JP2016065755A - 温度測定センサの製造方法、および、温度測定センサ - Google Patents

Abstract

【課題】リード線のリードと測温体のリードとが直線状に簡単に接続することができ、リード線のリードと測温体のリードとの間の接続面積が大きく、強度的に優れ、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることのない温度測定センサの製造方法を提供する。
【解決手段】測温体１２のリード２２と、リード線１４のリード２０とを、それらの端部同士を重ね合わせた状態で溶接する溶接工程と、溶接工程で溶接された部分を覆うように、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とに半田付けを行う半田付け工程とを備え、溶接工程が、測温体１２のリード２２を案内する第１の案内溝３２ａと、リード線１４のリード２０を案内する第２の案内溝３４ａとを備えた溶接用電極３０によって、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを直線状に重ね合わせた状態で溶接する。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば、空調用・一般測定用の温度測定センサ、シリコンウェハなどの半導体製造時に使用される洗浄液などの被測定流体の温度を測定するための温度測定センサの製造方法、および、温度測定センサに関する。

従来、このような温度測定センサ１００の構造は、図１１の部分拡大断面図に示した構造を有している。

すなわち、このような温度測定センサ１００は、温度測定センサ部を構成する、例えば、測温抵抗体やサーミスタなどから構成される測温体１０２と、図示しない温度検出用回路に接続されるリード線１０４とを備えている。

そして、リード線１０４の配線１０６の被覆１０８を除去した、例えば、柔軟性、曲げ耐久性が良好な撚り線から構成されるリード１１０と、測温体１０２のリード（リードピン）１１２とが、半田付けによる接続部（半田付け部）１１４で電気的に接続されている。

このように測温体１０２とリード線１０４が、半田付けによる接続部１１４で電気的に接続された後、これらの測温体１０２とリード線１０４と接続部１１４の外周に、例えば、腐食性の薬液から保護するために、保護管１１６が設けられている。

そして、この保護管１１６の内部に、例えば、シリコーン樹脂などの樹脂充填材１２０を硬化させることによって位置決め固定され、温度測定センサ１００が構成されている。

ところで、従来、このようなリード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２との接続部１１４での接続方法として、例えば、手作業で半田付け作業を行っている。

すなわち、このような半田付けによる接続の場合、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２のような線状のものどうしを半田付けしなくてはならず、非常に不安定な作業で、製品品質にもバラツキがでてしまう。

多くの場合、測温体１０２かリード線１０４のどちらかを治具で固定し、もう一方の部品を片手で持ち、空いた片手で半田付けしている。

このような半田付けによる接続方法では、半田付け作業が難しく、熟練者しか作業できなかった。

また、例えば、図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）に示したように、半田付け部１１４において、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２との間に、隙間１２２が生じてしまうことがある。

このような隙間１２２が生じてしまうと、例えば、急速冷凍用の温度測定センサの用途に用いた場合に、熱サイクル、振動などによって、隙間１２２から、半田付け部１１４においてクラックが発生してしまうおそれがある。

さらに、図１２（Ｃ）に示したように、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２とが、クロス状になって接続面積の小さい強度の弱い製品となってしまう。

このように、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２とが、クロス状になって接続面積の小さい強度の弱い製品となった場合、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることになる。

このように半田付け部１１４のクラックが発生したり、接触面積が小さい場合には、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２との間の電気的接続が確保されず、温度測定センサ１００による温度測定に支障が生じ、正確な温度が測定されないことになる。

このため、特許文献１（特開平４−３１９６３４号公報）には、熱サイクル時の素材熱膨張係数差によるリード線への機械的荷重を受けても安定した電気的接合を備えるようにするために、測温体に接続したリード線のリードと、外部接続用のターミナルとの接続部において、溶接部と半田付け部とを別々の箇所に設けて接続する方法が開示されている。

また、特許文献２（特開平３−１１７０２号公報）には、リード線のリードと、測温体のリードピンとの間を、溶接によって仮止め（固定）した後に、半田付けすることによって接続する方法が開示されている。

特開平４−３１９６３４号公報 特開平３−１１７０２号公報

ところで、特許文献１の接続方法は、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２との間の接続ではなく、測温体に接続したリード線のリードと、外部接続用のターミナルとの接続部であって、接続箇所が相違する。

