JP2015536455A - 材料の表面を照明する装置 - Google Patents
材料の表面を照明する装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015536455A JP2015536455A JP2015538421A JP2015538421A JP2015536455A JP 2015536455 A JP2015536455 A JP 2015536455A JP 2015538421 A JP2015538421 A JP 2015538421A JP 2015538421 A JP2015538421 A JP 2015538421A JP 2015536455 A JP2015536455 A JP 2015536455A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- illumination
- illuminating
- spectral
- spectral characteristic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 81
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 64
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0297—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Abstract
Description
これによって、材料表面のエネルギー高効率化が得られる。
103 対象物の表面
105 較正光
107 記録装置
109 測定光
111 処理装置
113 照明光
115 照明素子
117 光学部品
119 駆動部
121 光学センサ
123 光学センサ
125 制御部
127 インターフェース
129 信号処理装置
130 較正装置
131 自動制御装置
133 決定装置
135 表示部
137 制御部
139 インターフェース
1115 照明素子
141 信号処理装置
143 較正装置
Claims (15)
- 較正光(105)を用いて材料(103)の表面を照明する照明装置(101)と、
前記較正光(105)に応じて前記材料(103)の表面から放射された測定光(109)を記録する記録装置(107)と、
前記材料(103)の表面のスペクトル・レミッション挙動を特徴付ける前記測定光(109)のスペクトル特性を記録する処理装置(111)を含み、
前記照明装置(101)は、前記測定光(109)のスペクトル特性に対応するスペクトル特性を有し、前記材料(103)の表面を照明する照明光(113)を生成する、材料の表面を照明する装置。 - 前記測定光(109)は、前記較正光(105)に応じて前記材料(103)の表面で反射した光、または前記較正光(105)に応じて前記材料(103)の表面から再放射された光、または前記較正光(105)に応じて前記材料(103)の表面から放射された光であることを特徴とする、請求項1に記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記測定光(109)のスペクトル特性は、色空間に従った前記測定光(109)の色スペクトル、前記測定光(109)の波長スペクトル、または前記測定光(109)の周波数スペクトルである、請求項1または2に記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記照明装置(101)は、許容差範囲以内で前記測定光(109)のスペクトル特性と対応する、特に前記スペクトル特性と等しいスペクトル特性で前記照明光(113)を生成するように構成される、請求項1〜3の何れか一つに記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記処理装置(111)は、前記測定光(109)のスペクトル特性に関する表示を前記照明装置(101)に伝達するように構成される、請求項1〜4の何れか一つに記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記処理装置(111)は、前記スペクトル特性に依存して、特に前記測定光(109)のスペクトル特性に従って、前記照明光(113)のスペクトル特性を調整するように前記照明装置(101)を制御するように構成される、請求項1〜5の何れか一つに記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記照明装置(101)は、異なる波長または異なる色の光を放射する複数の照明素子(115)を含む、請求項1〜6の何れか記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記照明素子(115)は発光ダイオードである、請求項7に記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記照明装置(101)は、照明光のスペクトル特性を調整するために、所定の強度の光を放射するように前記複数の照明素子の少なくとも1つ、特に各照明素子を制御するように構成される、請求項7または8に記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記処理装置は、前記測定光(109)に基づいて前記材料(103)の表面の特性を記録するように構成される、請求項1〜9の何れか一つに記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記記録装置(107)は、前記測定光(109)を記録する光センサ(123)を含む、請求項1〜10の何れか一つに記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記照明装置(101)は、実際の照明光を記録する光センサ(121)を含み、前記処理装置(111)は、実際の照明光のスペクトル特性と所望の照明光のスペクトル特性との差異を記録し、前記差異に基づいて前記照明装置(101)を制御するように構成される、請求項1〜11の何れか一つに記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記記録装置(107)は、照明光に応じて前記材料(103)の表面から放射された画像光を記録するように構成される、請求項1〜12の何れか一つに記載の材料の表面を照明する装置。
- 前記処理装置(111)は、前記画像光を試験画像に、特にデジタル試験画像に変換するように構成される、請求項13に記載の材料の表面を照明する装置。
- 較正光(105)によって材料(103)の表面を照明し、
前記材料(103)の表面のスペクトル・レミッション挙動を特徴付ける較正光(105)に応じて前記材料(103)の表面から放射された測定光(109)を記録し、
前記測定光(109)のスペクトル特性を記録し、
前記測定光(109)のスペクトル特性に対応するスペクトル特性を有する照明光(113)によって前記材料(103)の表面を照明する、材料の表面を照明する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012110429.8 | 2012-10-31 | ||
DE102012110429.8A DE102012110429B4 (de) | 2012-10-31 | 2012-10-31 | Vorrichtung und Verfahren zum Beleuchten einer Stoffoberfläche |
PCT/EP2013/072111 WO2014067819A1 (de) | 2012-10-31 | 2013-10-23 | Vorrichtung zum beleuchten einer stoffoberfläche |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015536455A true JP2015536455A (ja) | 2015-12-21 |
JP6033968B2 JP6033968B2 (ja) | 2016-11-30 |
Family
ID=49485717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015538421A Expired - Fee Related JP6033968B2 (ja) | 2012-10-31 | 2013-10-23 | 材料の表面を照明する装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10473523B2 (ja) |
EP (1) | EP2914955A1 (ja) |
JP (1) | JP6033968B2 (ja) |
KR (1) | KR101692653B1 (ja) |
CN (1) | CN104769421B (ja) |
DE (1) | DE102012110429B4 (ja) |
RU (1) | RU2015110477A (ja) |
WO (1) | WO2014067819A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015115474A1 (de) * | 2015-09-14 | 2017-03-16 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren zum Kalibrieren einer lichtintransparenten Anzeige |
KR102599809B1 (ko) * | 2023-05-17 | 2023-11-10 | (주)동아엘텍 | 외관 검사 시스템에서의 디스플레이를 이용한 패턴 조명 시스템 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05332939A (ja) * | 1992-06-01 | 1993-12-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 視覚認識装置 |
JPH06174448A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Seiko Epson Corp | 液晶パネルの位置決め装置及びパターン検査装置 |
JPH08219716A (ja) * | 1994-12-13 | 1996-08-30 | Toshiba Corp | 入力画像コントラスト処理装置およびこれを用いた装置 |
JPH11237344A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法およびその装置 |
JP2000030041A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-01-28 | Olympus Optical Co Ltd | 画像入力装置 |
JP2011174764A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Nikon Corp | 検査方法および検査装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6501542B2 (en) * | 1998-06-30 | 2002-12-31 | Lj Laboratories, Llc | Apparatus and method for measuring optical characteristics of an object |
US7151609B2 (en) * | 2000-07-06 | 2006-12-19 | Filmetrics, Inc. | Determining wafer orientation in spectral imaging |
US7404929B2 (en) * | 2002-01-18 | 2008-07-29 | Newton Laboratories, Inc. | Spectroscopic diagnostic methods and system based on scattering of polarized light |
DE10241472B4 (de) * | 2002-09-04 | 2019-04-11 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren und Anordnung zur einstellbaren Veränderung von Beleuchtungslicht und/oder Probenlicht bezüglich seiner spektralen Zusammensetzung und/oder Intensität |
US7151597B2 (en) * | 2003-12-05 | 2006-12-19 | Agilent Technologie, Inc | Optical wavelength standard and optical wavelength calibration system and method |
JPWO2005064322A1 (ja) * | 2003-12-26 | 2007-07-19 | 株式会社ニコン | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
US20060000963A1 (en) * | 2004-06-30 | 2006-01-05 | Ng Kee Y | Light source calibration |
CA2586476C (en) * | 2005-01-31 | 2009-06-30 | Chemimage Corporation | Apparatus and method for chemical imaging of a biological sample |
US7060955B1 (en) * | 2005-01-31 | 2006-06-13 | Chemimage Corporation | Apparatus and method for defining illumination parameters of a sample |
WO2006120794A1 (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-16 | Olympus Medical Systems Corp. | 生体観測装置用信号処理装置 |
US7433034B1 (en) * | 2005-06-17 | 2008-10-07 | Nanometrics Incorporated | Darkfield defect inspection with spectral contents |
EP1917517B1 (en) * | 2005-08-15 | 2014-05-07 | Koninklijke Philips N.V. | Dual beam set-up for scatterometer |
WO2007083250A1 (en) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Color-controlled illumination device |
WO2009123068A1 (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-08 | 国立大学法人豊橋技術科学大学 | 判別フィルタリング装置、対象物の判別方法、および判別フィルタリング装置のフィルタの設計方法 |
US8804115B2 (en) * | 2008-04-25 | 2014-08-12 | Duke University | Systems and methods for performing optical spectroscopy using a self-calibrating fiber optic probe |
JP5332939B2 (ja) | 2009-06-23 | 2013-11-06 | 岩崎電気株式会社 | セラミックメタルハライドランプ |
US9091637B2 (en) * | 2009-12-04 | 2015-07-28 | Duke University | Smart fiber optic sensors systems and methods for quantitative optical spectroscopy |
JP5060580B2 (ja) * | 2010-04-09 | 2012-10-31 | トヨタ自動車株式会社 | スペクトル測定装置 |
WO2013116760A1 (en) * | 2012-02-03 | 2013-08-08 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Optical analysis of emissions from stimulated liquids |
US9274047B2 (en) * | 2013-05-24 | 2016-03-01 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus for imaging of occluded objects |
US10203246B2 (en) * | 2015-11-20 | 2019-02-12 | Verifood, Ltd. | Systems and methods for calibration of a handheld spectrometer |
-
2012
- 2012-10-31 DE DE102012110429.8A patent/DE102012110429B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-10-23 RU RU2015110477A patent/RU2015110477A/ru not_active Application Discontinuation
- 2013-10-23 WO PCT/EP2013/072111 patent/WO2014067819A1/de active Application Filing
- 2013-10-23 CN CN201380055603.5A patent/CN104769421B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-10-23 EP EP13782692.1A patent/EP2914955A1/de not_active Withdrawn
- 2013-10-23 US US14/438,183 patent/US10473523B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-10-23 JP JP2015538421A patent/JP6033968B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-10-23 KR KR1020157011964A patent/KR101692653B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05332939A (ja) * | 1992-06-01 | 1993-12-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 視覚認識装置 |
JPH06174448A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Seiko Epson Corp | 液晶パネルの位置決め装置及びパターン検査装置 |
JPH08219716A (ja) * | 1994-12-13 | 1996-08-30 | Toshiba Corp | 入力画像コントラスト処理装置およびこれを用いた装置 |
JPH11237344A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法およびその装置 |
JP2000030041A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-01-28 | Olympus Optical Co Ltd | 画像入力装置 |
JP2011174764A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Nikon Corp | 検査方法および検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104769421A (zh) | 2015-07-08 |
DE102012110429A1 (de) | 2014-04-30 |
DE102012110429B4 (de) | 2014-07-10 |
US20150285681A1 (en) | 2015-10-08 |
JP6033968B2 (ja) | 2016-11-30 |
CN104769421B (zh) | 2018-06-08 |
EP2914955A1 (de) | 2015-09-09 |
US10473523B2 (en) | 2019-11-12 |
KR20150074026A (ko) | 2015-07-01 |
RU2015110477A (ru) | 2016-12-20 |
KR101692653B1 (ko) | 2017-01-03 |
WO2014067819A1 (de) | 2014-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101801681B1 (ko) | 광 특성 감지 회로 및 방법 | |
JP5550690B2 (ja) | 較正機能付きled光モジュール | |
JP2005183378A (ja) | 強度監視システムを有する発光ダイオード照明システム | |
JP2001332764A5 (ja) | ||
CN102095371A (zh) | 工业用彩色视觉检测装置和方法 | |
JP2004526289A (ja) | 光源制御の方法及びシステム | |
US10094656B2 (en) | Chromatic confocal sensor and measurement method | |
US8987656B2 (en) | Optical finger navigation device having an integrated ambient light sensor and electronic system comprising the same | |
JP6033968B2 (ja) | 材料の表面を照明する装置 | |
CN105928895A (zh) | 用于使用浸胶带探测各种气体的波长谱分析的系统和方法 | |
JP2019074506A (ja) | 動力ベルト伝達装置およびベルトの状態測定方法 | |
JP5424163B2 (ja) | 膜厚計測方法、膜厚計測装置およびプログラム | |
US10959305B2 (en) | Controlling a lighting device having at least two electric light sources | |
CN114026396A (zh) | 检测器灵敏度的光谱重建 | |
JP6692556B2 (ja) | 個々の発光ダイオードの経時変化プロセスを検出するための測定装置 | |
TWI412866B (zh) | 具有自動調整投影亮度功能的投影裝置及方法 | |
JP2004029727A (ja) | 光学素子用変換器のポジション識別装置付き顕微鏡 | |
JP2010020308A (ja) | トナー付着量検出装置、トナー付着量検出方法 | |
JP6631001B2 (ja) | 刺激値直読型の測色計 | |
TWI412872B (zh) | 具有自動調整投影亮度功能的投影裝置及方法 | |
JP6565174B2 (ja) | 刺激値直読型の測色計 | |
JP2010121982A (ja) | 物体色測定方法及び装置 | |
EP3606288B1 (en) | Illumination system | |
WO2021090797A1 (ja) | 照明装置および照明方法 | |
JP2018189498A (ja) | 計測装置、および物品製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161026 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6033968 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |