JP2016076541A - 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 - Google Patents
薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016076541A JP2016076541A JP2014204636A JP2014204636A JP2016076541A JP 2016076541 A JP2016076541 A JP 2016076541A JP 2014204636 A JP2014204636 A JP 2014204636A JP 2014204636 A JP2014204636 A JP 2014204636A JP 2016076541 A JP2016076541 A JP 2016076541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring layer
- semiconductor layer
- layer
- thin film
- film transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 77
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 173
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 119
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 60
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 48
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 343
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 23
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 7
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 7
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TYHJXGDMRRJCRY-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) tin(4+) Chemical compound [O-2].[Zn+2].[Sn+4].[In+3] TYHJXGDMRRJCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- JCMGUODNZMETBM-UHFFFAOYSA-N arsenic trifluoride Chemical compound F[As](F)F JCMGUODNZMETBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940060296 dodecylbenzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M merocyanine Chemical compound [Na+].O=C1N(CCCC)C(=O)N(CCCC)C(=O)C1=C\C=C\C=C/1N(CCCS([O-])(=O)=O)C2=CC=CC=C2O\1 DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- NQBRDZOHGALQCB-UHFFFAOYSA-N oxoindium Chemical compound [O].[In] NQBRDZOHGALQCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 150000003016 phosphoric acids Chemical class 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000323 polyazulene Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000414 polyfuran Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000417 polynaphthalene Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/417—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/41725—Source or drain electrodes for field effect devices
- H01L29/41733—Source or drain electrodes for field effect devices for thin film transistors with insulated gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1222—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
- H01L27/1225—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer with semiconductor materials not belonging to the group IV of the periodic table, e.g. InGaZnO
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66969—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies not comprising group 14 or group 13/15 materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/7869—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/466—Lateral bottom-gate IGFETs comprising only a single gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00
- H10K19/10—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00 comprising field-effect transistors
Abstract
【課題】製造プロセスの容易化と低電圧駆動とを実現することが可能な薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法ならびに表示装置を提供する。
【解決手段】薄膜トランジスタは、ゲート電極と、ゲート電極上に配置された絶縁膜と、絶縁膜を介してゲート電極に対向配置された半導体層と、半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層とを備える。ソース・ドレイン配線層は、半導体層と絶縁膜との間において半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層とを有し、半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、第2の配線層上の一部に積層されている。
【選択図】図1
【解決手段】薄膜トランジスタは、ゲート電極と、ゲート電極上に配置された絶縁膜と、絶縁膜を介してゲート電極に対向配置された半導体層と、半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層とを備える。ソース・ドレイン配線層は、半導体層と絶縁膜との間において半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層とを有し、半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、第2の配線層上の一部に積層されている。
【選択図】図1
Description
本開示は、表示装置に用いられる薄膜トランジスタとその製造方法および表示装置に関する。
酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタの構造としては様々なものが挙げられるが、例えば、ボトムゲート・ボトムコンタクト型(特許文献1)あるいはボトムゲート・トップコンタクト型(特許文献2)の構造が挙げられる。ボトムゲート・ボトムコンタクト型(以下、単にボトムコンタクト型という)では、ソース・ドレイン配線(チャネルとのコンタクト部分)を、セルフアラインプロセスを含むフォトリソグラフィにより形成することができる。具体的には、ゲート電極(ゲート配線)をマスクとした裏面露光プロセスを経てソース・ドレイン配線を形成することができる。ソース・ドレイン配線には、透明導電膜が用いられる。
