JP2016076059A - 空気レギュレータ - Google Patents

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Abstract

【課題】2次圧力が大気圧の状態から調圧を開始することができ、しかも、大流量を流すことができる空気レギュレータを得る。
【解決手段】1次圧力導入口と2次圧力取出口間の流路を開閉する主弁15と;2次圧力取出口に連通する2次圧力室17と;1次圧力導入口及び2次圧力取出室に連通する背圧室28と;2次圧力室と背圧室の差圧で昇降移動して主弁を開閉する、主弁と同軸に配置した浮動ピストン20と;2次圧力取出口と連通する制御室と;制御室内に位置し、該制御室内の圧力に応じて拡縮する、主弁及び浮動ピストンと同軸に位置するメジャリングカプセル31と;該メジャリングカプセルを昇降移動させる調圧機構と;メジャリングカプセルと浮動ピストンの間に同軸に配置され、メジャリングカプセルの拡縮量及び調圧昇降移動量に応じて、背圧室と外気との連通面積を変化させる可変ブリード弁40と;を有する空気レギュレータ。
【選択図】図3

Description

本発明は、変動する高い1次圧力を安定した低い2次圧力として取り出す空気レギュレータに関し、特に2次圧力が実質的に大気圧の状態から調圧することができ、かつ大流量を流すことができる空気レギュレータに関する。
この種の空気レギュレータとして、1次圧力導入口、2次圧力取出口、1次圧力導入口と2次圧力取出口間を開閉する主弁、2次圧力取出口と背圧室の圧力変動に応じて移動し主弁を開閉作動させる浮動ピストン、及び、2次圧力取出室と連通する制御室内に配置され、該制御室圧力に応じて拡縮し、背圧室と制御室間の連通面積を変化させるメジャリングカプセルを備えた装置が知られている(特許文献1)。特許文献1のメジャリングカプセルは、除振台の除振テーブルの上下位置に応じて軸方向に移動するが、空気レギュレータ単独の形態では、調圧ノブによって軸方向に移動させて調圧2次圧力を変化させる。
特開2001-271878号公報
特許文献1は、本出願人の出願に係るものであるが、浮動ピストンに主弁開放方向のばね力を作用させているため、2次圧力が大気圧の状態(大気圧に極めて近い状態)から調圧を開始することができないという問題があった。また、主弁を大型化して流路面積を確保する(大流量を流す)ことが困難であった。
本発明は、従って、2次圧力が大気圧の状態から調圧を開始することができ、しかも、大流量を流すことができる空気レギュレータを得ることを目的とする。
本発明の空気レギュレータは、1次圧力導入口と;2次圧力取出口と;上記1次圧力導入口と2次圧力取出口間の流路を開閉する主弁と;上記2次圧力取出口に連通する2次圧力室と;上記1次圧力導入口及び2次圧力取出室に連通する背圧室と;上記2次圧力室と背圧室の差圧で昇降移動して上記主弁を開閉する、上記主弁と同軸に配置した浮動ピストンと;上記2次圧力取出口と連通する制御室と;上記制御室内に位置し、該制御室内の圧力に応じて拡縮する、上記主弁及び浮動ピストンと同軸に位置するメジャリングカプセルと;該メジャリングカプセルを昇降移動させる調圧機構と;上記メジャリングカプセルと浮動ピストンの間に同軸に配置され、上記メジャリングカプセルの拡縮量及び調圧昇降移動量に応じて、上記背圧室と外気との連通面積を変化させる可変ブリード弁と;を有することを特徴としている。
上記可変ブリード弁は、具体的には、弁座を有する弁座体と、この弁座体の弁座に対して接離移動する弁体と、上記メジャリングカプセルの動きを上記球弁体に伝達する運動伝達ロッドと、上記浮動ピストンには力を及ぼすことなく、上記弁座体を上記メジャリングカプセル側に移動付勢して定位置に保持するばね手段と、によって構成することができる。
上記可変ブリード弁の上記ばね手段は、上記制御室圧力が大気圧のとき、上記メジャリングカプセルの拡張力によって撓み、上記弁座体の上記主弁側への移動を許容する。
上記1次圧力導入口と背圧室を連通させる通路及び上記2次圧力取出室と背圧室を連通させる通路にはそれぞれ、固定絞りを配置することが望ましい。
