JP2016018887A - 半導体素子用放熱部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:表面金属シート
14:中間金属シート
16:金属ブロック
18:絶縁基板
20:金属ブロック
22:パンチングメタル
24:冷却器
30:積層体
32:クラッド材
34:積層体
50:プレス型
Claims (5)
- 半導体素子用放熱部品を製造する方法であって、
第1金属シートを、第1金属シートとは異なる金属を含有する第2金属シートに接合することでクラッド材を製造する工程と、
減圧雰囲気下において、金属ブロックの表面の表層及びクラッド材の第2金属シートの第1表面の表層を除去し、その後、その減圧雰囲気を維持しながら、金属ブロックの前記表面とクラッド材の第2金属シートの第1表面とを接合する工程、
を有する方法。 - 第2金属シートが、Al、Cu及びTiの少なくとも1つを含有しており、
金属ブロックが、Al、Cu及びTiの少なくとも1つを含有している、
請求項1の方法。 - クラッド材を製造する工程において、減圧雰囲気下において、第1金属シートの表面の表層及び第2金属シートの第2表面の表層を除去し、その後、その減圧雰囲気を維持しながら、第1金属シートの前記表面と第2金属シートの第2表面とを接合する請求項1または2の方法。
- 金属ブロックの前記表面とクラッド材の第2金属シートの第1表面とを接合する工程において、クラッド材を金属ブロックに対して押し付けるプレス型を使用し、
プレス型が、周辺部が中央部よりも突出しているプレス面を有する型体と、プレス面上に固定されているクッション板を有しており、
クッション板の少なくとも周辺部が、プレス方向に配置されている2つの板材と、2つの板材に挟まれており、2つの板材よりもヤング率が低いクッション材を有する、
請求項1〜3の何れか一項の方法。 - 半導体素子用放熱部品であって、
第1金属シートと、
第1金属シートに接合されており、第1金属シートとは異なる金属を含有する第2金属シートと、
第2金属シートの第1金属シートと反対側の表面に接合されている金属ブロック、
を有しており、
第2金属シートと金属ブロックが、表面活性化接合によって接合されている、
半導体素子用放熱部品。
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