また、特許文献１では、溶接部と半田付け部とを別々の箇所に設けて接続しなければならず、手間がかかるとともに、半田付け部の接触面積が小さい場合には、強度の弱い製品となって、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることになる。

また、特許文献２の接続方法は、図１３に示したように、溶接によって仮止め（固定）する方法であって、図１３（Ａ）〜図１３（Ｃ）に示したような課題がある。

すなわち、特許文献２の接続方法は、図１３（Ａ）に示したように、一対の上方電極２０２と、下方電極２０４とからなる電極２００の間に、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２とを重ね合わせるように挟持する。

そして、スポット溶接を行うことによって、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２との間に溶接部２０６を形成した後、図示しないが、半田付けをする方法である。

しかしながら、このような接続方法では、図１３（Ａ）に示したように、溶接部２０６の接続面積が小さく、強度の弱い製品となってしまい、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることになる。

また、図１３（Ｂ）に示したように、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２とが上下でずれたり、図１３（Ｃ）に示したように、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２とが、クロス状になって接続面積の小さい強度の弱い製品となってしまう。

このように、リード線１０４のリード１１０と、測温体１０２のリード１１２とが、クロス状になって接続面積の小さい強度の弱い製品となった場合、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることになる。

本発明は、このような現状に鑑み、リード線のリードと測温体のリードとの間を簡単に電気的に接続でき、しかも、リード線のリードと測温体のリードとが直線状に接続することができ、リード線のリードと測温体のリードとの間の接続面積が大きく、強度的に優れ、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることのない温度測定センサの製造方法、および、温度測定センサを提供することを目的とする。

本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の温度測定センサの製造方法は、
温度測定センサ部を構成する測温体と、
前記測温体のリードに電気的に接続され、温度検出用回路に接続されるリード線とを備えた温度測定センサの製造方法であって、
前記測温体のリードと、前記リード線のリードとを、それらの端部同士を重ね合わせた状態で溶接する溶接工程と、
前記溶接工程で溶接された部分を覆うように、前記測温体のリードとリード線のリードとに半田付けを行う半田付け工程とを備え、
前記溶接工程が、
前記測温体のリードを案内する第１の案内溝と、前記リード線のリードを案内する第２の案内溝とを備えた溶接用電極によって、前記測温体のリードとリード線のリードとを直線状に重ね合わせた状態で溶接するように構成されていることを特徴とする。

このように構成することによって、溶接用電極の第１の案内溝に、測温体のリードを案内し位置決めすることができるとともに、溶接用電極の第２の案内溝に、リード線のリードを案内位置決めすることができる。その結果、測温体のリードとリード線のリードとを正確に直線状に重ね合わせた状態で、例えば、スポット溶接によって溶接することができる。

また、溶接により測温体のリードとリード線のリードとを確実に密着固定してから、溶接された部分を覆うように、半田付けするので、隙間がなく、強度・耐久性の安定した接続が可能である。

さらに、半田付けする際、予め溶接により固定されているため、半田付けが容易になり半田付け時間が短縮できる。

しかも、熱サイクル、振動などの厳しい環境においても、半田はずれによる不具合が発生せず、半田付けが不十分な場合でも、溶接により内部で電気的に接続されているため、製品の機能は満足しており、接合部の信頼性を向上させることができる。

さらに、溶接により測温体のリードとリード線のリードが重なる部分が潰れるため、測温体のリードとリード線のリードの重なる部分が小さくなって、省スペース化に貢献し、短絡のリスクも少ない。

従って、本発明によれば、リード線のリードと測温体のリードとの間を簡単に電気的に接続でき、しかも、リード線のリードと測温体のリードとが直線状に接続することができ、リード線のリードと測温体のリードとの間の接続面積が大きくなり、強度的に優れ、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることのない温度測定センサを提供することができる。

また、本発明の温度測定センサの製造方法は、
前記溶接用電極が、
前記測温体のリードを案内する第１の案内溝を備えた第１の溶接用電極と、
前記リード線のリードを案内する第２の案内溝を備えた第２の溶接用電極と、
を備え、
前記第１の溶接用電極と第２の溶接用電極とが相互に離接可能に構成された分離型の溶接用電極であることを特徴とする。