上記主弁は、好ましい一態様では、上記浮動ピストンに臨む排気弁部を一体に有し、上記浮動ピストンは該浮動ピストンの位置に応じ該排気弁部と接離する弁座部を一体に有し、該弁座部が排気弁部から離間するとき2次圧力取出口を大気に連通させる。
本発明によれば、2次圧力が大気圧の状態から調圧を開始することができ、かつ大流量を流すことができる空気レギュレータを得ることができる。
本発明による空気レギュレータの一実施形態を示す縦断面図である。 同空気レギュレータの図1とは異なる断面での縦断面図である。 同空気レギュレータの各室の連通関係を示す縦断面図である。
図1は、本発明を適用した空気レギュレータ10の全体構造を示している。ハウジング11は、図1の下方から順に、ロアハウジング11a、ミドルハウジング(ダイアフラムシリンダ)11b、アッパハウジング11c及びキャップ体(ボンネット)11dを備えており、これらは全体として一体をなすように結合されている。
ロアハウジング11aには、1次圧力導入口12と2次圧力取出口13とが開口している。1次圧力導入口12と2次圧力取出口13の間は、通路14によって連通しており、この通路14が主弁15によって開閉される。主弁15は主弁ダンパ(付勢手段)16の力によって常時通路14を閉じている。ロアハウジング11a内には、2次圧力取出口13及び通路14に連通する2次圧力室17が形成されている。主弁ダンパ16は、主弁15を閉弁方向に付勢する弾性ゴムであり、圧縮ばね(付勢手段)に代えることも可能である。
第一アッパハウジング11cとミドルハウジング11bの間、及びミドルハウジング11bとロアハウジング11aの間にはそれぞれ、浮動ピストン20のパイロットダイアフラム21及びコントロールダイアフラム22の周縁部が気密に挟着されている。浮動ピストン20は、パイロットダイアフラム21とコントロールダイアフラム22の間にリリーフ室23を有し、中心部に排気弁ブロック24を有している。この排気弁ブロック24には、2次圧力室17とリリーフ室23とを連通させる排気穴25が形成されており、リリーフ室23はミドルハウジング11bに形成した大気開放穴26によって大気と連通している。この浮動ピストン20は、ロアハウジング11a内に上述の2次圧力室17を画成する。
排気穴25は、主弁15と同軸一体に設けた排気弁部(リリーフ弁部)18によって開閉される。すなわち、排気弁部18は主弁15の軸上の上方延長端に設けられていて半球状をしており、排気穴25と同心の環状弁座部25aに接離することで排気穴25を開閉する。排気弁部18が排気穴25を閉じているときは2次圧力室17内の空気がリリーフ室23に流れることはなく、主弁15(排気弁部18)と浮動ピストン20との相対位置が離隔して排気弁部18が環状弁座部25aから離れると、排気穴25が開いて2次圧力室17内の空気は、排気穴25、リリーフ室23、大気開放穴26を介して大気に開放される(リリーフされる)。
アッパハウジング11cの図の下端部には凹部27が形成されており、この凹部27と浮動ピストン20(パイロットダイアフラム21)との間に、背圧室(パイロット圧室)28が形成されている。この背圧室28は、アッパハウジング11cの軸部に形成した軸心穴41に連通している。
他方、浮動ピストン20は、主弁ダンパ16によって上方への移動付勢力を受けている。すなわち、主弁ダンパ16によって図の上方へ付勢されている主弁15と同軸一体の排気弁部18は、浮動ピストン20の排気穴25の環状弁座部25aに当接して浮動ピストン20を上方に押圧している。2次圧力室17と背圧室28との間に圧力差が存在しない状態では、主弁15は通路14を閉じ、排気弁部18は排気穴25を閉じる。浮動ピストン20は、2次圧力室17と背圧室28の圧力差によって昇降移動する。以下、昇降移動、上方移動、下方移動の語は、いずれも軸方向移動を意味する。
キャップ体11dには、その軸部に、調圧ノブ30によって昇降操作されるメジャリングカプセル31が支持されている。調圧ノブ30は、実質的にキャップ体11dに螺合されたカプセルねじ32の上端部に固定されており、メジャリングカプセル31は、このカプセルねじ32の下端部に固定されている。メジャリングカプセル31は、弾性体(薄肉金属材料)からなる中空容器で、外部との圧力差に応じてその大きさを変化させる(拡縮する)。メジャリングカプセル31は、キャップ体11dと、アッパハウジング11cに形成した凹部33とによって画成された制御室34内に位置している。35は、制御室34の気密を保持する、キャップ体11dとアッパハウジング11cの間に挟着したガスケットである。メジャリングカプセル31は、調圧ノブ30を介してカプセルねじ32(メジャリングカプセル31)を回動操作することで、制御室34内で昇降運動する。