ボトムコンタクト型では、ボトムゲート・トップコンタクト型(以下、単にトップコンタクト型という)と比較して、以下のようなメリットがある。即ち、ボトムコンタクト型では、トップコンタクト型と異なり、チャネルを含む半導体層を形成する前にソース・ドレイン配線を形成することから、チャネル領域へのエッチングダメージが少ない。このため、信頼性の低下を抑制できると共に、トランジスタ特性のばらつきの増大を防ぐことができる。
しかしながら、上記特許文献1のようなボトムコンタクト型の薄膜トランジスタでは、ソース・ドレイン配線上において、半導体層をパターニングすることとなる。このため、例えば透明導電膜からなるソース・ドレイン配線と酸化物半導体層との間において選択性を持つエッチングが求められる。これは、難しいプロセスであり、実現性に乏しい。また、透明導電膜を配線層に用いた場合、透明導電膜は電気抵抗が高いことから、表示装置などにおいて駆動電流が増大するという問題がある。
本開示はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ボトムゲート・ボトムコンタクト型の素子構造において、製造プロセスの容易化と低電圧駆動とを実現することが可能な薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法ならびに表示装置を提供することにある。
本開示の薄膜トランジスタは、ゲート電極と、ゲート電極上に配置された絶縁膜と、絶縁膜を介してゲート電極に対向配置された半導体層と、半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層とを備える。ソース・ドレイン配線層は、半導体層と絶縁膜との間において半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層とを有し、半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、第2の配線層上に積層されている。
本開示の薄膜トランジスタの製造方法は、ゲート電極を形成する工程と、ゲート電極上に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜を介してゲート電極に対向配置された半導体層を形成する工程と、半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層を形成する工程とを含む。ソース・ドレイン配線層として、透明導電膜からなる第1の配線層と、第1の配線層の一部に重畳する第2の配線層とをこの順に形成し、第2の配線層を形成した後、半導体層を形成する。
本開示の薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法では、ソース・ドレイン配線層が、透明導電膜からなる第1の配線層と、第1の配線層の一部に重畳する第2の配線層とを有する。第2の配線層が第1の配線層に重畳することで、第1の配線層のみの単層構造とする場合に比べ、ソース・ドレイン配線層の電気抵抗が低くなる。また、製造プロセスでは、第2の配線層の形成後に半導体層が形成されることで、第1の配線層は第2の配線層と半導体層とによって被覆される。ここで、半導体層を第1の配線層上において選択性をもってエッチングすることは技術的に困難なプロセスであるが、そのような選択性エッチングを行わずに半導体層を形成することができる。
本開示の表示装置は、上記本開示の薄膜トランジスタを備えたものである。
本開示の薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法ならびに表示装置では、ソース・ドレイン配線層が、半導体層と絶縁膜との間において半導体層に接すると共に透明導電膜からなる第1の配線層と、第1の配線層の一部に重畳する第2の配線層とを有する。第2の配線層が第1の配線層に重畳することで、第1の配線層のみの単層構造とする場合に比べ、ソース・ドレイン配線層を低抵抗化し、駆動電圧を低減することができる。また、製造プロセスでは、第2の配線層の形成後に半導体層を形成することにより、半導体層を、第1の配線層上においてエッチングすることなく、所望の領域に形成することができる。よって、製造プロセスの容易化と低電圧駆動とを実現することが可能となる。
尚、上記内容は本開示の一例である。本開示の効果は、上述したものに限らず、他の異なる効果であってもよいし、更に他の効果を含んでいてもよい。
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.実施の形態(ソース・ドレイン配線層の第1配線層をセルフアラインプロセスにより形成し、第2配線層形成後に半導体層を成膜してなる、薄膜トランジスタの例)
2.適用例(電子機器の例)
1.実施の形態(ソース・ドレイン配線層の第1配線層をセルフアラインプロセスにより形成し、第2配線層形成後に半導体層を成膜してなる、薄膜トランジスタの例)
2.適用例(電子機器の例)
<実施の形態>
[構成]
図1は、本開示の一実施の形態に係る薄膜トランジスタ(薄膜トランジスタ10)の構成を表したものである。薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)10は、後述の表示装置の画素回路あるいは周辺回路において用いられ、例えば酸化物TFTまたは有機TFTなどとして好適に用いられる。この薄膜トランジスタ10は、いわゆるボトムゲート・ボトムコンタクト型の素子構造を有しており、例えば基板11上の選択的な領域にゲート電極12を有している。ゲート電極12を覆うようにゲート絶縁膜13(絶縁膜)が形成されている。活性層(チャネル)を含む半導体層17aは、ゲート絶縁膜13を介して、ゲート電極12に対向配置されている。この半導体層17aに電気的に接続されて、ソース・ドレイン配線層16が形成されている。ソース・ドレイン配線層16は、基板11の側から順に積層された、第1配線層14と第2配線層15とを有する。第1配線層14は、ゲート絶縁膜13と半導体層17aとの間において、半導体層17aに下方から接している(いわゆるボトムコンタクトとして機能する)。第2配線層15は、第1配線層14の一部に重畳して設けられている。この第2配線層15上には、半導体層17aと同一材料および厚みから構成された半導体層17b(他の半導体層)が形成されている。半導体層17a,17b上には、トランジスタ全体を覆うように層間絶縁膜18が形成されている。
[構成]
図1は、本開示の一実施の形態に係る薄膜トランジスタ(薄膜トランジスタ10)の構成を表したものである。薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)10は、後述の表示装置の画素回路あるいは周辺回路において用いられ、例えば酸化物TFTまたは有機TFTなどとして好適に用いられる。この薄膜トランジスタ10は、いわゆるボトムゲート・ボトムコンタクト型の素子構造を有しており、例えば基板11上の選択的な領域にゲート電極12を有している。ゲート電極12を覆うようにゲート絶縁膜13(絶縁膜)が形成されている。活性層(チャネル)を含む半導体層17aは、ゲート絶縁膜13を介して、ゲート電極12に対向配置されている。この半導体層17aに電気的に接続されて、ソース・ドレイン配線層16が形成されている。ソース・ドレイン配線層16は、基板11の側から順に積層された、第1配線層14と第2配線層15とを有する。第1配線層14は、ゲート絶縁膜13と半導体層17aとの間において、半導体層17aに下方から接している(いわゆるボトムコンタクトとして機能する)。第2配線層15は、第1配線層14の一部に重畳して設けられている。この第2配線層15上には、半導体層17aと同一材料および厚みから構成された半導体層17b(他の半導体層)が形成されている。半導体層17a,17b上には、トランジスタ全体を覆うように層間絶縁膜18が形成されている。
基板11は、例えばガラスから構成されている。但し、ガラス以外にも、例えばシリコン(Si)ウェハ、樹脂あるいは導電性基板などから構成されていてもよい。導電性基板としては、例えば表面を酸化シリコン(SiO2)や樹脂等により絶縁処理が施されたものが用いられる。また、基板11は、可撓性(フレキシブル性)を有する材料から構成されていてもよい。可撓性を有する材料としては、例えば、ポリイミド(PI),ポリエチレンテレフタレート(PET),ポリエーテルサルフォン(PES),ポリエチレンナフタレート(PEN),ポリカーボネート(PC),液晶ポリマーなどの樹脂材料が挙げられる。あるいは、可撓性材料としては、上記樹脂材料の他にも、薄膜化された金属シートの表面に絶縁処理が施されたものであってもよい。
