JP2016065499A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】安全に移動させることができ、且つ所定の位置に容易に停止させることができる真空ポンプを提供する【解決手段】本発明による真空ポンプ３０は、ポンプ本体３４と、ポンプ本体３４を駆動させるポンプモータ３２と、真空ポンプ３０を移動させるための前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂと、後車輪３５ｂを制動するように構成された機械式ブレーキ３８と、後車輪３５ｂの制動を解除可能に構成されたブレーキワイヤ３７及びレバー３６と、を有する。機械式ブレーキ３８は、ブレーキワイヤ３７及びレバー３６により後車輪３５ｂの制動を解除されているときを除いて、後車輪３５ｂを制動するように構成される。【選択図】図２

Description

本発明は、真空容器等の容器内の気体を排気するための真空ポンプに関する。

ドライ真空ポンプは、半導体デバイスや液晶の製造設備として広く使用されている。半導体デバイス、特にマイクロプロセッサーやフラッシュメモリー、DRAMなど最先端世代の半導体の生産には、半導体（シリコン）ウエハが使用される。

ウエハの径を大型化すると、ウエハ１枚から得られる半導体チップ数が増加し、半導体チップの製造コストを低減することができる。このため、ウエハの径は大型化する傾向にある。しかしながら、ウエハの径が大型化すると半導体製造設備も大型化し、同様に半導体を製造する真空容器の容積も大型化する。この場合、大型化した真空容器内の気体を高速に排気することが求められるので、ドライ真空ポンプ等の真空ポンプのサイズも大型化する傾向がある。近年では、数百Ｋｇから中には１トンに及ぶ重量を有する真空ポンプも存在する。

また、半導体の分野と同様に、液晶パネルの分野においても、液晶パネルの大型化に従って液晶製造装置が大型化する傾向がある。液晶製造装置の大型化に伴い、真空ポンプの大型化が求められている。大型の真空容器内の気体を急速に排気するために大きな排気速度が求められているので、ドライ真空ポンプは特に大型化する傾向がある。

真空ポンプは、使用により軸受の劣化、シール用オーリングの劣化、及びポンプ内部への副生成物の付着が発生する。このため、一般的には、半年から１年程度の間隔で定期的にオーバーホールが行われる。上記副生成物は、人体に悪影響を及ぼす恐れがあるので、製造現場においてオーバーホールを行うことは困難である。このため、オーバーホールを行う際には、真空ポンプが据え付けられている製造設備から真空ポンプを取り外して、オーバーホール工場へ運搬する必要がある。

真空ポンプ（ポンプＡ）をオーバーホールしている間も製造設備を稼働させるために、別の真空ポンプ（ポンプＢ）を製造設備に据え付けて製造設備を稼働させる。この別の真空ポンプ（ポンプＢ）を半年から１年程度使用した後は、この別の真空ポンプ（ポンプＢ）は同様にオーバーホールされるために、オーバーホール工場へ搬送される。これに伴い、既にオーバーホールされた真空ポンプ（ポンプＡ）が再び製造現場へ搬送されて製造設備に備え付けられ、製造設備が稼働される。即ち、いずれかの真空ポンプのオーバーホールを行うタイミングで、真空ポンプの交換作業（搬送作業）が発生する。

したがって、半年から１年程度の頻度で真空ポンプを製造現場とオーバーホール工場との間を搬送する作業が発生する。半導体製造工場においては、通常、１工場につき数百台の真空ポンプが設置されるので、真空ポンプの搬送は日常業務として発生している。

従来、吊り金具が取り付けられた構成を有する真空ポンプが知られている（特許文献１参照）。この真空ポンプは、例えばクレーンにより吊り金具を介して吊り上げられて移動される。しかしながら、真空ポンプをクレーンにより製造設備とオーバーホール工場との間を移動させるには、手間とコストがかかる。また、重量物である真空ポンプをクレーンで吊り上げることには危険が伴うという問題もある。

また、従来、底部に移動用の車輪を有する真空ポンプが知られている。この真空ポンプ
においては、作業員が真空ポンプを押したり引いたりして車輪を回転させることにより真空ポンプを移動させている。しかしながら、上述したように近年の真空ポンプの大型化により真空ポンプの重量が大きくなっているので、人力で真空ポンプを移動させることができたとしても、重量物である真空ポンプの移動を停止させるには大きな力を要する。場合によっては、移動している真空ポンプが他の製造設備に衝突してしまったり、移動している真空ポンプと固定された障害物との間に作業員が挟まれたりする恐れがある。

また、真空ポンプを製造設備に備え付けるときは、真空ポンプを配管に接続するために、配管に対するｍｍ単位の位置合わせが必要となる。上述したように、移動している真空ポンプを所定の位置に停止させることは容易ではない。真空ポンプと配管との位置関係がずれると、互いに接続することができない。また、仮に互いに接続できたとしても、気体のリークが発生する恐れがあり、リークした気体が人体に有害な気体である場合は非常に危険である。

ところで、制動アシスト機能又は走行アシスト機能を備えた台車が知られている。この台車に真空ポンプを搭載して、真空ポンプを運搬させることも考えられる。しかしながら、台車ではおおよその位置まで真空ポンプを運搬することはできても、最終的には台車から真空ポンプを降ろして、位置決め及び据付けを行わなくてはならない。

また、真空ポンプを装置内に組み込む形で設置することもあり、この場合、真空ポンプの周囲に十分なスペースがない中で位置決め作業を実施することもある。このような限られたスペースでは台車やクレーンが入り込むスペースがなく、真空ポンプを台車やクレーンを用いて装置近傍まで運搬することが困難な場合もある。

また、ポンプは真空容器と、主にステンレスの配管によって接続される。自在に曲げたり伸ばしたりできないステンレスの配管を、気体の漏れが発生しないようにポンプに接続するためには、ポンプのミリメートル単位の正確な位置決めが必要になる。したがって、真空ポンプ自体に位置決めを容易にする機能が備えつけられていることが望ましい。

