JP2015528213A - 多色led表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本特許出願は、独国特許出願第102012106859.3号の優先権を主張し、この文書の開示内容は参照によって本明細書に組み込まれている。
Claims (20)
- 多色LED表示装置(10)を製造する方法であって、前記多色LED表示装置(10)が、多数のピクセル(5)を有するLED発光ユニット(4)を備えており、
− 前記ピクセル(5)が、第1の色を放出する第1のサブピクセル(B)と、第2の色を放出する第2のサブピクセル(G)と、第3の色を放出する第3のサブピクセル(R)とを備えており、
− 前記サブピクセル(R,G,B)それぞれが、第1の色の放射を放出するのに適するLEDチップ(3)を含んでおり、
− 前記第1の色の放射を前記第2の色の放射に変換するのに適する第1の変換層(1)が、少なくとも前記第2のサブピクセル(G)の上に配置され、
− 前記第1の色の放射もしくは前記第2の色の放射(6)またはその両方を前記第3の色の放射に変換するのに適する第2の変換層(2)が、前記第3のサブピクセル(R)の上に配置され、
− 前記第2のサブピクセル(G)それぞれの上に前記第1の変換層(1)を配置し、前記第3のサブピクセル(R)それぞれの上に前記第2の変換層(2)を配置するために、前記ピクセル(5)の上の少なくとも1つの定義された領域において前記第1の変換層(1)または前記第2の変換層(2)を形成または除去する少なくとも1つの工程ステップが実行され、
− 前記工程ステップにおいて、一部のLEDチップ(3)が電気的に動作され、
− 前記少なくとも1つの領域が、前記一部のLEDチップ(3)によって生成される電磁放射(6)、発生する熱、または発生する電界によって、定義される、
方法。 - − 前記第1の変換層(1)が前記LED発光ユニット(4)の上に配置され、
− 前記第2の変換層(2)が前記第1の変換層(1)の上に配置され、
− 前記第1のサブピクセル(B)および前記第2のサブピクセル(G)から前記第2の変換層(2)が除去され、
− 前記第1のサブピクセル(B)から前記第1の変換層(1)が除去される、
請求項1に記載の方法。 - 前記第1の変換層(1)もしくは前記第2の変換層(2)またはその両方を除去する前記ステップが、局所的に層を除去する方法によって実施され、前記局所的に層を除去する方法が、前記一部のLEDチップ(3)によって放出される電磁放射(6)のスペクトル感知式光学的認識法によって制御される、
請求項2に記載の方法。 - 前記局所的に層を除去する方法が、レーザアブレーションまたはエッチング工程である、
請求項3に記載の方法。 - 前記第1の変換層(1)もしくは前記第2の変換層(2)またはその両方を除去する前記ステップが、局所的に層を除去する方法によって実施され、前記局所的に層を除去する方法が、前記一部のLEDチップ(3)によって放出される熱によって、もしくは、前記一部のLEDチップ(3)によって放出される電磁放射(6)によって、またはその両方によって、局所的に増幅される、
請求項2に記載の方法。 - 前記局所的に層を除去する方法が、湿式化学エッチング法である、
請求項5に記載の方法。 - 前記第1の変換層(1)もしくは前記第2の変換層(2)またはその両方を除去する前記ステップが、局所的に層を除去する方法によって実施され、前記局所的に層を除去する方法が、前記一部のLEDチップ(3)によって発生する電界によって局所的に増幅される、
請求項2に記載の方法。 - 前記局所的に層を除去する方法が、乾式エッチング法である、
請求項7に記載の方法。 - − 放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)が塗布され、前記一部のLEDチップ(3)によって放出される放射(6)によって、もしくは発生する熱によって、またはその両方によって一部の領域において変化し、
− 前記領域において、または前記領域の外側において、前記放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)に開口部(15)が形成される、
請求項1に記載の方法。 - 前記放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)が、フォトレジスト層(13,14)であり、前記フォトレジスト層(13,14)が、前記一部のLEDチップ(3)によって放出される電磁放射(6)によって前記領域において露光される、
請求項9に記載の方法。 - 前記放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)が感熱層(24)であり、前記感熱層(24)が、前記一部のLEDチップ(3)によって発生する熱によって前記領域において変化する、
請求項9に記載の方法。 - 前記感熱層(24)が塗布される前に、放射吸収層(23)が形成される、
請求項11に記載の方法。 - 前記第1の変換層(1)または前記第2の変換層(2)が、前記放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)に塗布され、前記開口部(15)の外側においてリフトオフ技術によって再び除去される、
請求項9から請求項12のいずれかに記載の方法。 - 前記第1の変換層(1)または前記第2の変換層(2)に前記放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)が塗布され、
前記第1の変換層(1)または前記第2の変換層(2)が、層を除去する方法によって前記開口部(15)において除去される、
請求項9から請求項12のいずれかに記載の方法。 - 前記層を除去する方法がエッチング工程である、
請求項14に記載の方法。 - 前記第1の変換層(1)もしくは前記第2の変換層(2)またはその両方が、電気泳動法によって堆積し、前記堆積が、前記一部のLEDチップ(3)によって発生する電界によって局所的に増幅される、
請求項1に記載の方法。 - 前記第1の変換層(1)もしくは前記第2の変換層(2)またはその両方を堆積させる前に、電気的絶縁層(20)が形成され、前記電気的絶縁層が、放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)を使用して構造化され、前記放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)が、前記一部のLEDチップ(3)によって生成される放射(6)によって、もしくは発生する熱によって、またはその両方によって、変化する、
請求項16に記載の方法。 - 前記放射感応性および/または感熱性の層(13,14,21,22,24)がフォトレジスト層(13,14)であり、前記フォトレジスト層(13,14)が、前記一部のLEDチップ(3)によって放出される電磁放射(6)によって露光される、
請求項17に記載の方法。 - 前記多色LED表示装置が、RGB LED表示装置(10)であり、前記第1の色が青色であり、前記第2の色が緑色であり、前記第3の色が赤色である、
請求項1から請求項18のいずれかに記載の方法。 - 前記ピクセル(5)が、100μm未満の幅を有する、
請求項1から請求項19のいずれかに記載の方法。
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