このように構成することによって、第１の溶接用電極と第２の溶接用電極とを離間した状態で、第１の溶接用電極の第１の案内溝に、測温体のリードを案内し位置決めするとともに、第２の溶接用電極の第２の案内溝に、リード線のリードを案内し位置決めすることができる。

そして、第１の溶接用電極と第２の溶接用電極とを接近させた状態で、溶接することによって、測温体のリードとリード線のリードとを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。

また、本発明の温度測定センサの製造方法は、
前記溶接用電極が、
前記測温体のリードを案内する第１の案内溝を備えた第１の溶接用電極と、
前記リード線のリードを案内する第２の案内溝を備えた第２の溶接用電極と、
前記第１の溶接用電極と第２の溶接用電極との間に設けられた弾性絶縁部と、
が一体化された一体型の溶接用電極であることを特徴とする。

このように構成することによって、第１の溶接用電極の第１の案内溝に、測温体のリードを挿入するように案内し位置決めするとともに、第２の溶接用電極の第２の案内溝に、リード線のリードを挿入するように案内し位置決めすることができる。

そして、この状態で、溶接することによって、測温体のリードとリード線のリードとを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。

しかも、この際、第１の溶接用電極と第２の溶接用電極との間に、弾性絶縁部が設けられているので、測温体のリードとリード線のリードを挟持して圧着でき、リード線のリードと測温体のリードとの間の接続面積が大きくなるとともに、第１の溶接用電極と第２の溶接用電極との間で短絡することがなく確実に溶接することができる。

さらに、前述したような分離型の溶接用電極とは相違して、一体型の溶接用電極であるので、第１の溶接用電極と第２の溶接用電極とを接離させる必要がないので、製造工程が簡略化でき、コストも低減することができる。

また、本発明の温度測定センサの製造方法は、
前記溶接用電極が、
前記測温体のリードを案内する第１の案内溝の端部に、前記測温体のリードの先端が当接する第１の位置決め用当接部が形成されるとともに、
前記リード線のリードを案内する第２の案内溝の端部に、前記リード線のリードの先端が当接する第２の位置決め用当接部が形成さていることを特徴とする。

このように構成することによって、第１の案内溝の端部に形成された第１の位置決め用当接部に測温体のリードの先端が当接して正確に位置決めができるとともに、第２の案内溝の端部に形成された第２の位置決め用当接部にリード線のリードの先端が当接して正確に位置決めができる。

そして、この状態で、溶接することによって、測温体のリードとリード線のリードとを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。

これにより、測温体のリードとリード線のリードを正確に位置決めすることができ、これらのリードの間の接触面積を、常に一定の所定の接触面積とすることができ、製品の品質が向上する。

また、本発明の温度測定センサの製造方法は、
前記溶接工程が、
前記測温体を位置決め載置する素子用凹部を備えた測温体載置台に、前記測温体を位置決め載置した状態で行われることを特徴とする。

このように構成することによって、測温体載置台の素子用凹部に測温体を位置決め載置することによって、測温体のリードを溶接用電極の第１の案内溝に、正確に位置決めすることができる。

これにより、測温体のリードとリード線のリードとを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。その結果、測温体のリードとリード線のリードを正確に位置決めすることができ、これらのリードの間の接触面積を、常に一定の所定の接触面積とすることができ、製品の品質が向上する。

また、本発明の温度測定センサの製造方法は、
前記溶接工程が、
前記リード線を位置決め載置するリード線用凹部を備えたリード線載置台に、前記リード線を位置決め載置した状態で行われることを特徴とする。

このように構成することによって、リード線載置台のリード線用凹部にリード線を位置決め載置することによって、リード線のリードを溶接用電極の第２の案内溝に、正確に位置決めすることができる。

これにより、測温体のリードとリード線のリードとを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。その結果、測温体のリードとリード線のリードを正確に位置決めすることができ、これらのリードの間の接触面積を、常に一定の所定の接触面積とすることができ、製品の品質が向上する。