アッパハウジング11cには、可変ブリード弁40が備えられている。この可変ブリード弁40は、浮動ピストン20とメジャリングカプセル31の軸部間に位置している。すなわち、アッパハウジング11cに形成した上述の軸心穴41には、弁座筒(弁座体)42が挿入されており、この弁座筒42は、該弁座筒42と、軸心穴41内に突出させて形成したばね座突起42Bとの間に挿入した圧縮ばね29により、常時は定位置(図の上昇端位置)に保持されている。圧縮ばね29は浮動ピストン20に対しては力を及ぼさない。可変ブリード弁40は、弁座筒42と、弁座筒42の図の上端部に形成した環状弁座42aに対して接離する球弁体(弁体)43と、この球弁体43を弁座42aから離間する方向に付勢する圧縮ばね44と、アッパハウジング11cの上方に軸心穴41と同軸に進退可能に支持した運動伝達ピン45とを有している。運動伝達ピン45は、その図の上端部がメジャリングカプセル31の下面に当接し(臨み)、下端部が球弁体43と当接する。アッパハウジング11cには、可変ブリード弁40が開いた(球弁体43が弁座42aから離れた)とき、軸心穴41(背圧室28)を外部に連通させるブリード通路46が穿設されている。
以上の可変ブリード弁40は、メジャリングカプセル31によって運動伝達ピン45が下方に押圧移動されない状態(外力が加わらない状態)では、圧縮ばね44の力によって球弁体43が弁座42aから離間し、背圧室28を軸心穴41を介してブリード通路46(外気)に連通させる。球弁体43と弁座42aとの間の流路面積は、運動伝達ピン45の下方への移動量によって変化する。そして、運動伝達ピン45の下方への移動量は、メジャリングカプセル31のアッパハウジング11cに対する螺合位置の変化、及びメジャリングカプセル31の内外の圧力差による拡縮によって変化する。つまり、可変ブリード弁40は、メジャリングカプセル31の軸方向位置及びメジャリングカプセル31の拡縮量によって背圧室28とブリード通路46(外気)との連通面積を変化させる弁である。
ハウジング11のロアハウジング11a、ミドルハウジング11b及びアッパハウジング11cには、図2、図3に示すように、1次圧力導入口12を背圧室28に連通させる1次側連通路50を構成する通路51、52、53と、2次圧力取出口13(2次圧力室17)を背圧室28及び制御室34に連通させる2次側連通路60を構成する通路61、62、63が形成されている。1次側連通路50(通路52)内には、固定絞り54が設けられ、2次側連通路60(通路63)内には、制御室28側の入口部に固定絞り64が設けられている。図2は、ハウジング11の特定断面における実際の通路構成を示し、図3は、1次側連通路50と2次側連通路60による各室(空間)の連通関係のみを描いている。固定絞り54は、図2ではミドルハウジング11bに表れて(描いて)いるが、図3ではアッパハウジング11cに表れて(描いて)いる。また、図3では、1次圧力導入口12に連通する室(空間)と、2次圧力取出口13に連通する室(空間)に、逆方向のハッチングを付して示しており、背圧室28及び軸心穴41には、常時1次圧力と2次圧力の双方が及ぼされている。固定絞り54と固定絞り64は、1次圧力と2次圧力が変動したとき、その変動を時間差を与えて背圧室28に及ぼす。
上記構成の本空気レギュレータは次のように作動する。最初に、調圧ノブ30によるメジャリングカプセル31の位置調整によって、メジャリングカプセル31と運動伝達ピン45とを非接触とした状態を想定する。この状態では、可変ブリード弁40は最大開度にあり、主弁ダンパ16の力により主弁15が通路14を閉じており、2次圧力取出口13側の圧力(2次圧力)は大気圧である。背圧室28はブリード通路46によって大気に連通している。可変ブリード弁40の最大開度は、想定される1次圧力の変動に際し、背圧室28の圧力変動が許容値内に収まるように設定されている。また、制御室34には2次側連通路60によって直接(絞りを介することなく)2次圧力取出口13(2次圧力室17)側の圧力が及ぼされている。
