JP2016046510A - イメージセンシングデバイスとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
102 アクティブ層
104 複数のフォトセンシング素子
106 パッシベーション層
108 複数の遮光金属
110、112 複数のカラーパターン
114 透過層
114a 透過パターンの上部
114b 透過パターンの下部
116 複数のハードマスクパターン
120 エッチングプロセス
122 透過パターン
124 複数のマイクロレンズパターン
126 熱工程
128 複数のマイクロレンズパターン
130 熱工程
200、300ユニットパターン
Claims (10)
- イメージセンシングデバイスであって、
複数のフォトセンシング素子を有するアクティブ層と、
前記フォトセンシング素子のうちの一つの上に設置され、且つ、赤色(R)、緑色(G)および青色(B)から構成される群から選択される色を有するカラーパターンと、
前記カラーパターン上に設置されるマイクロレンズと、
前記カラーパターンに隣接し、且つ、前記フォトセンシング素子のうちの別の一つの上に位置する透過パターンと、を有し、
前記透過パターンは、カラーフィルター部分とマイクロレンズ部分を有し、前記マイクロレンズと前記カラーパターン間の屈折率の差の絶対値は、0.3未満で、前記透過パターンのマイクロレンズ部分と前記カラーフィルター部分間の屈折率の差がないことを特徴とするイメージセンシングデバイス。 - 前記カラーパターンは赤色で、屈折率が約 1.7−1.9、または、前記カラーパターンは青色で、屈折率が約 1.5−1.7、または、前記カラーパターンは緑色で、屈折率が約 1.6−1.7、および、前記透過パターンは屈折率が約 1.75−1.95であることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記マイクロレンズは円形で、前記透過パターンの前記マイクロレンズ部分は円形であることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記透過パターンとフォトセンシング素子は、透明または白色画素を形成することを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- イメージセンシングデバイスの製造方法であって、
複数のフォトセンシング素子を有するアクティブ層とカラーパターンを有するイメージセンシング構造を提供し、前記カラーパターンが、前記フォトセンシング素子のうちの一つを被覆し、且つ、赤色(R)、緑色(G)および青色(B)から構成される群から選択される色を有する工程と、
前記カラーパターンに隣接し、且つ、前記フォトセンシング素子のうちの別の一つの上に位置する透過パターンを形成し、前記透過パターンは、カラーフィルター部分と前記カラーフィルター部分上に形成されるマイクロレンズ部分を有する工程と、
マイクロレンズを、前記カラーパターン上に形成し、前記マイクロレンズと前記カラーパターン間の屈折率の差の絶対値は、0.3未満で、前記透過パターンのマイクロレンズ部分と前記カラーフィルター部分間の屈折率の差がない工程と、
を有することを特徴とする製造方法。 - 前記透過パターンの形成は、
透過層を、前記アクティブ層上に形成する工程と、
前記透過層の一部とその下方の前記フォトセンシング素子のうちの一つの上に、ハードマスクパターンを形成する工程と、
前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして、エッチングプロセスを前記透過層に実行すると共に、前記透過パターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 前記マイクロレンズパターンの形成は、
マイクロレンズパターンを、前記カラーパターンの部分上に形成する工程と、
熱工程を実行して、前記マイクロレンズパターンを、前記カラーパターン上の前記マイクロレンズに変形させる工程と、
を有することを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 前記カラーパターンは赤色で、屈折率が約1.7−1.9、または、前記カラーパターンは青色で、屈折率が約1.5−1.7、または、前記カラーパターンは緑色で、屈折率が約1.6−1.7、および、前記透過パターンは屈折率が約1.75−1.95であることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記マイクロレンズは円形で、前記透過パターンの前記マイクロレンズ部分は円形であることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記透過パターンと前記フォトセンシング素子は透明または白色画素を形成することを特徴とする請求項5に記載の方法。
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