JP2016095106A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. ファンと、
   前記ファンを上側から包囲するチャンバと、
   前記ファンの吹出口に設けたフィルタと、
   前記チャンバ内の圧力を検知する圧力計と、
   前記ファンの回転数を検知する回転計と
   を備えたファンフィルタユニットを用い、
   前記ファンフィルタユニットの静圧−風速特性に対し、前記圧力計により検知した圧力値と前記回転計により検知した回転数から求められた動作点と前記フィルタの初期圧力特性に基づく正常運転時動作点とを比較することにより、前記ファンフィルタユニットの動作状態を監視する
   ことを特徴とする１台以上の前記ファンフィルタユニットから構成される空気清浄装置。
2. 請求項１に記載の空気清浄装置であって、
   前記求められた動作点の圧力値が前記正常運転時動作点の圧力値より一定程度以下に低下している場合には前記フィルタが破損していると判断して異常状態を検出する
   ことを特徴とする空気清浄装置。
3. 請求項１に記載の空気清浄装置であって、
   前記求められた動作点の圧力値が前記正常運転時動作点の圧力値より一定程度以上に上昇している場合には前記フィルタが目詰まりしていると判断して異常状態を検出する
   ことを特徴とする空気清浄装置。
4. ファンと、
   前記ファンを上側から包囲するチャンバと、
   前記ファンの吹出口に設けたフィルタと、
   当該ファンフィルタユニットの風速を検知する風速計と、
   前記ファンの回転数を検知する回転計と
   を備えたファンフィルタユニットを用い、
   前記ファンフィルタユニットの静圧−風速特性に対し、前記風速計により検知した風速値と前記回転計により検知した回転数から求められた動作点と前記フィルタの初期圧力特性に基づく正常運転時動作点とを比較することにより、前記ファンフィルタユニットの動作状態を監視する
   ことを特徴とする１台以上の前記ファンフィルタユニットから構成される空気清浄装置。
5. 請求項４記載の空気清浄装置であって、
   前記求められた動作点の風速値が前記正常運転時動作点の風速値より一定程度以上に上昇している場合には前記フィルタが破損していると判断して異常状態を検出する
   ことを特徴とする空気清浄装置。
6. 請求項４記載の空気清浄装置であって、
   前記求められた動作点の風速値が前記正常運転時動作点の風速値より一定程度以下に低下している場合には前記フィルタが目詰まりしていると判断して異常状態を検出する
   ことを特徴とする空気清浄装置。
7. 請求項１または請求項４に記載の空気清浄装置であって、
   前記求められた動作点の圧力値が、前記ファンフィルタユニットの静圧−風速特性上を前記正常運転時動作点の圧力値に前記フィルタの終値圧力損失分を加えた値へ向かう動きの変化度合いから、前記フィルタの寿命までの残り時間を予測する
   ことを特徴とする空気清浄装置。
8. 請求項１から請求項７のいずれかに記載の空気清浄装置であって、
   前記ファンフィルタユニットに設けた表示手段または前記ファンフィルタユニットの動作状態を管理する監視システムを用いて、前記ファンフィルタユニットの動作状態の監視から検出した異常状態を区別して報知する
   ことを特徴とする空気清浄装置。