JP2016072201A - ヒータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のヒータ10は、外周面に長さ方向に沿った溝部11を有する柱状または筒状のセラミック体1と、セラミック体1の内部に設けられた発熱抵抗体2と、セラミック体1のうち発熱抵抗体2が設けられた部分が挿入された金属筒3と、セラミック体1の外周面および金属筒の内周面の間に充填された金属材料から成る充填剤4とを備え、溝部11において、セラミック体1と充填剤4との間に空隙部41を有している。これにより、溝部11に熱応力が集中することを低減できる。
【選択図】 図3
Description
ンまたはレニウム等が挙げられる。発熱抵抗体2の寸法は、例えば幅を1mmに、全長を3000mmに、厚みを0.02mmに設定することができる。引出電極21は、発熱抵抗体2と同じ金属材料を用いて、発熱抵抗体2と同時に形成することができる。また、引出電極21は、発熱抵抗体2とは異なる材料を用いて別々に形成することもできる。
充填剤4との間に空隙部41を有している。これにより、ヒータ10を使用した際に充填剤4が大きく熱膨張したとしても、充填剤4が空隙部41を埋めるように熱膨張することができるので、溝部11と充填剤4との間で発生する熱応力を低減できる。そのため、セラミック体1にクラックが生じるおそれを低減できる。その結果、ヒータ10の長期信頼性を向上できる。
7としては銀および銅からなるろう材を用いることが望ましい。
11:溝部
2:発熱抵抗体
21:引出電極
3:金属筒
4:充填剤
41:空隙部
5:リード端子
6:電極層
7:接合材
8:封止材
10:ヒータ
Claims (6)
- 外周面に長さ方向に沿った溝部を有する柱状または筒状のセラミック体と、該セラミック体の内部に設けられた発熱抵抗体と、前記セラミック体のうち前記発熱抵抗体が設けられた部分が挿入された金属筒と、前記セラミック体の外周面および前記金属筒の内周面の間に充填された金属材料から成る充填剤とを備え、前記溝部において、前記セラミック体と前記充填剤との間に空隙部を有していることを特徴とするヒータ。
- 前記溝部において、壁面と底面とが連続する部分に前記空隙部を有していることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
- 前記空隙部が前記溝部の長さ方向に延びていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のヒータ。
- 前記空隙部が前記壁面および前記底面に沿って広がっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のヒータ。
- 前記充填剤の熱膨張率が前記金属筒の熱膨張率よりも高いことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のヒータ。
- 前記溝部において、壁面のうち開口側の端部に前記空隙部を有していることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014203819A JP6386859B2 (ja) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57154787A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-24 | Hitachi Ltd | Semiconductor heater |
JPS6166890U (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-08 | ||
JPH11220008A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
JP2006222008A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Kyocera Corp | セラミックヒータ及びヒータ内蔵電子部品 |
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2014
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JP2006222008A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Kyocera Corp | セラミックヒータ及びヒータ内蔵電子部品 |
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Publication number | Publication date |
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JP6386859B2 (ja) | 2018-09-05 |
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