また、本発明の温度測定センサの製造方法は、
前記溶接工程が、
前記測温体のリードを案内する複数の第１の案内溝と、前記リード線のリードを案内する複数の第２の案内溝とを備えた溶接用電極によって、一度に複数の測温体のリードとリード線のリードとを重ね合わせた状態で溶接するように構成されていることを特徴とする。

このように構成することによって、一度に複数の測温体のリードとリード線のリードとを重ね合わせた状態で溶接することができ、生産性が向上し、コストと手間を低減することができる。

また、本発明の温度測定センサは、前述のいずれかに記載の温度測定センサの製造方法によって製造された温度測定センサである。

本発明によれば、溶接用電極の第１の案内溝に、測温体のリードを案内し位置決めすることができるとともに、溶接用電極の第２の案内溝に、リード線のリードを案内位置決めすることができる。その結果、測温体のリードとリード線のリードとを正確に直線状に重ね合わせた状態で、例えば、スポット溶接によって溶接することができる。

また、溶接により測温体のリードとリード線のリードとを確実に密着固定してから、半田付けするので、隙間がなく、強度・耐久性の安定した接続が可能である。

さらに、半田付けする際、予め溶接により固定されているため、半田付けが容易になり半田付け時間が短縮できる。

しかも、熱サイクル、振動などの厳しい環境においても、半田はずれによる不具合が発生せず、半田付けが不十分な場合でも、溶接により内部で電気的に接続されているため、製品の機能は満足しており、接合部の信頼性を向上させることができる。

さらに、溶接により測温体のリードとリード線のリードが重なる部分が潰れるため、測温体のリードとリード線のリードの重なる部分が小さくなって、省スペース化に貢献し、短絡のリスクも少ない。

従って、本発明によれば、リード線のリードと測温体のリードとの間を簡単に電気的に接続でき、しかも、リード線のリードと測温体のリードとが直線状に接続することができ、リード線のリードと測温体のリードとの間の接続面積が大きくなり、強度的に優れ、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることのない温度測定センサを提供することができる。

図１は、本発明の温度測定センサの部分拡大断面図である。 図２は、本願発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程を示す概略図である。 図３は、本発明の温度測定センサの製造方法の半田付け工程を示す概略図である。 図４は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。 図５は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。 図６は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。 図７は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。 図８は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。 図９は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。 図１０は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。 図１１は、従来の温度測定センサの部分拡大断面図である。 図１２は、従来の温度測定センサの製造方法の半田付け工程を示す概略図である。 図１３は、従来の温度測定センサの製造方法の溶接工程を示す概略図である。

以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
（実施例１）

図１は、本発明の温度測定センサの部分拡大断面図、図２は、本願発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程を示す概略図、図３は、本発明の温度測定センサの製造方法の半田付け工程を示す概略図である。

図１において、符号１０は、全体で本発明の温度測定センサを示している。

すなわち、このような温度測定センサ１０は、温度測定センサ部を構成する、例えば、測温抵抗体やサーミスタなどから構成される測温体１２と、図示しない温度検出用回路に接続されるリード線１４とを備えている。

そして、リード線１４の配線１６の被覆１８を除去した、例えば、柔軟性、曲げ耐久性が良好な撚り線から構成されるリード２０と、測温体１２のリード（リードピン）２２とが、後述するように、溶接工程による仮止めの後に、溶接工程で溶接された部分を覆うように、半田付けを行う半田付け工程によって形成された、接続部２４で電気的に接続されている。

このように測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とが、接続部２４で電気的に接続された後、これらの測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０との接続部２４の外周に、例えば、腐食性の薬液から保護するために、保護管２６が設けられている。

なお、この保護管２６の材質としては、被測定流体の種類に応じて、耐薬品性、熱応答性、導電性、腐食性などを考慮に入れて、適宜選択すれば良く、特に限定されるものではなく、例えば、銅、ステンレス、カーボンなどを使用することができる。

そして、この保護管２６の内部に、例えば、シリコーン樹脂などの樹脂充填材２８を硬化させることによって位置決め固定され、温度測定センサ１０が構成されている。

なお、このような樹脂充填材２８としては、特に限定されるものではないが、熱伝導性、応力変形などを考慮して、熱伝導性シリコーン樹脂、熱伝導性エポキシ樹脂などを用いることができる。

