JP2016046511A - 発光ダイオード装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】外縁に沿った電流阻止層を備え、光子の内部吸収を減少させて、光出力および発光効率を高めた発光ダイオード(LED)装置を提供する。【解決手段】LED装置200は、第1半導体層203と、第2半導体層201と、第1半導体層と第2半導体層との間の活性領域205と、を備えるLED202を含む。LED装置は、さらに、第1半導体層と電気的に接続された第1コンタクト206と、第1コンタクトとの界面においてLEDの外縁に沿って第1コンタクトの外周部を覆う電流阻止層207と、を含む。電流阻止層は、第1コンタクトに非オーミック接続し、第1コンタクトと、LEDの第1半導体層と、の間の電流注入を制限する。電流阻止層は、第1半導体層の一部分を囲み、活性領域の光子を放出する部分を画する。【選択図】図2
Description
実施形態は、発光ダイオード装置に関する。
一般に、発光ダイオード(LED)は、半導体成長用基板上に設けられる。半導体成長用基板は、一般的には、窒化ガリウム(GaN)、 ヒ化ガリウム(GaAs)、 リン化ガリウム (GaP)、 インジウムリン(InP)および ガリウム・ヒ素・リン(GaAsP)などのIII−V族化合物である。また、GaNなどのIII族窒化物系LED用の半導体成長用基板は、サファイア(Al2O3)、シリコン (Si)および炭化ケイ素 (SiC)であっても良い。LEDのN形およびP形の半導体層を形成するために、エピタキシャル半導体層を半導体成長用基板上に成長させる。エピタキシャル半導体層は、いくつかの成熟したプロセス、例えば、LPE(Liquid Phase Epitaxy)、MBE(Molecular Beam Epitaxy)およびMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)を用いて形成される。エピタキシャル半導体層を形成した後、既知のフォトリソグラフィ、エッチング、蒸着および研磨の各工程を用いて、P形およびN形半導体層に電気的なコンタクトが形成される。個々のLEDチップは、個片化され、パッケージにマウントされ、ワイヤーボンディングされる。封止材がLEDチップ上に堆積される。そして、LEDチップは、光取り出しにも寄与する保護レンズにより封止される。
LED装置には、横型LED、縦型LED、フリップチップ型LEDおよびハイブリッド型LED(縦型およびフリップチップ型の組み合わせ)を含むいくつかの種類がある。通常、縦型LED装置、フリップチップ型LED装置およびハイブリッド型LED装置は、LEDと、下地の基板と、の間、または、LEDと、下地のサブマウントの間の反射性コンタクトを利用する。反射性コンタクトは、下方の基板またはサブマウントに向かう光子を反射する。反射性コンタクトを利用することにより、基板もしくはサブマウントに吸収される光子よりも多くの光子がLEDの外に放出され、LED装置の光出力および発光効率を全体として改善することができる。
LED装置の光出力効率を改善する他の例を図1(a)および図1(b)に示す。この例は、参考文献としてここに示す米国特許広報第2009/0242929号(Lin)に記載されたものである。図1(a)は、Linによる縦型LED装置100の平面図である。図1(a)では、縦型LED装置100は、LED102と、第2コンタクト108と、を有する。第2コンタクト108は、LED102の第2半導体層101に電気的に接続されている。LED102の下部には、反射性の第1コンタクト106が設けられている。第1コンタクト106は、バリアメタル104に囲まれている。図1(b)は、図1(a)に示すAA線に沿った断面図である。図1(b)において、LED102は、基板112に接合されている。ボンディングメタル層110およびバリアメタル層104は、第1コンタクト106を囲んでいる。電流阻止領域109は、LED102の第2半導体層101と、第1コンタクト106と、の間に設けられ、第2コンタクト108に位置合わせされた部分を有する。
デバイスが動作している間、電流阻止領域109は、第1コンタクト106と、第2コンタクト108と、の間の電流注入を制限する。これにより、第2コンタクト108の直下における光子の発生を減少させる。第2コンタクト108の下部における光子の発生が減少することにより、第2コンタクト108に吸収される光子は少なくなる。この結果、縦型LED装置100の光出力効率が全体として改善される。
図1(c)は、図1(b)に示した領域BBに対応する縦型LED装置100の拡大断面図である。図1(c)において、第1コンタクト106は、バリアメタル層104に囲まれている。先に説明したように、LEDと、下地の基板と、の間に設けられたコンタクト、または、LEDと、サブマウントパッケージと、の間のコンタクトには、通常、高反射材が用いられる。先進のLEDの製造業者の間では、コンタクト106の材料として銀(Ag)が広く用いられている。銀(Ag)は、可視光の波長範囲において90%以上の反射率を有し、他の利用可能な金属に比べて高い光反射率を有するためである。しかしながら、銀(Ag)は、よく知られたエレクトロマイグレーション特性を有し、大気に晒されると、導電性の短絡経路を形成しデバイス不良を生じさせる。銀(Ag)のコンタクト106におけるエレクトロマイグレーションを防ぐために、コンタクト106は、バリアメタル層104と、第1半導体層103と、に完全に囲まれ、または、封止され、大気から隔離されている。
