JP2016090032A - 液体の排出構造及び密封構造 - Google Patents
液体の排出構造及び密封構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016090032A JP2016090032A JP2014229175A JP2014229175A JP2016090032A JP 2016090032 A JP2016090032 A JP 2016090032A JP 2014229175 A JP2014229175 A JP 2014229175A JP 2014229175 A JP2014229175 A JP 2014229175A JP 2016090032 A JP2016090032 A JP 2016090032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- annular groove
- peripheral side
- outer peripheral
- end edges
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 190
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 85
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 14
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 241001272720 Medialuna californiensis Species 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Sealing (AREA)
Abstract
Description
すなわち、本発明に係る液体の排出構造は、
回転環と固定環とを備えるメカニカルシールの下方に同心的に配置される環状部材に設けられた、前記回転環と前記固定環のそれぞれのシール端面間から漏れ出た液体を受けた後に排出する液体の排出構造であって、
前記環状部材の上面に設けられた、前記シール端面間から漏れ出て滴下する液体を受ける環状溝と、
前記環状溝の外周側の側壁に設けられた、前記環状溝が受けた液体を排出する排出口と、
を備える液体の排出構造において、
前記環状溝は、内周側の側壁に沿って設けられた内周側段差部と、前記外周側の側壁に沿って設けられた外周側段差部とを備え、
前記内周側段差部の端縁と前記外周側段差部の端縁は、前記環状溝に溜まった液体の液面が前記両端縁に達している状態で、前記液面の前記両端縁間の部分が、前記液体の表面張力によって前記両端縁よりも高い位置まで上昇するように、前記両端縁が略同じ高さの位置に設けられている。
回転環と固定環とを備えるメカニカルシールと、
前記メカニカルシールの下方に同心的に配置された環状部材と、
を備える密封構造において、
前記環状部材は、前記回転環と前記固定環のそれぞれのシール端面間から漏れ出た液体を受けた後に排出する液体の排出構造を備え、
前記液体の排出構造は、
前記環状部材の上面に設けられた、前記シール端面間から漏れ出て滴下する液体を受ける環状溝と、
前記環状溝の外周側の側壁に設けられた、前記環状溝が受けた液体を排出する排出口と、
を備え、
前記環状溝は、内周側の側壁に沿って設けられた内周側段差部と、前記外周側の側壁に沿って設けられた外周側段差部とを備え、
前記内周側段差部の端縁と前記外周側段差部の端縁は、前記環状溝に溜まった液体の液面が前記両端縁に達している状態で、前記液面の前記両端縁間の部分が、前記液体の表面張力によって前記両端縁よりも高い位置まで上昇するように、前記両端縁が略同じ高さの位置に設けられている。
図1〜図3を参照して、本発明の実施例に係る液体の排出構造、及び、メカニカルシールと、当該排出構造が設けられた環状部材とを備える密封構造について説明する。なお、本実施例においては、半導体製造装置や一般産業機器のハウジングと、当該ハウジング内に回転導入するための回転軸との間の環状隙間を密封する密封構造を例にして説明する。
特に、図1を参照して、本発明の実施例に係る密封構造の全体構成について説明する。図1は、本発明の実施例に係る密封構造の模式的断面図であって、回転軸500の中心軸線Cを含む平面による模式的断面図である。なお、説明の便宜上、特徴的な部分を示すために切断位置の位相は適宜変更させている。また、奥行きは適宜省略されており、基本的に端面のみが図示されている。
回転環210と回転環410の間隔を規定するために設置されている。第1スリーブ510及び回転環410の上方には、セットスクリュー531によって回転軸500の外周に対して固定された、環状の固定部材530が取り付けられている。固定部材530には、径方向外側から下方へ突出した円筒部532が形成されている。円筒部532の内周面が第1スリーブ510の外周面を押圧すると共に、円筒部532の下端が回転環410を上方から押圧することによって、第1スリーブ510、第2スリーブ520、回転環210及び回転環410の回転軸500に対する位置決めがなされている。これにより、回転環210及び回転環410は、回転軸500と共に回転する。
ール200から漏れ出たクエンチング液が、更にオイルシール720からも漏れ出ることがある。そこで、密封構造100においては、第1メカニカルシール200のシール端面211、222間から漏れ出た後に、更にオイルシール720からも漏れ出たクエンチング液(以下、単に「漏出液体」ともいう。)を排出するための液体の排出構造を備える環状部材300が設けられている。