このように構成される測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０との接続部２４を形成する接続方法について、以下に説明する。

先ず、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを、それらの端部同士を重ね合わせた状態で溶接する溶接工程を行う。

すなわち、図２（Ａ）、図２（Ｂ）に示したように、例えば、スポット溶接を行うための上下一対の溶接用電極３０を備えている。この溶接用電極３０は、相互に離接可能に構成された分離型の溶接用電極３０であって、この実施例では、下方に配置された第１の溶接用電極３２と、上方に配置された第２の溶接用電極３４から構成されている。

そして、図２（Ｂ）に示したように、第１の溶接用電極３２の上面には、測温体１２のリード２２を案内するために、断面が円弧形状の溝部である第１の案内溝３２ａが形成されている。また、同様に、図２（Ｂ）に示したように、第２の溶接用電極３４の下面には、リード線１４のリード２０を案内するために、断面が円弧形状の溝部である第２の案内溝３４ａが形成されている。

図２（Ａ）、図２（Ｂ）に示したように、第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４とを離間した状態で、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａに、測温体１２のリード２２を案内し位置決めするとともに、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａに、リード線１４のリード２０を案内し位置決めする。

この状態で、図２（Ｃ）に示したように、第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４とを接近させ、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０を圧着した状態で、溶接（スポット溶接）することによって、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することによって、溶接部３６を形成する。

なお、この際、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを重ね合わせて圧着した状態で、第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４とが接触して、短絡しないように、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａと、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａの寸法が設定されている。

その後、第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４とを離反させて、溶接部３６によって仮止めされた測温体１２とリード線１４を取り出す。そして、図３（Ａ）、図３（Ｂ）に示したように、溶接された溶接部３６を覆うように、公知の方法で、機械的にまたは手作業によって、測温体１２のリード２２とリード線１４とに半田付けを行う半田付け工程を行うことによって、接続部２４が形成される。

このように構成することによって、溶接用電極３０の第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａに、測温体１２のリード２２を案内し位置決めすることができるとともに、溶接用電極３０の第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａに、リード線１４のリード２０を案内位置決めすることができる。

その結果、図３（Ａ）、図３（Ｂ）に示したように、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に直線状に重ね合わせた状態で、例えば、スポット溶接によって溶接することができる。

また、溶接により測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを確実に密着固定してから、溶接された部分を覆うように、半田付けするので、図３（Ａ）、図３（Ｂ）に示したように、接続部２４において、隙間がなく、強度・耐久性の安定した接続が可能である。

さらに、半田付けする際、予め溶接により固定されているため、半田付けが容易になり半田付け時間が短縮できる。

しかも、熱サイクル、振動などの厳しい環境においても、いわゆる「半田はずれ」による不具合が発生せず、また、半田付けが不十分な場合でも、溶接により内部で電気的に接続されているため、製品の機能は満足しており、接続部２４の信頼性を向上させることができる。

さらに、図３（Ａ）、図３（Ｂ）に示したように、溶接により測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０が重なる部分が潰れるため、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０の重なる部分が小さくなって、省スペース化に貢献し、短絡のリスクも少ない。

従って、本発明によれば、リード線１４のリード２０と測温体１２のリード２２との間を簡単に電気的に接続でき、しかも、リード線１４のリード２０と測温体１２のリード２２とが直線状に接続することができ、リード線１４のリード２０と測温体１２のリード２２との間の接続面積が大きくなり、強度的に優れ、熱サイクル、振動などに対する耐久性が劣ることのない温度測定センサを提供することができる。

なお、この実施例では、リード線１４のリード２０を、断面円形形状の撚り線から構成し、測温体１２のリード２２を、断面円形形状のリードピンから構成したが、その形状、種類（撚り線、リードピン、平板形状のコネクタ、単線など）の組み合わせは、特に限定されるものではない。

例えば、図４（Ａ）、図４（Ｂ）に示したように、測温体１２のリード２２の断面形状が矩形で、リード線１４のリード２０の断面形状を円形形状とすることができる。また、この場合には、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａの形状を断面矩形形状とし、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａの形状を断面円弧状とすればよい。

また、この実施例では、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａに、測温体１２のリード２２を案内位置決めし、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａに、リード線１４のリード２０を案内位置決めするようにした。

しかしながら、これとは逆に、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａに、リード線１４のリード２０を案内位置決めし、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａに、測温体１２のリード２２を案内位置決めするようにしても良い。

さらに、この実施例では、上下に第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４とを配置したが、左右に配置したいわゆる「横置き型」とすることも可能である。
（実施例２）

図５は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法は、図１〜図４に示した温度測定センサ１０の製造方法と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法では、図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示したように、溶接工程において、溶接用電極３０が、下記のような構造を有している。

すなわち、図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示したように、測温体１２のリード２２を案内する第１の案内溝３２ａを備えた第１の溶接用電極３２と、リード線１４のリード２０を案内する第２の案内溝３４ａを備えた第２の溶接用電極３４と、これらの第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４との間に設けられた弾性絶縁部３８を備えている。

そして、これらの第１の溶接用電極３２と、第２の溶接用電極３４と、弾性絶縁部３８とが一体化された一体型の溶接用電極３０である。
なお、この場合、図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示したように、弾性絶縁部３８と第１の溶接用電極３２とで囲まれた部分で、第１の案内溝３２ａが形成されるとともに、弾性絶縁部３８と第２の溶接用電極３４で囲まれた部分で、第２の案内溝３４ａが形成されている。

なお、この場合、弾性絶縁部３８の材質は、特に限定されるものではなく、溶接用電極３０による溶接の温度とスパークなどに耐える材料であれば良く、例えば、弾性を有するように形成したフッ素系ゴム、シリコーン系ゴムなどを使用することができる。

このように構成することによって、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａに、測温体１２のリード２２を挿入するように案内し位置決めするとともに、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａに、リード線１４のリード２０を挿入するように案内し位置決めすることができる。

そして、この状態で、溶接することによって、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。

しかも、この際、第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４との間に、弾性絶縁部３８が設けられているので、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０を挟持して圧着でき、リード線１４のリード２０と測温体１２のリード２２との間の接続面積が大きくなるとともに、第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４との間で短絡することがなく確実に溶接することができる。

さらに、前述したような実施例１の分離型の溶接用電極３０とは相違して、一体型の溶接用電極３０であるので、第１の溶接用電極３２と第２の溶接用電極３４とを接離させる必要がないので、製造工程が簡略化でき、コストも低減することができる。
（実施例３）

図６は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法は、図１〜図４に示した温度測定センサ１０の製造方法と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法では、図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示したように、溶接工程において、溶接用電極３０が、下記のような構造を有している。

すなわち、図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示したように、測温体１２のリード２２を案内する第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａの端部に、測温体１２のリード２２の先端２２ａが当接する第１の位置決め用当接部３２ｂが形成されている。

また、同様に、図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示したように、リード線１４のリード２０を案内する第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａの端部に、リード線１４のリード２０の先端２０ａが当接する第２の位置決め用当接部３４ｂが形成さている。

このように構成することによって、第１の案内溝３２ａの端部に形成された第１の位置決め用当接部３２ｂに測温体１２のリード２２の先端２２ａが当接して正確に位置決めができるとともに、第２の案内溝３４ａの端部に形成された第２の位置決め用当接部３４ｂにリード線１４のリード２０の先端２０ａが当接して正確に位置決めができる。

そして、この状態で、溶接することによって、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。

これにより、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に位置決めすることができ、これらのリード２０、２２の間の接触面積を、常に一定の所定の接触面積とすることができ、製品の品質が向上する。
なお、その他の実施例においても、このような第１の位置決め用当接部３２ｂと、第２の位置決め用当接部３４ｂを設けても良い。
（実施例４）

図７は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法は、図１〜図４に示した温度測定センサ１０の製造方法と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法では、図７に示したように、溶接工程において、測温体１２を位置決め載置する素子用凹部４０ａを備えた測温体載置台４０に、測温体１２の本体部１２ａを位置決め載置した状態で、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａに、測温体１２のリード２２を案内位置決めする。

また、この実施例では、図７に示したように、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａに、リード線１４のリード２０を、例えば、絶縁性の把持具などで把持して案内位置決めする。