バリアメタル層104には、通常、銀(Ag)の第1コンタクト106よりも、反射率の低い材料が用いられる。一般的に、バリアメタル層104の材料の光反射率は、可視光の波長範囲において80%未満である。一般的に用いられるバリアメタル層104の材料は、白金(Pt)、金(Au)、チタン(Ti)、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、チタン−タングステン合金(TiW)およびモリブデン(Mo)のいずれかを含む。バリアメタル層104は、P形半導体層103にオーミック接続を形成しない。デバイスが動作している間、電流は、主に、第1コンタクト106の上方の領域に注入される。LED102の内部反射に起因して、活性領域105で生成された光子111は、第1コンタクト106の端付近において、LED102の内部で反射され、反射率の低いバリアメタル層104に吸収される。つまり、Linにより開示された縦型LED装置100の光出力および発光効率は、全体として低くなる。
従って、光子の内部吸収を減少させ、光出力および発光効率を高めたLED装置に対する対処されていない要求が存在する。
一実施形態において、発光ダイオード(LED)装置は、第1導電形の第1層と、第2導電形の第2層と、の間に配置された発光層を備えるLEDを含む。一実施形態において、第1層は、当初、P形にドーピングされ、第2層は、当初、N形にドーピングされる。別の実施形態では、第1層は、当初、N形にドーピングされ、第2層は、当初、P形にドーピングされる。LED装置は、さらに、第1層に電気的に接続された第1コンタクトと、第1コンタクトとの界面において、LEDの外縁に沿った第1電流阻止層と、を含む。第1電流阻止層は、第1コンタクトの外周部を覆う。第1電流阻止層は、第1コンタクトに非オーミック接続する。これにより、第1コンタクトと、LEDの第1層と、の間の電流注入を制限する。
一実施形態において、第1コンタクトは、銀(Ag)を含む。一実施形態において、第1電流阻止層は、第1コンタクトの側面の上端から内側に50μm伸びる。別の実施形態では、第1電流阻止層は、第1コンタクトの側面の各上端から内側に50μm伸びる。別の実施形態では、第1電流阻止層は、第1層の一部分を囲み、発光層における光子を放出する部分を画する。
一実施形態において、第1電流阻止層は、LEDと、第1コンタクトと、の間に位置する。一実施形態において、第1電流阻止層は、第1コンタクトと、LEDの第1層と、の間に配置された透明絶縁層を備える。一実施形態では、透明絶縁層は、SiO2を含む。他の実施形態では、透明絶縁層は、Si3N4、Al2O3、TiO2、または、その他の好適な誘電体材料であってもよい。
別の実施形態では、第1電流阻止層は、LEDの第1層の中に形成されている。一実施形態において、第1電流阻止層は、第1層のプラズマ処理された領域である。一実施形態において、プラズマ処理は、LEDの第1層の処理された領域のドーピング濃度を補償し、LEDの第1層の処理された領域と、第1コンタクトと、の間に非オーミック接続を形成する。別の実施形態では、プラズマ処理は、第1層の処理された領域の導電形を、反対の導電形に変え、LEDの第1層の処理された領域と、第1コンタクトと、の間に非オーミック接続を形成する。一実施形態において、プラズマ処理には、酸素(O2)、窒素(N2)、水素(H2)、アルゴン(Ar)、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、または、これらを任意に混合させたものを含むガスを使用する。
一実施形態において、LED装置は、さらに、LEDの第2層に電気的に接続された第2コンタクトを含み、LEDと、第1コンタクトとの界面において、第2コンタクトに実質的に位置合わせされた部分を有する第2電流阻止層を含む。第2電流阻止層は、第1コンタクトに非オーミック接続する。これにより、第1コンタクトと、LEDの第1層と、の間の電流注入を制限する。
一実施形態において、LED装置は、LEDに接合された基板を備える縦型LED装置であり、第1コンタクトは、LEDと、基板と、の間に配置される。別の実施形態では、LED装置は、LEDに接合されたサブマウントを備えるフリップチップ型LED装置であり、第1コンタクトは、LEDと、サブマウントと、の間に配置される。一実施形態において、フリップチップ型LED装置は、さらに、第1コンタクトおよびLEDの第2層に、それぞれ電気的に接続された第1および第2配線を含む。第3および第4配線は、サブマウントに取り付けられ、第1配線と第3配線は電気的に接続され、第2配線と第4配線は、電気的に接続されている。
