JP6837065B2

JP6837065B2 - フィルムチャンバ内の非圧縮性テスト対象のグロスリーク測定

Info

Publication number: JP6837065B2
Application number: JP2018532160A
Authority: JP
Inventors: デッカー，ジルヴィオ; ロルフ，ノルベルト
Original assignee: Inficon GmbH Deutschland
Current assignee: Inficon GmbH Deutschland
Priority date: 2015-12-21
Filing date: 2016-12-20
Publication date: 2021-03-03
Anticipated expiration: 2036-12-20
Also published as: BR112018012699B1; CN108474715B; RU2018126157A3; US10900862B2; RU2018126157A; US20180372579A1; AU2016376655B2; AU2016376655A1; EP3394588B1; BR112018012699A2; EP3394588A1; DE102015226360A1; WO2017108754A1; CN108474715A; JP2018538540A; RU2727851C2

Description

本発明は、フィルムチャンバ内の少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象におけるグロスリークを検出するための方法に関する。

フィルムチャンバは、リークテストされるテスト対象を受け入れるためのテストチャンバの特殊形式である。フィルムチャンバは、少なくとも１つの壁領域が可撓性材料（フィルム、ホイル）製であることを特徴とする。リークテストされるテスト対象は、フィルムチャンバ内に置かれ、フィルムチャンバが続いて排気される。フィルムチャンバの排気中、空気がテスト対象の外側の領域におけるフィルムチャンバから排出される。それによって、可撓性のフィルムチャンバ壁は、テスト対象にすり寄せられる。特に適切なフィルムチャンバは、互い対向配置されてテスト対象を囲み、そのエッジ領域において封止されて互いに接合されている２つのフィルム層で構成される。フィルムチャンバの排気中、フィルムは、残存する死容積を除いて、テスト対象に引き寄せられる。続いて、テスト対象の外側領域において、フィルムチャンバ内の圧力曲線が、圧力センサによって測定される。ガスがテスト対象における漏れ口を通ってテスト対象から漏れる場合、これに対応して測定される圧力上昇は、リークのしるしとして役立つ。漏れ率は、圧力上昇に基づいて測定できる。このために、フィルムチャンバ容積、すなわちフィルムチャンバに包まれた内部容積を知らなければならない。排気後に存在するフィルムチャンバ容積は、テスト対象のサイズ及び形状に応じて定まる。フィルムが完全にテスト対象に沿っていない場合、死容積が生じる。

フィルムチャンバ自体が、例えば、フィルムチャンバ壁からガス放出する部品を通して、ガスをフィルムチャンバ容積内に排出する。その結果、フィルムチャンバ内の圧力が上昇する（オフセット圧力上昇）。このオフセット圧力上昇及びフィルムチャンバの死容積が、測定される漏れ率に影響を与える。その結果、漏れ率の判定に誤差が生じる。この誤差を回避するために、従来は、気密テスト対象を使用して事前の測定を実施し、オフセット圧力上昇及び死容積を記録する。死容積は、最善でも実測に先立つ製品に依存する較正により決定できるだけである。例えば、無作為抽出テストの場合、テスト対象が変化すると直ちに、又はテスト対象の数が変化すると直ちに、事前の製品依存の較正は不正確となる。

その内容が参照により本願に含まれるドイツ出願特許番号１０２０１４２１９４８１．４は、フィルムチャンバの内空間、すなわちフィルムチャンバに包まれたフィルムチャンバ容積を、送ガス方式で較正チャンバに包まれた較正容積と結合することを記載している。較正バルブは、フィルムチャンバの排気中、フィルムチャンバと較正チャンバとの間のガス伝導路を閉じるために利用され、フィルムチャンバと較正チャンバとの間に設けられる。フィルムチャンバが排気された後、及び圧力センサによりフィルム内の圧力変化が測定されている間、較正バルブは開放され、較正バルブの開放に応じて、較正チャンバ内の圧力が排気されたフィルムチャンバ内よりも高くなる、又は低くなる。

較正バルブが開放された後、ガスは、較正チャンバからフィルムチャンバへと流れ（逆もまた同様）、結果として、フィルムチャンバ内で急激な圧力上昇又は低下が生じる。この圧力の変化は、急激な圧力ストロークと呼ばれてもよい。圧力ストロークは、フィルムチャンバ容積に依存する。空のフィルムチャンバ、すなわちテスト対象がない場合、これは、フィルムチャンバの全内容積である。フィルムチャンバ内にテスト対象が存在する場合、これは、実質的に気密なテスト対象外側の領域におけるフィルムチャンバ内の残容積である。圧力ストロークに基づき、各測定中、現在の各フィルムチャンバ容積、ひいては漏れ率を、圧力上昇から正確に確認することができる。事前の別々の較正測定は、その結果、もはや必須でない。

