JP2016035957A5 - - Google Patents

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また、閾値THは、マージンを考慮して判定の信頼性を高めるため、S×[n−(N−1)]/nとS×(n−N)/nとの中間値付近に設定することがより好ましい。つまり、FAIL信号を出力するDUT10の個数がゼロから1つずつ増加する場合の合成応答信号S、S、S、・・・Sとしたとき、SとSとの中間値付近、SとSとの中間値付近、・・・Sn−1とSとの中間値付近に、閾値THを設定することが好ましい。例えば、
TH{S×[n−(N−1)]/n}+{S×(n−N)/n}×1/2
とすることが好ましい。
STEP1では、1回目の判定で用いる閾値THを設定する。この閾値THは、閾値設定部123によって設定される。上記式(1)より、n個のDUT10の全てが合格である場合の合成応答信号の出力レベルSに対し、1回目の判定で設定される閾値THは、次の関係を満たすことが好ましい。
×n/n ≧ TH > S×(n−1)/n
また、マージンを考慮して、
TH=[S ×n/n+S ×(n−1)/n]×1/2
とすることがより好ましい。
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