図2(a)は、一実施形態に係る縦型LED装置200であって、その外縁に沿った電流阻止領域207を備える縦型LED装置200の平面図を示す。図2(a)では、電流阻止層207は、第1コンタクト206と、LED202と、の界面に形成され、LED202の外縁に沿って延在し、第1コンタクト206の側面の上端217、219、221および223から内側へ伸びる。電流阻止層207は、第1コンタクト206の外周の一部を覆う。図2(a)に示すように、電流阻止層207は、LED202の外縁を囲み、第1コンタクト206の外周の一部を覆うが、他の実施形態では、電流阻止領域207は、連続している必要は無く、第1コンタクト206の側面の上端217、219、221および223の少なくともいずれか1つの一部分を覆うだけでも良い。
バリアメタル層204は、第1コンタクト206を囲み、LED202と共に、大気から第1コンタクト206を隔離し、または、封止している。一実施形態において、第1コンタクト206は、銀(Ag)を含む。一実施形態において、電流阻止層207は、第1コンタクト206の側面の端217から、内側に50μm伸びる。別の実施形態では、電流阻止層207は、第1コンタクト206の各側面の端217、219、221および223から、内側に50μm伸びる。
図2(b)は、図2(a)の縦型LED装置200の断面図を示す。図2(b)は、図2(a)に示されたCC線に沿った断面図である。図2(b)に示されたように、LED202は、基板212に接合されている。一実施形態において、第1半導体層203はP形であり、第2半導体層201はN形である。別の実施形態では、第1半導体層203はN形であり、第2半導体層201はP形である。ボンディングメタル層210およびバリアメタル層204は、第1コンタクト206を囲む。電流阻止層207は、LED202の外縁に沿って、LED202の第1半導体層203と、第1コンタクト206と、の界面に形成される。電流阻止層207は、第1半導体層203と、第1コンタクト206と、の間に非オーミック接続を形成する。この非オーミック接続は、第1半導体層203と、第1コンタクト206と、の間に線形のI−V特性を示さない電気的な接合を形成する。電流阻止層207は、第1コンタクト206の側面の上端217および219から内側に伸び、第1コンタクト206の外周の一部を覆う。
デバイスが動作している間、第1コンタクト206と、第1半導体層203と、の間の電流注入は、電流阻止層207により形成される非オーミック接続のために制限される。これにより、第1半導体層203の端近傍における光子の発生が制限される。
一実施形態において、電流阻止層207は、SiO2のような、透明な(光学的に無損失な)絶縁層を含む。他の実施形態では、電流阻止層207は、Si3N4、Al2O3、TiO2、または、その他の好適な誘電体材料であってもよい。この実施形態において、電流阻止層207は、第1半導体層203の表面と、第1コンタクト206の表面と、の間にSiO2の層を形成する既知のフォトリソグラフィおよびエッチングプロセスを用いて形成される。
別の実施形態では、電流阻止層207は、第1半導体層203のプラズマ処理された領域を含む。プラズマ処理におけるイオン照射は、第1半導体層203のドーピング濃度を補償するか、もしくは、第1半導体層203の処理された電流阻止層207を、反対の導電形に変える。一実施形態において、プラズマ処理には、酸素(O2)、窒素(N2)、水素(H2)、アルゴン(Ar)、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、または、これらを任意に混合させたものを含むガスを使用する。
例えば、第1半導体層203は、当初、P形である。プラズマ処理の後、第1半導体層203の電流阻止層207は、N形にドーピングされる。第1半導体層203の電流阻止層207をN形に変えること、もしくは、第1半導体層203のドーピング濃度を補償することにより、電流阻止層207は、非オーミック接続を形成し、第1コンタクト206と、第1半導体層203と、の間の電流注入を制限する。
反射率の低いバリアメタル層204の端近傍での光子の発生を制限することにより、第1コンタクト206と、電流阻止層207と、の境界で生成された光子は、当初は内部に反射されるとしても、バリアメタル層204において損失されることなく、LED202から放出される機会が増える。その結果、縦型LED装置200の光出力および発光効率を全体として改善する。
図2(c)は、図2(b)の縦型LED装置200の拡大断面図を示す。図2(c)では、デバイスが動作している間、第1コンタクト206と、電流阻止層207と、の境界近傍の活性領域205において生成された光子211は、LED202の内部において反射される。一実施形態によれば、電流阻止層207は光学的に無損失であるので、光子211は、第1コンタクト206により反射され、戻され、放射光としてLED202から放出される別の機会を与えられる。図2(a)〜(c)に示されたように、電流阻止領域207が、LED202の外縁を囲み、第1コンタクト206の端から内側に伸びることに起因して、LED202の有効な発光面積は、第1コンタクト206の面積よりも狭い。LED202の発光面積が減少したにもかかわらず、縦型LED装置200の光出力および発光効率が全体として、さらに改善されている。これらの予期せぬ改善は、電流阻止領域207の効果として、生成された光子211の光学損失が減少することによるものである。実際、この結果は、LED202の発光面積を減少させることに経験的に反するものである。