フィルムチャンバ容積は較正バルブが開放される前の較正容積における圧力（既知の、好ましくは大気の、圧力）と較正バルブが開放された後のフィルムチャンバ内の圧力の間の差から決定されることが説明されている。

少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象は、例えば、少なくとも部分的に剛性のテスト対象又は中に食品を含むパッケージング等、不変のアイテムを含むテスト対象であるテスト対象を意味することが理解されるべきである。このようなテスト対象の特別な特徴は、主要なリークがこれらのテスト対象にその外観を、圧縮性の、すなわち寸法安定性のない、完全に又は実質的に圧縮性のテスト対象の場合と同じ程度まで変化させないことである。非圧縮性のテスト対象は、寸法安定性があると言うことができる。特に、剛性のテスト対象の場合、これは、完全な排気後でさえ、その外形は変化させない。排気段階中、テスト対象に存在する全てのガスが引き出され、それ故、測定可能な圧力上昇を生じさせるガスが、測定中に残らないので、特に、グロスリークは、このような少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象においては十分な精度で特定されない。

本発明の目的は、フィルムチャンバ内の少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象において、改善されたグロスリーク測定を生み出すことである。

本発明に係る方法は、請求項１の特性により定義される。

グロスリーク測定は、送ガス方式でフィルムチャンバが較正チャンバに接続されるのに先立つフィルムチャンバ内部圧力と、テスト対象を含まない空のフィルムチャンバの場合においてフィルムチャンバと較正チャンバとの間に送ガス接続が確立された後のフィルムチャンバ内部圧力との間の圧力の変化を、少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象がフィルムチャンバに存在する場合における対応する圧力差と比較することにより行われる。著しく漏出しているテスト対象、すなわちグロスリークを有するテスト対象の場合、圧力差は、空のフィルムチャンバの場合又は気密テスト対象又は低い漏れ率を有するのみのテスト対象の場合より少ない。

較正チャンバの内容積の典型的な値は、較正バルブが開放される前に約１０００バールのテストチャンバ内の圧力（大気圧）で、１ｃｍ^３と１０ｃｍ^３との間の範囲に亘り得る。較正チャンバは周囲空気で満たすことができるため、適切な圧力計を使用して現在の気圧を判定し、その結果、フィルムチャンバと較正チャンバとの間の接続が確立された後に存在する圧力差の修正が必要となることがある。

較正チャンバは、既知の漏れ率を有するテストリークを備えてもよい。著しく漏出している剛性のテスト対象の内容積は、テストリークの漏れ率から結果として発生する圧力上昇から推定できる。

より迅速な漏れ率測定のため、較正バルブが開放された後のフィルムチャンバの圧力曲線は、指数関数に基づいて数学的に外挿できる。このことは、特に、較正バルブが開放される前のフィルムチャンバ内圧と較正バルブが開いている場合の完全な圧力均等化におけるフィルムチャンバ内圧との間の圧力差を検出するのに有利である。このことは、特に、大きなテスト対象がフィルムチャンバ内のガスの流れを妨げ、フィルムチャンバが空の場合より圧力均等化に時間がかかる場合に有利である。

較正バルブが開放された後、当初は周囲圧力を受ける較正容積（較正チャンバの内容積）と、非常に低い圧力を有するフィルムチャンバ容積との間で圧力均等化が生じる。テスト対象の特質及びサイズによって、この圧力均等化は、より迅速に又はより緩やかに行われる。圧力均等化が行われた時点で期待される終圧は、フィルムチャンバ圧力の少なくとも２つの、好ましくは３つの、連続した測定値からの指数関数に基づいて数学的に外挿できる。

本発明の実施の形態例は、以降、図面に基づき、より詳細に説明される。図中、
図１は、第１動作状態における模式的表現を示している。
図２は、第１動作状態における圧力曲線を示している。
図３は、第２動作状態における図１に係る図を示している。
図４は、第２動作状態における圧力曲線を示している。
図５は、第３動作状態における図１に係る図を示している。
図６は、第３動作状態における圧力曲線を示している。
図７は、図６に係る圧力曲線の詳図を示している。