このように構成することによって、測温体載置台４０の素子用凹部４０ａに測温体１２を位置決め載置することによって、測温体１２のリード２２を溶接用電極３０（第１の溶接用電極３２）の第１の案内溝３２ａに、正確に位置決めすることができる。

これにより、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。その結果、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に位置決めすることができ、これらのリード２０、２２の間の接触面積を、常に一定の所定の接触面積とすることができ、製品の品質が向上する。
（実施例５）

図８は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法は、図１〜図４に示した温度測定センサ１０の製造方法と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法では、図８に示したように、溶接工程において、測温体１２を位置決め載置する素子用凹部４０ａを備えた測温体載置台４０に、測温体１２の本体部１２ａを位置決め載置した状態で、第１の溶接用電極３２の第１の案内溝３２ａに、測温体１２のリード２２を案内位置決めする。

また、この実施例では、図８に示したように、溶接工程において、リード線１４を位置決め載置するリード線用凹部４２ａを備えたリード線載置台４２に、リード線１４を位置決め載置した状態で、第２の溶接用電極３４の第２の案内溝３４ａに、リード線１４のリード２０を案内位置決めする。

この状態で、この状態で、溶接することによって、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。

このように構成することによって、測温体載置台４０の素子用凹部４０ａに測温体１２を位置決め載置することによって、測温体１２のリード２２を溶接用電極３０（第１の溶接用電極３２）の第１の案内溝３２ａに、正確に位置決めすることができる。

また、リード線載置台４２のリード線用凹部４２ａにリード線１４を位置決め載置することによって、リード線１４のリード２０を溶接用電極３０（第２の溶接用電極３４）の第２の案内溝３４ａに、正確に位置決めすることができる。

これにより、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に直線状に重ね合わせた状態で溶接することができる。その結果、測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを正確に位置決めすることができ、これらのリード２０、２２の間の接触面積を、常に一定の所定の接触面積とすることができ、製品の品質が向上する。

なお、この実施例では、測温体載置台４０の素子用凹部４０ａに測温体１２を位置決め載置するとともに、リード線載置台４２のリード線用凹部４２ａにリード線１４を位置決め載置するようにしたが、測温体載置台４０、リード線載置台４２の少なくともいずれか一方を用いても良い。
（実施例６）

図９は、本発明の温度測定センサの製造方法の溶接工程の別の実施例を示す概略図である。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法は、図１〜図４に示した温度測定センサ１０の製造方法と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。

この実施例の温度測定センサ１０の製造方法では、図９に示したように、溶接工程において、溶接用電極３０が、下記のような構造を有している。

すなわち、図９に示したように、測温体１２のリード２２を案内する第１の溶接用電極３２に、複数の第１の案内溝３２ａが設けられている。同様に、図９に示したように、リード線１４のリード２０を案内する第２の溶接用電極３４に、複数の第２の案内溝３４ａが設けられている。

なお、図示しないが、この場合には、複数の第１の案内溝３２ａ同士、複数の第２の案内溝３４ａ同士が短絡することのないように相互に絶縁部を設ければよい。

そして、このような構成を備えた溶接用電極３０を用いて、一度に複数の測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを重ね合わせた状態で溶接するように構成されている。

このように構成することによって、一度に複数の測温体１２のリード２２とリード線１４のリード２０とを重ね合わせた状態で溶接することができ、いわゆる「多数個取り」とすることができ、生産性が向上し、コストと手間を低減することができる。

この場合、第１の案内溝３２ａ、第２の案内溝３４ａの数は、特に限定されるものではないことはもちろんである。

以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記の実施例では、いずれも円柱形状の第１の溶接用電極３２、第２の溶接用電極３４を用いたが、その形状は特に限定されるものではなく、例えば、図１０に示したように、角形形状の第１の溶接用電極３２、第２の溶接用電極３４を用いて、第１の案内溝３２ａ、第２の案内溝３４ａの長さを調整するようにすることも可能である。

以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、空調用・一般測定用の温度測定センサ、シリコンウェハなどの半導体製造時に使用される洗浄液などの被測定流体の温度を測定するための温度測定センサなど広範囲な分野に用いることも可能であり、本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