縦型LED装置200は、第1コンタクト206と、LED202との界面に、第2電流阻止層209を形成ことにより、選択的に、さらに改良することができる。一実施形態では、第2コンタクト208の下に第2電流阻止層209を有し、第2電流阻止層209は、第2コンタクト208と位置合わせされる。別の実施形態では、第2コンタクト208の下に第2電流阻止層209の一部分を有し、第2電流阻止層209は、実質的に、第2コンタクト208と位置合わせされる。電流阻止層207および第2電流阻止層209の両方を組み込むことにより、縦型LED装置200は、バリアメタル層204および第2コンタクト208の両方による光子吸収の可能性を最小限にする。結果として、縦型LED装置200の光出力および発光効率を全体として改善する。
図3(a)は、一実施形態に係るフリップチップ型LED装置300であって、その外縁に沿った電流阻止層307を備えるフリップチップ型LED装置300の平面図を示す。図3(a)に示されたフリップチップ型LEDの平面図は、サブマウントなしで示されている。図3(a)では、電流阻止層307は、第1コンタクト306と、LED302と、の間に形成され、LED302の外縁に沿って延在し、第1コンタクト306の側面の上端317、319、321、および323から内側に伸びる。電流阻止層307は、第1コンタクト306の外周の一部を覆う。図3(a)に示しめされたように、電流阻止層307は、LED302の外縁を囲み、第1コンタクト306の外周の一部を覆うが、他の実施形態では、電流阻止領域307は連続的でなく、第1コンタクト306の側面の上端317、319、321、および323の少なくともいずれか1つの一部分を覆うだけでも良い。
バリアメタル層304は、第1コンタクト306を囲み、LED302と共に、大気から第1コンタクト306を隔離し、または、封止している。一実施形態において、第1コンタクト306は、銀(Ag)を含む。一実施形態において、電流阻止層307は、第1コンタクト306の側面の上端317から内側に50μm伸びる。別の実施形態では、電流阻止層307は、第1コンタクト306の各側面の端317、319、321および323から内側に50μm伸びる。
図3(b)は、図3(a)のフリップチップLED装置300の断面図を示す。図3(b)は、図3(a)に示されたEE線に沿った断面図である。図3(b)に示されたように、LED302は、サブマウント320の第3配線322および第4配線324を、それぞれ第1配線312および第2配線308に接続することにより、サブマウント320に接続されている。第1配線312は、第1コンタクト306、バリアメタル層304、およびボンディングメタル層310に電気的に接続されている。第2配線308は、第2半導体層301に電気的に接続されている(図示されていない)。第2配線308は、パッシべーション層309により、第1配線312から電気的に絶縁されている。
別の実施形態において、サブマウント320は、第1半導体層303に電気的に接続された第3配線322と、第2半導体層301に電気的に接続された第4配線324(図示されていない)により、直接、LED302に接続されている。一実施形態において、第1半導体層303はP形であり、第2半導体層301はN形である。別の実施形態では、第1半導体層303はN形であり、第2半導体層301はP形である。
電流阻止層307は、LED302の外縁に沿って、LED302の第1半導体層303と、第1コンタクト306と、の界面に形成されている。電流阻止層307は、第1半導体層303と、第1コンタクト306と、の間に非オーミック接続を形成する。この非オーミック接続は、第1半導体層303と、第1コンタクト306と、の間に、電流−電圧特性が線型性を示さない電気的な接合を形成する。電流阻止層307は、第1コンタクト306の側面の上端317および319から内側に伸び、第1コンタクト306の外周の一部を覆う。
先に説明したように、デバイスが動作している間、第1コンタクト306と、第1半導体層303と、の間の電流注入は、電流阻止層307によって形成された非オーミック接続のために制限される。これにより、第1半導体層303の端近傍での光子の発生を制限している。
図2(a)〜図2(c)に対応する実施形態に関する先の説明と同様に、電流阻止層307は、SiO2、Si3N4、Al2O3、TiO2、または、その他の好適な誘電体材料のような透明な(光学的に無損失な)絶縁層を含む。別の実施形態では、電流阻止層307は、第1半導体層303のプラズマ処理された領域を含む。反射率の低いバリアメタル層304の端近傍での光子の発生を制限することにより、バリアメタル層304による光損失を受けることなく、第1コンタクト306と、電流阻止層307と、の境界で生成された光子をLED302から放出する機会が増える。その結果、フリップチップLED装置300の光出力および発光効率は、全体として予想外に改善される。
