段５１の保持部３６に受け渡されて、角度位置調整手段５１の保持部３６に固定された状態となり、支持部１６は、電子部品１１を角度位置調整手段５１の保持部３６に受け渡し、上昇する。

次に、電子部品１１は、角度位置調整手段５１の保持部３６と共に、回転軸３７を基準にして（回転軸３７を中心に）、９０度、時計回りに回転し、降下した支持部１６により吸着保持され、支持部１６によって、角度位置調整手段５１の保持部３６の上方に持ち上げられる。従って、角度位置調整手段５１は、側部１２が撮像された電子部品１１を、撮像位置Ｐで、所定角度回転させることになる。
その後、回転体１７が時計回りに所定角度、回転することによって、電子部品１１は、撮像位置Ｑに搬送され、側部１３が、撮像手段１９によって撮像された後、撮像位置Ｑで、角度位置調整手段５２が、電子部品１１を、９０度、時計回りに回転させる。

そして、回転体１７が、再び、反時計回りに所定角度、回転することによって、電子部品１１は、撮像位置Ｒに搬送され、側部１４が、撮像手段２０によって撮像され、撮像位置Ｒで、角度位置調整手段５３が、電子部品１１を、９０度、時計回りに回転させる。その後、回転体１７が、再度、時計回りに所定角度、回転することによって、電子部品１１は、撮像位置Ｓに搬送され、側部１５が、撮像手段２１によって撮像される。次に、電子部品１１は、撮像位置Ｓで回転されることなく、回転体１７の回転によって、回転体１７の回転方向下流側に送られ、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５を撮像した各画像を用いて電子部品１１の外観検査が行われる。

撮像位置Ｑにおける支持部１６、撮像手段１９及び角度位置調整手段５２の各動作の関係と、撮像位置Ｒおける支持部１６、撮像手段２０及び角度位置調整手段５３の各動作の関係は、撮像位置Ｐにおける支持部１６、撮像手段１８及び角度位置調整手段５１の各動作の関係と同じである。撮像位置Ｓにおける支持部１６、撮像手段２１及び角度位置調整手段５４の各動作の関係は、撮像位置Ｓで電子部品１１が回転されない点を除き、撮像位置Ｐにおける支持部１６、撮像手段１８及び角度位置調整手段５１の各動作の関係と、基本的に同じである。

また、角度位置調整手段５１に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５１（即ち、角度位置調整手段５１の保持部３６）を、撮像手段１８の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段１８の焦点に、電子部品１１の側部１２を配置可能である。
これは、角度位置調整手段５２、５３、５４それぞれに取り付けられたスライド機構５５についても同様であり、角度位置調整手段５２に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５２（即ち、角度位置調整手段５２の保持部３６）を、撮像手段１９の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段１９の焦点に、電子部品１１の側部１３を配置可能である。

角度位置調整手段５３に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５３（即ち、角度位置調整手段５３の保持部３６）を、撮像手段２０の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段２０の焦点に、電子部品１１の側部１４を配置可能である。角度位置調整手段５４に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５４（即ち、角度位置調整手段５４の保持部３６）を、撮像手段２１の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段２１の焦点に、電子部品１１の側部１５を配置可能である。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、電子部品の形状に特に制限はなく、リード線を備えたものでなくてもよく、保持部の溝は、電子部品の形状に応じた形状に形成させる。
また、電子部品は、外観検査装置に対して、チューブから取り出されて供給される必要はなく、テープから取り出されて供給されてもよいし、トレイから取り出されて供給されてもよい。あるいは、ボールフィーダによって電子部品を外観検査装置に供給することや、電子部品をウェハから取り外し、直接、外観検査装置に供給することも可能である。

そして、支持部は真空圧で電子部品を吸着して保持するものに限定されず、例えば、電子部品を把持して保持するものであってもよい。
更に、プリズムや、ミラーを用いて、電子部品の側部で反射した光の進行方向を曲げて、撮像手段が電子部品の側部を撮像できるようにしてもよい。
また、回転体は円盤状に限定されないのは言うまでもなく、回転体の回転する向きや、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにおける電子部品の回転方向は、反時計回りであってもよい。

１０：外観検査装置、１１：電子部品、１２、１３、１４、１５：側部、１６：支持部、１７：回転体、１８、１９、２０、２１：撮像手段、２２：本体部、２３：リード線、２４：出力軸、２５：モータ、２６：ガイド、２７：上面、２８：昇降手段、３０、３１、３２、３３：角度位置調整手段、３４：ベース台、３５：スライド機構、３６：保持部、３７：回転軸、３８：モータ、３９：溝、４０：同軸照明、４１：ボックス照明、５０：外観検査装置、５１、５２、５３、５４：角度位置調整手段、５５：スライド機構

