JP2016039283A - 薄膜キャパシタシートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜キャパシタシートの製造方法は、金属箔によって構成される金属箔支持部材31の表面に誘電体膜12を形成する工程(b)と、誘電体膜12上に薄膜キャパシタの第1電極11を形成する工程(c)と、誘電体膜12上および第1電極11上にシート状の樹脂基材2を形成する工程(d)と、第1電極11が形成された面と反対側の樹脂基材2の面上に樹脂製の支持部材32を形成する工程(d)と、金属箔支持部材31を除去する工程(e)とを含む。
【選択図】図4
Description
本構成によれば、薄膜キャパシタシートを製造する際に、薄膜キャパシタの転写工程、および転写後における転写基板の剥離工程を含まない。そのため、薄膜キャパシタシートの製造に係る信頼性をより向上させることができる。また、通常、薄膜キャパシタをシリコン、ガラス、セラミック等の基材上で作製し、剥離する場合、大面積での処理は非常に難しく生産性に乏しい。しかしながら、基材として金属箔(金属箔支持部材)を使用し、使用した金属箔を、例えば、ウエットエッチング等で溶融して除去するため、高い生産性が得られる。すなわち、薄膜キャパシタの転写工程、および転写後における転写基板の剥離工程を含まず、信頼性をより向上させることができるとともに、薄膜キャパシタの量産性に優れ薄膜キャパシタシートの製造方法を提供できる。
本構成によれば、金属箔はアルミ箔によって構成されるため、例えば、誘電体膜をSTOで形成する際に、STOを、ASCVD法を用いて成膜できる。
本構成によれば、薄膜キャパシタの第2電極が金属箔支持部材によって形成されるため、第2電極を新たに成膜して形成する場合と比べて、薄膜キャパシタの製造工程を低減できる。また、金属箔支持部材をすべて除去する場合と比べて、金属箔支持部材を有効利用できる。
本構成によれば、第2電極を銅箔によって形成することができる、電極として良好な導電性を得ることができる。
本構成によれば、少なくとも第1電極の一端部側が第2電極と平面視で重ならないように、第1電極および第2電極が形成される。それによって、第1電極において、一端部側を外部接続用の金属パッドとすることができる。
本構成によれば、第1電極および第2電極は、平面視における位置をずらした状態で形成される。それによって、第1電極の一端部側を外部接続用の金属パッドとして形成し、第2電極の他端部側を外部接続用の金属パッドとして形成することができる。
本構成によれば、薄膜キャパシタを回路基板に実装するために薄膜キャパシタシートから薄膜キャパシタを切り離す際に、コーナーブリッジを切断すればよい。そのため、薄膜キャパシタの切離し作業が簡易化されるとともに、切離し作業の信頼性が向上する。すなわち、コーナーブリッジは、ガラス繊維布の繊維方向に対し斜めに交差する方向に延びて形成されているため、コーナーブリッジを、例えば、超音波振動によって破断する際に、破断残りの発生が抑制され、破断の信頼性が向上する。
まず、図1から図5を参照して、実施形態1を説明する。
図1に示されるように、薄膜キャパシタシート1は、樹脂シート(「シート状の樹脂基材」の一例)2と、樹脂シート2に支持されて、マトリクス上に形成された複数の薄膜キャパシタ10とを含む。樹脂シート2は、例えば、BTレジン(登録商標)やポリイミド樹脂等の樹脂材料により形成され、可撓性を有する。
次に、図4および図5の断面図を参照して薄膜キャパシタシート1の製造方法を説明する。なお、図4および図5は、図1のB−B線に示される断面を示す。すなわち、図4および図5においては、薄膜キャパシタシート1に含まれる複数の薄膜キャパシタ10の内、二個の薄膜キャパシタ10が示される。
上記したように、実施形態1の薄膜キャパシタシートの製造方法では、薄膜キャパシタシート1を製造する際に、薄膜キャパシタ10の転写工程、および転写後における転写基板の剥離工程を含まない。そのため、薄膜キャパシタシート1の製造に係る信頼性をより向上させることができる。また、通常、薄膜キャパシタをシリコン、ガラス、セラミック等の基材上で作製し、剥離する場合、大面積での処理は非常に難しく生産性に乏しい。しかしながら、基材としてアルミ箔(金属箔支持部材)31を使用し、使用したアルミ箔31を、例えば、ウエットエッチング等で溶解させて除去するため、高い生産性が得られる。すなわち、薄膜キャパシタの転写工程、および転写後における転写基板の剥離工程を含まず、信頼性をより向上させることができるとともに、薄膜キャパシタの量産性に優れ薄膜キャパシタシートの製造方法を提供できる。