ゲート電極12は、薄膜トランジスタ10にゲート電圧を印加し、このゲート電圧により半導体層17a中の電子密度を制御する役割を持つものである。ゲート電極12は、例えばアルミニウム(Al),チタン(Ti),白金(Pt),金(Au),パラジウム(Pd),クロム(Cr),ニッケル(Ni),モリブデン(Mo),ニオブ(Nb),ネオジム(Nd),ルビジウム(Rb),ロジウム(Rh),銀(Ag),タンタル(Ta),タングステン(W),銅(Cu)、インジウム(In)および錫(Sn)等の金属のうちのいずれかよりなる単体、またはそれらの金属のうちの少なくとも1種を含む合金から構成されている。また、これらの金属の単体および合金のうちのいずれかよりなる単層膜であってもよいし、2種以上を積層した多層膜であってもよい。一例としては、ゲート電極12は、厚み50nmのモリブデン層と、厚み400nmのアルミニウム層とを積層した多層膜である。なお、図1には、このゲート電極12と同層に形成される他の配線(配線12a,12b)についても示している。
ゲート絶縁膜13は、例えば無機絶縁膜により構成されている。無機絶縁膜としては、例えば酸化シリコン(SiO2),窒化シリコン(SiNx),酸窒化シリコン(SiONx),酸化アルミニウム(Al2O3)および酸化タンタル(Ta2O5)などのうちの1種よりなる単層膜、またはそれらのうちの2種以上を積層した多層膜が挙げられる。このゲート絶縁膜13の厚みは、例えば200nm〜500nmである。また、有機TFTの場合には、ゲート絶縁膜13には有機絶縁膜が用いられる。有機絶縁膜としては、例えばポリビニルフェノール(PVP),ジアリルフタレート,ポリイミド,ポリメタクリル酸メチル,ポリビニルアルコール(PVA),ポリエステル,ポリエチレン,ポリカーボネート,ポリアミド,ポリアミドイミド,ポリエーテルイミド,ポリシロキサン,ポリメタクリルアミド,ポリウレタン,ポリブタジエン,ポリスチレン,ポリ塩化ビニル,ニトリルゴム,アクリルゴム,ブチルゴム,エポキシ樹脂,フェノール樹脂,メラミン樹脂,ウレア樹脂,ノボラック樹脂,フッ素系樹脂などのうちの1種よりなる単層膜、またはそれらのうちの2種以上よりなる多層膜が挙げられる。
ソース・ドレイン配線層16は、ソースまたはドレインとして機能するものである。ここでは、ゲート絶縁膜13上の2箇所に、互いに電気的に分離された状態で、一方がソースとして、他方がドレインとしてそれぞれ機能するように設けられている。
第1配線層14は、ゲート絶縁膜13と半導体層17aとの間に、少なくとも一部が挟まれるように形成され、半導体層17aに対して下方から接している(ボトムコンタクトを形成する)。換言すると、第1配線層14の一部は、ゲート絶縁膜13上において、半導体層17aにより覆われている。第1配線層14のうち半導体層17aから露出した部分は、第2配線層15により覆われている(第1配線層14は、半導体層17aと第2配線層15とによって覆われている)。この第1配線層14は、後述のセルフアラインプロセスを用いて形成されるものである。具体的には、第1配線層14をパターニングする際のフォトリソグラフィの露光プロセスにおいて、ゲート電極12をマスクとした裏面露光により、フォトレジストのパターニングがなされる。このようなプロセスが用いられることにより、第1配線層14の端部は、平面視的にゲート電極12の端部と非重畳となる。また、2つの第1配線層14間の距離(距離B)は、ゲート電極12の幅と略等しくなる。換言すると、第1配線層14の端部は、ゲート電極12の端部と平面視的に略同一の位置(図1に示した位置e1)に配される。距離Bは、チャネル長に相当する。
この第1配線層14は、例えば酸化インジウム錫(ITO),酸化インジウム亜鉛(IZO),酸化インジウムガリウム亜鉛(IGZO),酸化インジウムスズ亜鉛(ITZO),酸化亜鉛(ZnO),酸化インジウムガリウム(IGO)あるいは酸化インジウム(InO)等の透明導電膜から構成されている。第1配線層14の厚みは、例えば10nm〜50nmである。
第2配線層15は、第1配線層14よりも導電性の高い導電膜、例えば金属により構成されていることが望ましい。第2配線層15を構成する金属としては、例えばアルミニウム(Al)もしくは銀(Ag)の単体、またはアルミニウムもしくは銀を主成分とする合金などが挙げられる。但し、第2配線層15の構成材料は、金属に限定されず、第1配線層14として用いられるような透明導電膜により構成されていてもよい。ソース・ドレイン配線層16を、第1配線層14の単層膜とする場合に比べ、低抵抗化できるためである。但し、より抵抗値を低減するために、第2配線層15は金属により構成されることが望ましい。この第2配線層15の厚みは、半導体層17aよりも大きく、例えば1μm〜2μmである。第2配線層15の厚みは、第2配線層15の端部(側面)において半導体層17aが断切れする(端部において分断される)のに十分な大きさを有していることが望ましい。この第2配線層15は、ゲート絶縁膜13上において、2つの第1配線層14の各一部に重畳して、設けられている。第2配線層15は、半導体層17aに非重畳となっている。
半導体層17aは、ゲート電圧の印加によってソースおよびドレイン間の領域にチャネルを形成するものである。この半導体層17aは、例えば酸化物半導体により構成されている。酸化物半導体は、例えばインジウム(In),ガリウム(Ga),亜鉛(Zn),スズ(Sn)等のうちの少なくとも1種の元素と、酸素とを含む化合物である。具体的には、例えば酸化インジウムガリウム亜鉛(IGZO),酸化インジウムスズ亜鉛(ITZO),酸化亜鉛(ZnO),酸化インジウム亜鉛(IZO),酸化インジウムガリウム(IGO),酸化インジウムスズ(ITO),酸化インジウム(InO)等が挙げられる。また、有機TFTの場合には、半導体層17aには有機半導体が用いられる。有機半導体は、例えばポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレン、ポリフェニレン、ポリフラン、ポリセレノフェン、ポリイソチアナフテン、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンビニレン、ポリチエニレンビニレン、ポリナフタレン、ポリアントラセン、ポリピレン、ポリアズレン、フタロシアニン、ペンタセン、メロシアニン、およびポリエチレンジオキシチオフェンから成る群から選択された少なくとも1種類の有機材料に、ヨウ素、過塩素酸、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、4フッ化硼酸、5フッ化ヒ素、6フッ化リン酸、アルキルスルホン酸、パーフルオアルキルスルホン酸、ポリアクリル酸、ポリスチレンスルホン酸、およびドデシルベンゼンスルホン酸から成る群から選択された少なくとも1種類のドーピング材料をドーピングして得られた材料である。この半導体層17aの厚みは、例えば10nm〜50nm程度である。
この半導体層17aは、詳細は後述するが、ソース・ドレイン配線層16の第2配線層15の形成後に成膜されることで、第2配線層15の端部での断切れによって、一部分がパターン形成される。半導体層17aは、第1配線層14の一部(端部および上面の一部)を覆うと共に、第2配線層15によって挟まれた領域に形成されている。また、第2配線層15上の一部にも、半導体層17aと同一の材料および厚みからなる半導体層17bが形成される。この半導体層17bは、半導体層17aの形成時において、半導体層17aと分断されて第2配線層15上に堆積した半導体材料である。
層間絶縁膜18は、例えば酸化シリコン、窒化シリコンおよび酸化アルミニウム等の無機絶縁膜、あるいはアクリル、ポリイミドおよびシロキサン等の有機絶縁膜から構成されている。
[製造方法]
次に、薄膜トランジスタ10の製造方法について説明する。図2A〜図7は、薄膜トランジスタ10の製造方法を工程順に説明するための断面図である。
次に、薄膜トランジスタ10の製造方法について説明する。図2A〜図7は、薄膜トランジスタ10の製造方法を工程順に説明するための断面図である。
まず、基板11上に、ゲート電極12(および配線層12a,12b)と、ゲート絶縁膜13とをこの順に形成する。
(第1配線層の形成)
第1配線層14は、セルフアラインプロセスを用いてパターン形成する。具体的には、まず、図2Aに示したように、ゲート絶縁膜13上の全面にわたって、上述した材料および厚みよりなる第1配線層14を、例えばスパッタ法により成膜する。
第1配線層14は、セルフアラインプロセスを用いてパターン形成する。具体的には、まず、図2Aに示したように、ゲート絶縁膜13上の全面にわたって、上述した材料および厚みよりなる第1配線層14を、例えばスパッタ法により成膜する。
続いて、図2Bに示したように、第1配線層14上の選択的な領域に、フォトレジスト膜110Aを形成する。このフォトレジスト膜110Aは、ソース・ドレイン配線層16の形成領域(薄膜トランジスタ10の形成領域)に対応する領域に形成される。
この後、図2Cに示したように、フォトレジスト膜110Aをマスクとしたエッチングを行い、第1配線層14をパターニングする。エッチング後、フォトレジスト膜110Aは第1配線層14上から剥離する。