本発明は、電子部品の外観検査を行う外観検査装置に関する。

ベアチップやＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）を含む各種電子部品は、出荷前に、欠けや疵の有無等が検査される。この検査は、電子部品の外観を撮像した画像を基に行われ、その具体例が、特許文献１、２に記載されている。特許文献１、２には、電子部品の複数の側部を収めた画像を基に、電子部品の側部の外観を検査する発明が開示されている。

特開２０００−２８３７３２号公報 特開２００３−２５４７２６号公報

しかしながら、電子部品が大きい（例えば、側部の長さが１０ｍｍ以上）場合、電子部品の複数の側部を一つの画像に収めようとすると、１画素あたりの撮像範囲が大きくなって、検出精度が低下するという課題があった。
また、電子部品を保持する複数の支持部が、平面視して、所定ピッチで円状に取り付けられた回転体を有し、複数の電子部品の外観を、順次、検査する装置においては、回転体を回転させるモータ等の存在により、電子部品の複数の側部をそれぞれ同時に撮像可能な位置に、複数の撮像手段を設けるのは困難であった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、電子部品の複数の側部の外観を、検出精度の低下を抑制して、検査する外観検査装置を提供することを目的とする。

前記目的に沿う第１の発明に係る外観検査装置は、複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面視して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の側部Ａを撮像する撮像手段αと、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑと、前記角度位置調整手段ｑによって回転された前記電子部品の側部Ｂを、前記撮像位置Ｑで撮像する撮像手段βと、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒと、前記角度位置調整手段ｒによって回転された前記電子部品の側部Ｃを、前記撮像位置Ｒで撮像する撮像手段γと、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｓと、前記角度位置調整手段ｓによって回転された前記電子部品の側部Ｄを、前記撮像位置Ｓで撮像する撮像手段δとを備え、前記角度位置調整手段ｑは、前記撮像手段βが固定されたベース台に取り付けられ、前記角度位置調整手段ｒは、前記撮像手段γが固定されたベース台に取り付けられ、前記角度位置調整手段ｓは、前記撮像手段δが固定されたベース台に取り付けられる。

前記目的に沿う第２の発明に係る外観検査装置は、複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面視して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の側部Ａを撮像する撮像手段αと、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑと、前記角度位置調整手段ｑによって回転された前記電子部品の側部Ｂを、前記撮像位置Ｑで撮像する撮像手段βと、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒと、前記角度位置調整手段ｒによって回転された前記電子部品の側部Ｃを、前記撮像位置Ｒで撮像する撮像手段γと、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｓと、前記角度位置調整手段ｓによって回転された前記電子部品の側部Ｄを、前記撮像位置Ｓで撮像する撮像手段δと、前記撮像位置Ｑに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｑ’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｒ’と、前記撮像位置Ｓに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｓ’とを備え、前記角度位置調整手段ｑ、ｒ、ｓはそれぞれ、前記電子部品を固定して回転する保持部を有し、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｑの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｑの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｂが撮像され、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｒの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｒの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｃが撮像され、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｓの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｓの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｄが撮像される。

第２の発明に係る外観検査装置において、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部を、前記撮像手段βの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｆと、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部を、前記撮像手段γの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｇと、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部を、前記撮像手段δの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｈとを更に備えるのが好ましい。

第２の発明に係る外観検査装置において、前記支持部は、前記電子部品の上面を吸着して保持するのが好ましい。

第２の発明に係る外観検査装置において、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部と共に回転し、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部と共に回転し、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部と共に回転するのが好ましい。

第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記撮像手段αと前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段βと前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段γと前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段δと前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配されるのが好ましい。

前記目的に沿う第３の発明に係る外観検査装置は、複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の前記側部Ａを撮像する撮像手段αと、前記側部Ａが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｐで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｐ’’と、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品の前記側部Ｂを撮像する撮像手段βと、前記側部Ｂが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｑで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑ’’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品の前記側部Ｃを撮像する撮像手段γと、前記側部Ｃが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｒで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒ’’と、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品の前記側部Ｄを撮像する撮像手段δとを備え、前記角度位置調整手段ｐ’’は、前記撮像手段αが固定されたベース台に取り付けられ、前記角度位置調整手段ｑ’’は、前記撮像手段βが固定されたベース台に取り付けられ、前記角度位置調整手段ｒ’’は、前記撮像手段γが固定されたベース台に取り付けられる。