フィルムチャンバ１２は、２つのフィルム層１４、１６で構成される。２つのフィルム層１４、１６は、テスト対象１８を囲み、テスト対象１８のエッジ領域において封止されて互いに接合される。フィルム層１４、１６は、フィルムチャンバ１２の内部でフィルムチャンバ容積２０を包んでいる。図１において、フィルムチャンバ容積２０は、テスト対象１８の外側領域におけるフィルムチャンバ１２内の容積である。

ガスライン２２経由で、フィルムチャンバ１２の内部は、送ガス方式で、排気バルブ２４経由で真空ポンプ２６へ、測定バルブ２８経由で圧力センサ３０へ、ベントバルブ３２経由でフィルムチャンバ１２を取り囲んでいる大気へ、及び較正バルブ３４経由で較正チャンバ３６へ接続される。

較正チャンバ３６は、当初は大気圧下の空気で満たされている較正容積を包んでいる。較正バルブ３４は、初期状態では閉じられている。図面は、黒塗りのバルブによりバルブの開弁状態、及び黒塗りでないバルブによりバルブの閉弁状態を示す。図１に係る第１動作状態において、よって、測定バルブ２８、ベントバルブ３２及び較正バルブ３４は閉じられている。逆に、排気バルブ２４は開いている。図１に示される第１動作状態において、テスト対象１８は、封止されて閉じられているフィルムチャンバ１２内に配置される一方、排気バルブ２４が開いている場合、真空ポンプ２６は、ガスライン２２を介してフィルムチャンバ１２を排気する。

図２は、フィルムチャンバ１２内の排気中に発生する圧力曲線を示す。仮に測定バルブ２８が開いている場合には、圧力センサ３０は、図２に示される圧力曲線を測定するだろう。しかし、圧力センサ３０を損傷しないように、フィルムチャンバ１２の排気中、図１において測定バルブ２８は閉じられている。

図３は、フィルムチャンバ１２が排気された後に続く動作状態を示す。排気バルブ２４は閉じられ（黒塗りで示されない）、測定バルブ２８は開いている（黒塗りで示される）。封止されているフィルムチャンバ容積２０は、よって、圧力センサ３０に接続される。図４に示されるように、圧力センサ３０は、時間ｔに亘って、フィルムチャンバ１２内の圧力上昇を測定する。この圧力上昇は、一方では、テスト対象１８におけるリークの結果、発生し、他方では、オフセット圧力の結果、発生する可能性がある。オフセット圧力上昇は、テスト対象１８におけるリークではなく、フィルムチャンバ壁からのガス放出するガス分子等、他の物理的効果に起因する圧力上昇である。

フィルムチャンバ１２が排気され（第１動作状態）、測定バルブ２８が開放された（第２動作状態）後、較正バルブ３４も直ちに開放される。この第３動作状態は、図５に示される。空気は、ガスライン２２経由で、開放された較正バルブ３４を通って、較正チャンバ３６からフィルムチャンバ１２へ流出する。フィルムチャンバ１２内の真空と較正チャンバ３６内の大気圧の間の大きな圧力差に起因して、フィルムチャンバ１２内の圧力は、較正バルブ３４が開放された後、急激に上昇する。

この圧力ストロークΔｐは、図６に示され、圧力センサ３０により測定される。圧力ストロークΔｐは、較正バルブ３４が開放された後のフィルムチャンバ１２内の圧力ｐ_Ｇと、較正バルブ３４が開放される前のフィルムチャンバ１２内の圧力ｐ_Ｆとの間の差である：
Δｐ＝（ｐ_Ｇ−ｐ_Ｆ）。

フィルムチャンバ１２内及び較正チャンバ３６内のガス容積の合計は、較正バルブが開放される前後で同一のままであるため、以下が適用される：
ｐ_Ｇ（Ｖ_Ｆ＋Ｖ_Ｖ）＝ｐ_ＦＶ_Ｆ＋ｐ_ＶＶ_Ｖ、
ここで、
Ｐ_Ｇ：較正バルブ３４が開放された後のフィルムチャンバ１２内の圧力であり、
Ｖ_Ｆ：決定されるフィルムチャンバ容積２０であり、
Ｖ_Ｖ：較正チャンバ３６内の較正容積３７（テスト対象がないフィルムチャンバ容積の１／１０００と１／１０との間の範囲における）であり、
Ｐ_Ｖ：較正バルブ３４が開放される前の較正チャンバ３６内の圧力（大気圧、約１バール）である。

