CN110100175A - 用于检查部件的组件和方法 - Google Patents

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CN110100175A CN201780081568.2A CN201780081568A CN110100175A CN 110100175 A CN110100175 A CN 110100175A CN 201780081568 A CN201780081568 A CN 201780081568A CN 110100175 A CN110100175 A CN 110100175A
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P.阿布瑞尔
T.艾默
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Abstract

根据本发明，提供了一种使用组件来检查部件（10）的方法，该组件包括：相机（3），其具有固定位置；以及可移动载物台（5），其中，该可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线（7）旋转并且可以沿两条线性轴线（9a、9b）线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于旋转轴线，该方法包括以下步骤：（a）在载物台上提供呈预定取向的第一部件，使得部件的第一侧部面向相机；（b）使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上；（c）在第一部件的第一侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第一侧部的图像。还提供了根据上文的组件，其附加地包括处理器，该处理器被构造成确定部件的图像是否在相机的焦点上，如果不在相机的焦点上，就确定可移动载物台的移动并启动可移动载物台以经历所确定的所述移动以便将所述部件移动到焦点上。

Description

用于检查部件的组件和方法
技术领域
本发明涉及用于检查部件的组件和方法，并且特别地涉及用于检查部件的微裂纹和其他污染物的组件和方法，其中可移动载物台移动到(一个或多个)预定位置以将该部件的不同侧部移动到相机的焦点上。
背景技术
在用于检查部件的现有组件和方法中，部件被放置到预定位置中以位于相机的视野内；然后，相机聚焦在部件上并捕获部件的图像。然后，检查图像以识别在部件中是否存在任何裂纹或污染物。当检查多个部件时，针对所述多个部件中的每一个重复这些前述步骤，因此对每个部件而言，相机被聚焦以使部件在相机的焦点上。不利地，这使用于检查部件的现有组件和方法变慢。
本发明的目的是消除或减轻至少一些上述缺点。
发明内容
根据本发明，提供了一种使用组件来检查部件的方法，该组件包括：相机，其具有固定位置；以及可移动载物台，其中，该可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于旋转轴线，该方法包括以下步骤：在载物台上提供呈预定取向的第一部件，使得该部件的第一侧部面向相机；使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上；在第一部件的第一侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第一侧部的图像。
该方法可包括以下步骤：在将载物台维持在与捕获第一侧部的图像时相同的沿线性轴线的位置中时，使载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得第一部件的第二侧部面向相机；在第一部件的第二侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第二侧部的图像。
该方法可包括以下步骤：在将载物台维持在与捕获第一侧部的图像时相同的沿线性轴线的位置中的同时，从载物台移除第一部件；在载物台上提供呈预定取向的具有与第一部件相同的尺寸的第二部件，使得第二部件的第一侧部面向相机；使用相机捕获第二部件的第一侧部的图像；使载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得第二部件的第二侧部面向相机；使用相机捕获第二部件的第二侧部的图像。
在实施例中，所述第一部件是立方形部件。
该方法可包括以下步骤：当第一部件的第一侧部在相机的焦点上时，将指示载物台沿所述两条线性轴线的位置的第一位置数据存储在存储器中；使载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得第一部件的第二侧部面向相机；使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将第一部件的第二侧部移动到相机的焦点上；当第一部件的第二侧部在相机的焦点上时，将指示载物台沿所述两条线性轴线的位置的第二位置数据存储在存储器中；在第一部件的第二侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第二侧部的图像。
该方法可包括以下步骤：
使载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得第一部件的第三侧部面向相机；
从存储器检索第一位置数据，并使载物台移动到对应于在所检索的第一位置数据中指示的位置的位置，以便将第一部件的第三侧部移动到焦点上；
在第一部件的第三侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第三侧部的图像；
使载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得第一部件的第四侧部面向相机；
从存储器检索第二位置数据，并使载物台移动到对应于在所检索的第二位置数据中指示的位置的位置，以便将第一部件的第四侧部移动到相机的焦点上；
在第一部件的第四侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第四侧部的图像。
该方法可包括以下步骤：
从载物台移除第一部件；
在载物台上提供呈预定取向的具有与第一部件相同的尺寸的第二部件，使得第二部件的第一侧部面向相机；
使用相机捕获第二部件的第一侧部的图像；
使载物台围绕旋转轴线旋转，使得第二部件的第二侧部面向相机；
从存储器检索第二位置数据，并使载物台移动到对应于在所检索的第二位置数据中指示的位置的位置，以便将第二部件的第二侧部移动到相机的焦点上；
使用相机捕获第二部件的第二侧部的图像。
该方法还可包括以下步骤：从存储器检索第一位置数据，并使载物台移动到对应于在所检索的第一位置数据中指示的位置的位置，以便将第二部件的第一侧部移动到相机的焦点上。
在实施例中，所述第一部件是矩形-立方形部件。
该方法还可包括以下步骤：检查所捕获的图像以识别部件的侧部是否具有裂纹或被污染。
该方法可包括以下步骤：
从载物台移除第一部件；
在载物台上提供呈所述预定取向的具有不同于第一部件的尺寸的尺寸的第二部件，使得第二部件的第一侧部面向相机；
从存储器检索第一位置数据，并使载物台移动到对应于在所检索的第一位置数据中指示的位置的位置；
使用相机捕获第二部件的第一侧部的图像；
从所捕获的图像检测到第二部件不在相机的焦点上；
使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将第二部件的第一侧部移动到相机的焦点上；
在第二部件的第一侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第一侧部的图像；
当第二部件的第一侧部在相机的焦点上时，将指示载物台沿所述两条线性轴线的位置的第三位置数据存储在存储器中；
使载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得第二部件的第二侧部面向相机；
使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将第二部件的第二侧部移动到相机的焦点上；
当第二部件的第二侧部在相机的焦点上时，将指示载物台沿所述两条线性轴线的位置的第四位置数据存储在存储器中；
在第二部件的第二侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第二部件的第二侧部的图像。
在实施例中，使载物台沿所述两条轴线中的一者或多者线性地移动以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上的步骤包括：使载物台沿朝向和/或远离相机的方向移动。在实施例中，使载物台沿所述两条轴线中的一者或多者线性地移动以便将第一部件的第二侧部移动到相机的焦点上的步骤包括：使载物台沿朝向和/或远离相机的方向移动。
在实施例中，使载物台沿所述两条轴线中的一者或多者线性地移动以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上的步骤包括：使载物台移动以将第一侧部移动到相机的镜头的焦点位置。在实施例中，使载物台沿所述两条轴线中的一者或多者线性地移动以便将第一部件的第二侧部移动到相机的焦点上的步骤包括：使载物台移动以将第二侧部移动到相机的镜头的焦点位置。
根据本发明的另外的方面，提供了一种用于检查部件的组件，该组件包括：
相机，其具有固定位置；以及
可移动载物台，其中，该可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于旋转轴线；
处理器，其被构造成接收由相机捕获的图像并确定图像是否清晰，如果图像不清晰，则确定将部件移动到相机的焦点上所需的可移动载物台的移动，并启动可移动载物台以经历所述确定的移动以便将部件移动到相机的焦点上。
附图说明
借助于通过示例给出并且通过附图所图示的实施例的描述，本发明将得到更好地理解，在附图中：
图1示出了根据本发明的方面的组件的透视图，该组件可以用于实施检查部件的本发明的各种方法；
图2a示出了用于使用根据本发明的实施例的方法来检查立方形部件的组件；
图2b示出了用于使用根据本发明的实施例的方法来检查立方形部件的组件，该立方形部件具有与图2a中所示的立方形部件相同的尺寸；
图3a示出了用于使用根据本发明的另外的实施例的方法来检查矩形-立方形部件的组件的透视图；
图3b示出了用于使用根据本发明的另外的实施例的方法来检查矩形-立方形部件的组件的透视图，该矩形-立方形部件具有与图3a中所示的矩形-立方形部件相同的尺寸；
图4示出了用于使用根据本发明的另外的实施例的方法来检查矩形-立方形部件的组件的透视图，该矩形-立方形部件具有不同于图3a和图3b中所示的矩形-立方形部件的尺寸。
具体实施方式
图1提供了根据本发明的方面的用于检查部件10的组件1的透视图。
组件1包括具有固定位置的相机3。相机3可采用任何合适的形式。优选地，相机3将是高分辨率相机，其可以捕获具有4百万像素、8百万像素、9百万像素、12百万像素或29百万像素的分辨率的图像。在优选实施例中，相机3将是高分辨率相机，其可以捕获具有在5至12百万像素之间的分辨率的图像。
优选地，相机3将具有镜头，该镜头具有12.5:1的变焦。
相机3将具有可以用于照明正被拍摄的物体的光源。优选地，该光源被构造成发射白光。然而，在另一个实施例中，相机3将被构造成使得用户可以选择用于照明正被拍摄的物体的光源的类型；例如，相机3可包括滤光器，该滤光器可选择性地用于阻挡预定波长的光，使得物体仅通过穿过滤光器的波长被照明；在另一个实施例中，相机可包括多个不同光源，所述光源可以发射不同波长的光并且其可选择性地操作，例如，相机3可包括多个单色光源（例如，可以发射蓝光的蓝色光源、可以发射绿光的绿色光源、以及可以发射红光的红色光源），该单色光源可以选择性地操作以发射光，使得物体可以通过蓝、绿或红光或者蓝、绿或红光的任何组合被照明。在另一个示例中，相机3可包括红外光源，该红外光源可选择性地操作以使用红外光照明待拍摄的物体。因此，将理解，相机3可具有使得能够改变用于照明待拍摄的物体的光的颜色的任何可能的光源构型；然而，在优选实施例中，相机3包括发射白光的光源。
组件1还包括可移动载物台5。可移动载物台5被构造成使得其可以围绕旋转轴线7旋转并且可以沿两条线性轴线9a、9b（分别为x轴和y轴；旋转轴线7是z轴）线性地移动。旋转轴线7通过载物台5的中心；换句话说，载物台5可以围绕其中心旋转。所述两条线性轴线9a、9b彼此垂直，并且所述两条线性轴线9a、9b两者各自垂直于旋转轴线7。载物台5可以沿第一线性轴线9a移动以便朝向或远离相机3移动；载物台5可以沿第二线性轴线9b移动以便相对于相机3向左或向右移动。应理解，可移动载物台5可采用任何合适的构型，在优选实施例中，可移动载物台5包括具有其上可以支撑部件的表面的可移动平台，然而，在另一个实施例中，可移动载物台5可具有可以夹持和保持部件的夹持器的形式。
组件1还包括处理器8，该处理器被构造成经由通信链接8a接收已由相机3捕获的在载物台5上的部件的图像并确定该图像是否清晰。具体地，处理器8对图像实施图像处理，并提供指示图像的聚焦水平的值。例如，由相机3捕获的在载物台5上的部件的不清晰的图像可获得仅50-60%的聚焦水平；但由相机3捕获的在载物台5上的部件的在焦点上的图像可获得仅90至100%的聚焦水平。聚焦水平可以通过以下方式来调整：使载物台5（该载物台支撑其图像被捕获的部件）相对于相机3移动，即通过使载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b中的一者或多者线性地移动，和/或使载物台5围绕旋转轴线7旋转。例如，当载物台5太靠近相机3时，则图像的聚焦水平将不良，并且因此处理器将使被捕获图像获得低聚焦水平；同样地，当载物台5太远离相机3时，则图像的聚焦水平也将不良，且因此处理器将使被捕获图像获得低聚焦水平；因此，移动载物台5，直到到达最佳位置，由此由相机3捕获的图像将显示在焦点上的部件。
通常，用户将设定阈值聚焦水平，例如80%的聚焦水平，并且当由相机捕获的在载物台5上的部件的图像的聚焦水平低于该阈值聚焦水平时，则载物台迭代地移动到新位置并且在每个位置处捕获新图像，直到载物台到达在载物台5上的部件的所捕获的图像具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的位置，如下文将更详细地讨论的。
在该实施例中，提供第二处理器18，其可以用于设定载物台5的位置。第二处理器18经由通信链接18a连接到致动器，致动器可操作以使载物台5沿线性轴线9a、9b和/或旋转轴线7移动；用户可向第二处理器18提供位置坐标（例如，通过使用键盘输入位置坐标)，并且第二处理器18然后操作致动器以使载物台5移动到对应于所输入的位置坐标的位置。应理解，在另一个实施例中，仅提供单个处理器；该单个处理器被构造成实施与组合的处理器8和第二处理器18相同的功能。在一个实施例中，载物台的移动由用户手动地完成，并且在另一个实施例中，载物台的移动是自动化的。例如，在一个实施例中，用户读取指示已由处理器提供的图像的聚焦水平的值；如果该值低于阈值聚焦水平，则用户将手动地将载物台迭代地移动到新位置（即，使载物台沿线性轴线9a、9b中的一者或两者迭代地移动和/或使载物台5围绕旋转轴线7迭代地旋转），直到载物台已到达在载物台5上的部件的所捕获的图像具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的位置。