図4は、一実施形態に係るLED装置であって、LEDの外縁に沿った電流阻止層を備えるLED装置の光強度と、そのような電流阻止層の無いLED装置の光強度の比較を示す。図4において、光強度プロット401は、LEDの外縁に沿った電流阻止層を備えるLED装置の光強度であり、光強度プロット400は、そのような電流阻止層が無いLED装置の光強度である。電流阻止層407は、LED402の端(x軸に沿った基準点0μmとして表されている)から内側に約38μm離れた所から始まり、第1コンタクト406は、LED402の端から内側に約12μm離れた位置まで伸び、第1コンタクトの側面の上端406から内側に約26μm伸びる電流阻止層を効果的に形成する。
電流阻止層407は、バリアメタル層404からいくらか離れたところまで光子の発生を制限するので、電流阻止層407の端近傍で生成された光子は、バリアメタル層404の吸収を受けること無く、LED402から放出される可能性が高くなる。図4に示されたように、光強度プロット401は、バリアメタル層404において、ほとんど、わずかな量にまで落ち込んでいる。これは、光子がバリアメタル層404から離れた場所で生成され、バリアメタル層404に到達する前にLED402から放出されるためである。これに対し、光強度プロット400では、第1コンタクト406の端と、LED402の端と、の間に位置するバリアメタル層404において、光強度が急峻に落ち込んでおり、バリアメタル層404において、第1コンタクト406の端で生成された光子の強い吸収があることを示している。光強度プロット401および400の両方は、LEDの端402に近づくにつれて0に落ち込んでいく。これは、第1コンタクトの端406と、LEDの端402と、の間の層が、LEDと非オーミック接続を形成するバリアメタル層を含み、この層における電流注入と、その結果として生じる光子の発生と、を制限することによるものである。
図5(a)は、一実施形態に係るいくつかのLED装置であって、電流100mAで動作しているいくつかのLED装置の光出力(Light Output Power:LOP)を、その外縁に沿った電流阻止層の幅の関数としてプロットしている。データポイント500は、LEDの外縁に沿った電流阻止層の無いLED装置の光出力を表している。データポイント502は、LEDの外縁に沿った電流阻止層であって、第1コンタクトの側面の上端から内側に26μm伸びる電流阻止層を備えたLED装置の光出力を表している。データポイント504および506は、LEDの外縁に沿った電流阻止層であって、第1コンタクトの側面の上端から内側に、それぞれ19μmおよび12μm伸びる電流阻止層を有するLED装置の光出力を表している。
図5(a)に示されたように、LEDの外縁に沿った電流阻止層を有する全てのLED装置502、504、および506は、電流阻止層の無いLED装置500に比べて改善された光出力を有するが、あるLED装置の光出力は、第1コンタクトの端から内側にさらに伸びた、より広い電流阻止層の恩恵をうけるであろう。一般に、第1コンタクトと、LEDと、の界面において、LEDの外縁に沿った電流阻止層を用いることにより、全てのLED装置の光出力は、100mAの電力において6〜9%程度まで改善される。
図5(b)は、一実施形態に係るいくつかのLED装置であって、電流100mAで動作しているいくつかのLED装置のWPE(Wall−Plug Efficiency)を、その外縁に沿った電流阻止層の幅の関数としてプロットしている。LED装置のWPEは、LED装置が電力を光力に変換するエネルギー変換効率を表している。先と同様に、データポイント500は、LEDの外縁に沿った電流阻止層の無いLED装置のWPEを表し、データポイント502、504、および506は、第1コンタクトの側面の上端から内側に、それぞれ26μm、19μm、および12μm伸びる電流阻止層を有するLED装置のWPEを表している。図5(b)に示されたように、WPEの増加は、図5(a)の光出力の増加を追従し、第1コンタクトの側面の上端から内側に26μm伸びる電流阻止層を有するLED装置502において最も大きな改善が見られ、第1コンタクトと、LEDと、の界面において、LEDの外縁に沿った電流阻止層を用いることにより、全てのLED装置において100mAの電力におけるWPEの5〜7%の改善を実現している。
図6(a)は、一実施形態に係るいくつかのLED装置であって、350mAの電流で動作しているいくつかのLED装置の光出力(LOP)を、その外縁に沿った電流阻止層の幅の関数としてプロットしている。図5(a)のように、データポイント600は、LEDの外縁に沿った電流阻止層が無いLED装置の光出力を表し、データポイント602、604、および606は、第1コンタクトの側面の上端から内側に、それぞれ26μm、19μm、および12μm伸びる電流阻止層を有するLED装置の光出力を表している。一般に、LEDの外縁に沿った電流阻止層を有する全てのLED装置602、604,および606の光出力は、350mAにおいて5−7%程度まで改善されるが、図5(a)に比べ改善幅がわずかに減少している。
