JP2016070930A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 少なくとも１つの走査ユニット（２０）により走査される基準器（１０）を備える位置測定装置のエラーを補正する方法であって、基準器（１０）の所定数の補正点（Ｋ′）についてそれぞれ補正値（ＫＷ）が準備され、該補正値が、測定開始前に行われる較正により得られ、測定モードで、検出された位置値を補正するために用いられる方法において、
   較正時に得られた補正値（ＫＷ）を測定モードのために圧縮し、
   較正によって得られる前記補正値（ＫＷ）を圧縮するために、
   基準器（１０）で使用可能な補正点（Ｋ′）の一部についてのみ、それぞれ対応する前記補正値（ＫＷ）を選択し、部分補正表（４３．１）に保存し、
   照合表（４３．２）に照合情報を保存し、該照合情報によって、測定モードで、前記部分補正表（４３．１）に保存された前記補正値（ＫＷ）と前記補正点（Ｋ′）との照合を行い、
   測定モードで走査ユニット（２０）によって走査される前記基準器（１０）の部分領域に位置する基準器（１０）の前記補正点（Ｋ′）についてのみ前記補正値（ＫＷ）を選択し、部分補正表（４３．１）に保存する
   ことを特徴とする方法。
2. 請求項１に記載の方法において、
   前記基準器（１０）の部分領域が長方形ではない外形を備えるか、または前記基準器（１０）が長方形ではない外形を備える方法。
3. 請求項１に記載の方法において、
   前記部分補正表（４３．１）および前記照合表（４３．２）をメモリユニット（４３）に保存し、測定モードで信号補正ユニット（４２）が前記メモリユニット（４３）にアクセスし、検出された位置測定値を補正し、さらなる処理のために準備する方法。
4. 請求項３に記載の方法において、
   前記照合表（４３．１）に保存された照合情報によって、選択された補正点（Ｋ′）の補正値（ＫＷ）が保存された前記メモリユニット（４３）のメモリ箇所（Ｓ）をそれぞれ示す方法。
5. 請求項４に記載の方法において、
   測定モードで、前記基準器（１０）の所定の位置との照合規則によって、前記部分補正表（４３．１）における隣接する、または周辺の少なくとも１つの補正点（Ｋ′）の補正値（ＫＷ）のメモリ箇所（Ｓ）を決定する方法。
6. 少なくとも１つの走査ユニット（２０）により走査される基準器（１０）を備える位置測定装置のエラーを補正する方法であって、基準器（１０）の所定数の補正点（Ｋ′）についてそれぞれ補正値（ＫＷ）が準備され、該補正値が、測定開始前に行われる較正により得られ、測定モードで、検出された位置値を補正するために用いられる方法において、
   較正時に得られた補正値（ＫＷ）を測定モードのために圧縮し、
   圧縮のために前記補正値（ＫＷ）のデータワード幅を減じ、
   前記基準器（１０）における局所的に隣接する補正点（Ｋ）の複数のグループ（G１〜Ｇ４）を形成し、該グループにそれぞれ較正により前記補正値（ＫＷ）を設け、
   前記グループ（Ｇ１〜Ｇ４）毎に、局所的なグループ補正値（Ｇ＿ＫＷ）を決定し、該グループ補正値（Ｇ＿ＫＷ）をグループ補正値表（１４３．１）に保存し、
   較正により得られたそれぞれのグループ（Ｇ１〜Ｇ４）の前記補正値（ＫＷ）を、それぞれ対応する前記グループ補正値（Ｇ＿ＫＷ）によって相殺し、データワード幅が減じられた相殺補正値（Ｖ＿ＫＷ）を計算して相殺補正値表（１４３．２）に保存し、
   測定モードで、前記相殺補正値表（１４３．２）および前記グループ補正値表（１４３．１）によって、検出された位置値を補正する方法。
7. 請求項６に記載の方法において、
   前記グループ補正値（Ｇ＿ＫＷ）として、前記グループ（Ｇ１〜Ｇ４）の最小補正値（ＫＷ）、前記グループ（Ｇ１〜Ｇ４）の平均補正値、または前記グループ（Ｇ１〜Ｇ４）の前記補正値（ＫＷ）の最大値と最小値との中間値を決定する方法。
8. 請求項６に記載の方法において、
   前記補正値（ＫＷ）をそれぞれ対応するグループ補正値（Ｇ＿ＫＷ）によって相殺するために差を求める方法。
9. 請求項６に記載の方法において、
   さらに、
   基準器（１０）における少なくとも１つの極限値補正点を検出し、該極限値補正点に対応する前記補正値（ＫＷ）が、隣接する補正点（Ｋ）の補正値（ＫＷ）とは所定量だけ異なり、
   前記極限値補正点のための相殺補正値表（１４３．２）に、補正値（ＫＷ）の代わりに補助値を保存し、
   前記極限値補正点の前記補正値（ＫＷ）と共に極限値補正点との照合情報を極限値補正表（１４３．３）に保存し、照合情報によって、測定モードで、保存された前記補正値（ＫＷ）と前記極限値補正点との照合を行う方法。
10. 請求項９に記載の方法において、
    補助値として、他のいずれの補正値（ＫＷ）とも一致しないマーカー値（Ｍ）を相殺補正値表（１４３．２）に保存する方法。
11. 請求項９に記載の方法において、
    極限値補正点のための補正値として、較正により得られた補正値（ＫＷ）または極限値‐相殺補正値を極限値補正表（１４３．３）に保存する方法。
12. ２次元の基準器を備える位置測定装置において、
    前記基準器が請求項１から１１までのいずれか一項に記載の方法を実施するように構成されていることを特徴とする位置測定装置。