在另一个实施例中，载物台的移动是自动化的。例如，组件1还可包括致动器，该致动器可以选择性地移动载物台5以使其围绕旋转轴线7旋转和/或沿线性轴线9a、9b中的一者或两者线性地移动。第二处理器18被构造成基于图像处理来启动这些致动器的操作；例如，如果第二处理器18确定载物台5上的部件的所捕获的图像的聚焦水平低于阈值聚焦水平，则处理器将启动致动器以使载物台自动地移动到新位置；这些步骤将被重复，直到载物台已到达在载物台5上的部件的所捕获的图像具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的位置。
如所提到的，载物台5被构造成使得其可以自动地或手动地移动到新位置；载物台5迭代地移动到这些新位置（并且在每个位置处，相机捕获载物台5上的部件的新图像，该新图像在处理器8处经历图像处理以确定图像的聚焦水平）。在优选实施例中，载物台5被构造成以50 μm至100 μm的步长移动，即载物台将以在50 μm至100 μm之间的迭代移动。在另一个实施例中，根据由处理器确定的图像的聚焦水平来调整载物台移动的步长大小。例如，当所捕获的图像的聚焦水平远离阈值聚焦水平时，则载物台以大的步长（例如，在50 μm至100μm之间）移动，并且一旦载物台到达所捕获的图像的聚焦水平接近阈值聚焦水平时的位置，则载物台就以较小的步长（例如，在20 μm至49 μm之间）移动；载物台的较小的步长移动允许更细微地调整载物台的位置并且因此更细微地调整聚焦水平。
组件1还包括可以存储载物台的位置的存储器50。例如，一旦载物台已到达载物台5上的部件的所捕获的图像具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的位置，存储器就可以存储载物台5的位置。存储在存储器中的载物台5的（一个或多个）位置由坐标表示，特别是表示载物台5沿两条线性轴线9a、9b的位置的值。最优选地，表示载物台的（一个或多个）位置的坐标还包括表示载物台相对于基准围绕旋转轴线7旋转的角度。在该示例中，存储器50被提供在第二处理器18中；然而，应理解，在第二处理器18中提供存储器50并非必要。
在该示例中，组件1还包括可旋转转台51，可旋转转台51包括多个部件操纵头52。每个部件操纵头52可以通过真空保持相应的部件10。每个部件操纵头52可以将它保持的部件10递送到载物台5，并在已捕获部件10的图像之后从载物台5拾取部件10。转台迭代地旋转，使得每个部件操纵头52可以连续地递送和从载物台5拾取其相应的部件10。该组件还包括对准构件53，对准构件53可以在部件操纵头52到达载物台5之前使被保持在相应的部件操纵头52上的部件10对准到预定位置中。
组件1可以用于执行根据本发明的另外的方面的方法。
图2a示出了用于检查第一部件10的组件（为清楚起见，仅图示了单个部件操纵头52并且未完整示出转台51）。待检查的第一部件10被提供在载物台5上呈预定取向。在该示例中，载物台5上的所述预定取向是其中部件10的第一侧部10a面向相机3的取向，并且第一部件10定位在载物台5的中心上，使得第一部件10的中心与载物台5的中心重叠。然而，将理解，取决于部件的形状和/或尺寸以及待检查的部件的区域，预定取向可以是不同的。
在该示例中，第一部件是立方形的；因此，该部件的每个侧部将具有相等的尺寸。在该示例中，将检查该部件的四个侧部10a-10d是否有裂纹和/或污染物。
优选地，第一部件10将通过在可旋转转台51上的部件操纵头而被递送到载物台5以占据所述预定取向。部件10将通过真空保持在转台51的部件操纵头52上，并在到达载物台5之前，该部件将（通过对准构件53）对准到部件操纵头上的预定位置中，使得当部件操纵头将该部件递送到载物台5时，第一部件10将以所述预定取向提供在载物台5上。优选地，第一部件10被提供在载物台上，使得第一部件10的中心与载物台5的中心重叠。
载物台5将优选地最初位于开始位置处；在该开始位置处，载物台5将在转台上的部件操纵头下面对准，使得转台的部件操纵头可以延伸以将它保持的第一部件10递送到载物台5。在第一部件10已被定位到载物台5上之后，载物台5然后沿所述两条线性轴线9a、9b中的一者或多者线性地移动和/或围绕旋转轴线7旋转，以便将第一部件10的第一侧部10a移动到相机的焦点上。换句话说，载物台5远离或朝向相机3线性地移动，和/或向相机3的左侧或右侧移动，和/或围绕旋转轴线7旋转，以便将第一部件10的第一侧部10a移动到它位于相机3的焦点上的位置。如上文已经描述的，这可通过以下方式完成：使载物台5迭代地移动到新位置，并在每个新位置处捕获第一部件10的第一侧部10a的图像，直到载物台5已到达相机捕获第一部件10的第一侧部10a的由处理器8确定为具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的图像的位置。当第一部件10的第一侧部10a的所捕获的图像被处理器8确定为具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平时，则第一部件10的第一侧部10a将会已被移动到相机的焦点上。如上文所提到的，载物台5的移动可手动地或自动地完成。
在载物台已移动以将第一部件10的第一侧部10a移动到相机3的焦点上之后，然后使用相机3捕获第一部件10的第一侧部10a的图像。
检查第一侧部10a的图像，以识别在第一部件10的第一侧部10a中是否存在任何裂纹或污染物。
在载物台5已移动以将第一部件10的第一侧部10a移动到相机3的焦点上之后，然后将指示载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b以及优选地还有其相对于基准围绕旋转轴线7的旋转的位置的位置数据（即，坐标）存储在存储器50中。
接下来，载物台5围绕旋转轴线7旋转，使得第一部件10的第二侧部10b面向相机3。在该示例中，由于部件10是立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得第一部件10的第二侧部10b面向相机3。载物台5沿两条线性轴线9a、9b的位置被维持在与捕获第一部件10的第一侧部10a的图像时沿两条线性轴线9a、9b的相同的位置中；换句话说，在该步骤期间，载物台5仅围绕旋转轴线7旋转，以向相机3呈现第一部件10的第二侧部10b；没有发生沿两条线性轴线9a、9b中任一者的移动。
在本示例中，因为第一部件10占据所述预定位置（其中，第一部件10的中心与载物台5的中心重叠），并且因为第一部件10是立方形的且第一部件10的每个侧部具有相等的尺寸，因此当载物台5围绕旋转轴线7旋转90°使得第一部件10的第二侧部10b面向相机3时，第一部件10的第二侧部10b将立即在相机3的焦点上，而不需要沿两条线性轴线9a、9b中的任一者调整载物台5的位置。
然后，使用相机3捕获部件10的第二侧部10b的图像。检查第二侧部10b的图像，以识别在第一部件10的第二侧部10b中是否存在任何裂纹或污染物。
接下来，载物台5再次围绕旋转轴线7旋转，使得部件10的第三侧部10c面向相机3。在该示例中，由于部件10是立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得部件10的第三侧部10c面向相机3。载物台5沿两条线性轴线9a、9b的位置被维持在与捕获第一部件10的第一侧部10a的图像时沿两条线性轴线9a、9b的相同的位置中；换句话说，在该步骤期间，载物台5仅围绕旋转轴线7旋转，以向相机3呈现第一部件10的第三侧部10c；没有发生沿两条线性轴线9a、9b中的任一者的移动。
第一部件10的第三侧部10c将立即在相机3的焦点上，而不需要沿两条线性轴线9a、9b中的任一者调整载物台5的位置。
然后，使用相机3捕获部件10的第三侧部10c的图像。检查第三侧部10c的图像，以识别在部件10的第三侧部10c中是否存在任何裂纹或污染物。
接下来，载物台5再次围绕旋转轴线7旋转，使得部件10的第四侧部10d面向相机3。在该示例中，由于部件10是立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得部件10的第四侧部10d面向相机3。载物台5沿两条线性轴线9a、9b的位置被维持在与捕获第一部件10的第一侧部10a的图像时沿两条线性轴线9a、9b的相同的位置中；换句话说，在该步骤期间，载物台5仅围绕旋转轴线7旋转，以向相机3呈现第一部件10的第四侧部10d；没有发生沿两条线性轴线9a、9b中的任一者的移动。
然后，使用相机3捕获部件10的第四侧部10d的图像。检查该图像，以识别在部件10的第四侧部10d中是否存在任何裂纹或污染物。
在优选实施例中，在已捕获第一部件10的第四侧部10d的图像之后，载物台5再次围绕旋转轴线7旋转90°，以便使部件回到其原始取向（其中，第一部件10的第一侧部10a面向相机3）。
在该示例中，因为第一部件10占据所述预定位置（其中，第一部件10的中心与载物台5的中心重叠），并且因为第一部件10是立方形的且第一部件10的每个侧部具有相等的尺寸，因此第一部件10的第二、第三和第四侧部10b-10d将在使载物台5旋转相应的90o之后立即在焦点上，而不需要沿所述两条线性轴线9a、9b调整载物台5的位置。因此，在该示例中，载物台5沿两条线性轴线9a、9b中的一者或多者移动，以仅将部件10的第一侧部10a移动到相机的焦点上，其后，它被维持在沿两条线性轴线9a、9b的该位置中以用于检查第一部件10的其余的第二、第三和第四侧部10b-10d。
在已捕获第一部件10的四个侧部10a-10d的图像之后（且任选地在已检查所述图像以识别在第一部件10中是否存在任何裂纹或污染物之后），然后从载物台5移除第一部件10。在优选实施例中，在已捕获第一部件10的第四侧部10d的图像之后，载物台5再次围绕旋转轴线7旋转90°，然后从载物台5移除部件。通常，第一部件10将通过在可旋转转台上的部件操纵头从载物台3移除；转台上的部件操纵头将延伸并通过真空保持第一部件10，然后缩回以从载物台5抬升第一部件。在一些实施例中，载物台5可沿线性轴线9a、9b中的一者或两者移动，和/或围绕旋转轴线7旋转，以便使载物台5回到其原始的开始位置；在该原始的开始位置处，载物台5（以及载物台上的第一部件10）将在转台51上的部件操纵头下方对准，使得部件操纵头可以从载物台拾取部件。
通常，在从载物台5移除第一部件10之后，根据检查结果对第一部件10进行分类；如果图像显示第一部件的侧部10a-10d具有裂纹或被污染，则将第一部件10丢弃在箱中；如果图像显示第一部件10的侧部10a至10d没有任何裂纹和污染，则将第一部件10归类为“良好”部件。通常，转台然后将旋转以将所述“良好”部件带到下一个处理站。转台的旋转还将把转台上的保持另一个（第二）部件的下一个部件操纵头带到在载物台5上方的位置，在该位置处，部件操纵头可以将第二部件递送到载物台5以用于检查。
因此，在本发明的实施例中，待检查的具有与第一部件10相同的形状和尺寸的第二部件20以所述预定取向提供在载物台5上，如图2b中所图示的。就第一部件10而言，第二部件20通常将已预对准到转台的部件操纵头上的预定位置中，使得当部件操纵头将第二部件20递送到载物台5时，第二部件20将占据与第一部件10所述相同的预定取向。优选地，在载物台上提供第二部件20，使得第二部件20的中心与载物台5的中心重叠。
由于待检查的第二部件20具有与第一部件10相同的形状和尺寸，并且由于它也以所述预定取向放置在载物台5上，因此第二部件的第一侧部20a将通过使载物台5移动到与第一部件10的第一侧部10a在相机3的焦点上时所占据的位置相同的位置而在相机3的焦点上。因此，在第二部件20已被定位到载物台5上之后，然后检索存储在存储器50中的位置数据（即，坐标），所述位置数据表示载物台5在第一部件10的第一侧部10a处于相机3的焦点上时的位置（即，指示载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b及其相对于基准围绕旋转轴线7的旋转的位置的位置数据）。然后，载物台5从其开始位置（在该开始位置处，第二部件20被递送到载物台5）（自动地或手动地）移动到对应于由所检索的位置数据表示的位置的位置。使载物台移动到对应于由所检索的位置数据表示的位置的位置将会使第二部件20的第一侧部20a移动到相机3的焦点上，而不需要调整相机并且不需要沿两条线性轴线9a、9b或围绕旋转轴线7进一步调整载物台的位置。因此，可以在载物台已移动到对应于由所检索的位置数据表示的位置的位置之后立即通过相机3捕获第二部件20的第一侧部20a的图像。
然后，使载物台5连续地旋转90°，并且以与上文针对第一部件10描述的相同方式捕获第二部件20的第二、第三和第四侧部20a-20d的图像。
可以以与第二部件20相同的方式连续地检查多个部件（所述多个部件中的每个部件具有与第一部件10相同的形状和尺寸），而不需要调整相机或沿两条线性轴线9a、9b调整载物台的位置。
在本发明的另一个实施例中，将检查具有矩形-立方形形状的第一部件100。图2示出了用于检查具有矩形-立方形形状的第一部件100的组件1的透视图。第一部件100具有待检查的第一、第二、第三和第四侧部100a-100d。第一侧部100a和第三侧部100c各自具有比第一部件100的第二侧部100b和第四侧部100d的长度更长的长度（沿部件100的平面测得）。
第一部件100被提供在载物台5上呈预定取向。优选地，第一部件100定位在载物台上，使得第一部件100的中心与载物台5的中心重叠。然而，将理解，预定取向可取决于部件的形状和/或尺寸以及待检查的部件的区域而不同。然而，应理解，连续地提供在载物台5上以用于检查的部件将各自以相同的预定取向定位在载物台上。
通常，第一部件100将通过可旋转转台上的部件操纵头递送到载物台3；第一部件100将通过真空保持在转台的部件操纵头上，并在到达载物台5之前，第一部件100将在部件操纵头上对准（通过对准构件）呈预定取向，使得当部件操纵头将该部件递送到载物台5时，第一部件100将以所述预定取向提供在载物台5上。
载物台5将优选地最初位于始位置处；在该开始位置处，载物台5将在转台上的部件操纵头下面对准，使得转台的部件操纵头可以延伸以将它保持的第一部件10递送到载物台5。在第一部件100已被定位到载物台5上之后，载物台5然后沿所述两条线性轴线9a、9b中的一者或多者线性地移动和/或围绕旋转轴线7旋转，以便将第一部件100的第一侧部100a移动到相机3的焦点上。换句话说，载物台5远离或朝向相机3线性地移动，和/或向相机3的左侧或右侧移动，和/或围绕旋转轴线7旋转，以便将第一部件100的第一侧部100a移动到相机3的焦点上。在该示例中，载物台5远离或朝向相机3线性地移动，和/或向相机3的左侧或右侧移动，和/或围绕旋转轴线7旋转，以便将第一部件100的第一侧部100a移动到相机3可以捕获第一部件100的第一侧部100a的具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的（如由处理器8所确定的）图像的位置。最优选地，移动载物台5以便将第一部件100的第一侧部100a移动到第一侧部100a位于相机3的焦点上的位置。
如上文已经描述的，移动载物台5以便将第一部件100的第一侧部100a移动到相机3的焦点上可以通过以下方式完成：使载物台5迭代地移动到新位置，并在每个新位置处捕获第一部件100的第一侧部100a的图像，直到载物台5到达相机捕获第一部件100的第一侧部100a的由处理器8确定为具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的图像的位置。当第一部件100的第一侧部100a的所捕获的图像由处理器8确定为具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平时，则第一部件100的第一侧部100a将已被移动到相机的焦点上。如上文所提到的，载物台5的移动可手动地或自动地完成。
在载物台5已移动以将第一部件100的第一侧部100a移动到相机3的焦点上之后，然后使用相机3捕获第一部件100的第一侧部100a的图像。检查该图像，以识别在第一部件100的第一侧部100a中是否存在任何裂纹或污染物。
重要的是，在该实施例中，在载物台5已移动以将第一部件100的第一侧部100a移动到相机3的焦点上之后，然后将第一位置数据（即，坐标）存储在存储器50中，所述第一位置数据指示载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b以及优选地还有其相对于基准围绕旋转轴线7的旋转的位置。在最优选实施例中，第一位置数据与识别所检查的部件的类型的特征（identity）相关联地存储在存储器50中；这将使得能够基于待检查的部件的类型来从存储器50检索第一位置数据。
接下来，载物台5围绕旋转轴线7旋转，使得第一部件100的第二侧部100b面向相机3。在该示例中，由于第一部件100是矩形-立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得第一部件100的第二侧部100b面向相机3。
然而，由于第一侧部100a具有比第一部件100的第二侧部100b更长的长度，并且由于第一部件100定位在载物台上使得第一部件100的中心与载物台5的中心重叠，因此当载物台5旋转90°使得第一部件100的第二侧部100b面向相机3时，第二侧部100b与第一侧部100a先前相比将更靠近相机3；因此，第二侧部100b将不在相机3的焦点上。因此，在该实施例中，在载物台5已围绕旋转轴线7旋转使得第一部件100的第二侧部100b面向相机3之后，载物台5然后沿所述两条线性轴线9a、9b中的一者或多者线性地移动，以便将第一部件100的第二侧部100b移动到相机的焦点上。应理解，载物台5可以沿所述两条线性轴线9a、9b中的一者或多者线性地移动，以便将第一部件100的第二侧部100b移动到相机的焦点上，同时使载物台5围绕旋转轴线7旋转90°。换句话说，载物台5远离或朝向相机3线性地移动，和/或向相机3的左侧或右侧移动，以便将第一部件100的第二侧部100b移动到它位于相机3的焦点上的位置。如上文已经描述的，这可通过以下方式完成：使载物台5迭代地移动到新位置，并在每个新位置处捕获第一部件100的第二侧部100b的图像，直到载物台5到达相机捕获第一部件100的第二侧部100b的由处理器8确定为具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平的图像的位置。当第一部件100的第二侧部100a的所捕获的图像由处理器8确定为具有高于阈值聚焦水平的聚焦水平时，则第一部件100的第二侧部100a将已被移动到准相机3的焦点上。如上文所提到的，载物台5的移动可手动地或自动地完成。
在载物台已移动以将第一部件100的第二侧部100b移动到相机3的焦点上之后，然后使用相机3捕获第一部件100的第二侧部100b的图像。检查该图像，以识别在第一部件100的第二侧部100b中是否存在任何裂纹或污染物。
重要的是，在该实施例中，在载物台5已移动以将第一部件100的第二侧部100b移动到相机3的焦点上之后，然后将指示载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b以及优选地还有其相对于基准围绕旋转轴线7的旋转的位置的第二位置数据（即，坐标）存储在存储器50中。在最优选实施例中，第二位置数据与识别所检查的部件的类型的特征相关联地存储在存储器50中；这将使得能够基于待检查的部件的类型从存储器50检索第二位置数据。
接下来，载物台5围绕旋转轴线7旋转，使得第一部件100的第三侧部100c面向相机3。在该示例中，由于第一部件100是矩形-立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得第一部件100的第三侧部100c面向相机3。
由于第一部件100是矩形-立方形的并且在载物台5上居中，因此可以通过使载物台5移动到与载物台5在第一部件100的第一侧部100a处于相机3的焦点上时所占据的位置相同的位置而使第一部件的第三侧部100c移动到相机3的焦点上。因此，在载物台5围绕旋转轴线7旋转使得第一部件100的第三侧部100c面向相机3之后，然后从存储器50检索存储在存储器50中的第一位置数据（即，坐标），所述第一位置数据表示载物台5在第一部件100的第一侧部100a处于相机3的焦点上时的位置。然后，使载物台5（自动地或手动地）移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置。将载物台5移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置将会使第一部件100的第三侧部100c移动到相机3的焦点上，而不需要调整相机并且不需要沿两条线性轴线9a、9b或围绕旋转轴线7进一步调整载物台5的位置。因此，可以在载物台已移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置之后立即通过相机3捕获第一部件100的第三侧部100c的图像。
在载物台已移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置之后，通过相机3捕获第一部件100的第三侧部100c的图像。检查该图像，以识别在部件100的第三侧部100c中是否存在任何裂纹或污染物。
接下来，载物台5围绕旋转轴线7旋转，使得第一部件100的第四侧部100d面向相机3。在该示例中，由于第一部件100是矩形-立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得第一部件100的第四侧部100d面向相机3。
由于第一部件100是矩形-立方形的并且在载物台5上居中，因此可以通过使载物台5移动到与载物台5在第一部件100的第二侧部100b处于相机3的焦点上时所占据的位置相同的位置而使第一部件100的第四侧部100d移动到相机3的焦点上。因此，在载物台5围绕旋转轴线7旋转使得第一部件100的第四侧部100d面向相机3之后，然后从存储器50检索存储在存储器50中的第二位置数据（即，坐标），所述第二位置数据表示载物台5在第一部件100的第二侧部100b处于相机3的焦点上时的位置。然后，使载物台5（自动地或手动地）移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置。使载物台5移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置将会使第一部件100的第四侧部100d移动到相机3的焦点上，而不需要调整相机并且不需要沿两条线性轴线9a、9b或围绕旋转轴线7进一步调整载物台5的位置。因此，可以在载物台已移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置之后立即通过相机3捕获第一部件100的第四侧部100d的图像。
在载物台已移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置之后，通过相机3捕获第一部件100的第四侧部100d的图像。检查该图像，以识别在部件100的第四侧部100c中是否存在任何裂纹或污染物。
在以上实施例中，在捕获第一部件100的下一个侧部100a-100d的下一个图像之前检查相应的图像；然而，在该实施例的变型中，首先捕获第一部件100的四个侧部100a-100d的四幅图像中的每一个，并且只有在已捕获四幅图像之后才检查这四幅图像以识别在所述侧部的任一者中是否存在任何裂纹或污染物。
在已捕获部件100的四个侧部100a-100d的图像之后（且任选地在已检查所述图像以识别在第一部件100中是否存在任何裂纹或污染物之后），然后从载物台5移除第一部件100。在优选实施例中，在已捕获第一部件100的第四侧部100d的图像之后，使载物台5再次围绕旋转轴线7旋转90°，以便使部件回到其原始取向（其中，第一部件100的第一侧部100a面向相机3），然后从载物台5移除第一部件。
通常，第一部件100将通过可旋转转台上的部件操纵头从载物台5移除；转台上的部件操纵头将延伸并通过真空保持第一部件100，然后缩回以从载物台5抬升第一部件100。在实施例中，载物台5可沿线性轴线9a、9b中的一者或两者移动，和/或围绕旋转轴线7旋转，以便使载物台5回到其原始的开始位置；在该原始的开始位置处，载物台5（以及载物台上的第一部件100）将在转台51上的部件操纵头下方对准，使得部件操纵头可以从载物台5拾取部件。
通常，在从载物台5移除第一部件100之后，根据检查的结果对第一部件100进行分类；如果图像显示第一部件100的侧部100a-100d具有裂纹或被污染，则将第一部件100丢弃在箱中；如果图像显示第一部件100的侧部100a-100d没有任何裂纹和污染，则将第一部件100归类为“良好”部件。通常，转台将旋转以将所述“良好”部件移动到下一个处理站。转台的旋转还将把转台上的保持另一个（第二）部件的下一个部件操纵头移动到在载物台5上方的位置，在该位置处，部件操纵头可以将所述第二部件递送到载物台5以用于检查。
因此，在一个实施例中，待检查的第二部件200以所述预定取向提供在载物台5上，第二部件200具有与第一部件100相同的形状和尺寸。第二部件200定位在载物台5的中心上，使得第二部件200的中心与载物台5的中心重叠。就第一部件100而言，第二部件200通常将已预对准到转台的部件操纵头上的预定位置中，使得当部件操纵头将第二部件200递送到载物台5时，第二部件200将占据该预定取向。
由于待检查的第二部件200具有与第一部件100相同的形状和尺寸，并且由于它也以所述预定取向放置在载物台5上，因此将第一部件100的相应的第一、第二、第三和第四侧部100a-100d移动到相机3的焦点上所需的载物台5沿两条线性轴线9a、9b的相同位置也将会使第二部件200的相应的第一、第二、第三和第四侧部200a-200d移动到相机3的焦点上。
因此，在第二部件200以所述预定取向提供在载物台5上之后，然后从存储器50检索存储在存储器50中的第一位置数据（即，坐标），所述第一位置数据表示载物台5在第一部件100的第一侧部100a处于相机3的焦点上时的位置。然后，使载物台5（自动地或手动地）移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置。使载物台5移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置将会使第二部件200的第一侧部200a移动到相机3的焦点上，而不需要调整相机并且不需要沿两条线性轴线9a、9b或围绕旋转轴线7进一步调整载物台5的位置。因此，可以在载物台已移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置之后立即通过相机3捕获第二部件200的第一侧部200a的图像。应理解，在一些实施例中，由于载物台5可能已占据对应于在第一位置数据中指示的位置的位置，因此使载物台沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第一位置数据中指示的位置相同的位置的这个步骤可能没有必要。
在载物台5已移动到对应于由所检索的第一位置数据表示的位置的位置之后，通过相机3捕获第二部件200的第一侧部100a的图像。检查该图像，以识别在第二部件200的第一侧部200a中是否存在任何裂纹或污染物。
接下来，载物台5围绕旋转轴线7旋转，使得第二部件200的第二侧部200b面向相机3。在该示例中，由于第二部件200是矩形-立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得第二部件200的第二侧部200b面向相机3。
通过使载物台5移动到与载物台5在第一部件100的第二侧部100b处于相机3的焦点上时所占据的位置相同的位置，将会使第二部件200的第二侧部200d移动到相机3的焦点上。因此，在载物台5围绕旋转轴线7旋转使得第二部件200的第二侧部200b面向相机3之后，然后从存储器50检索存储在存储器50中的第二位置数据（即，坐标），所述第二位置数据表示载物台5在第一部件100的第二侧部100b处于相机3的焦点上时的位置。然后，使载物台5（自动地或手动地）移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置。使载物台5移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置将会使第二部件200的第二侧部200d移动到相机3的焦点上，而不需要调整相机并且不需要沿两条线性轴线9a、9b或围绕旋转轴线7进一步调整载物台5的位置。因此，可以在载物台已移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置之后立即通过相机3捕获第二部件200的第二侧部200d的图像。
在载物台5已移动到对应于由所检索的第二位置数据表示的位置的位置之后，通过相机3捕获第二部件200的第二侧部200b的图像。检查该图像，以识别在第二部件200的第二侧部200b中是否存在任何裂纹或污染物。
接下来，载物台5围绕旋转轴线7旋转，使得第二部件200的第三侧部200c面向相机3。在该示例中，由于第二部件200是矩形-立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得第二部件100的第三侧部200c面向相机3。
然后，从存储器检索第一位置数据，所述第一位置数据指示当第一部件100的第一侧部100a处于相机3的焦点上时载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b的位置。然后，使载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第一位置数据中指示的位置相同的位置。
当载物台已沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第一位置数据中指示的位置相同的位置时，第二部件200的第三侧部200c将在相机3的焦点上。然后，通过相机3捕获第二部件200的第三侧部200c的图像。然后，检查该图像，以识别在第二部件200的第三侧部200c中是否存在任何裂纹或污染物。
接下来，载物台5围绕旋转轴线7旋转，使得第二部件200的第四侧部200d面向相机3。在该示例中，由于第二部件200是矩形-立方形的，因此载物台5围绕旋转轴线7旋转90°，使得第二部件200的第四侧部200d面向相机3。
然后，从存储器检索第二位置数据，所述第二位置数据指示载物台5在第一部件100的第二侧部100b处于相机3的焦点上时沿所述两条线性轴线9a、9b的位置。然后，使载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第二位置数据中指示的位置相同的位置。
当载物台已沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第二位置数据中指示的位置相同的位置时，第二部件200的第四侧部200d将在相机3的焦点上。然后，通过相机3捕获第二部件200的第四侧部200d的图像。然后，检查该图像，以识别在第二部件200的第四侧部200d中是否存在任何裂纹或污染物。
在已捕获第二部件200的四个侧部200a-200d的图像之后（且任选地在已检查所述图像以识别在第二部件200中是否存在任何裂纹或污染物之后），然后从载物台5移除第二部件200。
通常，第二部件200将通过可旋转转台上的部件操纵头从载物台3移除；转台上的部件操纵头将延伸并通过真空保持第二部件200，然后缩回以从载物台5抬升第二部件200。
通常，在已从载物台5移除第二部件200之后，根据检查的结果对第二部件200进行分类；如果图像显示第二部件200的侧部200a-200d具有裂纹或被污染，则将第二部件200丢弃在箱中；如果图像显示第二部件200的侧部200a-200d没有任何裂纹和污染，则将第二部件200归类为“良好”部件。通常，转台然后将旋转以将“良好”部件移动到下一个处理站。转台的旋转还将把转台上的保持另一个（第三）部件的下一个部件操纵头移动到在载物台5上方的位置，在该位置处，部件操纵头可以将第三部件递送到载物台5以用于检查。
可以实施所描述的用于检查第二部件200的上述步骤，以连续地检查多个部件，所述多个部件中的每个部件具有与第二部件200相同的尺寸。因此，可以检查多个部件，而不必针对每个部件重新使相机聚焦，并且不必针对所述多个部件中的每一者确定使该部件的侧部移动到相机的焦点上所需的位置；因此，可以快速且可靠地检查所述多个部件。
应理解，在上述实施例中，由于位置数据与识别所检查的部件的类型的特征相关联地存储在存储器50中；因此这将使得能够基于待检查的部件的类型来从存储器51检索位置数据。例如，组件可用于使用每个部件的标识（identification）来检查许多种不同类型的部件，可从存储器检索载物台的针对每个部件的对应位置数据。因此，存储器51可存储载物台的针对不同类型的部件的位置数据；并且可使用标识根据待检查的部件的类型从存储器检索适当的位置数据。
在另外的实施例中，组件被构造成执行自动检查焦点位置。换句话说，组件1自动地检测待检查的部件是否需要不同的载物台位置以便将该部件的相应侧部移动到相机3的焦点。
在本发明的另外的实施例中，待检查的第三部件300被提供在载物台5上，第三部件300具有不同于第一部件100和第二部件200的尺寸。图3示出了用于检查被提供在载物台5上的第三部件300的组件1的透视图，第三部件300具有不同于第一部件100和第二部件200的尺寸。
在该示例中，第三部件300也是矩形-立方形的，其具有待检查的四个侧部300a-300d；因此，第三部件300具有与第一部件100和第二部件200相同的形状，但第三部件300的尺寸不同于第一部件100和第二部件200。在该示例中，第三部件300具有比第一部件100和第二部件200更大的尺寸，即与第一部件100和第二部件200的长度、宽度和高度相比，第三部件300更长、更宽且具有更大的高度。然而，将理解，第三部件可具有不同于第一部件100和第二部件200的形状或尺寸的任何形状或尺寸。
第三部件300以预定取向提供在载物台5上。优选地，第三部件300定位在载物台5的中心上，使得第三部件300的中心与载物台5的中心重叠。应理解，预定取向可取决于部件的形状和/或尺寸以及待检查的部件的区域。
在第三部件300以所述预定取向提供在载物台5上之后，则然后从存储器检索第一位置数据，所述第一位置数据指示载物台5在第一部件100的第一侧部100a处于相机3的焦点上时沿所述两条线性轴线9a、9b的位置。然后，使载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第一位置数据中指示的位置相同的位置。
然后，通过相机3捕获第三部件300的第一侧部300a的图像。在下一个步骤中，从所捕获的图像检测到第三部件300的第一侧部300a不在相机3的焦点上。例如，处理器8可确定所捕获的图像具有低于阈值聚焦水平的聚焦水平。
由于第三部件300具有比第一部件100和第二部件200更大的尺寸，因此当载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第一位置数据中指示的位置相同的位置时，第三部件300的第一侧部300a将太靠近相机3而不在相机3的焦点上。同样地，如果第三部件300具有比第一部件100和第二部件200更小的尺寸，则当载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b移动到与在所检索的第一位置数据中指示的位置相同的位置时，第三部件的第一侧部300a将离相机太远而不在焦点上。换句话说，在两种情况下，第三部件的第一侧部300a都将在相机3的焦点上，以便允许相机3捕获第一侧部300a的图像，该图像具有大约为阈值聚焦水平的聚焦水平。
在从所捕获的图像检测到第三部件300的第一侧部300a不在相机3的焦点上之后，针对第三部件300实施上文针对第一部件100描述的步骤，以便捕获（以及检查）第三部件300的四个侧部300a-300d中的每一个的图像并且将以下各者存储在存储器50中：第三位置数据，其指示载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b以及围绕旋转轴线7的旋转的位置，在该位置中，第三部件300的第一侧部300a在相机的焦点上；以及第四位置数据，其指示载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b以及围绕旋转轴线7的旋转的位置，在该位置中，第三部件300的第二侧部300b在相机3的焦点上。
可以实施所描述的用于检查第二部件200的上述步骤，以使用第三和第四位置数据（而非第一和第二位置数据）来连续地检查多个部件，所述多个部件中的每个部件具有与第三部件300相同的尺寸。
因此，在该实施例中，当不同形状和/或不同尺寸的部件被提供在载物台5上以用于检查时，从部件的图像自动地检测到需要重新校准载物台5沿所述两条线性轴线9a、9b中的一者或多者以及可能地还有围绕旋转轴线7的旋转的定位，以便将部件的侧部移动到相机3的焦点上。当检测到部件的图像模糊时，调整载物台5沿两条线性轴线9a、9b中的一者或多者和/或可能地还有围绕旋转轴线7的旋转的位置，以将部件的侧部移动到焦点上，并且将部件的侧部在相机3的焦点上的载物台所处的新位置存储在存储器中。
在不偏离如所附权利要求中定义的本发明的范围的情况下，对本发明的所描述的实施例的各种修改和变化将对本领域技术人员来说显而易见。虽然已结合具体的优选实施例描述了本发明，但应理解，如要求保护的本发明不应过度地受限于此类特定实施例。

Claims (12)

1.一种使用组件来检查部件的方法，所述组件包括：相机，其具有固定位置；以及可移动载物台，其中，所述可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于所述旋转轴线，所述方法包括以下步骤：
在所述载物台上提供呈预定取向的第一部件，使得所述部件的第一侧部面向相机；
使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第一部件的所述第一侧部移动到所述相机的焦点上；
在所述第一部件的所述第一侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第一侧部的图像。
2.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：在将所述载物台维持在与捕获所述第一侧部的所述图像时相同的沿所述线性轴线的位置中的同时，
使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第二侧部面向所述相机；
在所述第一部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其包括以下步骤：在将所述载物台维持在与捕获所述第一侧部的所述图像时相同的沿所述线性轴线的位置中的同时，
从所述载物台移除所述第一部件；
在所述载物台上提供呈预定取向的具有与所述第一部件相同的尺寸的第二部件，使得所述第二部件的第一侧部面向所述相机；
使用所述相机捕获所述第二部件的所述第一侧部的图像；
使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第二部件的第二侧部面向所述相机；
使用所述相机捕获所述第二部件的所述第二侧部的图像。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述第一部件是立方形的。
5.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：
当所述第一部件的所述第一侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第一位置数据存储在存储器中；
使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第二侧部面向所述相机；
使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第一部件的所述第二侧部移动到所述相机的焦点上；
当所述第一部件的所述第二侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第二位置数据存储在存储器中；
在所述第一部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。
6.根据权利要求5所述的方法，其包括以下步骤：
使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第三侧部面向所述相机；
从所述存储器检索所述第一位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第一位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第一部件的所述第三侧部移动到焦点上；
在所述第一部件的所述第三侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第三侧部的图像；
使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第四侧部面向所述相机；
从所述存储器检索所述第二位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第二位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第一部件的所述第四侧部移动到所述相机的焦点上；
在所述第一部件的所述第四侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第四侧部的图像。
7.根据权利要求5或6中任一项所述的方法，其包括以下步骤：
从所述载物台移除所述第一部件；
在所述载物台上提供呈预定取向的具有与所述第一部件相同的尺寸的第二部件，使得所述第二部件的第一侧部面向相机；
使用所述相机捕获所述第二部件的所述第一侧部的图像；
使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第二部件的第二侧部面向所述相机；
从所述存储器检索所述第二位置数据，并将所述载物台移动到对应于在所检索的所述第二位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第二部件的所述第二侧部移动到所述相机的焦点上；
使用所述相机捕获所述第二部件的所述第二侧部的图像。
8.根据权利要求7所述的方法，其还包括以下步骤：从所述存储器检索所述第一位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第一位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第二部件的所述第一侧部移动到所述相机的焦点上。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的方法，其中，所述第一部件是矩形-立方形的。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述方法还包括以下步骤：检查所捕获的图像以识别所述部件的所述侧部是否具有裂纹或被污染。
11.根据权利要求5至10中任一项所述的方法，其包括以下步骤：
从所述载物台移除所述第一部件；
在所述载物台上提供呈所述预定取向的具有不同于所述第一部件的尺寸的尺寸的第二部件，使得所述第二部件的第一侧部面向所述相机；
从存储器检索第一位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第一位置数据中指示的所述位置的位置；
使用所述相机捕获所述第二部件的所述第一侧部的图像；
从所捕获的所述图像检测到所述第二部件不在所述相机的焦点上；
使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第二部件的所述第一侧部移动到所述相机的焦点上；
在所述第二部件的所述第一侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第一侧部的图像；
当所述第二部件的所述第一侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第三位置数据存储在存储器中；
使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第二部件的第二侧部面向所述相机；
使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第二部件的所述第二侧部移动到所述相机的焦点上；
当所述第二部件的所述第二侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第四位置数据存储在存储器中；
在所述第二部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。
12.一种用于检查部件的组件，所述组件包括：
相机，其具有固定位置；以及
可移动载物台，其中，所述可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于所述旋转轴线；
处理器，其被构造成接收由所述相机捕获的图像并确定所述图像是否清晰，如果所述图像不清晰，则确定使所述部件移动到所述相机的焦点上所需的所述可移动载物台的移动，并启动所述可移动载物台来经历所述确定的移动以便将所述部件移动到所述相机的焦点上。
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