JP2016003338A - キャンロール及びこれを搭載した長尺フィルムの処理装置 - Google Patents
キャンロール及びこれを搭載した長尺フィルムの処理装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 真空チャンバー内51においてロールツーロールで搬送される長尺フィルムFを外周面に巻き付けて内部を循環する冷媒で冷却するキャンロール56であって、このキャンロール56の外周面には長尺フィルムFの幅よりも短い距離でキャンロール56の中心軸に沿って延在する複数のガス放出溝23がキャンロール56の周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設けられており、これら複数のガス放出溝23の各々には、少なくともその一端部からキャンロール56の肉厚部内を延在して端部で開口するガス導入路24が連通している。
【選択図】 図4
Description
20a 円筒部材20の外表面
21 ジャケット
22 冷媒循環路
23 ガス放出溝
24 ガス導入路
24a 外周面側の開口部
24b 端面側の開口部
30 分岐管
31 バルブ
32 ばね
33 磁石
34 磁力付与手段
50 真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
53、63 フリーロール
54、62 張力センサーロール
55、61 フィードロール
56 キャンロール
57、58、59、60 マグネトロンスパッタリングカソード
64 巻取ロール
F 長尺フィルム
O 中心軸
A 抱き角
Claims (6)
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺フィルムを外周面に巻き付けて内部を循環する冷媒で冷却するキャンロールであって、前記キャンロールの外周面には長尺フィルムの幅よりも短い距離で前記キャンロールの中心軸に沿って延在する複数のガス導入溝が前記キャンロールの周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設けられており、これら複数のガス導入溝の各々には、少なくともその一端部から前記キャンロールの肉厚部内を延在して端部で開口するガス導入路が連通していることを特徴とするキャンロール。
- 前記各ガス放出溝の幅の下限は50μmであり、上限は300μm及び長尺フィルムの厚さの25倍のうちのいずれか小さい方であり、隣接するガス導入溝同士のピッチは前記ガス導入路の内径の2倍以上であることを特徴とする、請求項1に記載のキャンロール。
- 請求項1又は2に記載のキャンロールの外周面にロールツーロールで搬送される長尺フィルムを巻き付けながら熱負荷のかかる表面処理を施すことを特徴とする長尺フィルムの処理装置。
- 前記熱負荷の掛かる表面処理が真空成膜処理であることを特徴とする、請求項3に記載の長尺フィルムの処理装置。
- 前記真空成膜処理がスパッタリング処理であることを特徴とする、請求項4に記載の長尺フィルムの処理装置。
- 前記熱負荷の掛かる表面処理がプラズマ処理またはイオンビーム処理であることを特徴とする、請求項3に記載の長尺フィルムの処理装置。
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