JP2015530580A - 薄膜チャンバおよび軟質の試験品のリーク検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
従来は、軟質の試験品は試験ガスで満たされ、試験ガスは要求される圧力差を生成するために使用されるポンプ・システムの排気ガス流により測定される。あるいは、試験品内部の充填ガスにセンサが適用される場合、特定の試験ガスの使用は省くことができる。この測定方法において、周囲ガスの影響は測定結果に考慮されていない。
圧力上昇に影響するこれらの付加的なパラメータは測定値に影響を及ぼし、エラーの測定として考慮されなければならない。
本発明によれば、外部の過剰圧力は圧力測定の間、少なくとも薄膜チャンバの可撓性壁領域に加圧され、過剰圧力は試験品の外側領域における薄膜チャンバ内の圧力および試験品の内側の圧力を超えている。この目的のために、加圧装置は壁領域へ外圧を発生させるために提供される。
ここで、リーク率は薄膜チャンバと試験品の圧力差の二乗に比例する。しかしながら、離脱は外圧によって影響されない。
好ましくは、薄膜チャンバは周期的に加圧され、すなわち、圧力の増加とこれに続く低下を周期的に繰り返しながら所定の閾値まで圧力は増加しその後再び低下する。このことにより、試験品のリーク率が周期的に変化すると、試験品内部の圧力も周期的に変化する。その結果、薄膜チャンバの圧力増大も周期的部分によって重畳される。この周期的部分は離脱から独立しており、試験品のリーク率の尺度として使うことができる。
試験品18が薄膜チャンバ12に導入された後、薄膜チャンバは真空にされ、圧力計20は試験品18の外側領域における薄膜チャンバ12内の圧力勾配を検出するために使用される。
図3に示した実施例において、加圧装置26は、両側から薄膜チャンバ12に対して押圧する2つの型29から成る。ここで、図3の矢は、薄膜チャンバ12に対する型29による機械的圧力の周期的な圧力増加およびそれぞれに続く圧力減少を示す。
Claims (8)
- 軟質の試験品のリーク率を決定する方法であって、
真空を引くことができ、かつ可撓性材料からなる少なくとも一つの壁領域を有する薄膜チャンバに試験品を導入すること、
前記試験品の外側の薄膜チャンバ内の圧力を下げること、
前記試験品の外側の薄膜チャンバ内で圧力勾配を測定することと
を含み、
前記圧力勾配の測定の間、外の過大圧力が少なくとも前記壁領域に作用し、前記過大圧力は試験品の外側でかつ薄膜チャンバ内の圧力および試験品内の圧力を超えていることを特徴とする方法。 - ピーク値に達するまで加圧が周期的に繰り返され、その後過大圧力が解放されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記壁領域に作用する過大圧力は空気圧または油圧により生じる請求項1又は2に記載の方法。
- 前記壁領域に作用する過大圧力は機械的方法により生じる請求項1又は2に記載の方法。
- 前記リーク率の決定のために、前記圧力勾配の前記振幅および/または位相が評価されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 軟質の試験品からのリークを検出する装置であって、
可撓性材料からなる少なくとも一つの可撓性壁領域を有する排出可能な薄膜チャンバと、
前記試験品の外側で前記薄膜チャンバの圧力勾配を測定する装置と、
を備え、
前記可撓性壁領域に少なくとも作用する外圧を発生させる加圧装置が備えられていることを特徴とする装置。 - 前記加圧装置が空気圧または油圧を生成する圧力チャンバであり、前記圧力チャンバが少なくとも前記可撓性壁領域において前記薄膜チャンバを囲み、前記圧力チャンバは流体で満たされていることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記加圧装置は少なくとも前記可撓性壁領域において機械的圧力を発生させる装置であることを特徴とする請求項6に記載の装置。
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