この状態において、調圧ノブ30によりメジャリングカプセル31を下降させていくと、メジャリングカプセル31によって押圧される運動伝達ピン45が圧縮ばね44の力に抗して球弁体43を下降させ、弁座筒42の弁座42aとの連通面積を縮小していく(可変ブリード弁40を閉じていく)。図1に示すように、球弁体43が弁座42aに着座して可変ブリード弁40が閉じると、調圧が開始される。すなわち、可変ブリード弁40が閉じると、背圧室28からの空気の排出が止まり、やがて背圧室28の圧力が上昇し始める。そして、背圧室28と2次圧力室17との圧力差で浮動ピストン20が下降を開始すると、排気弁部18を介して主弁15が下降し、通路14を開く。つまり、2次圧力が大気圧の状態から2次圧力室17(2次圧力取出口13)側に2次圧力が発生し、調圧が開始される。この2次圧力の大きさは、調圧ノブ30によるメジャリングカプセル31の下降量に応じて変化するから、2次圧力の大きさを調整することができる。つまり、メジャリングカプセル31の下降位置によって設定2次圧力を大気圧から変化(調整)させることができる。
一方、2次空気の使用量が多くなる等の理由で、2次圧力取出口13側の圧力が下降すると、2次側連通路60を介して2次圧力取出口13と連通している制御室34内の圧力が直ちに下降する。すると、制御室34内の圧力下降に従ってメジャリングカプセル31が膨張し、運動伝達ピン45を介して球弁体43が押され、可変ブリード弁40が閉じていく(開度が下がる)。その結果、背圧室28からブリード通路46へ逃げる(ブリードする)空気量が減るため、背圧室28内の圧力が上昇し、浮動ピストン20が下降して主弁15が開く(開度を上げる)。従って、1次圧力導入口12から2次圧力取出口13への空気流量が増え、2次圧力取出口13(2次圧力室17)側の圧力が上昇する。
さらに、2次圧力取出口13(2次圧力室17)側の圧力が減少すると、2次圧力取出口17と背圧室28との圧力差が拡大するため、浮動ピストン20には下降方向の力が加わり、主弁15は開度を上げる傾向となる。背圧室28には、2次側連通路60を介して2次圧力取出口13側の圧力が及ぼされているが、2次側連通路60の背圧室28への入口部には固定絞り64が設けられているため、2次圧力取出口13の圧力下降と背圧室28の圧力下降には時間差が生じる(背圧室28の圧力下降は2次圧力室17の圧力下降より遅くなる)。このため、以上の主弁15の開度上昇の動作が継続される。
逆に、2次圧力が大きくなると、制御室34内の圧力が上昇して、メジャリングカプセル31が縮む。すると、運動伝達ピン45を介して球弁体43を閉弁方向に押圧する力が小さくなり、可変ブリード弁40が開く(開度が上がる)。その結果、背圧室28からブリード通路46へ逃げる(ブリードする)空気量が増加する。すると、背圧室28内の圧力が下降し、浮動ピストン20が上昇する結果、主弁15が閉じる傾向となり、2次圧力取出口13側の圧力が下降して、流量が減少する。
また、2次圧力が上昇すると、2次圧力室17と背圧室28との圧力差に応じて浮動ピストン20が上昇する。すると、排気弁部18が環状弁座部25aから離れて2次圧力室17内の空気が排気穴25、リリーフ室23から大気開放穴26へ逃げ、2次圧力室17内の圧力が下降する。このように、2次圧力取出口13(2次圧力室17)側の圧力が上昇しても下降しても、2次圧力を一定に保つように、浮動ピストン20、主弁15及び排気弁部18が制御される。
本実施形態では、以上のように、2次圧力取出口13(2次圧力室17)側の圧力変化に応じてメジャリングカプセル31が拡縮し、その拡縮量に応じて可変ブリード弁40が背圧室28と外気との連通面積を変化させる。また、浮動ピストン20には、背圧室28の圧力が加わるのみで、主弁15側への他の付勢力は加わっていない。このため、設定した2次圧力に正確に調圧することができる。また、主弁15の径を大きくし、あるいは主弁のストロークを大きくできるため、大流量を流すことができる。
ちなみに、上述の特開2001-271878号公報の空気レギュレータでは、浮動ピストンの上面とハウジングの一部との間に、該浮動ピストンを下方(主弁15を閉弁する方向)へ移動付勢するばねが配設されている。この付勢力が調整2次圧力を決定することとなるので、調整2次圧力は大気圧より大きいものとならざるを得ず、主弁15の流路面積は小さくならざるを得ず、大流量を流すことができなかった。
なお、本実施形態の圧縮ばね29は、上述のように、浮動ピストン20に力を及ぼすものではない。一方、1次圧力が遮断されて背圧室28及び制御室34の圧力が下降したときには、メジャリングカプセル31によって運動伝達ピン45、球弁体43及び弁座筒42が下降する(主弁18側に移動する)のを許す。すなわち、圧縮ばね29の力は、制御室34の圧力が下降して(大気圧になって)メジャリングカプセル31が膨らむときの力より弱く設定されていて、装置休止時にメジャリングカプセル31に過剰な負荷をかけることがない。
10 空気レギュレータ
11 ハウジング
11a ロアハウジング
11b ミドルハウジング
11c アッパハウジング
11d キャップ体
12 1次圧力導入口
13 2次圧力取出口
14 通路
15 主弁
16 主弁ダンパ(主弁付勢手段)
17 2次圧力室
18 排気弁部
19 傘状部
19a 軸部
19b 傘部
20 浮動ピストン
21 パイロットダイアフラム
22 コントロールダイアフラム
23 リリーフ室
24 排気弁ブロック
25 排気穴
25a 環状弁座部
26 大気開放穴
27 凹部
28 背圧室
29 圧縮ばね
30 調圧ノブ
31 メジャリングカプセル
32 カプセルねじ
33 凹部
34 制御室
35 ガスケット
40 可変ブリード弁
41 軸心穴
42 弁座筒(弁座体)
42a 弁座
43 球弁体(弁体)
44 圧縮ばね
45 運動伝達ピン
46 ブリード通路
50 1次側連通路
60 2次側連通路
54 64 固定絞り

Claims (5)

  1. 1次圧力導入口と;
    2次圧力取出口と;
    上記1次圧力導入口と2次圧力取出口間の流路を開閉する主弁と;
    上記2次圧力取出口に連通する2次圧力室と;
    上記1次圧力導入口及び2次圧力取出室に連通する背圧室と;
    上記2次圧力室と背圧室の差圧で昇降移動して上記主弁を開閉する、上記主弁と同軸に配置した浮動ピストンと;
    上記2次圧力取出口と連通する制御室と;
    上記制御室内に位置し、該制御室内の圧力に応じて拡縮する、上記主弁及び浮動ピストンと同軸に位置するメジャリングカプセルと;
    該メジャリングカプセルを昇降移動させる調圧機構と;
    上記メジャリングカプセルと浮動ピストンの間に同軸に配置され、上記メジャリングカプセルの拡縮量及び調圧昇降移動量に応じて、上記背圧室と外気との連通面積を変化させる可変ブリード弁と;
    を有することを特徴とする空気レギュレータ。
  2. 請求項1記載の空気レギュレータにおいて、上記可変ブリード弁は、弁座を有する弁座体と、この弁座体の弁座に対して接離移動する弁体と、上記メジャリングカプセルの動きを上記球弁体に伝達する運動伝達ロッドと、上記浮動ピストンには力を及ぼすことなく、上記弁座体を上記メジャリングカプセル側に移動付勢して定位置に保持するばね手段と、を備えている空気レギュレータ。
  3. 請求項2記載の空気レギュレータにおいて、上記ばね手段は、上記制御室圧力が大気圧のとき、上記メジャリングカプセルの拡張力によって撓み、上記弁座体の上記主弁側への移動を許容する空気レギュレータ。
  4. 請求項1ないし3のいずれか1項記載の空気レギュレータにおいて、
    上記1次圧力導入口と背圧室を連通させる通路及び上記2次圧力取出室と背圧室を連通させる通路にはそれぞれ、固定絞りが配置されている空気レギュレータ。
  5. 請求項1ないし4のいずれか1項記載の空気レギュレータにおいて、
    上記主弁は上記浮動ピストンに臨む排気弁部を一体に有し、上記浮動ピストンは該浮動ピストンの位置に応じ該排気弁部と接離する弁座部を一体に有し、該弁座部が排気弁部から離間するとき2次圧力取出口を大気に連通させる空気レギュレータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180071466A (ko) * 2016-12-19 2018-06-28 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그의 구동방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111632289A (zh) * 2020-06-08 2020-09-08 杭州甫峒科技有限公司 一种汽车封闭状态下的紧急供氧装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04177162A (ja) * 1990-11-13 1992-06-24 Yamatake Honeywell Co Ltd ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力コントロール装置
DE4106474A1 (de) * 1991-03-01 1992-09-03 Massindustrie Gmbh Pneumatischer druckregler mit pilotsteuerung
JPH10198433A (ja) * 1997-01-07 1998-07-31 Smc Corp 減圧弁
JPH11259146A (ja) * 1998-03-06 1999-09-24 Ckd Corp 圧力制御弁
JP2001271878A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Fujikura Rubber Ltd 防振台の位置決め装置
JP2002195203A (ja) * 2000-12-27 2002-07-10 Fujikura Rubber Ltd 電空変換器
JP2009259136A (ja) * 2008-04-21 2009-11-05 Smc Corp 流体圧機器に用いられる絞り構造
JP2012008795A (ja) * 2010-06-24 2012-01-12 Smc Corp 減圧装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04177162A (ja) * 1990-11-13 1992-06-24 Yamatake Honeywell Co Ltd ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力コントロール装置
DE4106474A1 (de) * 1991-03-01 1992-09-03 Massindustrie Gmbh Pneumatischer druckregler mit pilotsteuerung
JPH10198433A (ja) * 1997-01-07 1998-07-31 Smc Corp 減圧弁
JPH11259146A (ja) * 1998-03-06 1999-09-24 Ckd Corp 圧力制御弁
JP2001271878A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Fujikura Rubber Ltd 防振台の位置決め装置
JP2002195203A (ja) * 2000-12-27 2002-07-10 Fujikura Rubber Ltd 電空変換器
JP2009259136A (ja) * 2008-04-21 2009-11-05 Smc Corp 流体圧機器に用いられる絞り構造
JP2012008795A (ja) * 2010-06-24 2012-01-12 Smc Corp 減圧装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180071466A (ko) * 2016-12-19 2018-06-28 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그의 구동방법
KR102622312B1 (ko) 2016-12-19 2024-01-10 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그의 구동방법

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