特開２００５−６９１６３号公報

本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたもので、その目的は、安全に移動することができ、且つ所定の位置に容易に停止することができる真空ポンプを提供することである。

上記目的を達成するため、本発明の第１形態に係る真空ポンプは、気体を排気するための真空ポンプであって、ポンプ本体と、前記ポンプ本体を駆動するためのポンプモータと、前記真空ポンプを移動させるための車輪と、前記車輪を制動するように構成されたブレーキと、前記車輪の制動を解除可能に構成されたブレーキ解除部と、を有し、前記ブレーキは、前記ブレーキ解除部により前記車輪の制動が解除されているときを除いて、前記車輪を制動するように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第２形態に係る真空ポンプは、第１形態に係る真空ポンプにおいて、前記車輪を駆動させるように構成された車輪モータと、前記車輪の向きを調節することで前記真空ポンプの移動方向を調節するように構成されたステアリング装
置と、前記車輪モータ、前記ステアリング装置、及び前記ブレーキ解除部を制御するように構成された制御部と、を有し、前記制御部は、外部からの指示に応じて、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第３形態に係る真空ポンプは、第２形態に係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプに加えられた外力を検出するように構成されたセンサを有し、前記センサは、前記センサが検出した外力の情報を前記制御部に伝達するように構成され、前記制御部は、前記センサが前記外力を検出したときに、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成され、前記制御部は、前記センサが前記外力の検出をしないときに、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させ且つ前記車輪モータの駆動を停止させるように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第４形態に係る真空ポンプは、第３形態に係る真空ポンプにおいて、前記制御部は、前記センサが検出した外力に基づいて前記外力の方向を算出し、前記真空ポンプの移動方向が前記外力の方向に一致するように前記ステアリング装置を制御するように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第５形態に係る真空ポンプは、第２形態ないし第４形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、作業者からの指示を入力可能に構成された入力部を有し、前記制御部は、前記入力部に入力された作業者からの指示に応じて、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第６形態に係る真空ポンプは、第２形態ないし第５形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記ポンプモータ及び前記車輪モータの回転を制御するモータドライバと、前記モータドライバと前記ポンプモータとの電気的接続を開閉可能に構成された第１開閉器と、前記モータドライバと前記車輪モータとの電気的接続を開閉可能に構成された第２開閉器と、を有し、前記制御部は、前記第１開閉器及び前記第２開閉器のいずれか一方が閉じ且つ他方が開くように、前記第１開閉器及び前記第２開閉器を制御し、前記第１開閉器及び前記第２開閉器の開閉状態に応じて、前記モータドライバの出力を制御するように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第７形態に係る真空ポンプは、第２形態ないし第６形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記車輪モータ、前記ステアリング装置、及び前記前記ブレーキ解除部に電力を供給するためのバッテリを有する。

上記目的を達成するため、本発明の第８形態に係る真空ポンプは、第７形態に係る真空ポンプにおいて、前記バッテリは、前記ポンプモータに電力を供給可能に構成され、前記制御部は、外部電力の停電時に、前記バッテリから前記ポンプモータに電力を供給するように前記バッテリを制御する。

上記目的を達成するため、本発明の第９形態に係る真空ポンプは、第２形態ないし第８形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプの外側に設けられる圧力センサを有し、前記制御部は、前記圧力センサが所定値以上の圧力値を検出したときに、前記真空ポンプが障害物と接触したと判定し、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させるように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第１０形態に係る真空ポンプは、第２形態ないし第
９形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプの外側に設けられ、障害物との距離を測定する近接センサを有し、前記制御部は、前記近接センサが測定した前記距離が所定値以下のときに、前記真空ポンプが前記障害物に接近したと判定し、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させるように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第１１形態に係る真空ポンプは、第２形態ないし第１０形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記制御部は、前記真空ポンプが存在する現在地と、前記真空ポンプの目的地と、前記現在地から前記目的地までの走行経路を記憶可能なメモリを有し、前記制御部は、作業者からの指示に応じて、前記走行経路に従って前記真空ポンプが移動するように、前記ブレーキ解除部、前記車輪モータ、及び前記ステアリング装置を制御するように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第１２形態に係る真空ポンプは、第１１形態に係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプの現在地の情報を受信可能なＧＰＳ受信機を有し、前記メモリは、前記ＧＰＳ受信機で受信した前記現在地の情報を記憶する。

上記目的を達成するため、本発明の第１３形態に係る真空ポンプは、第１１形態に係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプの現在地の情報を示すＲＦＩＤを読み取り可能なＲＦＩＤリーダを有し、前記メモリは、前記ＲＦＩＤリーダで読み取った前記現在地の情報を記憶する。

上記目的を達成するため、本発明の第１４形態に係る真空ポンプは、第２形態ないし第１３形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプを昇降可能なジャッキを有し、前記ジャッキは、前記制御部からの指示により前記真空ポンプを所定の高さに昇降させるように構成される。

上記目的を達成するため、本発明の第１５形態に係る真空ポンプは、第１形態ないし第１４形態のいずれかに係る真空ポンプにおいて、前記真空ポンプは、ドライ真空ポンプである。

本発明によれば、安全に移動することができ、且つ所定の位置に容易に停止することができる真空ポンプを提供することができる。

本実施形態に係る真空ポンプが半導体製造装置に据え付けられた状態を示す概略図である。 第１実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第２実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第３実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第４実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第５実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第６実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第７実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第８実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第９実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第１０実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。 第１１実施形態に係る真空ポンプの概略側断面図である。

以下、本発明の複数の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

図１は、以下で説明する本発明の第１実施形態ないし第１１実施形態に係る真空ポンプが半導体製造装置に据え付けられた状態を示す概略図である。図示のように、半導体製造装置２１は、床２５に設置され、ドライ真空ポンプ等の真空ポンプ３０は、床２５の下方に位置する床２６に設置される。半導体製造装置２１は、処理される半導体を内部に配置するための真空容器２２と、真空容器２２を外部雰囲気と隔離するためのバルブ２３とを有する。真空ポンプ３０は、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等から形成される配管２４を介してバルブ２３と接続される。真空ポンプ３０は、配管２４と接続され且つバルブ２３が開いた状態で、真空容器２２内の気体を排気するように構成される。

真空ポンプ３０を半導体製造装置２１に据え付けるときは、固定された配管２４の位置に、真空ポンプ３０の図示しない接続部の位置を合わせる必要がある。上述したように、ドライポンプのような大型の真空ポンプ３０は、オーバーホール工場から搬送されて半導体製造装置２１に据え付けられるので、安全に真空ポンプ３０を移動させることができ、且つ真空ポンプ３０を所定の位置（真空ポンプ３０の接続部を配管２４と接続可能な位置）に容易に停止させることが必要である。以下、本発明に係る真空ポンプ３０の複数の実施形態について説明する。

＜第１実施形態＞
図２は、第１実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。真空ポンプ３０は、筐体３９と、真空ポンプ３０を移動させるための一対の前車輪３５ａ（図２では一方のみ図示される）及び一対の後車輪３５ｂ（図２では一方のみ図示される）と、図１に示した真空容器２２内の気体を排気するためのポンプ本体３４と、ポンプ本体３４を駆動させるためのポンプモータ３３と、ポンプモータ３３の回転を制御するポンプモータドライバ３２と、ポンプモータドライバ３２を制御する制御部３１と、後車輪３５ｂを制動する機械式ブレーキ３８と、機械式ブレーキ３８による後車輪３５ｂの回転の制動を解除するためのブレーキワイヤ３７と、ブレーキワイヤ３７を操作するためのレバー３６と、を有する。

ポンプ本体３４は、図示しない配管を有し、この図示しない配管を介して図１に示した配管２４と接続可能に構成される。前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂは、筐体３９の底部に設けられる。前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂは、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの向き（真空ポンプ３０が移動する方向）を変えることができるように構成される。

機械式ブレーキ３８は、例えばバンドブレーキ又はドラムブレーキ等から構成され、後車輪３５ｂに摩擦力を印加することにより、後車輪３５ｂを制動する。機械式ブレーキ３８は、レバー３６及びブレーキワイヤ３７により後車輪３５ｂの制動を解除されているときを除いて、常に後車輪３５ｂを制動するように構成される。なお、機械式ブレーキ３８は、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂのいずれか一方又は両方に設けることができる。

ブレーキワイヤ３７は、レバー３６と機械式ブレーキ３８とを機械的に結合する。レバー３６を操作することにより、ブレーキワイヤ３７を介して機械式ブレーキ３８が後車輪３５ｂに印加する摩擦力を解除して、後車輪３５ｂの制動を解除することができる。したがって、レバー３６及びブレーキワイヤ３７は、機械式ブレーキ３８による後車輪３５ｂの回転の制動を解除可能なブレーキ解除部を構成する。

真空ポンプ３０を移動させるときは、まず、作業者はレバー３６を操作して後車輪３５
ｂの制動を解除する。続いて、作業者は、後車輪３５ｂの制動を解除したまま任意の方向に真空ポンプ３０を押す又は引くことにより、真空ポンプ３０を任意の方向に移動させることができる。移動している真空ポンプ３０を停止させるときは、作業者はレバー３６の操作を止める（レバー３６から手を放す）ことにより、機械式ブレーキ３８により後車輪３５ｂが制動される。

以上で説明したように、真空ポンプ３０は、後車輪３５ｂを制動する機械式ブレーキ３８を有するので、真空ポンプ３０に外力が加えられても、真空ポンプ３０が不意に移動してしまうことを抑制することができる。

また、真空ポンプ３０は、レバー３６及びブレーキワイヤ３７によって後車輪３５ｂの回転の制動を解除することができるので、作業者が機械式ブレーキ３８による後車輪３５ｂの制動を解除して、真空ポンプ３０を移動させることができる。加えて、移動している真空ポンプ３０が例えば障害物（人又は物体）に接触しそうになったとき等、真空ポンプ３０の移動を停止させなければならないときには、作業者がレバー３６から手を放すことで後車輪３５ｂを制動させることができる。したがって、真空ポンプ３０を安全に移動及び停止させることができる。また、真空ポンプ３０を図１に示した配管２４等に接続するために、真空ポンプ３０の位置を所定位置に合わせる必要があるときは、作業者は、真空ポンプ３０を所定位置に移動させてレバー３６から手を放すことで、真空ポンプ３０を所定位置に容易に停止させることができる。作業者は、真空ポンプ３０を容易に移動及び停止させることができるので、真空ポンプ３０の交換時間（据え付け及び設置、又はメンテナンスの所要時間）を短縮することができる。

＜第２実施形態＞
図３は、第２実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第２実施形態に係る真空ポンプ３０は、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを駆動させる車輪モータ４１と、車輪モータ４１の回転を制御する車輪モータドライバ４０と、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを制動する電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂと、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの向きを調節可能に構成されたステアリング装置４２と、真空ポンプ３０に加えられた外力を検出するように構成されたひずみセンサ４６と、を有する。

制御部３１は、車輪モータドライバ４０を介して車輪モータ４１を制御可能に構成される。また、制御部３１は、電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂ及びステアリング装置４２を制御可能に構成される。

車輪モータ４１は、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを駆動させることにより、真空ポンプ３０を移動させる。車輪モータ４１は、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂのいずれか一方のみを駆動させるように構成されていてもよい。

制御部３１は、電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除するためのブレーキ解除部３１ａを有する。電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂは、ブレーキ解除部３１ａにより前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動が解除されているときを除いて、常に前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを制動するように構成される。なお、電磁ブレーキ４３ａ及び電磁ブレーキ４３ｂは、いずれか一方のみが前車輪３５ａ又は後車輪３５ｂに設けられていてもよい。

ひずみセンサ４６は、真空ポンプ３０の筐体３９に接触して設けられる。ひずみセンサ４６は、制御部３１と通信可能に接続され、真空ポンプ３０の筐体３９に加えられた外力による筐体３９のひずみ（外力）を検出し、ひずみデータ（外力の情報）を制御部３１に送信（伝達）するように構成される。

制御部３１は、外部からの指示に応じて、ブレーキ解除部３１ａで前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除し、ステアリング装置４２で真空ポンプ３０の移動方向を調節し、車輪モータ４１を駆動させるように構成される。具体的には、制御部３１は、ひずみセンサ４６が外力を検出したとき、即ちひずみセンサ４６からひずみセンサ４６が検出した外力の情報を受信したときに、ブレーキ解除部３１ａを制御して電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除し、ステアリング装置４２で真空ポンプ３０の移動方向を調節し、車輪モータ４１を駆動させるように構成される。

また、制御部３１は、ひずみセンサ４６が検出したひずみデータ（外力の情報）に基づいて、真空ポンプ３０に加えられた外力の方向を算出し、真空ポンプ３０の移動方向が外力の方向に一致するようにステアリング装置４２を制御する。これにより、作業者が真空ポンプ３０を移動させたい方向に前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを向けて、車輪モータ４１により前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを回転させて、所望の方向に真空ポンプ３０を移動させることができる。

本実施形態ではひずみセンサ４６により外部からの指示（外力）が検出されるように構成されるが、これに代えて、接触センサ又はプッシュスイッチ等のセンサを使用することもできる。

また、制御部３１は、ひずみセンサ４６が検出する外力（ひずみ）が所定時間以上（例えば１秒以上）継続したときに、ブレーキ解除部３１ａ、ステアリング装置４２、及び車輪モータ４１を制御するように構成されていてもよい。このように制御部３１が構成されることにより、作業環境からの振動及び真空ポンプ３０自体の振動等のノイズによる短時間の外力が、作業者からの外力と認識されることを防止し、ブレーキ解除部３１ａ、ステアリング装置４２、及び車輪モータ４１が誤作動することを抑制することができる。なお、例えば近くにあった障害物が真空ポンプ３０に衝突した場合に、真空ポンプ３０が動き出すのを防止するために、制御部３１に対して「移動を開始する」旨、即ち制御部３１によるブレーキ解除部３１ａ、ステアリング装置４２、及び車輪モータ４１の制御を有効にする旨を、作業者が予め入力する入力手段が設けられていてもよい。

さらに、制御部３１は、ひずみセンサ４６が検出した外力の大きさに応じて車輪モータドライバ４０を制御し、車輪モータ４１の回転数の大小を制御することができる。具体的には、ひずみセンサ４６が検出した外力が比較的大きい場合は、車輪モータ４１の回転数を比較的大きくし、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの回転速度（真空ポンプ３０の移動速度）を比較的速くする。これにより、真空ポンプ３０の周囲に障害物がない場合等において、作業者が真空ポンプ３０に大きい外力を加えることで、真空ポンプ３０を比較的速く移動させることができる。一方で、ひずみセンサ４６が検出した外力が比較的小さい場合は、車輪モータ４１の回転数を比較的小さくし、前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの回転速度（真空ポンプ３０の移動速度）を比較的遅くする。これにより、真空ポンプ３０の周囲に障害物が存在したり、真空ポンプ３０を狭い通路を通過させたりする場合等において、作業者が真空ポンプ３０に小さい外力を加えることで、真空ポンプ３０を比較的遅く移動させることができる。

制御部３１は、ひずみセンサ４６が外力を検出しなくなったときに、車輪モータ４１の駆動を停止させるとともに、ブレーキ解除部３１ａによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動の解除を停止させる。これにより、真空ポンプ３０は、ひずみセンサ４６が外力を検出しなくなったときに停止する。

以上で説明したように、制御部３１は、外部からの指示に応じて、即ち、ひずみセンサ
４６が検出する外力に応じて、ブレーキ解除部３１ａで前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除し、ステアリング装置４２で真空ポンプ３０の移動方向を調節し、車輪モータ４１を駆動させるように構成される。このため、重量物である真空ポンプ３０の移動を電動でアシストすることができ、作業者は容易に真空ポンプ３０を所望の方向に移動させることができる。したがって、重量物の真空ポンプ３０が高重量のドライ真空ポンプであっても、少ない作業者（例えば一人の作業者）で、所望の方向に移動させることができる。

また、制御部３１は、ひずみセンサ４６が外力の検出をしないときに、ブレーキ解除部３１ａによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動の解除を停止させ、車輪モータ４１の駆動を停止させるように構成されるので、作業者が真空ポンプ３０から手を離したときに、真空ポンプ３０を容易に停止させることができる。ひいては、作業者は、所望の位置に真空ポンプ３０を配置させることができ、設置位置を微調整することもできる。また、少ない作業者（例えば一人の作業者）であっても、移動している真空ポンプ３０を停止させることができる。

また、制御部３１は、ひずみセンサ４６センサが検出した外力に基づいて外力の方向を算出し、真空ポンプ３０の移動方向が外力の方向に一致するようにステアリング装置４２を制御するので、作業者は自身が真空ポンプ３０を押したり引いたりする方向に、真空ポンプ３０を移動させることができる。

＜第３実施形態＞
図４は、第３実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第３実施形態に係る真空ポンプ３０は、制御部３１と通信可能に構成され、作業者からの指示を入力可能に構成された入力部４４を有する。入力部４４は、例えばタッチパネルやキーパッド等からなり、作業者が入力部４４で入力した情報は、制御部３１に送られる。入力部４４には、真空ポンプ３０を前進、後退、左旋回、及び右旋回させるためのそれぞれのボタンが設けられる。

制御部３１は、入力部４４に入力された作業者からの指示に応じて、ブレーキ解除部３１ａで前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除し、ステアリング装置４２で真空ポンプ３０の移動方向を調節し、車輪モータ４１を駆動させるように構成される。具体的には、制御部３１は、作業者により前進、後退、左旋回、及び右旋回させるためのボタンのいずれかが作動されている間、真空ポンプ３０がそれぞれのボタンに対応する動きをするように、ブレーキ解除部３１ａで前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除し、ステアリング装置４２で真空ポンプ３０の移動方向を調節し、車輪モータ４１を駆動させるように構成される。

また、制御部３１は、作業者による入力部４４への入力（ボタンの操作）がないときは、ブレーキ解除部３１ａによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動の解除を停止させ、車輪モータ４１の駆動を停止させるように構成される。

以上で説明したように、第３実施形態に係る真空ポンプ３０によれば、入力部４４により作業者の指示を入力することができ、作業者の指示に応じて、重量物である真空ポンプ３０の移動を電動で行うことができ、作業者は容易に真空ポンプ３０を所望の方向に移動させることができる。

また、作業者が入力部４４への入力を止めたときに（真空ポンプ３０から手を離したときに）、真空ポンプ３０を容易に停止させることができる。ひいては、作業者は、所望の位置に真空ポンプ３０を配置させることができる。

なお、第３実施形態においては、入力部４４はタッチパネルやキーパッド等であるとして説明しているが、例えば作業者が操作可能な遠隔装置からの入力情報を受信可能に構成されていてもよい。その場合は、作業者は真空ポンプ３０から離れた位置で、真空ポンプ３０を所望の方向に移動させることができる。同様に、作業者が遠隔装置の入力を止めることにより、真空ポンプ３０は停止するように構成される。

＜第４実施形態＞
図５は、第４実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第４実施形態に係る真空ポンプは、図３及び図４に示したポンプモータドライバ３２及び車輪モータドライバ４０に代えて、ポンプモータ３３及び車輪モータ４１の回転を制御するモータドライバ４８（インバータ）と、モータドライバ４８とポンプモータ３３との電気的接続を開閉可能に構成された電磁開閉器４５ａ（第１開閉器）と、モータドライバ４８と車輪モータ４１との電気的接続を開閉可能に構成された電磁開閉器４５ｂ（第２開閉器）と、を有する。

制御部３１は、電磁開閉器４５ａ及び電磁開閉器４５ｂのいずれか一方を閉じ且つ他方を開くように電磁開閉器４５ａ及び電磁開閉器４５ｂを制御する。したがって、ポンプモータ３３によりポンプ本体３４が駆動されているときは、モータドライバ４８は車輪モータ４１とは電気的に接続されておらず、車輪モータ４１により前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂが駆動することはない。一方、車輪モータ４１により前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂが駆動されているときは、モータドライバ４８はポンプモータ３３とは電気的に接続されておらず、ポンプモータ３３によりポンプ本体３４が駆動することはない。

例えば、ポンプ本体３４の駆動が停止した状態で、作業者が入力部４４を介して真空ポンプ３０を移動させる「移動モード」に切り替えることにより、電磁開閉器４５ｂが閉じてモータドライバ４８と車輪モータ４１とが電気的に接続され、且つ電磁開閉器４５ａが開いてモータドライバ４８とポンプモータ３３との電気的接続が切断される。これにより、制御部３１は、入力部４４に入力された作業者からの指示に応じて、ブレーキ解除部３１ａで前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除し、ステアリング装置４２で真空ポンプ３０の移動方向を調節し、車輪モータ４１を駆動させることができる。

また、例えば、真空ポンプ３０を所定の場所に移動させた後、作業者が入力部４４を介してポンプ本体３４を駆動させる「ポンプ運転モード」に切り替えることにより、電磁開閉器４５ａが閉じてモータドライバ４８とポンプモータ３３とが電気的に接続され、且つ電磁開閉器４５ｂが開いてモータドライバ４８と車輪モータ４１との電気的接続が切断される。これにより、制御部３１は、図１に示した真空容器２２内の気体を排気するようにポンプ本体３４を駆動させることができる。

制御部３１は、電磁開閉器４５ａ及び電磁開閉器４５ｂの開閉状態に応じて、モータドライバ４８の出力を制御可能に構成される。具体的には、電磁開閉器４５ａが閉じて電磁開閉器４５ｂが開いているときは、制御部３１は、ポンプ本体３４が適切な回転数で駆動するための出力をポンプモータ３３に供給することができる。また、電磁開閉器４５ｂが閉じて電磁開閉器４５ａが開いているときは、制御部３１は前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂが適切な速度で回転駆動するための出力を車輪モータ４１に供給することができる。

以上で説明したように、第４の実施形態に係る真空ポンプ３０によれば、ポンプモータドライバ３２及び車輪モータドライバ４０に代えて、モータドライバ４８を有するので、ドライバの数を減らすことができ、真空ポンプ３０のコストを低減することができる。また、モータドライバ４８がポンプモータ３３と車輪モータ４１の共通のドライバとなるので、ポンプモータ３３と車輪モータ４１のいずれか一方のみが駆動され、両方が同時に駆
動されることがない。このため、ポンプ本体３４の駆動中（図１に示した真空容器２２内の気体の排気中）に、真空ポンプ３０が誤作動により移動することが確実に防止される。

なお、第４の実施形態に係る真空ポンプ３０においては、入力部４４を有するものとしているが、これに代えて、又はこれと共に図３に示したひずみセンサ４６を有するものとしてもよい。

＜第５実施形態＞
図６は、第５実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第５実施形態に係る真空ポンプ３０は、車輪モータ４１、ステアリング装置４２、及びブレーキ解除部３１ａに電力を供給可能なバッテリ４７を有する。バッテリ４７は、基本的には真空ポンプ３０が移動するために必要な電力を供給するための電源であるが、制御部３１、ひずみセンサ４６にも電力を供給するように構成されていてもよい。

また、バッテリ４７は、ポンプモータ３３と電気的に接続され、制御部３１は非常時にバッテリ４７からポンプモータ３３に電力を供給するようにバッテリ４７を制御することができる。具体的には、真空ポンプ３０が図１に示した真空容器２２内の気体を排気しているときにポンプモータ３３に電力を供給している外部電力が停電した場合に、制御部３１は停電を検出し、ポンプモータ３３の電源を外部電力からバッテリ４７に切り替える。なお、バッテリ４７の電圧が低下すると、制御部３１は自動的にポンプモータドライバ３２及びポンプモータ３３の動作を停止させる。

以上で説明したように、第５実施形態に係る真空ポンプ３０は、真空ポンプ３０が移動するために必要な電力を供給するためのバッテリ４７を有する。これにより、外部からの指示に応じて、制御部３１が、ブレーキ解除部３１ａで前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動を解除し、ステアリング装置４２で真空ポンプ３０の移動方向を調節し、車輪モータ４１を駆動させるときに、外部電力に接続するケーブルが届かない場所（より遠くの場所）まで真空ポンプ３０を移動させることができる。

また、制御部３１が、外部電力の停電時に、バッテリ４７からポンプモータ３３に電力を供給するようにバッテリ４７を制御するので、真空ポンプ３０のポンプ本体３４の駆動が長時間停止することを防止することができる。

なお、第５の実施形態に係る真空ポンプ３０においては、ひずみセンサ４６を有するものとしているが、これに代えて、又はこれと共に図４に示した入力部４４を有するものとしてもよい。また、真空ポンプ３０が図４及び図５に示した入力部４４を有している場合は、バッテリ４７は、入力部４４にも電力を供給するように構成されていてもよい。

＜第６実施形態＞
図７は、第６実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第６実施形態に係る真空ポンプ３０は、筐体３９の外側に設けられるバンパ４９と、真空ポンプ３０の外側にバンパ４９を介して設けられる圧力センサ５０と、を有する。バンパ４９及び圧力センサ５０は、真空ポンプ３０の周囲を取り囲むように設けることができる。

圧力センサ５０は、制御部３１と通信可能に構成され、障害物と接触したときに圧力センサ５０に加わる圧力を検出する。圧力センサ５０は、検出した圧力の値を制御部３１に送信する。制御部３１は、受信した圧力値が所定値以上であるとき、真空ポンプ３０が障害物と接触したと判定し、ブレーキ解除部３１ａによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動の解除を停止させる（即ち、電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂにより前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを制動させる）。また、バンパ４９は、真空ポンプ３０が障害物と接触したと
きの衝撃を和らげる。

以上で説明したように、第６実施形態に係る真空ポンプ３０は、圧力センサ５０を有し、圧力センサ５０が検出した圧力の値に応じて、制御部３１が電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂで前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを制動させる。これにより、真空ポンプ３０の移動中に真空ポンプ３０が障害物と衝突した場合に、真空ポンプ３０の移動を直ちに停止させることができ、障害物及び真空ポンプ３０が破損することを抑制することができる。

なお、第６の実施形態に係る真空ポンプ３０においては、ひずみセンサ４６を有するものとしているが、これに代えて、又はこれと共に図４に示した入力部４４を有するものとしてもよい。また、第６の実施形態では、真空ポンプ３０が障害物と接触したときの衝撃を和らげる目的でバンパ４９を有するものとしているが、バンパ４９は任意である。真空ポンプ３０がバンパ４９を有していない場合は、圧力センサ５０は真空ポンプ３０（筐体３９）の外側に直接設けられる。

＜第７実施形態＞
図８は、第７実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第７実施形態に係る真空ポンプ３０は、図７に示した圧力センサ５０に代えて、真空ポンプ３０の外側にバンパ４９を介して設けられる近接センサ５１を有する。近接センサ５１は、バンパ４９と共に真空ポンプ３０の周囲を取り囲むように設けることができる。近接センサ５１として、例えば赤外線式の近接センサを採用することができる。

近接センサ５１は、制御部３１と通信可能に構成され、近接センサ５１に接近した障害物との距離を測定し、その値を制御部３１に送信する。制御部３１は、受信した値が所定値以下（例えば５ｃｍ以下）であるとき、真空ポンプ３０が障害物と接近したと判定し、ブレーキ解除部３１ａによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動の解除を停止させる（即ち、電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂにより前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを制動させる）。

以上で説明したように、第７実施形態に係る真空ポンプ３０は、近接センサ５１を有し、近接センサ５１が検出した障害物との距離の値に応じて、制御部３１がブレーキ解除部３１ａによる前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂの制動の解除を停止させる（即ち、電磁ブレーキ４３ａ，４３ｂにより前車輪３５ａ及び後車輪３５ｂを制動させる）。これにより、真空ポンプ３０の移動中に真空ポンプ３０が障害物に近接した場合に、真空ポンプ３０の移動を停止させることができ、障害物と真空ポンプ３０との接触を防止することができる。

なお、第７の実施形態に係る真空ポンプ３０においては、ひずみセンサ４６を有するものとしているが、これに代えて、又はこれと共に図４に示した入力部４４を有するものとしてもよい。また、第７の実施形態では、真空ポンプ３０が障害物と接触したときの衝撃を和らげる目的でバンパ４９を有するものとしているが、バンパ４９は任意である。真空ポンプ３０がバンパ４９を有していない場合は、近接センサ５１は真空ポンプ３０（筐体３９）の外側に直接設けられる。さらに、近接センサ５１は、図７に示した圧力センサ５０と併用してもよい。

＜第８実施形態＞
図９は、第８実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第８実施形態に係る真空ポンプ３０は、入力部４４により入力された情報を記憶可能なメモリ５２を制御部３１内に有する。メモリ５２は、真空ポンプ３０が存在する現在地と、真空ポンプ３０の目的地と、現在地から目的地までの走行経路を記憶することができる。

第８実施形態に係る真空ポンプ３０の使用において、作業者は、入力部４４を介して真空ポンプ３０が存在する現在地と、真空ポンプ３０を移動させる目的地を入力することができる。メモリ５２に予め真空ポンプ３０が配置される環境のマップが記憶されている場合は、制御部３１は、入力された現在地及び目的地に基づいて、真空ポンプ３０を移動させる走行経路を算出し、メモリ５２に記憶させる。上記マップがメモリ５２に記憶されていない場合は、作業者は入力部４４を介して走行経路も入力する。

メモリ５２に上記現在地、上記目的地、及び上記走行経路が記憶されている状態で、作業者は、入力部４４に真空ポンプ３０を移動させる旨の指示を入力する。制御部３１は、入力部４４に入力された作業者からの指示（外部からの指示）に応じて、上記走行経路に従って真空ポンプ３０が移動するように、ブレーキ解除部３１ａ、車輪モータ４１、及びステアリング装置４２を制御するように構成される。なお、真空ポンプ３０が移動を開始するための作業者からの指示は、入力部４４から入力される指示に限らない。例えば、図３等に示したひずみセンサ４６を真空ポンプ３０に設けて、ひずみセンサ４６が外力を検出したことを真空ポンプ３０が移動を開始するための作業者からの指示として、制御部３１が真空ポンプ３０の移動を開始するように構成することもできる。

真空ポンプ３０は、図示しない警報装置を有してもよい。警報装置は、真空ポンプ３０が上記走行経路に従って移動している間に警報音を鳴らし、周囲の作業員への注意喚起をするように構成される。第８実施形態に係る真空ポンプ３０においては、メモリ５２を含む制御部３１、入力部４４、ブレーキ解除部３１ａ、車輪モータ４１、及びステアリング装置４２を駆動するために必要な電力はバッテリ４７から供給される。

以上で説明したように、第８実施形態に係る真空ポンプ３０は、上記現在地、上記目的地、及び上記走行経路を記憶することができるメモリ５２を有し、制御部３１により上記走行経路に従って移動することができる。したがって、真空ポンプ３０を人力で押す必要なく、真空ポンプ３０を所望の位置（目的地）まで移動させ、所望の位置で安全に停止させることができる。また、真空ポンプ３０は、予め定められた走行経路を移動するので、障害物に接触しない走行経路を選択して安全に移動することができる。

＜第９実施形態＞
図１０は、第９実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第９実施形態に係る真空ポンプ３０は、ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）衛星から、真空ポンプ３０の現在地情報を受信可能に構成されるＧＰＳ受信機５３を有する。ＧＰＳ受信機５３は、制御部３１と通信可能に構成され、受信した真空ポンプ３０の現在地情報を制御部３１に送信するように構成される。

制御部３１は、受信した真空ポンプ３０の現在地情報をメモリ５２に記憶させる。したがって、第９実施形態に係る真空ポンプ３０では、真空ポンプ３０の現在地を作業者が入力する必要はない。真空ポンプ３０の目的地及び走行経路は、第８実施形態の真空ポンプ３０と同様の方法で、メモリ５２に記憶される。また、真空ポンプ３０に上記走行経路を移動させる方法は、第８実施形態の真空ポンプと同様の方法であるので、説明を省略する。

第９実施形態に係る真空ポンプ３０においては、ＧＰＳ受信機５３、メモリ５２を含む制御部３１、入力部４４、ブレーキ解除部３１ａ、車輪モータ４１、及びステアリング装置４２を駆動するために必要な電力はバッテリ４７から供給される。

以上で説明したように、第９実施形態に係る真空ポンプ３０は、ＧＰＳ受信機５３を有
するので、真空ポンプ３０の現在地を手入力することなく、メモリ５２に現在地を記憶させることができる。

＜第１０実施形態＞
図１１は、第１０実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第１０実施形態に係る真空ポンプ３０は、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ＩＤｅｎｔｉｆｉｅｒ）タグを読み取り可能なＲＦＩＤリーダ５４を有する。ＲＦＩＤリーダ５４は、制御部３１と通信可能に構成される。真空ポンプ３０の現在地情報を含むＲＦＩＤタグを準備し、ＲＦＩＤリーダ５４でＲＦＩＤタグを読み取ることで、ＲＦＩＤリーダ５４は、読み取った現在地情報を制御部３１に送信するように構成される。

制御部３１は、受信した真空ポンプ３０の現在地情報をメモリ５２に記憶させる。したがって、第１０の実施形態に係る真空ポンプ３０では、真空ポンプ３０の現在地を作業者が入力する必要はない。真空ポンプ３０の目的地及び走行経路は、第８実施形態の真空ポンプ３０と同様の方法で、メモリ５２に記憶される。また、真空ポンプ３０に上記走行経路を移動させる方法は、第８実施形態の真空ポンプと同様の方法であるので、説明を省略する。

第１０実施形態に係る真空ポンプ３０においては、ＲＦＩＤリーダ５４、メモリ５２を含む制御部３１、入力部４４、ブレーキ解除部３１ａ、車輪モータ４１、及びステアリング装置４２を駆動するために必要な電力はバッテリ４７から供給される。

以上で説明したように、第１０実施形態に係る真空ポンプ３０は、ＲＦＩＤリーダ５４を有するので、真空ポンプ３０の現在地を手入力することなく、メモリ５２に現在地を記憶させることができる。

＜第１１実施形態＞
図１２は、第１１実施形態に係る真空ポンプ３０の概略側断面図である。第１１実施形態に係る真空ポンプ３０は、真空ポンプ３０を昇降させることができるジャッキ５５を有する。作業者は、入力部４４に所望の高さを入力することにより、ジャッキ５５が上昇させる真空ポンプ３０の高さを設定することができる。

ジャッキ５５は、制御部３１により駆動制御される。真空ポンプ３０が所望の位置に移動された後、ジャッキ５５は、制御部３１からの指示により真空ポンプ３０を入力部４４で設定された所定の高さに昇降させる。

第１１実施形態の真空ポンプ３０によれば、制御部３１及びジャッキ５５により、真空ポンプ３０の高さ方向の位置決めを容易に行うことができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲及び明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。

３０…真空ポンプ
３１…制御部
３１ａ…ブレーキ解除部
３３…ポンプモータ
３４…ポンプ本体
３５ａ…前車輪
３５ｂ…後車輪
３８…機械式ブレーキ
４１…車輪モータ
４２…ステアリング装置
４３ａ，４３ｂ…電磁ブレーキ
４４…入力部
４５ａ，４５ｂ…電磁開閉器
４６…ひずみセンサ
４７…バッテリ
４８…モータドライバ
５０…圧力センサ
５１…近接センサ
５２…メモリ
５３…ＧＰＳ受信機
５４…ＲＦＩＤリーダ
５５…ジャッキ

Claims (15)

1. 気体を排気するための真空ポンプであって、
   ポンプ本体と、
   前記ポンプ本体を駆動するためのポンプモータと、
   前記真空ポンプを移動させるための車輪と、
   前記車輪を制動するように構成されたブレーキと、
   前記車輪の制動を解除可能に構成されたブレーキ解除部と、を有し、
   前記ブレーキは、前記ブレーキ解除部により前記車輪の制動が解除されているときを除いて、前記車輪を制動するように構成される、真空ポンプ。
2. 請求項１に記載された真空ポンプにおいて、
   前記車輪を駆動させるように構成された車輪モータと、
   前記車輪の向きを調節することで前記真空ポンプの移動方向を調節するように構成されたステアリング装置と、
   前記車輪モータ、前記ステアリング装置、及び前記ブレーキ解除部を制御するように構成された制御部と、を有し、
   前記制御部は、外部からの指示に応じて、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成された、真空ポンプ。
3. 請求項２に記載された真空ポンプにおいて、
   前記真空ポンプに加えられた外力を検出するように構成されたセンサを有し、
   前記センサは、前記センサが検出した外力の情報を前記制御部に伝達するように構成され、
   前記制御部は、前記センサが前記外力を検出したときに、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成され、
   前記制御部は、前記センサが前記外力の検出をしないときに、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させ且つ前記車輪モータの駆動を停止させるように構成された、真空ポンプ。
4. 請求項３に記載された真空ポンプにおいて、
   前記制御部は、前記センサが検出した外力に基づいて前記外力の方向を算出し、前記真空ポンプの移動方向が前記外力の方向に一致するように前記ステアリング装置を制御するように構成される、真空ポンプ。
5. 請求項２ないし４のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
   作業者からの指示を入力可能に構成された入力部を有し、
   前記制御部は、前記入力部に入力された作業者からの指示に応じて、前記ブレーキ解除部で前記車輪の制動を解除し、前記ステアリング装置で前記真空ポンプの移動方向を調節し、前記車輪モータを駆動させるように構成される、真空ポンプ。
6. 請求項２ないし５のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
   前記ポンプモータ及び前記車輪モータの回転を制御するモータドライバと、
   前記モータドライバと前記ポンプモータとの電気的接続を開閉可能に構成された第１開閉器と、
   前記モータドライバと前記車輪モータとの電気的接続を開閉可能に構成された第２開閉器と、を有し、
   前記制御部は、前記第１開閉器及び前記第２開閉器のいずれか一方が閉じ且つ他方が開
   くように、前記第１開閉器及び前記第２開閉器を制御し、前記第１開閉器及び前記第２開閉器の開閉状態に応じて、前記モータドライバの出力を制御するように構成された、真空ポンプ。
7. 請求項２ないし６のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
   前記車輪モータ、前記ステアリング装置、及び前記前記ブレーキ解除部に電力を供給するためのバッテリを有する、真空ポンプ。
8. 請求項７に記載された真空ポンプにおいて、
   前記バッテリは、前記ポンプモータに電力を供給可能に構成され、
   前記制御部は、外部電力の停電時に、前記バッテリから前記ポンプモータに電力を供給するように前記バッテリを制御する、真空ポンプ。
9. 請求項２ないし８のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
   前記真空ポンプの外側に設けられる圧力センサを有し、
   前記制御部は、前記圧力センサが所定値以上の圧力値を検出したときに、前記真空ポンプが障害物と接触したと判定し、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させるように構成される、真空ポンプ。
10. 請求項２ないし９のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
    前記真空ポンプの外側に設けられ、障害物との距離を測定する近接センサを有し、
    前記制御部は、前記近接センサが測定した前記距離が所定値以下のときに、前記真空ポンプが前記障害物に接近したと判定し、前記ブレーキ解除部による前記車輪の制動の解除を停止させるように構成される、真空ポンプ。
11. 請求項２ないし１０のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
    前記制御部は、前記真空ポンプが存在する現在地と、前記真空ポンプの目的地と、前記現在地から前記目的地までの走行経路を記憶可能なメモリを有し、
    前記制御部は、作業者からの指示に応じて、前記走行経路に従って前記真空ポンプが移動するように、前記ブレーキ解除部、前記車輪モータ、及び前記ステアリング装置を制御するように構成される、真空ポンプ。
12. 請求項１１に記載された真空ポンプにおいて、
    前記真空ポンプの現在地の情報を受信可能なＧＰＳ受信機を有し、
    前記メモリは、前記ＧＰＳ受信機で受信した前記現在地の情報を記憶する、真空ポンプ。
13. 請求項１１に記載された真空ポンプにおいて、
    前記真空ポンプの現在地の情報を示すＲＦＩＤを読み取り可能なＲＦＩＤリーダを有し、
    前記メモリは、前記ＲＦＩＤリーダで読み取った前記現在地の情報を記憶する、真空ポンプ。
14. 請求項２ないし１３のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
    前記真空ポンプを昇降可能なジャッキを有し、
    前記ジャッキは、前記制御部からの指示により前記真空ポンプを所定の高さに昇降させるように構成される、真空ポンプ。
15. 請求項１ないし１４のいずれか一項に記載された真空ポンプにおいて、
    前記真空ポンプは、ドライ真空ポンプである、真空ポンプ。

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