前記目的に沿う第４の発明に係る外観検査装置は、複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の前記側部Ａを撮像する撮像手段αと、前記側部Ａが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｐで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｐ’’と、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品の前記側部Ｂを撮像する撮像手段βと、前記側部Ｂが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｑで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑ’’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品の前記側部Ｃを撮像する撮像手段γと、前記側部Ｃが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｒで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒ’’と、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品の前記側部Ｄを撮像する撮像手段δと、前記撮像位置Ｐに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｐ’と、前記撮像位置Ｑに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｑ’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｒ’とを備え、前記角度位置調整手段ｐ’’、ｑ’’、ｒ’’はそれぞれ、前記電子部品を固定して回転する保持部を有し、前記側部Ａが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｐで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｐ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｐ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｐ’’の該保持部の上方に持ち上げられ、前記側部Ｂが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｑで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｑ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｑ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｑ’’の該保持部の上方に持ち上げられ、前記側部Ｃが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｒで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｒ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｒ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｒ’’の該保持部の上方に持ち上げられる。

第４の発明に係る外観検査装置において、前記角度位置調整手段ｐ’’の前記保持部を、前記撮像手段αの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｅ’と、前記角度位置調整手段ｑ’’の前記保持部を、前記撮像手段βの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｆ’と、前記角度位置調整手段ｒ’’の前記保持部を、前記撮像手段γの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｇ’とを更に備えるのが好ましい。

第４の発明に係る外観検査装置において、前記支持部は、前記電子部品の上面を吸着して保持するのが好ましい。

第１〜第４の発明に係る外観検査装置は、電子部品の複数の側部をそれぞれ別個の撮像手段で撮像するので、電子部品の複数の側部の外観を、検出精度の低下を抑制して、検査可能である。

本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。 同外観検査装置の角度位置調整手段及び撮像手段の側部図である。 同外観検査装置の角度位置調整手段及び撮像手段の斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、それぞれ、電子部品の撮像の様子を示す説明図である。 本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。 変形例に係る外観検査装置の説明図である。 同外観検査装置の角度位置調整手段及び撮像手段の斜視図である。

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１、図２に示すように、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置１０は、複数の電子部品１１をそれぞれ保持する複数の支持部１６が、平面視して、間隔を空け円状に取り付けられた回転体１７と、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５（それぞれ側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）をそれぞれ撮像する撮像手段１８、１９、２０、２１（それぞれ撮像手段α、β、γ、δ）とを備え、複数の電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５を外観検査する装置である。以下、詳細に説明する。

外観検査の対象である電子部品１１は、図１に示すように、板状の本体部２２と、電子部品１１の側部１５に設けられ、本体部２２の一側から突出した複数のリード線２３とを備えている。電子部品１１は、平面視して、側部１２、１３、１４、１５が、順に、反時計回りに配されている。
本実施の形態において、複数の電子部品１１は、チューブに格納された状態で所定の位置に配置され、チューブから取り出されて、順次、外観検査装置１０に供給される。

外観検査装置１０は、鉛直に配された出力軸２４（鉛直の回転軸の一例）が上方に突出したモータ２５と、中心に、出力軸２４が連結された円盤状の回転体１７とを備えている。モータ２５は、一回の作動で、回転体１７を、所定角度、時計回りに回動させる。従って、回転体１７は、モータ２５の間欠的な作動により、出力軸２４を中心に間欠的に回転する。

回転体１７には、図２に示すように、鉛直方向に長い複数のガイド２６が固定され、複数のガイド２６それぞれには、支持部１６が昇降可能に取り付けられている。各支持部１６は、回転体１７の周方向に所定のピッチで配され、図示しない弾性体によってそれぞれ上向きの力が加えられている。
本実施の形態では、各支持部１６が、真空圧によって電子部品１１の上面２７を吸着して保持する。

図１、図２に示すように、回転体１７の外周部の上方には、所定間隔で、図示しない支持部材によって複数の昇降手段２８が固定されている。各昇降手段２８は、固定されているため、回転体１７の回転に伴い移動することはない。複数の支持部１６は、回転体１７が一時停止した状態で、複数の昇降手段２８の直下にそれぞれ位置し、各支持部１６は、モータ２５が一回作動することによって、回転体１７の回転方向下流側にある昇降手段２８の直下に送られる。

各昇降手段２８は、直下に配置された支持部１６を下方に押して、支持部１６を降下させることができ、支持部１６の高さ位置を調整可能である。各支持部１６は、昇降手段２８から下向きの力が与えられていない状態で、弾性体から与えられる上向きの力により、上限位置に配される。
本実施の形態では、昇降手段２８が、サーボモータを有している。

チューブから取り出された電子部品１１の上方には、回転体１７が一時停止した状態で、一の支持部１６が配され、その支持部１６は、昇降手段２８の作動により、電子部品１１の上面２７に接触する高さまで降下し、真空圧によって、電子部品１１を吸着して保持する。
電子部品１１を保持した支持部１６は、昇降手段２８が再び作動することによって、上限位置まで上昇し、モータ２５の作動により、回転体１７の回転方向下流側に、昇降手段２８の配置ピッチ分、移動する。
以下、支持部１６が電子部品１１を取得する位置を、「取得位置」とも言う。

