JP2016011854A - 三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラム - Google Patents
三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】複数の解析手法に関する情報の設定を受け付ける。記憶された測定データごとに、設定を受け付けた解析手法に関する情報に基づいて、複数の解析処理を実行する。複数の測定データ間で同一の解析手法に関する情報に基づいて解析した解析結果を第1の方向に、測定データごとに複数の解析手法に関する情報による解析結果を第1の方向と直交する第2の方向に、それぞれ並べて表示する。設定を受け付けた解析手法に関する情報で、測定データに設定されている解析手法に関する情報を更新し、更新された解析手法に関する情報に基づいて解析された解析結果を表示する。
【選択図】図3
Description
図29に示す設定画面では、「基準面(高さ0)を中心として色付けする」に対応するチェックボックスが設けられている。斯かるチェックボックスの選択を受け付けた場合、図30に示すように、強制的に中心が0.000μmとなり、上限と下限の絶対値が等しくなる。
2 三次元形状測定ユニット
10 三次元形状測定装置
11 CPU
12 メモリ
13 記憶装置
90 可搬型記録媒体
100 コンピュータプログラム
131 測定データ記憶部
132 解析手法に関する情報記憶部
Claims (14)
- 試料の三次元形状を測定して、三次元形状情報を含む測定データを取得する三次元形状測定ユニットと、
測定データを用いて試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットと
を有する三次元形状測定装置であって、
複数の異なる測定データを記憶する測定データ記憶手段と、
解析処理を実行するための、複数の解析手法に関する情報の設定を受け付ける情報受付手段と、
記憶された測定データごとに、設定を受け付けた解析手法に関する情報に基づいて、複数の解析処理を実行する解析処理手段と、
複数の測定データ間で同一の解析手法に関する情報に基づいて解析した解析結果を第1の方向に、測定データごとに複数の解析手法に関する情報による解析結果を第1の方向と直交する第2の方向に、それぞれ並べて表示する解析結果表示手段と、
第1の方向に並べて表示される複数の測定データについて、設定を受け付けた解析手法に関する情報で、測定データに設定されている解析手法に関する情報を更新する情報更新手段と
を備え、
前記解析結果表示手段は、他の測定データの、更新された解析手法に関する情報に基づいて解析された解析結果を表示することを特徴とする三次元形状測定装置。 - 一の測定データについて設定を受け付けた解析手法に関する情報を、他のすべての測定データの解析手法に関する情報として設定することを特徴とする請求項1に記載の三次元形状測定装置。
- 複数の測定データの中から一の測定データの選択を受け付ける測定データ選択受付手段を備え、
選択を受け付けた測定データについて設定を受け付けた解析手法に関する情報を、他のすべての測定データの解析手法に関する情報として設定することを特徴とする請求項2に記載の三次元形状測定装置。 - 記憶された測定データのそれぞれについて、解析結果の表示条件の設定を受け付ける表示条件設定受付手段と、
前記第1の方向に並べて表示される複数の測定データのうち一の測定データについて設定を受け付けた表示条件を、他の測定データの表示条件として設定する表示条件設定手段と
を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の三次元形状測定装置。 - 解析結果としてグラフ表示する場合、前記表示条件設定手段は、一の測定データについて設定を受け付けたグラフのスケールを、他の測定データのグラフのスケールとして設定することを特徴とする請求項4に記載の三次元形状測定装置。
- 前記第1の方向に並べて表示される複数の測定データのそれぞれについて、解析結果として高さ画像を表示する場合、前記表示条件設定手段は、一の測定データに対応する高さ画像の色割り当てレンジを、他の測定データに対応する高さ画像の色割り当てレンジとして設定することを特徴とする請求項4又は5に記載の三次元形状測定装置。
- 前記情報受付手段は、試料の三次元形状に関する解析処理で用いる基準面の設定を受け付ける基準面設定受付手段を含み、
前記情報更新手段は、一の測定データについて設定を受け付けた基準面を、他の測定データの基準面として設定することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の三次元形状測定装置。 - 測定データに基づく高さ画像の高さ範囲に対してカラーパレットで色割り当てを行う場合、前記高さ画像において設定された基準面が前記カラーパレットの特定色になるように色割り当てを行うことを特徴とする請求項7に記載の三次元形状測定装置。
- 一方向に延びる前記カラーパレットの色は、略中央部分の両側でグラデーション変化し、当該略中央部分で急峻変化することを特徴とする請求項8に記載の三次元形状測定装置。
- 試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットであって、
複数の異なる測定データを記憶する測定データ記憶手段と、
解析処理を実行するための、複数の解析手法に関する情報の設定を受け付ける情報受付手段と、
記憶された測定データごとに、設定を受け付けた解析手法に関する情報に基づいて、複数の解析処理を実行する解析処理手段と、
複数の測定データ間で同一の解析手法に関する情報に基づいて解析した解析結果を第1の方向に、測定データごとに複数の解析手法に関する情報による解析結果を第1の方向と直交する第2の方向に、それぞれ並べて表示する解析結果表示手段と、
第1の方向に並べて表示される複数の測定データについて、設定を受け付けた解析手法に関する情報で、測定データに設定されている解析手法に関する情報を更新する情報更新手段と
を備え、
前記解析結果表示手段は、他の測定データの、更新された解析手法に関する情報に基づいて解析された解析結果を表示することを特徴とする測定データ処理ユニット。 - 一の測定データについて設定を受け付けた解析手法に関する情報を、他のすべての測定データの解析手法に関する情報として設定することを特徴とする請求項10に記載の測定データ処理ユニット。
- 複数の測定データの中から一の測定データの選択を受け付ける測定データ選択受付手段を備え、
選択を受け付けた測定データについて設定を受け付けた解析手法に関する情報を、他のすべての測定データの解析手法に関する情報として設定することを特徴とする請求項11に記載の測定データ処理ユニット。 - 試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットで実行することが可能な測定データ処理方法であって、
前記測定データ処理ユニットは、
複数の異なる測定データを記憶する第1の工程と、
解析処理を実行するための、複数の解析手法に関する情報の設定を受け付ける第2の工程と、
記憶された測定データごとに、設定を受け付けた解析手法に関する情報に基づいて、複数の解析処理を実行する第3の工程と、
複数の測定データ間で同一の解析手法に関する情報に基づいて解析した解析結果を第1の方向に、測定データごとに複数の解析手法に関する情報による解析結果を第1の方向と直交する第2の方向に、それぞれ並べて表示する第4の工程と、
第1の方向に並べて表示される複数の測定データについて、設定を受け付けた解析手法に関する情報で、測定データに設定されている解析手法に関する情報を更新する第5の工程と
を含み、
他の測定データの、更新された解析手法に関する情報に基づいて解析された解析結果を表示することを特徴とする測定データ処理方法。 - 試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットで実行することが可能なコンピュータプログラムであって、
前記測定データ処理ユニットを、
複数の異なる測定データを記憶する測定データ記憶手段、
解析処理を実行するための、複数の解析手法に関する情報の設定を受け付ける情報受付手段、
記憶された測定データごとに、設定を受け付けた解析手法に関する情報に基づいて、複数の解析処理を実行する解析処理手段、
複数の測定データ間で同一の解析手法に関する情報に基づいて解析した解析結果を第1の方向に、測定データごとに複数の解析手法に関する情報による解析結果を第1の方向と直交する第2の方向に、それぞれ並べて表示する解析結果表示手段、及び
第1の方向に並べて表示される複数の測定データについて、設定を受け付けた解析手法に関する情報で、測定データに設定されている解析手法に関する情報を更新する情報更新手段
として機能させ、
前記解析結果表示手段を、他の測定データの、更新された解析手法に関する情報に基づいて解析された解析結果を表示する手段として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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