次に、図3Aに示したように、第1配線層14上にフォトレジスト膜110Bを形成し、裏面露光を行う。即ち、ゲート電極12をマスクとしてセルフアラインにより露光する。具体的には、基板11の下方から光Lを照射することで、フォトレジスト膜110Bを露光する。このとき、フォトレジスト膜110Bとして、いわゆるネガ型の感光性樹脂を用いることで、図3Bに示したように、ゲート電極12(および配線層12a,12b)がマスクとなり、このゲート電極12等から露出した領域にのみ、フォトレジスト膜110Bが残る。
この後、図3Cに示したように、フォトレジスト膜110Bをマスクとして、第1配線層14のエッチングを行う。この後、図3Dに示したように、フォトレジスト膜110Bを剥離することにより、所望の領域に第1配線層14がパターン形成される。これにより、第1配線層14とゲート電極12とが平面視的に非重畳となるように形成され、第1配線層14の端部と、ゲート電極12の端部とは、略同一の位置に配される。このようにして、セルフアラインプロセスを利用して、第1配線層14を形成することができる。
(第2配線層の形成)
次に、第2配線層15を形成する。即ち、まず、ゲート絶縁膜13に、層間接続のためのコンタクトホールH1を形成する。具体的には、図4Aに示したように、ゲート絶縁膜13および第1配線層14の上に、フォトレジスト膜110Cをパターン形成し、このフォトレジスト膜110Cをマスクとしてゲート絶縁膜13をエッチングする。これにより、ゲート絶縁膜13の、所望の領域(例えば、配線層12aに対応する領域)に、コンタクトホールH1を形成できる。この後、フォトレジスト膜110Cは、ゲート絶縁膜13上から剥離する。
次に、第2配線層15を形成する。即ち、まず、ゲート絶縁膜13に、層間接続のためのコンタクトホールH1を形成する。具体的には、図4Aに示したように、ゲート絶縁膜13および第1配線層14の上に、フォトレジスト膜110Cをパターン形成し、このフォトレジスト膜110Cをマスクとしてゲート絶縁膜13をエッチングする。これにより、ゲート絶縁膜13の、所望の領域(例えば、配線層12aに対応する領域)に、コンタクトホールH1を形成できる。この後、フォトレジスト膜110Cは、ゲート絶縁膜13上から剥離する。
続いて、図4Bに示したように、ゲート絶縁膜13上に、第1配線層14を覆い、かつコンタクトホールH1を埋め込んで、上述した材料および厚みよりなる第2配線層15を、例えば真空蒸着法あるいはスパッタ法等により成膜する。
この後、図4Cに示したように、フォトレジスト膜110Dをパターン形成し、このフォトレジスト膜110Dをマスクとして第2配線層15をエッチングする。なお、フォトレジスト膜110Dは、第1配線層14の一部に重畳するようにパターニングする。このフォトレジスト膜110Dを用いたエッチングにより、第1配線層14の一部に重畳するように第2配線層15がパターン形成される。
その後、図4Dに示したように、フォトレジスト膜110Dを第2配線層15上から剥離する。このようにして、第2配線層15が形成され、即ちソース・ドレイン配線層16が形成される。なお、第1配線層14のうち第2配線層15から露出した部分が、後の工程において形成する半導体層17aとのコンタクト部分となる。
(半導体層の形成)
次に、半導体層17aを形成する。具体的には、図5Aに示したように、上述した材料(例えば酸化物半導体)および厚みよりなる半導体層17aを、例えばスパッタ法などにより成膜する。このとき、第2配線層15の端部(側面)において、上述した半導体材料が断切れして(分断されて)堆積する。即ち、第2配線層15間に挟まれた領域に半導体層17aが、第1配線層14と接して形成される。第2配線層15上には、半導体層17aと分かれて半導体層17bが形成される。このように、本実施の形態では、第2配線層15によって、半導体層17aの一部分(例えば半導体層17aのゲート長方向における形状)がパターニングされる。また、確実に断切れさせるために、第2配線層15の厚みは半導体層17aの厚みに比べて十分に大きいことが望ましい。
次に、半導体層17aを形成する。具体的には、図5Aに示したように、上述した材料(例えば酸化物半導体)および厚みよりなる半導体層17aを、例えばスパッタ法などにより成膜する。このとき、第2配線層15の端部(側面)において、上述した半導体材料が断切れして(分断されて)堆積する。即ち、第2配線層15間に挟まれた領域に半導体層17aが、第1配線層14と接して形成される。第2配線層15上には、半導体層17aと分かれて半導体層17bが形成される。このように、本実施の形態では、第2配線層15によって、半導体層17aの一部分(例えば半導体層17aのゲート長方向における形状)がパターニングされる。また、確実に断切れさせるために、第2配線層15の厚みは半導体層17aの厚みに比べて十分に大きいことが望ましい。
この後、図5Bおよび図6に示したように、半導体層17aのうちゲート絶縁膜13上に配された一部を、例えばフォトリソグイラフィ法を用いたエッチングによりパターニングする。なお、図6は、図5Bの要部構成の平面レイアウトを表したものである。ここで、第1配線層14は、酸化物半導体などの透明導電膜により構成されることから、半導体層17aとエッチング選択比を確保しにくく(条件設定が難しく)、エッチングが困難である。本実施の形態では、第1配線層14は、第2配線層15と半導体層17aとによって被覆されている。半導体層17aのエッチングは、ゲート絶縁膜13上と、半導体層17aに比べて十分に厚みの大きな第2配線層15上とにおいてなされることとなる。したがって、上記のような難しい選択性エッチングの工程を経ることなく、容易に、半導体層17aを第1配線層14上の所望の領域に形成することができる。このようにして、半導体層17aを形成することができる。また、図6に示したように、平面視的には、第1配線層14は、位置e1においてゲート電極12と隣接すると共に、第2配線層15および半導体層17aによって全体が覆われている。また、第2配線層15は、第1配線層14の一部に重畳すると共に、半導体層17aとは非重畳となっている。第2配線層15の上には、半導体層17bが形成される。上記のようにして、薄膜トランジスタ10が完成する。
最後に、図7に示したように、層間絶縁膜18を形成し、酸素(O2)雰囲気においてアニール処理を行う。この際、第1配線層14は、上述のように半導体層14と第2配線層15とによって覆われていることから、酸素雰囲気に曝されない。このため、半導体層17aとのコンタクト部分となる第1配線層14の高抵抗化を抑制することができる。また、このアニール処理は、層間絶縁膜18の形成以前の工程において行ってもよいが、薄膜トランジスタ10の完成後にアニール処理を行うことが望ましい。TFT特性をより安定化させることができるためである。
[作用・効果]
本実施の形態の薄膜トランジスタ10では、ゲート電極12に印加されるゲート電圧に応じて、ソース・ドレイン配線層16間(ソースおよびドレイン間)の電流が制御され、オン動作またはオフ動作がなされる。例えば、ゲート電極12に、所定の閾値電圧以上のゲート電圧が印加されると、半導体層17aのチャネルに電界が生じ、ソース・ドレイン配線層16間に電流が流れ、オン状態となる。後述の表示装置の各種回路において、例えばスイッチング素子あるいは増幅素子などとして用いることができる。
本実施の形態の薄膜トランジスタ10では、ゲート電極12に印加されるゲート電圧に応じて、ソース・ドレイン配線層16間(ソースおよびドレイン間)の電流が制御され、オン動作またはオフ動作がなされる。例えば、ゲート電極12に、所定の閾値電圧以上のゲート電圧が印加されると、半導体層17aのチャネルに電界が生じ、ソース・ドレイン配線層16間に電流が流れ、オン状態となる。後述の表示装置の各種回路において、例えばスイッチング素子あるいは増幅素子などとして用いることができる。
ここで、薄膜トランジスタ10では、ボトムコンタクト型の構造をもつことにより、トップコンタクト型の構造に比べ、ゲート電極12をマスクとした裏面露光(セルフアラインプロセス)を利用することができる。これにより、以下のようなメリットがある。
図8に、本実施の形態の比較例(比較例1)として、トップコンタクト型のTFTの構成例について示す。図9は、図8の要部の平面レイアウトを表したものである。この比較例1のTFTでは、ゲート電極102上に、ゲート絶縁膜103を介して半導体層107が形成されている。この半導体層107の上面に接するようにソース・ドレイン配線層(コンタクト層108a,配線層108b)が形成されている。これらの素子全体を覆うように、層間絶縁膜109が形成されている。
比較例1の構造では、コンタクト層108aとゲート電極102とが、オーバーラップするように配置されている(オーバーラップ領域dOL1が設けられる)。これは、例えば酸化物TFTでは、半導体層107に対する有効な不純物ドーパントが乏しいことから、いわゆるLDD(Lightly Doped Drain)工程が行われないためである。ところが、このオーバーラップ領域dOL1の形成により、寄生容量が大きくなり易い。また、トップコンタクト型の素子構造では、コンタクト層108aの形成時(コンタクトホールの形成時)に半導体層107上でエッチングを行うことから、チャネルへのエッチングダメージが生じ易い。加えて、リソばらつきを考慮して、配線層108bと半導体層107との間には、オーバーラップ領域dOL2が設けられている。このオーバーラップ領域dOL2に起因して、半導体層107のチャネルに電気的ストレスがかかり易い。更には、チャネル長Lgは、配線層108b同士のショートマージンと、コンタクト層108aおよび配線層108b間の位置合わせマージンとの制約を受ける。このため、チャネル長Lgの微細化が難しい。
これに対し、本実施の形態のように、ボトムコンタクト型の素子構造において、上述のようなセルフアラインによる裏面露光プロセスを用いることで、上記のオーバーラップ領域dOL1を最小化できる。即ち、図1および図6に示したように、コンタクト層となる第1配線層14は、ゲート電極12と非重畳となり、詳細には第1配線層14の端部とゲート電極12の端部とが略同一の位置e1に配される。このため、寄生容量を低減することができる。また、ゲート電極12と第1配線層14との間において位置ずれ,ばらつきが生じにくい。このため、保持容量の面積縮小につながると共に、寄生容量による保持容量のばらつきに起因した色むらの抑制につながる。
また、第1配線層14による半導体層17aへのボトムコンタクトにより、第1配線層14を半導体層17aよりも先に形成することから、比較例1のようなコンタクト形成のための半導体層107上でのエッチング工程が不要である。このため、半導体層17aへのエッチングダメージが生じず、信頼性低下およびTFT特性のばらつきを低減することができる。
加えて、第2配線層15は半導体層17aに非重畳であることから、半導体層17aへの電気的ストレスを軽減できる。このため、BTI(Bias Temperature Instability)信頼性低下を抑制でき、また寄生容量を最小化することができる。
更には、チャネル長が第1配線層14間の距離Bによって決まることから、チャネル長の微細化が可能である。
図10A〜図10Eに、本実施の形態の比較例2として、ボトムコンタクト型のTFTの製造工程の一例について示す。例えば、図10Aおよび図10Bに示したように、基板101上に、ゲート電極102、ゲート絶縁膜103、透明導電膜よりなるコンタクト層104およびフォトレジスト膜105を形成した後、裏面露光により、フォトレジスト膜105をパターニングする。続いて、図10Cに示したように、フォトレジスト膜105をマスクとしてエッチングを行ったのち、図10Dに示したように、フォトレジスト膜105を除去する。この後、図10Eに示したように、コンタクト層104上に、例えば酸化物半導体よりなる半導体層106を成膜し、パターニングする。ところが、この比較例2の手法では、半導体層106のパターニングにおいて、コンタクト層104上においてエッチングが行われる。コンタクト層104(透明導電膜)と、半導体層106(酸化物半導体)との間で選択性をもって(選択比を確保する)ことは容易ではなく、エッチングが非常に困難である。また、コンタクト層104は、金属に比べて抵抗値が高く、配線利用には不向きである。例えば有機電界発光装置向けの駆動ドライバなどでは、大電流を要し、現実的ではない。加えて、TFTの特性安定化の目的で、チャネル形成後にアニール処理が行われるが、このアニール処理によって抵抗値が高くなり易い。特に、酸化物TFTでは、酸素雰囲気においてアニール処理がなされることから、透明導電膜の抵抗値上昇が顕著である。
これに対し、本実施の形態では、ソース・ドレイン配線層16において、第1配線層14(ボトムコンタクト)の一部に重畳して第2配線層15が設けられている。これにより、第1配線層14のみの単層構造とする場合に比べ、ソース・ドレイン配線層16を低抵抗化できる。また、製造プロセスでは、第2配線層15の形成後に半導体層17aが形成され、第2配線層15の端部において半導体材料が分断される(半導体層17a,17bが形成される)。このため、第1配線層14上において半導体層17aをエッチングする必要がない。第1配線層14と半導体層17aとの選択性をもった難しいエッチングを行うことなく、半導体層17aを所望の領域にパターン形成することができる。
また、チャネル形成後のアニール処理の際に、第1配線層14の露出がない(半導体層17aおよび第2配線層15によって覆われている)ことから、第1配線層14の高抵抗化を抑制することができる。加えて、このアニール処理を製造工程の最後(層間絶縁膜18の形成後など)に行うことができ、TFT特性の安定化に有利となる。
更に、上述したようなソース・ドレイン配線層16の低抵抗化、寄生容量の低減、TFT特性の安定化、信頼性の向上などの効果によって、薄膜トランジスタ10の高速動作が可能となる。このような薄膜トランジスタ10を表示装置に適用した場合には、ハイフレームレートでの映像表示を実現できる。
以上のように、本実施の形態では、ソース・ドレイン配線層16が、透明導電膜からなる第1配線層14と、第1配線層14の一部に重畳する第2配線層15とを有する。第2配線層15が第1配線層14に重畳することで、ソース・ドレイン配線層16を低抵抗化できる。また、製造プロセスでは、第2配線層15の形成後に半導体層17aが形成されることで、第2配線層15の端部において半導体材料が分断されることから、第1配線層14と半導体層17aとの間で選択性をもつエッチングを行うことなく、半導体層17aを所望の領域にパターン形成することができる。よって、製造プロセスの容易化と低電圧駆動とを実現することが可能となる。
(表示装置の例)
上記のような薄膜トランジスタ10は、例えば次のような表示装置(液晶表示装置1,有機電界発光装置2)に適用することができる。図11は、液晶表示装置1の概略構成を、図12は、有機電界発光装置2の概略構成を、それぞれ表したものである。
上記のような薄膜トランジスタ10は、例えば次のような表示装置(液晶表示装置1,有機電界発光装置2)に適用することができる。図11は、液晶表示装置1の概略構成を、図12は、有機電界発光装置2の概略構成を、それぞれ表したものである。
図11に示したように、液晶表示装置1では、基板11上に、上述した薄膜トランジスタ10が形成され、この薄膜トランジスタ10上に層間絶縁膜18を介して画素電極19が設けられる。画素電極19は、例えば画素(サブピクセル)毎に設けられている。この画素電極19と対向して各画素に共通の対向電極21が設けられ、これらの画素電極19と対向電極21との間に、液晶層20が封止されている。なお、図示は省略するが、対向電極21上には、対向基板が設けられている。対向基板には、カラーフィルタやブラックマトリクスなどが形成されている。また、基板11の光入射側と、対向基板の光出射側とには、偏光板が貼り合わせられている。
図12に示したように、有機電界装置2では、基板11上に、上述した薄膜トランジスタ10が形成され、この薄膜トランジスタ10上に層間絶縁膜18を介して第1電極22が設けられる。第1電極22は、例えば画素(サブピクセル)毎に設けられている。この第1電極22と対向して、各画素に共通の第2電極24が設けられ、これらの第1電極22と第2電極24との間に、有機電界発光層を含む有機層23が形成されている。なお、第1電極22、有機層23および第2電極24が、後述の有機電界発光素子2Aに相当する。また、図示は省略するが、第2電極24上に保護膜や接着層を介して封止基板が貼り合わせられている。封止基板には、必要に応じて、カラーフィルタやブラックマトリクスなどが形成されている。
図13は、上記の有機電界発光装置2の機能構成を表したものである。このように、有機電界発光装置2では、基板11上の表示領域11Aには、それぞれが有機電界発光素子2Aを含む複数の画素140がマトリクス状に配置されている。各画素140は、例えば赤色の光(波長620nm〜750nm),緑色の光(波長495nm〜570nm)および青色の光(波長450nm〜495nm)のうちのいずれかを出射する。画素140はサブピクセル(R画素,G画素,B画素)に相当するものであり、これら3つのR画素,G画素,B画素の組を1つのピクセルとして画像表示がなされる。表示領域11Aの周辺には、映像表示用の信号線駆動回路120および走査線駆動回路130が設けられている。
画素140は、図14に示したように駆動用のトランジスタTr1および書き込み用のトランジスタTr2を有し、これらのトランジスタTr1,Tr2の間にはキャパシタCsが設けられている。第1の電源ライン(Vcc)と第2の電源ライン(GND)との間において、有機電界発光素子2AがトランジスタTr1に直列に接続されている。信号線駆動回路120は、列方向に配置された複数の信号線120Aを通じてトランジスタTr2のソース電極に画像信号を供給する。走査線駆動回路130は、行方向に配置された複数の走査線130Aを通じてトランジスタTr2のゲート電極に走査信号を順次供給する。これらのトランジスタTr1,Tr2として、上述した薄膜トランジスタ10を用いることができる。
<適用例>
上記実施の形態において説明した薄膜トランジスタ10を含む表示装置は、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、映像として表示するあらゆる分野の電子機器に用いることができる。以下にその具体例を示す。但し、この他にも、上述の表示装置は、例えばテレビジョン装置,デジタルカメラ,ビデオカメラ,ノート型パーソナルコンピュータ、フレキシブルディスプレイ等の電子機器に組み込むことができる。
上記実施の形態において説明した薄膜トランジスタ10を含む表示装置は、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、映像として表示するあらゆる分野の電子機器に用いることができる。以下にその具体例を示す。但し、この他にも、上述の表示装置は、例えばテレビジョン装置,デジタルカメラ,ビデオカメラ,ノート型パーソナルコンピュータ、フレキシブルディスプレイ等の電子機器に組み込むことができる。
図15Aおよび図15Bは、スマートフォン220の外観を表したものである。このスマートフォン220は、例えば、表側に表示部221および操作部222を有し、裏側にカメラ223を有しており、表示部221に上記実施の形態の表示装置が搭載されている。
図16は、タブレットパーソナルコンピュータ240の外観を表したものである。このタブレットパーソナルコンピュータ240は、例えば、タッチパネル部241および筐体242を有しており、タッチパネル部241に上記実施の形態の表示装置が搭載されている。
図17Aおよび図17Bは、携帯電話機290の外観を表したものである。この携帯電話機290は、例えば、上側筐体291と下側筐体292とを連結部(ヒンジ部)293で連結したものであり、ディスプレイ294,サブディスプレイ295,ピクチャーライト296およびカメラ297を有している。ディスプレイ294またはサブディスプレイ295が上記実施の形態の表示装置により構成されている。
図18は、透明ディスプレイ300の外観を表したものである。透明ディスプレイ300は、例えば表示部310と、操作部311と、筐体312とを有している。表示部310が上記実施の形態の表示装置により構成されている。この透明ディスプレイ300では、表示部310の背景を透過しつつ、画像や文字情報を表示することが可能である。
以上、実施の形態を挙げて説明したが、本開示は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態に記載した各層の材料および厚みは列挙したものに限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよい。また、表示装置では、上述した全ての層を備えている必要はなく、あるいは上述した各層に加えて更に他の層を備えていてもよい。また、上記実施の形態等において説明した効果は一例であり、本開示の効果は、他の効果であってもよいし、更に他の効果を含んでいてもよい。
なお、本開示は以下のような構成であってもよい。
(1)
ゲート電極と、
前記ゲート電極上に配置された絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層と
を備え、
前記ソース・ドレイン配線層は、
前記半導体層と前記絶縁膜との間において前記半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、
前記第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層と
を有し、
前記半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、前記第2の配線層上に積層されている
薄膜トランジスタ。
(2)
前記第1の配線層は、平面視的に前記ゲート電極の端部に非重畳である
上記(1)に記載の薄膜トランジスタ。
(3)
前記第1の配線層の端部は、平面視的に前記ゲート電極の端部と略同一の位置に配置されている
上記(2)に記載の薄膜トランジスタ。
(4)
前記第2の配線層は、金属から構成されている
上記(1)〜(3)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(5)
前記第2の配線層は、前記半導体層よりも厚みが大きい
上記(1)〜(4)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(6)
前記第2の配線層は、前記半導体層と非重畳である
上記(1)〜(5)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(7)
前記第1の配線層は、前記半導体層と前記第2の配線層とにより覆われている
上記(1)〜(6)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(8)
前記半導体層は、酸化物半導体から構成されている
上記(1)〜(7)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(9)
前記半導体層は、有機半導体から構成されている
上記(1)〜(8)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(10)
ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層を形成する工程と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層を形成する工程と
を含み、
前記ソース・ドレイン配線層として、透明導電膜からなる第1の配線層と、前記第1の配線層の一部に重畳する第2の配線層とをこの順に形成し、
前記第2の配線層を形成した後、前記半導体層を形成する
薄膜トランジスタの製造方法。
(11)
前記第1の配線層を、前記ゲート電極をマスクとした露光プロセスを含むフォトリソグラフィにより形成する
上記(10)に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(12)
前記第2の配線層は、金属から構成されている
上記(10)または(11)に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(13)
前記第2の配線層の厚みを、前記半導体層の厚みよりも大きくする
上記(10)〜(12)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(14)
前記第1の配線層は、前記半導体層と前記第2の配線層とにより覆われている
上記(10)〜(13)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(15)
前記半導体層は、酸化物半導体から構成されている
上記(10)〜(14)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(16)
前記半導体層は、有機半導体から構成されている
上記(10)〜(14)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(17)
ゲート電極と、
前記ゲート電極上に配置された絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層と
を備え、
前記ソース・ドレイン配線層は、
前記半導体層と前記絶縁膜との間において前記半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、
前記第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層と
を有し、
前記半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、前記第2の配線層上に積層されている
薄膜トランジスタを備えた表示装置。
(1)
ゲート電極と、
前記ゲート電極上に配置された絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層と
を備え、
前記ソース・ドレイン配線層は、
前記半導体層と前記絶縁膜との間において前記半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、
前記第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層と
を有し、
前記半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、前記第2の配線層上に積層されている
薄膜トランジスタ。
(2)
前記第1の配線層は、平面視的に前記ゲート電極の端部に非重畳である
上記(1)に記載の薄膜トランジスタ。
(3)
前記第1の配線層の端部は、平面視的に前記ゲート電極の端部と略同一の位置に配置されている
上記(2)に記載の薄膜トランジスタ。
(4)
前記第2の配線層は、金属から構成されている
上記(1)〜(3)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(5)
前記第2の配線層は、前記半導体層よりも厚みが大きい
上記(1)〜(4)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(6)
前記第2の配線層は、前記半導体層と非重畳である
上記(1)〜(5)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(7)
前記第1の配線層は、前記半導体層と前記第2の配線層とにより覆われている
上記(1)〜(6)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(8)
前記半導体層は、酸化物半導体から構成されている
上記(1)〜(7)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(9)
前記半導体層は、有機半導体から構成されている
上記(1)〜(8)のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
(10)
ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層を形成する工程と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層を形成する工程と
を含み、
前記ソース・ドレイン配線層として、透明導電膜からなる第1の配線層と、前記第1の配線層の一部に重畳する第2の配線層とをこの順に形成し、
前記第2の配線層を形成した後、前記半導体層を形成する
薄膜トランジスタの製造方法。
(11)
前記第1の配線層を、前記ゲート電極をマスクとした露光プロセスを含むフォトリソグラフィにより形成する
上記(10)に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(12)
前記第2の配線層は、金属から構成されている
上記(10)または(11)に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(13)
前記第2の配線層の厚みを、前記半導体層の厚みよりも大きくする
上記(10)〜(12)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(14)
前記第1の配線層は、前記半導体層と前記第2の配線層とにより覆われている
上記(10)〜(13)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(15)
前記半導体層は、酸化物半導体から構成されている
上記(10)〜(14)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(16)
前記半導体層は、有機半導体から構成されている
上記(10)〜(14)のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
(17)
ゲート電極と、
前記ゲート電極上に配置された絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層と
を備え、
前記ソース・ドレイン配線層は、
前記半導体層と前記絶縁膜との間において前記半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、
前記第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層と
を有し、
前記半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、前記第2の配線層上に積層されている
薄膜トランジスタを備えた表示装置。
10…薄膜トランジスタ、11…基板、12…ゲート電極、13…ゲート絶縁膜、14…第1配線層、15…第2配線層、16…ソース・ドレイン配線層、17a,17b…半導体層、18…層間絶縁膜、1…液晶表示装置、2…有機電界発光装置、2A…有機電界発光素子、110A〜110D…フォトレジスト膜。
Claims (17)
- ゲート電極と、
前記ゲート電極上に配置された絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層と
を備え、
前記ソース・ドレイン配線層は、
前記半導体層と前記絶縁膜との間において前記半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、
前記第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層と
を有し、
前記半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、前記第2の配線層上に積層されている
薄膜トランジスタ。 - 前記第1の配線層は、平面視的に前記ゲート電極の端部に非重畳である
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記第1の配線層の端部は、平面視的に前記ゲート電極の端部と略同一の位置に配置されている
請求項2に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記第2の配線層は、金属から構成されている
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記第2の配線層は、前記半導体層よりも厚みが大きい
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記第2の配線層は、前記半導体層と非重畳である
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記第1の配線層は、前記半導体層と前記第2の配線層とにより覆われている
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記半導体層は、酸化物半導体から構成されている
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - 前記半導体層は、有機半導体から構成されている
請求項1に記載の薄膜トランジスタ。 - ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層を形成する工程と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層を形成する工程と
を含み、
前記ソース・ドレイン配線層として、透明導電膜からなる第1の配線層と、前記第1の配線層の一部に重畳する第2の配線層とをこの順に形成し、
前記第2の配線層を形成した後、前記半導体層を形成する
薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記第1の配線層を、前記ゲート電極をマスクとした露光プロセスを含むフォトリソグラフィにより形成する
請求項10に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記第2の配線層は、金属から構成されている
請求項10に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記第2の配線層の厚みを、前記半導体層の厚みよりも大きくする
請求項10に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記第1の配線層は、前記半導体層と前記第2の配線層とにより覆われている
請求項10に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記半導体層は、酸化物半導体から構成されている
請求項10に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記半導体層は、有機半導体から構成されている
請求項10に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - ゲート電極と、
前記ゲート電極上に配置された絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向配置された半導体層と、
前記半導体層と電気的に接続されたソース・ドレイン配線層と
を備え、
前記ソース・ドレイン配線層は、
前記半導体層と前記絶縁膜との間において前記半導体層に接すると共に、透明導電膜からなる第1の配線層と、
前記第1の配線層の一部に重畳して設けられた第2の配線層と
を有し、
前記半導体層と同一材料からなる他の半導体層が、前記第2の配線層上に積層されている
薄膜トランジスタを備えた表示装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014204636A JP2016076541A (ja) | 2014-10-03 | 2014-10-03 | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 |
US15/512,163 US10707313B2 (en) | 2014-10-03 | 2015-09-10 | Thin film transistor, method of manufacturing thin film transistor, and display |
PCT/JP2015/075703 WO2016052127A1 (ja) | 2014-10-03 | 2015-09-10 | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014204636A JP2016076541A (ja) | 2014-10-03 | 2014-10-03 | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016076541A true JP2016076541A (ja) | 2016-05-12 |
Family
ID=55630170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014204636A Pending JP2016076541A (ja) | 2014-10-03 | 2014-10-03 | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10707313B2 (ja) |
JP (1) | JP2016076541A (ja) |
WO (1) | WO2016052127A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105304653B (zh) * | 2015-11-27 | 2018-07-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 像素结构、阵列基板、液晶显示面板及像素结构制造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236775A (ja) * | 1995-03-01 | 1996-09-13 | Toshiba Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP3528388B2 (ja) * | 1995-12-27 | 2004-05-17 | カシオ計算機株式会社 | トランジスタアレイの製造方法 |
JP2006190757A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機半導体層の形成方法および有機薄膜トランジスタの製造方法 |
TWI500159B (zh) * | 2008-07-31 | 2015-09-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置和其製造方法 |
US8481373B2 (en) * | 2009-07-24 | 2013-07-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing thin film transistor substrate |
JP5500907B2 (ja) | 2009-08-21 | 2014-05-21 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2012190978A (ja) | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Japan Display Central Co Ltd | 半導体装置 |
JP6239227B2 (ja) * | 2011-11-30 | 2017-11-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置および半導体装置の作製方法 |
CN102779783B (zh) * | 2012-06-04 | 2014-09-17 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种像素结构及其制造方法、显示装置 |
-
2014
- 2014-10-03 JP JP2014204636A patent/JP2016076541A/ja active Pending
-
2015
- 2015-09-10 US US15/512,163 patent/US10707313B2/en active Active
- 2015-09-10 WO PCT/JP2015/075703 patent/WO2016052127A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170288029A1 (en) | 2017-10-05 |
US10707313B2 (en) | 2020-07-07 |
WO2016052127A1 (ja) | 2016-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10367073B2 (en) | Thin film transistor (TFT) with structured gate insulator | |
US10341475B2 (en) | Display unit, method of manufacturing the same, and electronic apparatus | |
US10886409B2 (en) | Display backplate and fabrication method thereof, display panel and display device | |
US20110215328A1 (en) | Thin film transistor, method of manufacturing the thin film transistor, and display device | |
US11665940B2 (en) | Display substrate for avoiding breaks and preparation method thereof, bonding method of display panel and display apparatus | |
US9177970B2 (en) | Semiconductor device, method of manufacturing the same, method of manufacturing display unit, and method of manufacturing electronic apparatus | |
JP6330207B2 (ja) | 表示装置及び薄膜トランジスタ基板 | |
CN110061059B (zh) | 薄膜晶体管及其制造方法 | |
JP2012182165A (ja) | 表示装置および電子機器 | |
US11723257B2 (en) | Organic light emitting diode display substrate, manufacturing method therefor, and organic light emitting diode display device | |
KR20200060629A (ko) | 표시 장치 및 이의 제조 방법 | |
KR20210021218A (ko) | 표시 장치 | |
US9923039B2 (en) | Display panels, methods of manufacturing the same and organic light emitting display devices having the same | |
US9461066B2 (en) | Thin film transistor and method of manufacturing the same, array substrate and display device | |
CN111969008A (zh) | 有机发光显示基板及其制备方法、显示装置 | |
US10879329B2 (en) | Semiconductor device, semiconductor substrate, luminescent unit, and display unit | |
WO2016052127A1 (ja) | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 | |
JP2013183111A (ja) | トランジスタ、半導体装置、表示装置および電子機器、並びに半導体装置の製造方法 | |
US9502492B2 (en) | Semiconductor device, method of manufacturing the same, display unit, and electronic apparatus | |
KR102605847B1 (ko) | 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법 | |
US20140070193A1 (en) | Transistor, method of manufacturing transistor, method of manufacturing semiconductor unit, and method of manufacturing display unit | |
JP2018160518A (ja) | 半導体装置、表示装置および電子機器 | |
KR20210040202A (ko) | 표시 장치 | |
JP2018113370A (ja) | 半導体装置、表示装置および電子機器 |