JP2016092215A - 加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電チャック(加熱装置)1は、ベース部材12と、半導体ウェハ(被処理物)8を支持する支持面111を有する支持部材11と、支持部材11に設けられ、半導体ウェハ(被処理物)8を加熱するヒータ41と、充填材を含有する第1樹脂層61と、充填材を含有しない第2樹脂層62と、を備えている。ベース部材12と支持部材11との間には、第1樹脂層61及び第2樹脂層62を含む接合層13が配置されている。接合層13は、第1樹脂層61を少なくとも1層含む接合本体部131と、ベース部材12と接合本体部131との間に配置された第2樹脂層62と、を含む。
【選択図】図2
Description
(実施形態1)
本実施形態は、本発明の加熱装置を静電チャックに適用した例である。
まず、支持部材11を作製する。具体的には、従来公知の方法により、アルミナを主成分とするセラミックグリーンシートを作製する。本実施形態では、支持部材11となる複数のセラミックグリーンシートを作製する。
本実施形態の静電チャック1は、ベース部材12と接合本体部131との間に、第2樹脂層62を配置している。すなわち、接合層13におけるベース部材12と接する位置に、第2樹脂層62を配置している。ここで、第2樹脂層62は、充填材を含まないことから、充填材を含む場合に比べて流動性及び柔軟性が高い。そのため、接合層13を形成する際、ベース部材12の表面の凹凸やうねりに対して第2樹脂層62が追随し、ベース部材12と接合層13との間に気泡が入ることを抑制できる。これにより、気泡の存在に起因する、ベース部材12と接合層13との間の熱伝導率の低下を抑制でき、支持部材11の支持面111の温度分布を均一にできる。
本実施形態は、図11、図12に示すように、静電チャック1の接合層13の一部(接合本体部131)の構成を変更した例である。なお、実施形態1と同様の構成及び作用効果については説明を省略する。
本実施形態は、図13、図14に示すように、静電チャック1の接合層13全体の構成を変更した例である。なお、実施形態1と同様の構成については説明を省略する。
本実施形態の静電チャック1は、接合層13におけるベース部材12側及び支持部材11側に、それぞれ第1樹脂層61を配置している。すなわち、接合層13におけるベース部材12や支持部材11と接する位置に、第1樹脂層61を配置している。ここで、第1樹脂層61は、充填材を含むことから、充填材を含まない場合に比べて熱伝導率が高い。そのため、ベース部材12によって接合層13が冷却されやすくなる。この場合、接合層13全体の温度が低下することから、接合層13の耐久性及び信頼性を高めることができる。また、接合層13に要求される耐熱性が緩和され、接合層13に用いる材料の選択の幅が広がる。
本発明は、前述の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
(3)前述の実施形態3では、第1樹脂層61に、中空粒子を含む充填材611が含有されているが、前述の実施形態1、2においても同様に、第1樹脂層61に、中空粒子を含む充填材611が含有されていてもよい。
11…ベース部材
111…支持面
12…金属ベース
121…表面
122…裏面
13…接合層
131…接合本体部
21…吸着用電極
41…ヒータ
61…第1樹脂層
62…第2樹脂層
8…半導体ウェハ(被処理物)
Claims (7)
- 表面及び裏面を有するベース部材と、
該ベース部材の前記表面側に配置され、被処理物を支持する支持面を有する支持部材と、
該支持部材に設けられ、前記被処理物を加熱するヒータと、
充填材を含有する第1樹脂層と、
充填材を含有しない第2樹脂層と、を備え、
前記ベース部材と前記支持部材との間には、前記第1樹脂層及び前記第2樹脂層を含む接合層が配置され、
該接合層は、前記第1樹脂層を少なくとも1層含む接合本体部と、前記ベース部材と前記接合本体部との間に配置された前記第2樹脂層と、を含むことを特徴とする加熱装置。 - 前記ベース部材と前記接合本体部との間に配置された前記第2樹脂層の厚みは、0.5〜10μmであることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記接合層は、さらに、前記支持部材と前記接合本体部との間に配置された前記第2樹脂層を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の加熱装置。
- 前記支持部材と前記接合本体部との間に配置された前記第2樹脂層の厚みは、0.5〜10μmであることを特徴とする請求項3に記載の加熱装置。
- 前記接合本体部は、複数層の前記第1樹脂層と、該第1樹脂層同士の間に配置された前記第2樹脂層と、を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 前記接合本体部に含まれる前記第2樹脂層の厚みは、前記ベース部材と前記接合本体部との間に配置された前記第2樹脂層の厚みよりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の加熱装置。
- 表面及び裏面を有するベース部材と、
該ベース部材の前記表面側に配置され、被処理物を支持する支持面を有する支持部材と、
該支持部材に設けられ、前記被処理物を加熱するヒータと、
充填材を含有する第1樹脂層と、
充填材を含有しない第2樹脂層と、を備え、
前記ベース部材と前記支持部材との間には、前記第1樹脂層及び前記第2樹脂層を含む接合層が配置され、
該接合層は、前記ベース部材側に配置された前記第1樹脂層と、前記支持部材側に配置された前記第1樹脂層と、これら2つの前記第1樹脂層の間に配置された前記第2樹脂層と、を含むことを特徴とする加熱装置。
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