本発明は、例えば、空調用・一般測定用の温度測定センサ、シリコンウェハなどの半導体製造時に使用される洗浄液などの被測定流体の温度を測定するための温度測定センサの製造方法、および、温度測定センサに適用することができる。

１０ 温度測定センサ
１２ 測温体
１２ａ 本体部
１４ リード線
１６ 配線
１８ 被覆
２０ リード
２０ａ 先端
２２ リード
２２ａ 先端
２４ 接続部
２６ 保護管
２８ 樹脂充填材
３０ 溶接用電極
３２ 第１の溶接用電極
３２ａ 第１の案内溝
３２ｂ 第１の位置決め用当接部
３４ 第２の溶接用電極
３４ａ 第２の案内溝
３４ｂ 第２の位置決め用当接部
３６ 溶接部
３８ 弾性絶縁部
４０ 測温体載置台
４０ａ 素子用凹部
４２ リード線載置台
４２ａ リード線用凹部
１００ 温度測定センサ
１０２ 測温体
１０４ リード線
１０６ 配線
１０８ 被覆
１１０ リード
１１２ リード
１１４ 接続部（半田付け部）
１１６ 保護管
１２０ 樹脂充填材
１２２ 隙間
２００ 電極
２０２ 上方電極
２０４ 下方電極
２０６ 溶接部

Claims (8)

1. 温度測定センサ部を構成する測温体と、
   前記測温体のリードに電気的に接続され、温度検出用回路に接続されるリード線とを備えた温度測定センサの製造方法であって、
   前記測温体のリードと、前記リード線のリードとを、それらの端部同士を重ね合わせた状態で溶接する溶接工程と、
   前記溶接工程で溶接された部分を覆うように、前記測温体のリードとリード線のリードとに半田付けを行う半田付け工程とを備え、
   前記溶接工程が、
   前記測温体のリードを案内する第１の案内溝と、前記リード線のリードを案内する第２の案内溝とを備えた溶接用電極によって、前記測温体のリードとリード線のリードとを直線状に重ね合わせた状態で溶接するように構成されていることを特徴とする温度測定センサの製造方法。
2. 前記溶接用電極が、
   前記測温体のリードを案内する第１の案内溝を備えた第１の溶接用電極と、
   前記リード線のリードを案内する第２の案内溝を備えた第２の溶接用電極と、
   を備え、
   前記第１の溶接用電極と第２の溶接用電極とが相互に離接可能に構成された分離型の溶接用電極であることを特徴とする請求項１に記載の温度測定センサの製造方法。
3. 前記溶接用電極が、
   前記測温体のリードを案内する第１の案内溝を備えた第１の溶接用電極と、
   前記リード線のリードを案内する第２の案内溝を備えた第２の溶接用電極と、
   前記第１の溶接用電極と第２の溶接用電極との間に設けられた弾性絶縁部と、
   が一体化された一体型の溶接用電極であることを特徴とする請求項１に記載の温度測定センサの製造方法。
4. 前記溶接用電極が、
   前記測温体のリードを案内する第１の案内溝の端部に、前記測温体のリードの先端が当接する第１の位置決め用当接部が形成されるとともに、
   前記リード線のリードを案内する第２の案内溝の端部に、前記リード線のリードの先端が当接する第２の位置決め用当接部が形成さていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の温度測定センサの製造方法。
5. 前記溶接工程が、
   前記測温体を位置決め載置する素子用凹部を備えた測温体載置台に、前記測温体を位置決め載置した状態で行われることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の温度測定センサの製造方法。
6. 前記溶接工程が、
   前記リード線を位置決め載置するリード線用凹部を備えたリード線載置台に、前記リード線を位置決め載置した状態で行われることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の温度測定センサの製造方法。
7. 前記溶接工程が、
   前記測温体のリードを案内する複数の第１の案内溝と、前記リード線のリードを案内する複数の第２の案内溝とを備えた溶接用電極によって、一度に複数の測温体のリードとリード線のリードとを重ね合わせた状態で溶接するように構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の温度測定センサの製造方法。
8. 請求項１から７のいずれかに記載の温度測定センサの製造方法によって製造された温度測定センサ。

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