全体の光出力におけるこの減少は、電流集中の結果によるものである。低電力では、LEDの内部における電流分布は均一であり、これにより、LEDの全体において、一般的に均一な態様で光子を生成している。高電力では、LEDの内部の電流密度は、電気的なコンタクトの周りに集中した電流密度の増加を伴って密集し始める。結果として、LEDの端で生成される光子は少なくなり、第1コンタクトを囲む反射率の低いバリアメタル層によって吸収される光子は少なくなる。従って、電流の密集する度合いが大きいほど、LEDの外縁に沿った電流阻止層により得られる改善は小さくなる。
図6(b)は、一実施形態に係るいくつかのLED装置であって、電流350mAで動作しているLED装置のWPEを、その外縁に沿った電流阻止層の幅の関数としてプロットしている。先と同様に、データポイント600は、LEDの外縁に沿った電流阻止層の無いLED装置のWPEを表し、データポイント602、604、および606は、第1コンタクトの側面の上端から内側に、それぞれ26μm、19μm、および12μm伸びる電流阻止層を有するLED装置のWPEを表している。図6(b)に示されたように、WPEの増加は、より広い電流阻止領域を有するLED装置602より、より狭い電流阻止領域を有するLED装置606によって実現されている。しかしながら、先に説明したように、電流集中効果と、350mAの電流でLED装置を動作させるために必要な電圧の上昇と、により、高い動作電流における電流阻止層の利益が相殺され、通常、全てのLED装置602、604、および606のWPEは、LEDの外縁に沿った電流阻止層を用いるとしても、350mAの電流において、2〜3%の改善を実現するだけである。一般に、高い電流で動作するLED装置では、第1コンタクトと、LEDとの界面に、LEDの外縁に沿った電流阻止層を形成することによる改善は、ほとんど見られないであろう。
図7は、一実施形態に係るLED装置であって、LEDの外縁に沿った電流阻止層を有するLED装置のWPEを動作電流の関数としてプロットしている。図7では、LED装置702は、LEDの外縁に沿った電流阻止層であって、第1コンタクトの側面の上端から内側に26μm伸びる電流阻止層を有する。LEDの外縁に沿った電流阻止層の無いLED装置700も比較例として示されている。
図7に示されるように、WPEの最も大きな改善は、低動作電流、特に25mA〜175mAにおいて実現されている。500mAよりも高い動作電流において、電流阻止層を備えたLED装置702のWPEは、電流集中の効果、および、高い動作電流を発生させるために必要な電圧の上昇のために、電流阻止層の無い比較例に係るLED装置700のWPEよりも低い。高い電流では、WPEは、電流注入を増加させるための広い第1コンタクトの面積の恩恵を受け、LED装置を大きな電流で動作させる間、結果として、電流阻止層は悪影響をもたらす。
図8は、一実施形態に係るLED装置であって、LEDの外縁に沿った電流阻止層を有するLED装置の外部量子効率(EQE)を動作電流の関数としてプロットしている。LED装置の外部量子効率は、LED装置が注入されたキャリアをLEDから光として放出される光子にどのぐらい効率良く変換するかを表す。それは、例えば、次の比率で表される。
図8において、LED装置802は、LEDの外縁に沿った電流阻止層であって、第1コンタクトの側面の上端から内側に26μm伸びる電流阻止層を備える。LEDの外縁に沿った電流阻止層の無いLED装置800も、比較例として示されている。図8に示されたように、LED装置802の外部量子効率の最も大きな改善は、低動作電流、特に25mA〜200mA、において実現される。より高い電流では、LEDの外縁から離れた電気的なコンタクトの周りに注入されたキャリアが集中するために、電流集中の効果および内部量子効率が、LED装置802の全体としての外部量子効率を電流の増加に対して連続的に減少させる。1Aの動作電流において、LED装置802は、事実上、比較例に係るLED装置800と同じ外部量子効率を有する。
図5(a)、図5(b)、図6(a)、図6(b)、図7、および図8に示されたように、LEDの外縁に沿った電流阻止層を備えたいずれのLED装置においてもWPEおよび外部量子効率の最適化は、動作条件に依存する。より小さい動作電流では、第1コンタクトの端から内側に伸びるより広い電流阻止層を有するLED装置は、狭い電流阻止層を有するLED装置、もしくは電流阻止層が全く無いLED装置を上回る優れた効率を示す。反対に、高い動作電流では、LEDの外縁に沿った電流阻止層が無いLED装置の効率が最も良い。結果として、LEDの外縁に沿った電流阻止層の幅は、LED装置の具体的なデザインおよび予測される動作条件に合わせて最適化されるべきである。
図5(a)、図5(b)、図6(a)、図6(b)、図7および図8は、第1コンタクトの側面の上端から内側に、12μm、19μmおよび26μm伸びる幅を有する電流阻止層を備えたLED装置の改善を表しているが、本発明は、これらの幅を有する電流阻止層だけに限定される訳ではない。発明が属する技術分野の通常の知識を有する者は、この開示によって、他の電流阻止層の幅(より広い、および、より狭い場合の両方)が、光出力、外部量子効率およびWPEにおいて、同様の予期しない改善をもたらすことを認めるであろう。
本発明のいくつかの側面に係る他の目的、利点および実施形態は、発明の属する分野の知識を有する者に明らかであり、その記述および添付された図面の範囲に含まれる。例えば、制限無く、構造的もしくは機能的な要素を本発明と一致するように再配置することが可能であろう。同様に、本発明に従う原理は、他の例に適用することが可能で有り、ここに詳細を具体的に記載していなくても本発明の範囲に含まれる。
Claims (18)
- 第1導電形の第1層と、
第2導電形の第2層と、
前記第1層と、前記第2層と、の間の発光層と、
を含む発光ダイオードと、
前記第1層に電気的に接続された第1コンタクトと、
前記第1コンタクトとの界面において、前記発光ダイオードの外縁に沿って前記第1コンタクトの外周部を覆う第1電流阻止層と、
を備えた発光ダイオード装置。 - 前記第1電流阻止層は、前記発光ダイオードと、前記第1コンタクトと、の間に位置する請求項1記載の発光ダイオード装置。
- 前記第1電流阻止層は、前記第1コンタクトと、前記第1層と、の間に設けられた絶縁層を含む請求項1または2に記載の発光ダイオード装置。
- 前記絶縁層は、透明である請求項3記載の発光ダイオード装置。
- 前記絶縁層は、SiO2、Si3N4、Al2O3及びTiO2から選択された材料を含む請求項3または4に記載の発光ダイオード装置。
- 前記第1電流阻止層は、前記第1層の中に設けられる請求項1記載の発光ダイオード装置。
- 前記第1電流阻止層は、前記第1層のプラズマ処理された領域である請求項6記載の発光ダイオード装置。
- 前記プラズマ処理は、O2、N2、H2、Ar、He、Ne、Kr、Xe、もしくは、これらの任意の混合を含むガスを用いる請求項7記載の発光ダイオード装置。
- 前記第1電流阻止層は、前記第1層のドーピング濃度を補償した領域である請求項6〜8のいずれか1つに記載の発光ダイオード装置。
- 前記第1電流阻止層は、前記第1層の導電形を反転させた領域である請求項6〜9のいずれか1つに記載の発光ダイオード装置。
- 第1導電形の第1層と、
第2導電形の第2層と、
前記第1層と、前記第2層と、の間の発光層と、
を含む発光ダイオードと、
前記発光ダイオードに接合された基板と、
前記発光ダイオードと、前記基板と、の間に配置され、前記第1層に電気的に接続された第1コンタクトと、
前記第1コンタクトの界面において、前記発光ダイオードの外縁に沿って前記第1コンタクトの外周部を覆う第1電流阻止層と、
を備えた発光ダイオード装置。 - 第1導電形の第1層と、
第2導電形の第2層と、
前記第1層と、前記第2層と、の間の発光層と、
を含む発光ダイオードと、
前記発光ダイオードに接合されたサブマウントと、
前記発光ダイオードと、前記サブマウントと、の間に配置され、前記第1層に電気的に接続された前記第1コンタクトと、
前記第1コンタクトとの界面において、前記発光ダイオードの外縁に沿って前記第1コンタクトの外周部を覆う第1電流阻止層と、
を備えた発光ダイオード装置。 - 前記第1コンタクトに電気的に接続された第1配線と、
前記第2層に電気的に接続された第2配線と、
前記サブマウントに設けられた第3配線及び第4配線と、
をさらに備え、
前記第1配線は、前記第3配線に電気的に接続され、前記第2配線は、前記第4配線に電気的に接続された請求項12記載の発光ダイオード装置。 - 前記第1コンタクトは、光反射率が80%よりも高い材料を含む請求項1〜13のいずれか1つに記載の発光ダイオード装置。
- 前記第1コンタクトは、Agを含む請求項1〜14のいずれか1つに記載の発光ダイオード装置。
- 前記第2層に電気的に接続された第2コンタクトと、
前記発光ダイオードと、前記第1コンタクトと、の界面において、前記第2コンタクトに位置合わせされた部分を有し、前記第1コンタクトに非オーミック接続された第2電流阻止層と、
をさらに備える請求項1〜15のいずれか1つに記載の発光ダイオード装置。 - 前記第1電流阻止層は、前記第1コンタクトに非オーミック接続され、前記第1コンタクトの少なくとも一部の端から内側に50μm伸びる請求項1〜16のいずれか1つに記載の発光ダイオード装置。
- 前記第1電流阻止層は、前記第1層の一部を囲み、前記発光層の光子を放出する部分を画する請求項1〜17のいずれか1つに記載の発光ダイオード装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020053594A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及びその製造方法 |
US10749313B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-08-18 | Nichia Corporation | Method for manufacturing a semiconductor element |
US10825955B2 (en) | 2018-03-26 | 2020-11-03 | Nichia Corporation | Method for manufacturing light-emitting element |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003258295A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光ダイオード |
EP2216833A1 (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-11 | LG Innotek Co., Ltd. | Light emitting device and light emitting device package |
JP2011192675A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Toshiba Corp | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2013229598A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Lg Innotek Co Ltd | 発光素子及び発光素子パッケージ |
JP2014060293A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Ushio Inc | Led素子及びその製造方法 |
JP2014086574A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Stanley Electric Co Ltd | 発光素子 |
-
2014
- 2014-08-26 US US14/468,831 patent/US20160064603A1/en not_active Abandoned
- 2014-10-06 TW TW103134794A patent/TW201608735A/zh unknown
-
2015
- 2015-01-27 JP JP2015012860A patent/JP2016046511A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003258295A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光ダイオード |
EP2216833A1 (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-11 | LG Innotek Co., Ltd. | Light emitting device and light emitting device package |
JP2011192675A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Toshiba Corp | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2013229598A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Lg Innotek Co Ltd | 発光素子及び発光素子パッケージ |
JP2014060293A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Ushio Inc | Led素子及びその製造方法 |
JP2014086574A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Stanley Electric Co Ltd | 発光素子 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10825955B2 (en) | 2018-03-26 | 2020-11-03 | Nichia Corporation | Method for manufacturing light-emitting element |
US10749313B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-08-18 | Nichia Corporation | Method for manufacturing a semiconductor element |
JP2020053594A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及びその製造方法 |
US11322651B2 (en) | 2018-09-27 | 2022-05-03 | Nichia Corporation | Light-emitting element and method for manufacturing same |
JP7324395B2 (ja) | 2018-09-27 | 2023-08-10 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20160064603A1 (en) | 2016-03-03 |
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