JP2016001106A - ガスセンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス成形体の組み付け不良の発生を防止することができるガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】インシュレータ２０の内部２２にセンサ素子１０を配設し、ガラス成形体３０をインシュレータ２０に形成された封止ガラス充填部２１に配設する配設工程Ｓ１と、ガラス成形体３０を加熱して溶融する加熱溶融工程と、溶融されたガラス成形体３０を冷却して、封止ガラス充填部２１においてセンサ素子１０とインシュレータ２０との間を封止する封止ガラスを形成する封止工程と含むガスセンサの製造方法である。ガラス成形体３０には、その先端部３１の外周３３から中心３４側に少なくとも０．３ｍｍまでの領域に、中心３４から離れるにつれて基端部３２に向かうように傾斜した傾斜部３６が形成されている。そして、配設工程Ｓ１ではガラス成形体３０を先端部３１から封止ガラス充填部２１に挿入して配設する。【選択図】図７

Description

本発明は、ガスセンサの製造方法に関する。

車両等の内燃機関に設けられるガスセンサとして、特定のガスを検知するセンサ素子を筒状のインシュレータの内部に保持させるものがある。特許文献１に開示の構成では、インシュレータにおける基端側の端部（基端部）に形成された封止ガラス充填部にガラス成形体を配設して当該ガラス成形体を加熱溶融することにより、センサ素子とインシュレータとの間に溶融されたガラス成形体を充填して封止ガラスを形成して封止している。そして、封止ガラス充填部にガラス成形体を配設する工程において、ガラス成形体はセンサ素子が挿通されるように環状をなしているとともに、先端部から封止ガラス充填部に配設される。

特開２０１０−１０１７２３号公報

しかしながら、インシュレータ、センサ素子及びガラス成形体のいずれも成形精度の公差を吸収するために、ある程度のクリアランスをもって成形されている。これにより、封止ガラス充填部にガラス成形体を配設する際に、ガラス成形体における先端部と、封止ガラス充填部を形成するインシュレータにおける基端部とが過度に干渉することにより、ガラス成形体がインシュレータの基端部の端面に引っ掛かって封止ガラス充填部に正常に配設されなかったり、ガラス成形体の端部が欠けたり、ガラス成形体全体が割れたりして、ガラス成形体の組み付け不良を引き起こすおそれがある。

本発明は、かかる背景に鑑みてなされたもので、インシュレータの封止ガラス充填部にガラス成形体を配設する際にインシュレータとガラス成形体との干渉を低減して、ガラス成形体の組み付け不良を防止することができるガスセンサの製造方法を提供しようとするものである。

本発明の一態様は、軸方向に延びる棒状に形成され、先端側に被測定ガスに曝されて被測定ガス中の特定ガスを検出する検出部と、基端側に該検出部の検出結果に応じた出力信号を出力する出力部とを備えたセンサ素子と、
該センサ素子を内部に保持するように筒状に形成されるとともに、上記センサ素子との間を封止する環状の封止ガラスが充填される封止ガラス充填部が基端部に形成された絶縁体からなるインシュレータと、
を備えるガスセンサの製造方法であって、
上記インシュレータの内部に上記センサ素子を配設し、ガラス成形体を上記封止ガラス充填部に配設する配設工程と、
上記ガラス成形体を加熱して溶融する加熱溶融工程と、
上記溶融されたガラス成形体を冷却して、上記封止ガラス充填部において上記センサ素子と上記インシュレータとの間を封止する上記封止ガラスを形成する封止工程と、
を含み、
上記ガラス成形体の先端部における外周から中心側に少なくとも０．３ｍｍまでの領域は、上記中心から離れるにつれて基端部へ向かうように傾斜した傾斜部が形成されており、上記配設工程では、上記ガラス成形体を上記先端部から上記封止ガラス充填部に挿入して配設することを特徴とするガスセンサの製造方法にある。

上記ガスセンサの製造方法においては、上記配設工程において、ガラス成形体の先端部が封止ガラス充填部を形成するインシュレータの基端側の端部（基端部）と干渉した場合には、先端部における外周から中心側に少なくとも０．３ｍｍの領域に形成された傾斜部がインシュレータの壁部と接することとなる。そして、傾斜部はガラス成形体の先端部において中心から離れるにつれて基端部に向かうように傾斜しているため、ガラス成形体がインシュレータの基端部に引っ掛かることが防止されるとともに、ガラス成形体の端部（傾斜部）が欠けたり、ガラス成形体全体が割れたりすることが防止される。これにより、ガラス成形体の組み付け不良の発生が抑制される。

以上のごとく、本発明によれば、インシュレータの封止ガラス充填部にガラス成形体を配設する際にインシュレータとガラス成形体との干渉を低減して、ガラス成形体の組み付け不良の発生を防止することができるガスセンサの製造方法を提供することができる。

実施例１における、ガスセンサの縦断面図。 実施例１における、ガスセンサの封止ガラス周辺の拡大図。 実施例１における、ガスセンサの製造方法を説明するフロー図。 実施例１における、ガスセンサの製造方法を説明する斜視模式図。 実施例１における、ガラス成形体の底面図。 実施例１における、ガラス成形体の縦断面図。 実施例１における、ガスセンサの製造方法の配設工程を説明する断面模式図。 実施例２における、ガスセンサの製造方法の配設工程を説明する断面模式図。 実施例３における、ガスセンサの製造方法の配設工程を説明する断面模式図 実施例４における、ガスセンサの製造方法の配設工程を説明する断面模式図。 実施例５における、ガスセンサの製造方法の配設工程を説明する断面模式図。 実施例６における、ガスセンサの製造方法の配設工程を説明する断面模式図。

本発明のガスセンサは、例えば、車両の内燃機関に使用することができる。

（実施例１）
本例の実施例に係るガスセンサの製造方法につき、図１〜図７を用いて説明する。本例のガスセンサ１は、図１に示すように、センサ素子１０、インシュレータ２０を備える。
センサ素子１０は、軸方向Ｙに延びる棒状に形成される。センサ素子１０の先端側Ｙ１（図１における紙面下側）に被測定ガスに曝されて被測定ガス中の特定ガスを検出する検出部１１と、基端側Ｙ２（図１における紙面上側）に該検出部１１の検出結果に応じた出力信号を出力する出力部１２とを備える。
インシュレータ２０は、センサ素子１０を内部に保持するように筒状に形成されるとともに、センサ素子１０との間を封止する環状の封止ガラス３が充填される封止ガラス充填部２１が基端側Ｙ２の端部２４に形成された絶縁体からなる。

そして、ガスセンサ１の製造法は、図３に示す配設工程Ｓ１、加熱溶融工程Ｓ２及び封止工程Ｓ３を含む。
配設工程Ｓ１では、図７（ａ）、図７（ｂ）に示すように、インシュレータ２０の内部２０ａにセンサ素子１０が配設され、図７（ｃ）に示すように、ガラス成形体３０が封止ガラス充填部２１に配設される。
加熱溶融工程Ｓ２では、ガラス成形体３０が封止ガラス充填部２１に配設された状態（図７（ｃ）参照）で、ガラス成形体３０が加熱されて溶融される。
封止工程Ｓ３では、溶融されたガラス成形体３０が冷却されて固化されることにより、図２に示すように、封止ガラス充填部２１においてセンサ素子１０とインシュレータ２０との間に封止ガラス３が形成されて両者の間が封止される。
そして、図７（ａ）に示すように、配設工程Ｓ１では、ガラス成形体３０の先端側Ｙ１の端部（先端部３１）において、外周３３から先端部３１の中心３４側に少なくとも０．３ｍｍまでの領域には、中心３４から離れるにつれて基端側Ｙ２の端部（基端部３２）に向かうように傾斜した傾斜部３６が形成されている。そして、ガラス成形体３０は、先端部３１から封止ガラス充填部２１に挿入されて配設される。

以下、本例のガスセンサ１について、詳述する。
ガスセンサ１は自動車内燃機関の排気系に取付けられて、内燃機関の空燃比制御に利用されるものである。図１に示すごとく、ガスセンサ１はインシュレータ２０を内部に収納するハウジング４０を備える。ハウジング４０の先端側Ｙ１には外側カバー５１、内側カバー５２よりなる二重構造の被測定ガス側カバー５０が設けられている。被測定ガス側カバー５０には被測定ガスが導入される被測定ガス導入穴５０１が設けられている。被測定ガス導入穴５０１から被測定ガス側カバー５０の内側に被測定ガス導入されることにより、内側カバー５２の内部に被測定ガス側雰囲気５３が形成されている。

また、ハウジング１０の基端側Ｙ２には大気側カバー５４が設けてある。大気側カバー１２の基端側の外周面には図示しない大気導入穴が備えられている。また、大気導入穴には撥水フィルタが設けられており、大気導入穴から当該撥水フィルタを介して大気が大気側カバー５４内に流入されるように構成されており、大気側カバー５４の内部に大気側雰囲気５５が形成されている。

図１、図２に示すごとく、ハウジング４０は略筒状を成しており、その内側面にはハウジング４０の中空部を縮径するように形成された第１縮径部４１、第２縮径部４２が設けられている。第１縮径部４１はハウジング４０においてセンサ素子１０の軸方向Ｙにおける略中央に位置しており、第２縮径部４２はハウジング４０において先端側Ｙ１の端部に位置している。そして、第１縮径部４１がインシュレータ２０の外周面に形成された外側テーパー部２３を支承するように構成されている。

第１縮径部４１と外側テーパー部２３との間には、環状のパッキン５６が介設されており、両者の間がシールされている。これにより、ガスセンサ１内の大気側雰囲気５５と被測定ガス側雰囲気５３とが気密的に分離される。

図１、図２に示すように、インシュレータ２０は筒状に形成されている。インシュレータ２０の内部２２は、軸方向Ｙにおける中央から先端側Ｙ１においてセンサ素子１０の外形に沿う形状を成している。なお、インシュレータ２０はアルミナセラミックにより構成されている。

インシュレータ２０の基端側Ｙ２には、封止ガラス充填部２１が形成されている。封止ガラス充填部２１は、平面状に形成された底面２１１と、上記内部２２よりも拡径された略円筒状に形成された側壁面２１２と、底面２１１と側壁面２１２とを繋ぐ角部２１３をと有する。角部２１３は、本例では、底面２１１と側壁面２１２とをなだらかに繋ぐ湾曲面となっており、角部２１３の曲率半径は０．３ｍｍとなっている。なお、角部２１３の形状は、特に限定されず、後述の加熱溶融工程Ｓ２（図３）において、溶融したガラス成形体３０が当該角部２１３全体に行きわたりやすいように、ガラス成形体３０における傾斜部３６の形状などを考慮して適宜設定することができる。

図１に示すように、インシュレータ２０の基端側Ｙ２には大気側インシュレータ５７が配置されている。大気側インシュレータ５７の内部にはリード部５８が配置され、センサ素子１０と電気的導通が取れるように両者は接触している。なお、本例では、センサ素子１０は積層型の酸素濃度測定用素子である。

図２に示すごとく、インシュレータ２０にはセンサ素子１０が挿通されており、センサ素子１０とインシュレータ２０との間は封止ガラス３によって封止されている。

次に本例のガスセンサ１の製造方法におけるセンサ素子１０とインシュレータ２０の封止態様を説明する。ガスセンサ１の製造方法は、図３に示すように、配設工程Ｓ１、加熱溶融工程Ｓ２、封止工程Ｓ３を含む。配設工程Ｓ１では、図４に示すごとく、まず、センサ素子１０、インシュレータ２０及びガラス成形体３０を用意する。

ガラス成形体３０は粉状のガラス体を圧縮成形したものであって、図４に示すように、環状に形成されている。そして、図５に示すように、ガラス成形体３０における先端部３１は、本例では、先端部３１側から見て、平面視略楕円形となっている。なお、先端部３１の形状は、これに限定されず、平面視円形、平面視矩形などであってもよい。

先端部３１の中央にはセンサ素子１０の外形に沿う貫通孔３５が形成されている。先端部３１の外周３３から中心３４側に０．３ｍｍまでの領域は、傾斜部３６となっている。傾斜部３６は、図６、図７（ａ）に示すように、中心３４から離れるにつれて基端部３２に向かうように傾斜している。そして、傾斜部３６は、略円筒状に形成された側壁面３７になだらかに連続するように湾曲面となっている。本例では、傾斜部３６は、外側に膨出する湾曲面であって、その曲率半径は０．３ｍｍとなっている。

次に、センサ素子１０をインシュレータ２０の封止ガラス充填部２１及び内部２２に挿通して配設し、図７（ｂ）に示すように、ガラス成形体３０をセンサ素子１０の基端側Ｙ２から先端側Ｙ１に挿通させて封止ガラス充填部２１に配設する（配設工程Ｓ１）。図７（Ｃ）に示すように、内部２２の壁面とセンサ素子１０の側面との間に若干のクリアランス（本例では、０．１０ｍｍ）が形成されている。なお、図７（ａ）〜図７（ｃ）においては、便宜的にクリアランスの大きさを実際よりも大きく表しており、実際のクリアランスの大きさはより小さいものである。

その後、配設工程Ｓ１において、ガラス成形体３０は先端部３１側からセンサ素子１０に挿入される。そして、ガラス成形体３０は封止ガラス充填部２１に配設される。ガラス成形体３０の貫通孔３５の内壁とセンサ素子１０の側面との間には、若干のクリアランス（本例では、０．１ｍｍ）が設けられている。そのため、図７（ｂ）に示すように、ガラス成形体３０が径方向Ｘのいずれか一方に偏った状態で、ガラス成形体３０が封止ガラス充填部２１に配設される場合には、ガラス成形体３０の傾斜部３６がインシュレータ２０の基端側Ｙ２の端部２４のうち、封止ガラス充填部２１の内側角部２４ａに接触することとなる。そして、傾斜部３６が内側角部２４ａに摺接して、ガラス成形体３０が先端側Ｙ１に移動し、図７（ｃ）に示すように、ガラス成形体３０の先端部３１が封止ガラス充填部２１の底面２１１に接して、ガラス成形体３０が封止ガラス充填部２１内に配設される。

その後、ガラス成形体３０が封止ガラス充填部２１に配設された状態で、温度８００〜９５０℃に維持された加熱炉で３０分〜５時間加熱してガラス成形体３０が溶融される（加熱溶融工程Ｓ２、図３参照）。その後、自然冷却して溶融したガラス成形体３０を固化させる（封止工程Ｓ３、図３参照）。これにより、図２に示すように、封止ガラス充填部２１において、溶融したガラス成形体３０がセンサ素子１０とインシュレータ２０の間に浸入して隙間なく均一に充填されるとともに固化されて封止ガラス３が形成される。その結果、センサ素子１０とインシュレータ２０との間が封止ガラス３によって封止されることとなる。その後、一体化したセンサ素子１０及びインシュレータ２０のアセンブリをパッキン５６介してハウジング４０に設置する等して、ガスセンサ１を構成する。

なお、本例では、配設工程Ｓ１において、センサ素子１０をインシュレータ２０に挿入した後、ガラス成形体３０を封止ガラス充填部２１に配設したが、この順序は逆でもよい。すなわち、ガラス成形体３０を封止ガラス充填部２１に配設した後、センサ素子１０をインシュレータ２０及びガラス成形体３０に挿入してもよい。

（試験１）
ガラス成形体３０における傾斜部３６の径方向Ｘの長さＲ（図４、図７（ａ）参照）を変更した比較例１〜比較例３及び試験例１、試験例２について、センサ素子１０を挿入したインシュレータ２０に対する組み付け性の評価試験を行い、表１に試験結果を示した。表１に示すように、比較例１ではＲは０ｍｍ（すなわち傾斜部３６が形成されていない状態）であり、比較例２ではＲは０．１ｍｍであり、比較例３ではＲは０．２ｍｍである。また、試験例１ではＲは０．３ｍｍであり、試験例２ではＲは０．５ｍｍである。

試験は以下のように行った。まず、インシュレータ２０にセンサ素子１０を挿通しセンサ素子１０の基端側Ｙ２が鉛直方向上方、先端側Ｙ１が鉛直方向下方となるようにセンサ素子１０及びインシュレータ２０を設置する。そして、かかる状態において、センサ素子１０の基端側Ｙ２にガラス成形体３０を挿通させて、ガラス成形体３０を自由落下させる。試行回数は１０回とし、ガラス成形体３０がインシュレータ２０の封止ガラス充填部２１の端部２４に引っかかるなどして、封止ガラス充填部２１に完全には収容されなかった回数を不良回数として集計した。試験結果を表１に示した。

表１に示すように、試行回数１０回における不良回数はそれぞれ、比較例１では４回、比較例２では２回、比較例３では１回であった。一方、試験例１及び試験例２では、試行回数１０回における不良回数がいずれも０回であった。これらから、Ｒが０．３ｍｍ以上において、ガラス成形体の組み付け不良が発生しないことを確認した。

本例のガスセンサ１の製造方法においては、配設工程Ｓ２において、ガラス成形体３０の先端側Ｙ１の端部（先端部３１）が封止ガラス充填部２１を形成するインシュレータ２０の基端側Ｙ２の端部２４と干渉した場合においても、先端部３１における外周３３から中心３４側に０．３ｍｍの領域に形成された傾斜部３６がインシュレータ２０の壁部と接することとなる。そして、傾斜部３６は先端部３１の中心３４から離れるにつれて基端部３２に向かうように傾斜しているため、ガラス成形体３０がインシュレータ２０の基端側Ｙ２の端部２４に引っ掛かることが防止されるとともに、ガラス成形体３０の先端部３１（傾斜部３６）が欠けたり、ガラス成形体３０全体が割れたりすることが防止される。これにより、ガラス成形体３０の組み付け不良の発生が抑制される。

ガラス成形体３０における傾斜部３６の径方向Ｘの長さＲは、３．０ｍｍ以上であればよく、ガラス成形体３０の貫通孔３５の内壁とセンサ素子１０の側面との間のクリアランスの大きさや、インシュレータ２０の内部２２の壁面とセンサ素子１０の側面との間のクリアランスの大きさなどを考慮して、これらのクリアランスの合計の大きさよりも十分大きい値とすることができる。本例ではそれぞれのクリアランスが０．１ｍｍであってその合計は０．２ｍｍである。そして、Ｒは当該クリアランスの合計よりも大きい０．３ｍｍを採用している。なお、当該クリアランスは、公差と成形における精度限界等から設定することができる。本例では、傾斜部３６の曲率半径を０．３ｍｍとしたが、当該曲率半径は特に限定されない。

以上のごとく、本例によれば、インシュレータ２０の封止ガラス充填部２１にガラス成形体３０を配設する際にインシュレータ２０とガラス成形体３０との干渉を低減して、ガラス成形体３０の組み付け不良の発生を防止することができるガスセンサ１の製造方法を提供することができる。

（実施例２）
本例のガスセンサ１の製造方法では、実施例１における傾斜部３６に替えて、図８（ａ）に示すように、傾斜部３６０を備える。傾斜部３６０は、先端部３１における外周３３中心３４側に０．３ｍｍの領域に形成されている。そして、傾斜部３６０は、先端部３１に対して４５°の傾斜角αを有するテーパー面である。その他の構成は、実施例１の場合と同等であり、本例においても実施例１の場合と同一の符号を用いてその説明を省略する。

（試験２）
ガラス成形体３０における傾斜部３６０の径方向Ｘの長さＣ（図８（ａ）参照）を変更した比較例４〜比較例６及び試験例３、試験例４について、センサ素子１０を挿入したインシュレータ２０に対する組み付け性の評価試験を、実施例１の場合と同様の方法により行い試験結果を表２に示した。表２に示すように、比較例４ではＣは０ｍｍ（すなわち、傾斜部３６０は形成されていない状態）であり、比較例５ではＣは０．１ｍｍであり、比較例６ではＣは０．２ｍｍである。また、試験例３ではＣは０．３ｍｍであり、試験例４ではＣは０．５ｍｍである。

表２に示すように、試行回数１０回における不良回数は、比較例４では４回、比較例５では３回、比較例６では１回であった。一方、試験例３及び試験例４では、試行回数１０回における不良回数がいずれも０回であった。これらから、Ｃが０．３ｍｍ以上において、ガラス成形体の組み付け不良が発生しないことを確認した。

本例のガスセンサ１の製造方法においても、実施例１の場合と同様に、配設工程Ｓ２において、先端部３１における外周３３から中心３４側に０．３ｍｍの領域に形成された傾斜部３６０は、先端部３１の中心３４から離れるにつれて基端側Ｙ２の基端部３２に向かうように傾斜しているため、図８（ｂ）に示すように、ガラス成形体３０がインシュレータ２０の基端側Ｙ２の端部２４に引っ掛かることが防止されるとともに、ガラス成形体３０の先端部３１（傾斜部３６０）が欠けたり、ガラス成形体３０全体が割れたりすることが防止される。これにより、ガラス成形体３０の組み付け不良の発生が抑制される。

ガラス成形体３０における傾斜部３６０の径方向Ｘの長さＣは、３．０ｍｍ以上であればよく、ガラス成形体３０の貫通孔３５の内壁とセンサ素子１０の側面との間のクリアランスの大きさや、インシュレータ２０の内部２２の壁面とセンサ素子１０の側面との間のクリアランスの大きさなどを考慮して、これらのクリアランスの合計の大きさよりも十分大きい値とすることができる。本例ではそれぞれのクリアランスが０．１ｍｍであってその合計は０．２ｍｍである。そして、Ｃは当該クリアランスの合計よりも大きい０．３ｍｍを採用している。なお、当該クリアランスは、公差と成形における精度限界等から設定することができる。

なお、本例では、テーパー面である傾斜部３６０において先端部３１に対する傾斜角αを４５°としたが、傾斜角αは０°以上９０°未満とすることができ、好ましくは１５°〜７５°であり、より好ましくは４５°〜６０°である。

（実施例３）
本例のガスセンサ１の製造方法では、実施例１における傾斜部３６に替えて、図９に示すように、傾斜部３６１を備える。傾斜部３６１は、図９に示すように、ガラス成形体３０における先端部３１の全体が先端部３１の中心３４から径方向Ｘ外側に向かうにつれて基端部３２に向かうように傾斜している。そして、傾斜部３６１は先端部３１全体において、外側に膨出する湾曲面となっている。

本例のガスセンサ１の製造方法によれば、配設工程Ｓ１において、先端部３１の全体に、先端部３１の中心３４から径方向Ｘ外側に向かうにつれて基端部３２に向かうように傾斜している傾斜部３６０が形成されているため、図９に示すように、ガラス成形体３０がインシュレータ２０の基端側Ｙ２の端部２４に引っ掛かることが一層防止されるとともに、ガラス成形体３０の先端部３１（傾斜部３６１）が欠けたり、ガラス成形体３０全体が割れたりすることが一層防止される。これにより、ガラス成形体３０の組み付け不良の発生が一層抑制される。

（実施例４）
本例のガスセンサ１の製造方法では、図１０に示すように、傾斜部３６２を備える。傾斜部３６２は先端部３１の全体においてテーパー面となっているとともに、外周３３において軸方向Ｙに平行な側壁３７につながっている。本例のガスセンサ１の製造方法においても、実施例３の場合と同等の作用効果を奏する。

（実施例５）
本例のガスセンサ１の製造方法では、図１１に示すように、傾斜部３６３を備える。本例では、先端部３１３０は半球状に形成されており、傾斜部３６３は先端部３１の全体において半球面に沿う形状となっている。本例のガスセンサ１の製造方法においても、実施例３の場合と同等の作用効果を奏する。

（実施例６）
本例のガスセンサ１の製造方法では、図１２に示すように、傾斜部３６４は先端部３１の全体においてテーパー面となっているとともに、外周３３において基端部３２につながっている。本例のガスセンサ１の製造方法においても、実施例３の場合と同等の作用効果を奏する。

なお、傾斜部の形状は、上記傾斜部３６、３６０、３６１、３６２、３６３、３６４の形状の他に、曲率半径の異なる複数の湾曲面を組み合わせた形状、傾斜角の異なる複数のテーパー面を組み合わせた形状、テーパー面と湾曲面とを組み合わせた形状などとしてもよい。

１ ガスセンサ
１０ センサ素子
１１ 検出部
１２ 出力部
２０ インシュレータ
２１ 封止ガラス充填部
３ 封止ガラス
３０ ガラス成形体
３４ 中心
３５ 貫通孔
３６、３６０、３６１、３６２、３６３、３６４ 傾斜部

Claims (3)

1. 軸方向に延びる棒状に形成され、先端側（Ｙ１）に被測定ガスに曝されて被測定ガス中の特定ガスを検出する検出部（１１）と、基端側（Ｙ２）に該検出部（１１）の検出結果に応じた出力信号を出力する出力部（１２）とを備えたセンサ素子（１０）と、
   該センサ素子（１０）を内部（２２）に保持するように筒状に形成されるとともに、上記センサ素子（１０）との間を封止する環状の封止ガラス（３）が充填される封止ガラス充填部（２１）が基端部に形成された絶縁体からなるインシュレータ（２０）と、
   を備えるガスセンサ（１）の製造方法であって、
   上記インシュレータ（２０）の内部に上記センサ素子（１０）を配設し、ガラス成形体（３０）を上記封止ガラス充填部（２１）に配設する配設工程（Ｓ１）と、
   上記ガラス成形体（３０）を加熱して溶融する加熱溶融工程（Ｓ２）と、
   上記溶融されたガラス成形体（３０）を冷却して、上記封止ガラス充填部（２１）において上記センサ素子（１０）と上記インシュレータ（２０）との間を封止する上記封止ガラス（３）を形成する封止工程（Ｓ３）と、
   を含み、
   上記ガラス成形体（３０）の先端部（３１）における外周（３３）から中心（３４）側に少なくとも０．３ｍｍまでの領域は、上記中心（３４）から離れるにつれて基端部（３２）へ向かうように傾斜した傾斜部（３６、３６０、３６１、３６２、３６３、３６４）が形成されており、上記配設工程（Ｓ１）では、上記ガラス成形体（３０）を上記先端部（３１）から上記封止ガラス充填部（２１）に挿入して配設することを特徴とするガスセンサ（１）の製造方法。
2. 上記ガラス成形体（３０）における先端部（３１）の全体が該先端部（３１）の中心（３４）から径方向外側に向かうにつれて上記基端部（３２）に向かうように傾斜した上記傾斜部（３６１、３６２、３６３、３６４）を形成していることを特徴とする請求項１に記載のガスセンサ（１）の製造方法。
3. 上記傾斜部（３６、３６０、３６１、３６２、３６３、３６４）は、テーパー面又は先端側（Ｙ１）に膨出する湾曲面であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガスセンサ（１）の製造方法。

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