圧力ストロークΔｐ＝ｐ_Ｇ−ｐ_Ｆに基づき、以下のようにフィルムチャンバ容積２０を算出することができる：

圧力ストロークΔｐの判断の際に考慮された圧力ｐ_Ｇは、好ましくは、発生する終圧ｐ_Ｅｎｄである。終圧ｐ_Ｅｎｄは、フィルムチャンバ１２と較正チャンバ３６との間で圧力均等化が行われた後、すなわち較正バルブ３４が開放された後のフィルムチャンバ圧力の整定工程の終わりにおいて存在する圧力である。

少なくとも部分的に非圧縮性又さらには剛性及び／又は寸法安定性のあるテスト対象等の、テスト対象１８がフィルムチャンバ内に存在する場合のフィルムチャンバ１２の内容積Ｖ_{Ｉｎｎｅｎ}は、以下のように算出できる：
また、仮に圧力均等化後に発生している終圧Ｐ_Ｇ１及びＰ_Ｇ２が較正容積ｐ_Ｖにおける圧力と比較して小さい場合、フィルムチャンバ１２の内容積Ｖ_{Ｉｎｎｅｎ}は、以下のように算出できる：
、
ここで、
Ｖ_{Ｉｎｎｅｎ}：中にテスト対象１８を備えるフィルムチャンバ１２の内容積であり、
Ｖ_ｌｅｅｒ：テスト対象１８がない空のフィルムチャンバ１２の内容積であり、
Δｐ_ｌｅｅｒ：空のフィルムチャンバ１２における、較正チャンバ３６への接続前と較正チャンバ３６への接続後のフィルムチャンバ１２における圧力との間の圧力差であり、
Δｐ_{Ｐｒuｆｌｉｎｇ}：テスト対象がフィルムチャンバ１２内に存在する場合の、較正チャンバ３６への接続前と較正チャンバ３６への接続後のフィルムチャンバ１２における圧力との間の圧力差であり、
Ｐ_Ｇ１：較正容積がフィルムチャンバに接続された後に空のチャンバに存在する終圧であり、
Ｐ_Ｇ２：較正容積がフィルムチャンバに接続された後にテスト対象を含むチャンバに存在する終圧である。

内容積Ｖ_ｌｅｅｒは、既知の内容積を使用して１回限りの較正により決定される。このために、一測定は、空のチャンバで行われ、一測定は、既知の内容積Ｖ_Ｋａｌで行われる。チャンバの内容積は、続いて以下のように決定される：
、
又は、ｐ_Ｇ１、ｐ_Ｇ２＜＜ｐ_ｖの場合
ここで、
Ｖ_Ｋａｌ：既知の較正容積である。較正容積の大きさは、空のチャンバの内容積Ｖ_ｌｅｅｒの１／５と１／２０との間の範囲に亘るべきである。

図７は、較正バルブ３４が開いた状態の圧力均等化中の圧力ｐの整定工程を示す。仮に圧力ストロークΔｐが圧力差Ｐ_Ｅｎｄ−Ｐ_Ｋａｍ、すなわち整定工程の終わりにおけるフィルムチャンバ内圧と整定工程前のフィルムチャンバ内圧との間の差とみなされる場合、圧力曲線ｐ（ｔ）は、次式を使用した整定工程中の時間ｔに応じて数学的に説明できる：
ｐ（ｔ）＝（ｐ_Ｅｎｄ−ｐ_Ｋａｍ）×（１−ｅ^{−ｔ／Ｔａｕ}）＋ｐ_Ｋａｍ、
ここで、
ｐ（ｔ）：時点ｔにおける瞬間圧力であり、
ｐ_Ｋａｍ：フィルムチャンバと較正チャンバ（３６）との間の送ガス接続が確立される前のフィルムチャンバ（１２）における圧力であり、
ｐ２：フィルムチャンバと較正チャンバ（３６）との間の接続が確立された後の時点ｔ２におけるフィルムチャンバ（１２）における圧力であり、
ｐ３：時点ｔ２の後の時点ｔ３におけるフィルムチャンバ（１２）における圧力であり、
ｐ_Ｅｎｄ：好ましくは時点ｔ＝∞における、フィルムチャンバ（１２）及び較正チャンバ（３６）が接続された後のフィルムチャンバ（１２）における終圧であり、
ｔ：時間であり、
Ｔａｕ：フィルムチャンバ（１２）が較正チャンバ（３６）に接続された後の圧力整定工程の時定数である。