次いで、図6および図7を参照して、実施形態2を説明する。実施形態2は、実施形態1とは、薄膜キャパシタシートの製造方法において、薄膜キャパシタ10の第2電極13の形成方法が異なる。すなわち、実施形態2では、「金属箔で構成される金属支持部材」がCu箔31Aで構成され、第2電極13が、Cu箔31Aから形成される。なお、以下の説明において、実施形態1の薄膜キャパシタシートの製造方法と同一工程の説明は、簡略化あるいは省略する。
次いで、図6(d)に示されるように、実施形態1と同様に、STO膜12上および第1電極11上に、BTレジンを加熱圧着して樹脂シート2を形成する。また、第1電極11が形成された面と反対側の樹脂シート2の面上にポリイミドの支持部材32を形成する。
上記したように、実施形態2の薄膜キャパシタシートの製造方法では、薄膜キャパシタ10の第2電極13が銅箔(金属箔支持部材)31Aによって形成される。そのため、第2電極13を新たに成膜して形成する場合と比べて、薄膜キャパシタの製造工程を低減できる。また、金属箔支持部材をすべて除去する場合と比べて、金属箔支持部材を有効利用できる。
その際、第2電極13を銅箔によって形成することができ、電極として良好な導電性を得ることができる。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような種々の態様も本発明の技術的範囲に含まれる。
Claims (7)
- 薄膜キャパシタを含む薄膜キャパシタシートの製造方法であって、
金属箔によって構成される金属箔支持部材の表面に誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上に前記薄膜キャパシタの第1電極を形成する工程と、
前記誘電体膜上および前記第1電極上にシート状の樹脂基材を形成する工程と、
前記第1電極が形成された面と反対側の前記樹脂基材の面上に樹脂製の支持部材を形成する形成工程と、
前記金属箔支持部材を溶融させて除去する工程と、
前記第1電極と重なる部分を残して前記誘電体膜を除去し、前記薄膜キャパシタの誘電体層を形成する工程と、
前記第1電極が形成された面と反対側の前記誘電体膜の面上に薄膜キャパシタの第2電極を形成する工程と、
前記樹脂製の支持部材を除去する工程と、
を含む、薄膜キャパシタシートの製造方法。 - 請求項1に記載の薄膜キャパシタシートの製造方法において、
前記金属箔はアルミ箔によって構成される、薄膜キャパシタシートの製造方法。 - 薄膜キャパシタを含む薄膜キャパシタシートの製造方法であって、
金属箔によって構成される金属箔支持部材の表面に誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上に前記薄膜キャパシタの第1電極を形成する工程と、
前記誘電体膜上および前記第1電極上にシート状の樹脂基材を形成する工程と、
前記第1電極が形成された面と反対側の前記樹脂基材の面上に樹脂製の支持部材を形成する形成工程と、
前記第1電極と重なる部分を残して前記誘電体膜および前記金属箔支持部材を除去し、前記誘電体膜によって前記薄膜キャパシタの誘電体層を形成し、前記金属箔支持部材によって前記薄膜キャパシタの第2電極を形成する工程と、
前記樹脂製の支持部材を除去する工程と、
を含む、薄膜キャパシタシートの製造方法。 - 請求項3に記載の薄膜キャパシタシートの製造方法において、
前記金属箔は銅箔によって構成される、薄膜キャパシタシートの製造方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の薄膜キャパシタシートの製造方法において、
少なくとも前記第1電極の一端部側が前記第2電極と平面視で重ならないように、前記第1電極および第2電極が形成される、薄膜キャパシタシートの製造方法。 - 請求項5に記載の薄膜キャパシタシートの製造方法において、
前記第1電極の一端部側が前記第2電極と平面視で重ならず、第2電極の、前記第1電極の一端部とは反対側である他端部側が前記第1電極と平面視で重ならないように、前記第1電極および第2電極は、それぞれ、平面視における位置をずらした状態で形成される、薄膜キャパシタシートの製造方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の薄膜キャパシタシートの製造方法において、
前記樹脂基材はガラス繊維布に樹脂を含浸させて形成され、
前記薄膜キャパシタは、平面視で矩形状に形成され、
当該製造方法は、さらに、
前記薄膜キャパシタの周囲に切断部を形成する工程を備え、
前記切断部は、平面視で、前記薄膜キャパシタの各辺に沿って形成される切込部と、矩形状の薄膜キャパシタの各角部に対応して、前記樹脂基材によって形成されるコーナーブリッジとを含み、
前記コーナーブリッジは、前記ガラス繊維布の繊維方向に対し斜めに交差する方向に延びて形成されている、薄膜キャパシタシートの製造方法。
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