図1から図3を参照して、本発明の実施例に係る液体の排出構造について説明する。なお、図2は、本発明の実施例に係る液体の排出構造が設けられた環状部材の模式的な上面図である。また、図3は、実施例に係る環状部材に設けられた環状溝の模式的な断面図であって、環状溝に滴下した漏出液体の水位が側壁溝に達したときの状態を示している。なお、図3は、図2に示されるAA断面における切断面のみを示している。
本実施例に係る液体の排出構造によれば、第1メカニカルシール200の下方に配置された環状溝320には、内周側段差部322の端縁322Aと外周側段差部324の端縁324Aとが略同じ高さの位置に設けられている。これにより、環状溝320内に溜まった漏出液体の液面が上昇したときには、液面が両端縁322A、324Aに達している状態のまま、液面の両端縁322A、324A間の部分が、表面張力によって両端縁322A、324Aよりも高い位置まで上昇することができる。その結果、更に環状溝320内に漏出液体が滴下したときには、環状溝320内を周方向に流れる漏出液体の流れの発生が促される。これにより、排出口330からの漏出液体の排出が促進されるため、環状溝320内における漏出液体の水位の過度な上昇を抑制することが可能になる。
本発明に係る液体の排出構造の構成は、上述の実施例における構成に限られない。例えば、本発明に係る液体の排出構造の変形例としては、環状溝320に拡幅部340が設けられていない構成が挙げられる。つまり、図4に示されるように、変形例としての液体の排出構造810が設けられた環状部材800においては、環状溝320の幅は、排出口330が形成された位置を除いて概ね一定に形成されている。このような構成を備える排出構造810においても、内周側段差部322の端縁322Aと外周側段差部324の端縁324Aが設けられているため、排出口330からの漏出液体の排出が促進される。したがって、排出構造810においても、上述の排出構造310と同様に、環状溝320内における漏出液体の水位上昇は効果的に抑制される。また、第1メカニカルシール200と、第1メカニカルシール200の下方に同心的に配置された環状部材800と、を備える密封構造においても、同様の効果が奏される。
状であれば、扇形等の他の形状であってもよい。また、上述の実施例においては、環状部材300はステンレス鋼から構成されるが、使用環境により、金属(合金)以外の材料を選定することができる。
200:第1メカニカルシール、 210:回転環、 220:固定環
300:環状部材、 310:排出構造、 320:環状溝
321:内周側側壁、 322:内周側段差部、 322A:内周側端縁
323:外周側側壁、 324:外周側段差部、 324A:外周側端縁
330:排出口、 340:拡幅部
400:第2メカニカルシール、 410:回転環、 420:固定環
500:回転軸、 600:ハウジング、 700:シールケース
800:環状部材、 810:排出構造
Claims (4)
- 回転環と固定環とを備えるメカニカルシールの下方に同心的に配置される環状部材に設けられた、前記回転環と前記固定環のそれぞれのシール端面間から漏れ出た液体を受けた後に排出する液体の排出構造であって、
前記環状部材の上面に設けられた、前記シール端面間から漏れ出て滴下する液体を受ける環状溝と、
前記環状溝の外周側の側壁に設けられた、前記環状溝が受けた液体を排出する排出口と、
を備える液体の排出構造において、
前記環状溝は、内周側の側壁に沿って設けられた内周側段差部と、前記外周側の側壁に沿って設けられた外周側段差部とを備え、
前記内周側段差部の端縁と前記外周側段差部の端縁は、前記環状溝に溜まった液体の液面が前記両端縁に達している状態で、前記液面の前記両端縁間の部分が、前記液体の表面張力によって前記両端縁よりも高い位置まで上昇するように、前記両端縁が略同じ高さの位置に設けられている、液体の排出構造。 - 前記環状溝には径方向外側に部分的に拡幅した拡幅部が設けられており、前記拡幅部における外周側の側壁に前記排出口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体の排出構造。
- 回転環と固定環とを備えるメカニカルシールと、
前記メカニカルシールの下方に同心的に配置された環状部材と、
を備える密封構造において、
前記環状部材は、前記回転環と前記固定環のそれぞれのシール端面間から漏れ出た液体を受けた後に排出する液体の排出構造を備え、
前記液体の排出構造は、
前記環状部材の上面に設けられた、前記シール端面間から漏れ出て滴下する液体を受ける環状溝と、
前記環状溝の外周側の側壁に設けられた、前記環状溝が受けた液体を排出する排出口と、
を備え、
前記環状溝は、内周側の側壁に沿って設けられた内周側段差部と、前記外周側の側壁に沿って設けられた外周側段差部とを備え、
前記内周側段差部の端縁と前記外周側段差部の端縁は、前記環状溝に溜まった液体の液面が前記両端縁に達している状態で、前記液面の前記両端縁間の部分が、前記液体の表面張力によって前記両端縁よりも高い位置まで上昇するように、前記両端縁が略同じ高さの位置に設けられている、密封構造。 - 前記環状溝には径方向外側に部分的に拡幅した拡幅部が設けられており、前記拡幅部における外周側の側壁に前記排出口が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の密封構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014229175A JP6315590B2 (ja) | 2014-11-11 | 2014-11-11 | 液体の排出構造及び密封構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014229175A JP6315590B2 (ja) | 2014-11-11 | 2014-11-11 | 液体の排出構造及び密封構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016090032A true JP2016090032A (ja) | 2016-05-23 |