少なくとも２つの連続した圧力測定値ｐ２、ｐ３、及び好ましくは少なくとも３つの連続した圧力測定値ｐ１、ｐ２、ｐ３に基づき、圧力曲線ｐ（ｔ）は、上記の式を使用して外挿できる。そのとき、一旦圧力均等化が行われれば、圧力曲線を測定したり、終圧ｐ_Ｅｎｄが発生するまで待機したりする必要はない。むしろ、圧力均等化が行われる前でさえ、フィルムチャンバ内圧を外挿できる。

ｔ１が較正バルブ３４が開放される時点であり、ｔ２がｔ１とｔ３の間である、時点ｔ１、ｔ２とｔ２、ｔ３の間が同一の間隔であるために、続いて、以下のように終圧ｐ_Ｅｎｄを算出することができる：
ｐ_Ｅｎｄ＝（ｐ２×ｐ２−ｐ_Ｋａｍ×ｐ２）／（２×ｐ２−ｐ_Ｋａｍ−ｐ３）。

このようにして、フィルムチャンバ内で発生する終圧ｐ_Ｅｎｄを、この終圧が圧力均等化によって発生する前に算出することができる。このように算出された終圧に基づき、上述した圧力差を確認し、互いに比較することにより、少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象におけるグロスリークを特定できる。

Claims

少なくとも１つの可撓性壁領域を有し、圧力センサ（３０）と、真空ポンプ（２６）と、較正バルブ（３４）を経由して較正容積（３７）を包んでいる較正チャンバ（３６）とに送ガス方式で接続されるフィルムチャンバ（１２）における少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象（１８）のグロスリーク測定用の方法であって、
前記フィルムチャンバ（１２）を排気する工程と、
前記排気が完了した後に前記フィルムチャンバ（１２）内の圧力曲線の進行を測定する工程と、
前記圧力進行の前記測定中に、前記較正容積（３７）を前記フィルムチャンバ（１２）の内容積に送ガス方式で接続し、前記圧力が前記フィルムチャンバ（１２）への前記送ガス接続が確立される前及び前記送ガス接続が確立した状態で測定され、前記フィルムチャンバ（１２）への前記接続前の前記較正チャンバ（３６）における前記圧力が前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力より高い又は低い工程と、
を備え、
テスト対象（１８）を含まない空のフィルムチャンバ（１２）の場合、前記送ガス接続が確立される前の前記圧力と前記フィルムチャンバ（１２）への送ガス接続を伴う前記圧力との間の圧力差Δｐ_ｌｅｅｒは、テスト対象（１８）が前記フィルムチャンバ（１２）に存在する場合の対応する圧力差Δｐ_{Ｐｒuｆｌｉｎｇ}と比較されることを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記テスト対象（１８）を内部に備える前記フィルムチャンバ（１２）の内容積Ｖ_{Ｉｎｎｅｎ}は、以下のように算出される：
又は、ｐ_Ｇ１、ｐ_Ｇ２＜＜ｐ_Ｖの場合
、
ここで、
Ｖ_{Ｉｎｎｅｎ}：中に前記テスト対象（１８）を備える前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積であり、
Ｖ_ｌｅｅｒ：前記テスト対象（１８）がない前記空のフィルムチャンバ（１２）の前記内容積であり、
Δｐ_ｌｅｅｒ：空のフィルムチャンバ（１２）における、前記較正チャンバ（３６）への接続前の前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力と、前記較正チャンバ（３６）への接続後の前記フィルムチャンバにおける前記圧力との間の圧力差であり、
Δｐ_{Ｐｒuｆｌｉｎｇ}：テスト対象（１８）が前記フィルムチャンバ（１２）に存在する場合の、前記較正チャンバ（３６）への接続前の前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力と、前記較正チャンバ（３６）への接続後の前記フィルムチャンバにおける前記圧力との間の前記圧力差であり、
ｐ_Ｇ１：前記較正容積が前記フィルムチャンバに接続された後の空のチャンバにおいて存在する終圧であり、
ｐ_Ｇ２：前記較正容積が前記フィルムチャンバに接続された後のテスト対象を含むチャンバにおいて存在する終圧であり、
ｐ _Ｖ：前記較正バルブ（３４）開放される前の前記較正チャンバ（３６）内の圧力である方法。
請求項１又は２のいずれか１項に記載の方法であって、
前記空のチャンバの前記内容積は、以下の関係を使用して、既知の内容積Ｖ_Ｋａｌを有する測定との空のチャンバの比較測定により決定される：
、
又は、ｐ_Ｇ１、ｐ_Ｇ２＜＜ｐ_Ｖである場合
ここで、
Ｖ _ｌｅｅｒ：前記テスト対象（１８）がない前記空のフィルムチャンバ（１２）の前記内容積であり、
Δｐ _ｌｅｅｒ：空のフィルムチャンバ（１２）における、前記較正チャンバ（３６）への接続前の前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力と、前記較正チャンバ（３６）への接続後の前記フィルムチャンバにおける前記圧力との間の圧力差であり、
Δｐ _{Ｐｒuｆｌｉｎｇ} ：テスト対象（１８）が前記フィルムチャンバ（１２）に存在する場合の、前記較正チャンバ（３６）への接続前の前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力と、前記較正チャンバ（３６）への接続後の前記フィルムチャンバにおける前記圧力との間の前記圧力差であり、
ｐ _Ｇ１：前記較正容積が前記フィルムチャンバに接続された後の空のチャンバにおいて存在する終圧であり、
ｐ _Ｇ２：前記較正容積が前記フィルムチャンバに接続された後のテスト対象を含むチャンバにおいて存在する終圧であり、
ｐ _Ｖ：前記較正バルブ（３４）開放される前の前記較正チャンバ（３６）内の圧力であり、
Ｖ_Ｋａｌ：好ましくは前記空のチャンバＶ_ｌｅｅｒの前記内容積の１／５と１／２０との
間の大きさを有する、既知の較正容積である方法。
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法であって、
前記較正チャンバ（３６）には、既知の漏れ率を有するテストリーク（４０）が設けられ、前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積は、前記フィルムチャンバ（１２）が前記較正容積（３７）に接続された後に発生する圧力上昇を考慮して確認される方法。
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法であって、
前記フィルムチャンバ（１２）と前記較正チャンバ（３６）との間に前記送ガス接続が確立される前の前記圧力と、前記フィルムチャンバ（１２）と前記較正チャンバ（３６）との間の送ガス接続により存在する前記フィルムチャンバ（１２）内の前記終圧との間の各圧力差が考慮される方法。
請求項５に記載の方法であって、
前記フィルムチャンバと前記較正チャンバ（３６）との間の送ガス接続により前記フィルムチャンバ（１２）内に存在する前記終圧は、発生している前記圧力曲線の指数関数に基づき外挿され、前記圧力センサ（３０）により測定された少なくとも２つの圧力値を有する方法。
請求項６に記載の方法であって、
次式は、前記発生している終圧の前記外挿のために使用される：
ｐ（ｔ）＝（ｐ_Ｅｎｄ−ｐ_Ｋａｍ）×（１−ｅ^{−ｔ／Ｔａｕ}）＋ｐ_Ｋａｍ、
ここで、
ｐ（ｔ）：時点ｔにおける瞬間圧力であり、
ｐ_Ｋａｍ：前記フィルムチャンバと前記較正チャンバ（３６）との間の前記送ガス接続が確立される前の前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力であり、
ｐ_Ｅｎｄ：好ましくは前記時点ｔ＝∞における、前記フィルムチャンバ（１２）及び前記較正チャンバ（３６）が接続された後の前記フィルムチャンバ（１２）における前記終圧であり、
ｔ：時間であり、
Ｔａｕ：前記フィルムチャンバ（１２）が前記較正チャンバ（３６）に接続された後の圧力整定工程の時定数である方法。
請求項７に記載の方法であって、
等しい時間差ｔ２−ｔ１＝ｔ３−ｔ２のために、前記終圧は、以下のように外挿される：
ｐ_Ｅｎｄ＝（ｐ２×ｐ２−ｐ_Ｋａｍ×ｐ３）／（２×ｐ２−ｐ_Ｋａｍ−ｐ３）、
ここで、
ｐ２：前記フィルムチャンバと前記較正チャンバ（３６）間の前記接続が確立された後の時点ｔ２における前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力であり、
ｐ３：前記時点ｔ２の後の時点ｔ３における前記フィルムチャンバ（１２）における前記圧力であり、
ｔ１：前記較正バルブ（３４）が開放される前記時点である方法。