取得位置の回転体１７の回転方向下流側には、図１に示すように、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５が撮像される撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓが設けられている。なお、図１（図５についても同じ）では、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓをそれぞれ、Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓとして記している。
撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓは、回転体１７の回転方向下流側に向かって、順に、設けられ、回転体１７は、出力軸２４を中心に間欠的に回転して、複数の支持部１６と共に、各支持部１６に保持された電子部品１１を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する。

撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓそれぞれには、一次停止した支持部１６の直下に、電子部品１１を、所定角度（本実施の形態では、９０度）、回転させる角度位置調整手段３０、３１、３２、３３が配されている。本実施の形態では、角度位置調整手段３１、３２、３３が、それぞれ角度位置調整手段ｑ、ｒ、ｓに該当する。

角度位置調整手段３２（角度位置調整手段３０、３１、３３についても同じ）は、図２、図３に示すように、ベース台３４に、スライド機構３５を介して取り付けられている。角度位置調整手段３２は、電子部品１１が固定される保持部３６と、保持部３６を鉛直の回転軸３７を基準にして、時計回りに回転させるモータ３８を備えている。
スライド機構３５は、駆動源、ボールねじ及びガイドを有する周知の構造を備えて、角度位置調整手段３２を、水平方向に進退させる。本実施の形態では、角度位置調整手段３１、３２、３３それぞれに取り付けられたスライド機構３５が、それぞれ、スライド機構Ｆ、Ｇ、Ｈに該当する。

平面視して円形の保持部３６には、上側に、電子部品１１を収める溝３９が形成されている。溝３９は、平面視して保持部３６の中央から一側に向かって設けられ、保持部３６の平面視して一側は、上半分が、溝３９によって開口されている。電子部品１１は、図４（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、保持部３６の開口された一側に複数のリード線２３を配した状態で、溝３９に嵌入される。
回転軸３７は、図２、図３に示すように、保持部３６の下側中央に連結され、保持部３６は、保持部３６の中心を基準にして回転する。

角度位置調整手段３２が取り付けられたベース台３４には、撮像手段２０が固定され、撮像手段２０の撮像中心は、平面視して、角度位置調整手段３２の保持部３６の中心、かつ、側面視して、角度位置調整手段３２の保持部３６の上方に向けられている。本実施の形態では、撮像手段２０と撮像位置Ｒに配置された電子部品１１と回転体１７の回転中心とは、図１に示すように、順に、平面視して、直線上に配されている。角度位置調整手段３２に取り付けられたスライド機構３５は、角度位置調整手段３２（角度位置調整手段３２の保持部３６）を、撮像手段２０の撮像経路に沿って進退させる。

平面視して、撮像手段を、撮像位置Ｒに配置された電子部品と回転体の回転中心の間に配置して、電子部品の側面を撮像できるように、回転体の径を大きくすることも可能であるが、その場合、単位時間に検査できる電子部品の数が減少することとなる。これは、回転体の径を大きくすると、回転モーメントが大きくなり、回転体が回転を開始する際や、回転体を一時停止する際の動作を遅くする必要性が生じるためである。

角度位置調整手段３０、撮像手段１８、撮像位置Ｐに配置された電子部品１１、角度位置調整手段３０に取り付けられたスライド機構３５及び回転体１７の位置関係と、角度位置調整手段３１、撮像手段１９、撮像位置Ｑに配置された電子部品１１、角度位置調整手段３１に取り付けられたスライド機構３５及び回転体１７の位置関係と、角度位置調整手段３３、撮像手段２１、撮像位置Ｓに配置された電子部品１１、角度位置調整手段３３に取り付けられたスライド機構３５及び回転体１７の位置関係は、それぞれ、角度位置調整手段３２、撮像手段２０、撮像位置Ｒに配置された電子部品１１及び回転体１７の位置関係と同じである。

支持部１６に保持されて、撮像位置Ｐに搬送された電子部品１１は、図５に示すように、平面視して、側部１５が、撮像手段１８に対向して配置されている。このとき、支持部１６は、図４（Ａ）に示すように、上限位置に配されている。なお、図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）には、撮像手段１８から見た電子部品１１及び保持部３６の様子が描かれている。
その後、電子部品１１は、支持部１６の上方に設けられた昇降手段２８の作動により、支持部１６と共に降下し、図４（Ｂ）に示すように、角度位置調整手段３０の保持部３６の溝３９内に嵌入されて、角度位置調整手段３０の保持部３６に固定された状態となる。
本実施の形態では、支持部１６が、真空破壊、あるいは、大気開放によって、支持部１６による電子部品１１の保持状態を解除して、電子部品１１を保持部３６に受け渡し、昇降手段２８の作動により、支持部１６は、電子部品１１の上方に上昇する。

次に、電子部品１１は、角度位置調整手段３０のモータ３８の駆動により、図４（Ｃ）に示すように、角度位置調整手段３０の保持部３６と共に、時計回りに９０度、回転する。即ち、撮像位置Ｐに配置された電子部品１１は、支持部１６から解放され、支持部１６から離れた状態で回転する。これにより、撮像位置Ｐにおいて、電子部品１１は、図１に示すように、側部１２が、撮像手段１８に対向配置される。

そして、昇降手段２８が作動して、電子部品１１は、図４（Ｄ）に示すように、支持部１６によって、角度位置調整手段３０の保持部３６から上方に持ち上げられて、側部１２全体が、撮像手段１８から撮像可能な状態となり、側部１２全体が撮像手段１８によって撮像される。即ち、撮像手段１８は、撮像位置Ｐに配置された電子部品１１の側部１２を撮像する。

角度位置調整手段３２が取り付けられたベース台３４には、図２、図３に示すように、角度位置調整手段３２の保持部３６の上方に配された電子部品１１を照らす同軸照明４０及びボックス照明４１が固定されている。同軸照明４０及びボックス照明４１は、角度位置調整手段３０が取り付けられたベース台３４、角度位置調整手段３１が取り付けられたベース台３４及び角度位置調整手段３３が取り付けられたベース台３４にもそれぞれ取り付けられている。

側部１２が撮像された電子部品１１は、回転体１７の所定角度の回転により、撮像位置Ｐから撮像位置Ｑに搬送され、撮像位置Ｑにおいて側部１３が撮像手段１９により撮像された後、撮像位置Ｒに搬送されて側部１４が撮像手段２０により撮像され、次に、撮像位置Ｓに搬送されて側部１５が撮像手段２１により撮像される。
撮像位置Ｑにおける電子部品１１の側部１３の撮像、撮像位置Ｒにおける電子部品１１の側部１４の撮像、及び、撮像位置Ｓにおける電子部品１１の側部１５の撮像は、撮像位置Ｐで電子部品１１の側部１２が撮像されたのと同じ手順でそれぞれ行われる。

即ち、撮像位置Ｑに配置された支持部１６の上方には、撮像位置Ｑに配置された支持部１６を昇降する昇降手段２８（昇降手段ｑ’）があり、撮像位置Ｒに配置された支持部１６の上方には、撮像位置Ｒに配置された支持部１６を昇降する昇降手段２８（昇降手段ｒ’）があり、撮像位置Ｓに配置された支持部１６の上方には、撮像位置Ｓに配置された支持部１６を昇降する昇降手段２８（昇降手段ｓ’）がある。
そして、撮像位置Ｑに配置された電子部品１１は、撮像位置Ｑにおいて、昇降手段２８（昇降手段ｑ’）の作動に伴い、支持部１６と共に降下して、角度位置調整手段３１の保持部３６に固定された状態となり、角度位置調整手段３１の保持部３６と共に、９０度、時計回りに回転した後、支持部１６によって、角度位置調整手段３１の保持部３６から上方に持ち上げられ、側部１３全体が、撮像手段１９により撮像される。

撮像位置Ｒに配置された電子部品１１は、撮像位置Ｒにおいて、昇降手段２８（昇降手段ｒ’）の作動に伴い、支持部１６と共に降下して、角度位置調整手段３２の保持部３６に固定された状態となり、角度位置調整手段３２の保持部３６と共に、９０度、時計回りに回転した後、支持部１６によって、角度位置調整手段３２の保持部３６から上方に持ち上げられ、側部１４全体が、撮像手段２０により撮像される。そして、撮像位置Ｓに配置された電子部品１１は、撮像位置Ｓにおいて、昇降手段２８（昇降手段ｓ’）の作動に伴い、支持部１６と共に降下して、角度位置調整手段３３の保持部３６に固定された状態となり、角度位置調整手段３３の保持部３６と共に、９０度、時計回りに回転した後、支持部１６によって、角度位置調整手段３３の保持部３６から上方に持ち上げられ、側部１５全体が、撮像手段２０により撮像される。

側部１２、１３、１４、１５の撮像が完了した電子部品１１は、側部１２、１３、１４、１５を撮像した画像を用いて欠けや疵の有無等が検査され、その検査結果等を基に、製品レベルが判定される。良品と判定された電子部品１１は、良品と判定されなかった電子部品１１と分けられ、撮像位置Ｓの下流側で、支持部１６から解放されて、チューブ、あるいは、テープに格納される。なお、電子部品１１は、チューブやテープに格納される代わりに、ウェハに貼り付けることもできる。

このように、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５はそれぞれ、撮像手段１８、１９、２０、２１によって、撮像されるので、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５の外観検査を、高精度に、行うことができる。また、撮像手段１８、１９、２０、２１に比べ、画素数が多い撮像手段を用いて、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５の複数を１つの画像に収めて外観検査を行う場合に比べ、外観検査装置の製造コストを抑制可能である。

また、支持部１６とは別に、電子部品１１を回転させる角度位置調整手段３０、３１、３２、３３を設けているため、支持部を回転可能に設計して、電子部品１１を支持部の回転動作により、各撮像位置で回転させる場合に比べ、安定的に、電子部品１１を回転させることができる。
更に、支持部１６は電子部品１１の上面２７を吸着保持するものであり、かつ、角度位置調整手段３０、３１、３２、３３それぞれの保持部３６に、電子部品１１が嵌入される溝３９が形成されていることから、支持部１６と角度位置調整手段３０、３１、３２、３３それぞれとの電子部品１１の受け渡しを円滑に行うことができる。
そして、支持部１６を昇降可能に設計しているため、角度位置調整手段それぞれの保持部を昇降可能に設計するのに比べ、外観検査装置を簡素な構造にすることができる。

ここで、角度位置調整手段３０を進退させるスライド機構３５は、角度位置調整手段３０を、角度位置調整手段３０の保持部３６に固定された電子部品１１と共に、撮像手段１８の撮像方向に沿って進退させることができる。角度位置調整手段３０は、角度位置調整手段３０と共に進退した電子部品１１が、再び、支持部１６によって、吸着保持される範囲で進退することになる。これにより、撮像手段１８は単焦点のカメラであるが、撮像手段１８と電子部品１１の距離を調整して、電子部品１１の撮像手段１８によって撮像される側部１２を、撮像手段１８の焦点に配置して撮像することが可能である。これは、角度位置調整手段３１を進退させるスライド機構３５、角度位置調整手段３２を進退させるスライド機構３５及び角度位置調整手段３３を進退させるスライド機構３５についても同じである。

なお、撮像位置Ｐに、必ずしも、角度位置調整手段３０を設ける必要はない。また、角度位置調整手段の全体が進退する代わりに、角度位置調整手段の保持部のみが進退するように、設計してもよい。撮像位置Ｐに角度位置調整手段３０を設けない場合、電子部品１１が撮像位置Ｐに搬送される前に、電子部品１１の側部１２を、平面視して、回転体１７の径方向外側に配置する機構を設けることで、撮像手段１８は、撮像位置Ｐに配された電子部品１１の側部１２を撮像可能である。

ここまで、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにおいて、電子部品１１を回動させた後に、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５をそれぞれ撮像する外観検査装置１０を説明したが、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒにおいて、電子部品１１の側部１２、１３、１４をそれぞれ撮像した後に、電子部品１１を回動させてもよい。
以下、外観検査装置１０の変形例であり、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒにおいて、電子部品１１の側部１２、１３、１４をそれぞれ撮像した後に、電子部品１１を回動させる図６に示す外観検査装置５０について説明する。なお、外観検査装置１０と同じ構成については、外観検査装置１０と同じ符号を付して詳しい説明は省略する。

外観検査装置５０は、図６、図７に示すように、電子部品１１を、所定角度（本実施の形態では９０度）、回転させる角度位置調整手段５１、５２、５３、５４（角度位置調整手段５１、５２、５３は、それぞれ角度位置調整手段ｐ’’、ｑ’’、ｒ’’に該当する）を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにそれぞれ備えている。更に、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒに配置された支持部１６をそれぞれ昇降する昇降手段２８（昇降手段ｐ’、ｑ’、ｒ’）を備えている。
角度位置調整手段５１は、図７に示すように、角度位置調整手段５１を水平方向に進退させるスライド機構５５（スライド機構Ｅ’）を介して、ベース台３４に取り付けられている。

角度位置調整手段５２、５３、５４も、角度位置調整手段５２、５３、５４をそれぞれ水平方向に進退させるスライド機構５５を介して、それぞれベース台３４に固定されている。角度位置調整手段５２を進退させるスライド機構５５及び角度位置調整手段５３を進退させるスライド機構５５は、それぞれスライド機構Ｆ’、Ｇ’に該当する。
その他、角度位置調整手段５１、５２、５３、５４それぞれの配置及び構成は、外観検査装置１０の角度位置調整手段３０、３１、３２、３３と同じであるので、詳細な説明は省略する。

支持部１６が外部から取得した電子部品１１は、図６に示すように、側部１２が回転体１７の半径方向外側に配された状態で、支持部１６によって保持される。そして、電子部品１１は、回転体１７の時計回りの所定角度の回転により、撮像位置Ｐに送られ、側部１２が、撮像手段１８によって撮像される。その後、電子部品１１は、支持部１６と共に降下し、支持部１６から角度位置調整手段５１の保持部３６に受け渡されて、角度位置調整手段５１の保持部３６に固定された状態となり、支持部１６は、電子部品１１を角度位置調整手段５１の保持部３６に受け渡し、上昇する。

次に、電子部品１１は、角度位置調整手段５１の保持部３６と共に、回転軸３７を基準にして（回転軸３７を中心に）、９０度、時計回りに回転し、降下した支持部１６により吸着保持され、支持部１６によって、角度位置調整手段５１の保持部３６の上方に持ち上げられる。従って、角度位置調整手段５１は、側部１２が撮像された電子部品１１を、撮像位置Ｐで、所定角度回転させることになる。
その後、回転体１７が時計回りに所定角度、回転することによって、電子部品１１は、撮像位置Ｑに搬送され、側部１３が、撮像手段１９によって撮像された後、撮像位置Ｑで、角度位置調整手段５２が、電子部品１１を、９０度、時計回りに回転させる。

そして、回転体１７が、再び、反時計回りに所定角度、回転することによって、電子部品１１は、撮像位置Ｒに搬送され、側部１４が、撮像手段２０によって撮像され、撮像位置Ｒで、角度位置調整手段５３が、電子部品１１を、９０度、時計回りに回転させる。その後、回転体１７が、再度、時計回りに所定角度、回転することによって、電子部品１１は、撮像位置Ｓに搬送され、側部１５が、撮像手段２１によって撮像される。次に、電子部品１１は、撮像位置Ｓで回転されることなく、回転体１７の回転によって、回転体１７の回転方向下流側に送られ、電子部品１１の側部１２、１３、１４、１５を撮像した各画像を用いて電子部品１１の外観検査が行われる。

撮像位置Ｑにおける支持部１６、撮像手段１９及び角度位置調整手段５２の各動作の関係と、撮像位置Ｒおける支持部１６、撮像手段２０及び角度位置調整手段５３の各動作の関係は、撮像位置Ｐにおける支持部１６、撮像手段１８及び角度位置調整手段５１の各動作の関係と同じである。撮像位置Ｓにおける支持部１６、撮像手段２１及び角度位置調整手段５４の各動作の関係は、撮像位置Ｓで電子部品１１が回転されない点を除き、撮像位置Ｐにおける支持部１６、撮像手段１８及び角度位置調整手段５１の各動作の関係と、基本的に同じである。

また、角度位置調整手段５１に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５１（即ち、角度位置調整手段５１の保持部３６）を、撮像手段１８の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段１８の焦点に、電子部品１１の側部１２を配置可能である。
これは、角度位置調整手段５２、５３、５４それぞれに取り付けられたスライド機構５５についても同様であり、角度位置調整手段５２に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５２（即ち、角度位置調整手段５２の保持部３６）を、撮像手段１９の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段１９の焦点に、電子部品１１の側部１３を配置可能である。

角度位置調整手段５３に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５３（即ち、角度位置調整手段５３の保持部３６）を、撮像手段２０の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段２０の焦点に、電子部品１１の側部１４を配置可能である。角度位置調整手段５４に取り付けられたスライド機構５５は、角度位置調整手段５４（即ち、角度位置調整手段５４の保持部３６）を、撮像手段２１の撮像方向に（撮像経路に沿って）進退させて、撮像手段２１の焦点に、電子部品１１の側部１５を配置可能である。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、電子部品の形状に特に制限はなく、リード線を備えたものでなくてもよく、保持部の溝は、電子部品の形状に応じた形状に形成させる。
また、電子部品は、外観検査装置に対して、チューブから取り出されて供給される必要はなく、テープから取り出されて供給されてもよいし、トレイから取り出されて供給されてもよい。あるいは、ボールフィーダによって電子部品を外観検査装置に供給することや、電子部品をウェハから取り外し、直接、外観検査装置に供給することも可能である。

そして、支持部は真空圧で電子部品を吸着して保持するものに限定されず、例えば、電子部品を把持して保持するものであってもよい。
更に、プリズムや、ミラーを用いて、電子部品の側部で反射した光の進行方向を曲げて、撮像手段が電子部品の側部を撮像できるようにしてもよい。
また、回転体は円盤状に限定されないのは言うまでもなく、回転体の回転する向きや、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにおける電子部品の回転方向は、反時計回りであってもよい。

１０：外観検査装置、１１：電子部品、１２、１３、１４、１５：側部、１６：支持部、１７：回転体、１８、１９、２０、２１：撮像手段、２２：本体部、２３：リード線、２４：出力軸、２５：モータ、２６：ガイド、２７：上面、２８：昇降手段、３０、３１、３２、３３：角度位置調整手段、３４：ベース台、３５：スライド機構、３６：保持部、３７：回転軸、３８：モータ、３９：溝、４０：同軸照明、４１：ボックス照明、５０：外観検査装置、５１、５２、５３、５４：角度位置調整手段、５５：スライド機構

Claims (10)

1. 複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、
   前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面視して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、
   前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の側部Ａを撮像する撮像手段αと、
   前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑと、
   前記角度位置調整手段ｑによって回転された前記電子部品の側部Ｂを、前記撮像位置Ｑで撮像する撮像手段βと、
   前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒと、
   前記角度位置調整手段ｒによって回転された前記電子部品の側部Ｃを、前記撮像位置Ｒで撮像する撮像手段γと、
   前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品を、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｓと、
   前記角度位置調整手段ｓによって回転された前記電子部品の側部Ｄを、前記撮像位置Ｓで撮像する撮像手段δとを備えることを特徴とする外観検査装置。
2. 請求項１記載の外観検査装置において、前記撮像位置Ｑに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｑ’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｒ’と、前記撮像位置Ｓに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｓ’とを更に備え、
   前記角度位置調整手段ｑ、ｒ、ｓはそれぞれ、前記電子部品を固定して回転する保持部を有し、
   前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｑの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｑの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｂが撮像され、
   前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｒの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｒの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｃが撮像され、
   前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品は、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｓの該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｓの該保持部から上方に持ち上げられ、前記側部Ｄが撮像されることを特徴とする外観検査装置。
3. 請求項２記載の外観検査装置において、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部を、前記撮像手段βの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｆと、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部を、前記撮像手段γの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｇと、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部を、前記撮像手段δの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｈとを更に備えることを特徴とする外観検査装置。
4. 請求項２又は３記載の外観検査装置において、前記支持部は、前記電子部品の上面を吸着して保持することを特徴とする外観検査装置。
5. 請求項２〜４のいずれか１に記載の外観検査装置において、前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｑの前記保持部と共に回転し、前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｒの前記保持部と共に回転し、前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品は、前記支持部から解放された状態で、前記角度位置調整手段ｓの前記保持部と共に回転することを特徴とする外観検査装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１に記載の外観検査装置において、前記撮像手段αと前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段βと前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段γと前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配され、前記撮像手段δと前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品と前記回転体の回転中心とは、順に、平面視して、直線上に配されることを特徴とする外観検査装置。
7. 複数の電子部品の側部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを外観検査する外観検査装置において、
   前記複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、平面して、間隔を空け円状に取り付けられ、鉛直の回転軸を中心に間欠的に回転して、前記複数の支持部と共に、前記複数の電子部品を、撮像位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに、順次、配置する回転体と、
   前記撮像位置Ｐに配置された前記電子部品の前記側部Ａを撮像する撮像手段αと、
   前記側部Ａが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｐで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｐ’’と、
   前記撮像位置Ｑに配置された前記電子部品の前記側部Ｂを撮像する撮像手段βと、
   前記側部Ｂが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｑで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｑ’’と、
   前記撮像位置Ｒに配置された前記電子部品の前記側部Ｃを撮像する撮像手段γと、
   前記側部Ｃが撮像された前記電子部品を、前記撮像位置Ｒで、鉛直の回転軸を基準にして、所定角度、回転させる角度位置調整手段ｒ’’と、
   前記撮像位置Ｓに配置された前記電子部品の前記側部Ｄを撮像する撮像手段δとを備えることを特徴とする外観検査装置。
8. 請求項７記載の外観検査装置において、前記撮像位置Ｐに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｐ’と、前記撮像位置Ｑに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｑ’と、前記撮像位置Ｒに配置された前記支持部を昇降する昇降手段ｒ’とを更に備え、
   前記角度位置調整手段ｐ’’、ｑ’’、ｒ’’はそれぞれ、前記電子部品を固定して回転する保持部を有し、
   前記側部Ａが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｐで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｐ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｐ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｐ’’の該保持部の上方に持ち上げられ、
   前記側部Ｂが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｑで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｑ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｑ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｑ’’の該保持部の上方に持ち上げられ、
   前記側部Ｃが撮像された前記電子部品は、前記撮像位置Ｒで、前記支持部と共に降下して、前記角度位置調整手段ｒ’’の前記保持部に固定された状態となり、該角度位置調整手段ｒ’’の該保持部と共に回転し、前記支持部によって、該角度位置調整手段ｒ’’の該保持部の上方に持ち上げられることを特徴とする外観検査装置。
9. 請求項８記載の外観検査装置において、前記角度位置調整手段ｐ’’の前記保持部を、前記撮像手段αの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｅ’と、前記角度位置調整手段ｑ’’の前記保持部を、前記撮像手段βの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｆ’と、前記角度位置調整手段ｒ’’の前記保持部を、前記撮像手段γの撮像経路に沿って進退させるスライド機構Ｇ’とを更に備えることを特徴とする外観検査装置。
10. 請求項８又は９記載の外観検査装置において、前記支持部は、前記電子部品の上面を吸着して保持することを特徴とする外観検査装置。

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