JP6315590B2 JP6315590B2 (ja) | 2018-04-25 |
Family
ID=56018165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014229175A Active JP6315590B2 (ja) | 2014-11-11 | 2014-11-11 | 液体の排出構造及び密封構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6315590B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04300610A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-23 | Osamu Asai | ミスト捕集装置 |
JP2006250306A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | メカニカルシール |
JP2012097761A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ロータリジョイント |
JP2014114848A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ロータリージョイント |
JP2014136996A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Toshiba Corp | ファン装置 |
-
2014
- 2014-11-11 JP JP2014229175A patent/JP6315590B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04300610A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-23 | Osamu Asai | ミスト捕集装置 |
JP2006250306A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | メカニカルシール |
JP2012097761A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ロータリジョイント |
JP2014114848A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ロータリージョイント |
JP2014136996A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Toshiba Corp | ファン装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6315590B2 (ja) | 2018-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9829043B2 (en) | Sliding parts | |
US11644100B2 (en) | Seal ring | |
US9970478B2 (en) | Sliding parts | |
EP3032123B1 (en) | Tilting pad type journal bearing | |
JP2016080090A (ja) | メカニカルシール | |
JP6396689B2 (ja) | 流体ダンパ装置およびダンパ付き機器 | |
JP2019052759A (ja) | シールアセンブリとギアボックス | |
JP2013104520A (ja) | 転がり軸受の潤滑装置 | |
JP6315590B2 (ja) | 液体の排出構造及び密封構造 | |
AU2014325239B2 (en) | Sliding parts | |
JP2016084912A (ja) | 主軸装置 | |
JP2014214831A (ja) | 密封装置 | |
KR101849363B1 (ko) | 오일 실 | |
JP6393557B2 (ja) | 密封装置 | |
JP6855353B2 (ja) | メカニカルシール及び密封構造 | |
JP6585789B2 (ja) | フィルタエレメント | |
JP6900410B2 (ja) | 立軸ポンプ | |
JP6798950B2 (ja) | ティルティングパッドジャーナル軸受装置 | |
JP5573825B2 (ja) | 回転機械 | |
JP6484064B2 (ja) | フィルタエレメント | |
JP2014109195A (ja) | 水切り鍔及びポンプ装置 | |
JP2014231850A (ja) | 巻ブッシュ軸受 | |
JP5049897B2 (ja) | 回転機の軸受装置 | |
KR102073124B1 (ko) | 누유 방지 장치 | |
JP6521838B2 (ja) | 回転軸の支持構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20170522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180320 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180322 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6315590 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |