KR101688163B1 - 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 - Google Patents

반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101688163B1
KR101688163B1 KR1020150044420A KR20150044420A KR101688163B1 KR 101688163 B1 KR101688163 B1 KR 101688163B1 KR 1020150044420 A KR1020150044420 A KR 1020150044420A KR 20150044420 A KR20150044420 A KR 20150044420A KR 101688163 B1 KR101688163 B1 KR 101688163B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
semiconductor light
phosphor
electrode
emitting device
Prior art date
Application number
KR1020150044420A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160116550A (ko
Inventor
최환준
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020150044420A priority Critical patent/KR101688163B1/ko
Priority to US14/857,563 priority patent/US9666765B2/en
Priority to EP15002725.8A priority patent/EP3076442B1/en
Priority to CN201610069529.8A priority patent/CN106024801B/zh
Publication of KR20160116550A publication Critical patent/KR20160116550A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101688163B1 publication Critical patent/KR101688163B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • H01L33/501Wavelength conversion elements characterised by the materials, e.g. binder
    • H01L33/502Wavelength conversion materials
    • H01L33/504Elements with two or more wavelength conversion materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/14Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source
    • H05B33/145Arrangements of the electroluminescent material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/82Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/075Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
    • H01L25/0753Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other
    • H01L27/3281
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/08Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a plurality of light emitting regions, e.g. laterally discontinuous light emitting layer or photoluminescent region integrated within the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • H01L33/505Wavelength conversion elements characterised by the shape, e.g. plate or foil
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/20Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the material in which the electroluminescent material is embedded
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/93Batch processes
    • H01L2224/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/0041Processes relating to semiconductor body packages relating to wavelength conversion elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • H01L33/507Wavelength conversion elements the elements being in intimate contact with parts other than the semiconductor body or integrated with parts other than the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls

Abstract

본 발명은 디스플레이 장치에 관한 것으로 특히, 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 디스플레이 장치는, 기판에 장착되는 복수의 반도체 발광소자들, 및 빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들과, 상기 복수의 형광체부들의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들을 구비하며, 상기 복수의 반도체 발광소자들을 덮도록 배치되는 형광체층을 포함하며, 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩된다.

Description

반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법{DISPLAY DEVICE USING SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 디스플레이 장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로 특히, 반도체 발광 소자를 이용한 플렉서블 디스플레이 장치에 관한 것이다.
최근에는 디스플레이 기술분야에서 박형, 플렉서블 등의 우수한 특성을 가지는 디스플레이 장치가 개발되고 있다. 이에 반해, 현재 상용화된 주요 디스플레이는 LCD(Liguid Crystal Display)와 AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes)로 대표되고 있다.
그러나, LCD의 경우에 빠르지 않은 반응 시간과, 플렉서블의 구현이 어렵다는 문제점이 존재하고, AMOLED의 경우에 수명이 짧고, 양산 수율이 좋지 않을 뿐 아니라 플렉서블의 정도가 약하다는 취약점이 존재한다.
한편, 발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)는 전류를 빛으로 변환시키는 잘 알려진 반도체 발광 소자로서, 1962년 GaAsP 화합물 반도체를 이용한 적색 LED가 상품화된 것을 시작으로 GaP:N 계열의 녹색 LED와 함께 정보 통신기기를 비롯한 전자장치의 표시 화상용 광원으로 이용되어 왔다. 따라서, 상기 반도체 발광 소자를 이용하여 플렉서블 디스플레이를 구현하여, 상기의 문제점을 해결하는 방안이 제시될 수 있다.
상기 반도체 발광 소자를 이용하여 플렉서블 디스플레이에는 형광체층을 이용하여 상기 반도체 발광 소자에서 발광되는 빛을 여기하는 구조가 적용될 수 있다. 이 경우에, 상기 형광체층에는 혼색을 방지하기 위한 격벽 구조물이 구비될 수 있으나, 격벽 구조로 인하여 제조상 여러가지 문제점이 발생할 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 이러한 문제점을 해결하는 메커니즘에 대하여 제시한다.
대한민국 공개특허공보, 제10-2014-0025055호
본 발명의 일 목적은 디스플레이 장치에서 형광체의 충진공간이 보다 넓어질 수 있는 형광체층의 구조 및 이의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 목적은, 플렉서블이 가능한 종래와 다른 새로운 형태의 격벽 구조를 갖는 디스플레이 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 디스플레이 장치는, 기판에 장착되는 복수의 반도체 발광소자들, 및 빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들과, 상기 복수의 형광체부들의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들을 구비하며, 상기 복수의 반도체 발광소자들을 덮도록 배치되는 형광체층을 포함한다. 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩된다.
실시 예에 있어서, 상기 복수의 격벽부들은, 상기 복수의 반도체 발광소자들의 사이를 덮도록 배치되는 제1격벽부와, 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나를 덮는 제2격벽부를 포함한다.
실시 예에 있어서, 상기 제2격벽부에 의하여 덮이는 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나는 청색 반도체 발광소자를 포함한다.
상기 복수의 형광체부들 중 적어도 일부는 상기 제1격벽부를 사이에 두고 배치되며, 상기 적어도 일부의 형광체부들은 적색 형광체, 녹색 형광체 및 황색 형광체 중 적어도 하나를 구비할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 제1격벽부와 상기 제2격벽부는 상기 형광체층의 두께 방향과 수직한 방향을 따라 형성되는 폭의 크기가 서로 다르도록 형성된다. 상기 제1격벽부는 상기 제2격벽부보다 상기 폭의 크기가 작도록 이루어질 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 복수의 격벽부들은 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 서로 인접 배치된 한 쌍의 반도체 발광소자를 함께 덮도록 이루어진다.
상기 복수의 반도체 발광소자들은 상기 한 쌍의 반도체 발광소자와 함께 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소를 형성하는 적어도 하나의 반도체 발광소자를 구비하고, 상기 복수의 형광체부들 중 적어도 하나는 상기 적어도 하나의 반도체 발광소자를 덮도록 이루어질 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는, 가장자리에 형성되는 하나 또는 하나 이상의 금속 박막들을 구비하며, 상기 금속 박막들의 사이에는 광투과성 물질이 채워지도록 형성된다.
상기 금속 박막에서 빛이 반사되도록 상기 금속 박막들은 상기 형광체부들의 측면을 덮도록 이루어질 수 있다. 상기 금속 박막과 상기 광투과성 물질의 사이에는 절연막이 형성될 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는, 제1방향을 따라 연장되는 베이스부, 및 상기 베이스부의 단부에서 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 돌출되는 돌출부를 포함한다.
실시 예에 있어서, 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는, 가장자리에 형성되는 하나 또는 하나 이상의 금속 박막들을 구비하며, 상기 베이스부에 형성되는 금속 박막과 상기 돌출부에 형성되는 금속 박막은 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 서로 길이가 다르도록 형성될 수 있다. 상기 돌출부에 형성되는 금속 박막은 상기 기판과의 간격이 상기 베이스부에 형성되는 금속 박막보다 더 크도록 이루어질 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 돌출부는 상기 형광체층의 두께 방향으로 상기 반도체 발광소자의 배선전극과 적어도 일부와 중첩하도록 배치될 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 제1방향 또는 상기 제2방향을 따라 인접하는 격벽부와 분리될 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판에 복수의 반도체 발광 소자들을 결합하는 단계, 및 상기 복수의 반도체 발광소자들을 덮도록 배치되는 형광체층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 형광체층은, 빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들과, 상기 복수의 형광체부들의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들을 구비하며, 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치의 제조방법을 개시한다.
실시 예에 있어서, 상기 형광체층을 형성하는 단계는, 상기 복수의 반도체 발광 소자들에 광투과성 물질을 도포하는 단계, 및 상기 광투과성 물질을 식각하고, 상기 광투과성 물질이 식각된 부분에 형광체를 충전하여 상기 형광체부들을 생성하는 단계를 포함하며, 상기 광투과성 물질은 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나에 대응되는 부분에서 미식각될 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 형광체층을 형성하는 단계는, 상기 광투과성 물질을 식각한 후에, 상기 광투과성 물질에 금속 박막을 증착하는 단계, 및 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나에 대응되는 부분에 상기 반도체 발광소자에서 발광된 빛의 투과하도록, 상기 금속 박막의 적어도 일부를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는, 베이스부, 및 상기 금속 박막의 증착 방향을 따라 상기 광투과성 재질의 적어도 일부가 가려지도록 상기 베이스부의 단부에서 돌출되는 돌출부를 포함한다.
본 발명에 따른 디스플레이 장치에서는, 복수의 격벽부들 중 적어도 하나가 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩됨에 따라, 형광체가 충전되는 공간이 보다 확보될 수 있다.
또한, 본 발명은 금속 박막내에 광투과성 재질을 충전함에 따라, 플렉서블 특성을 가지는 디스플레이에 적합한 격벽부를 구현할 수 있다. 이를 통하여, 광투과성 재질에 의하여 유연한 재질이 격벽부에 이용될 수 있으며, 나아가, 반도체 발광소자에서 출력되는 빛이 형광체층의 두께방향으로 투과될 수 있다. 따라서, 블루의 빛을 출력하는 경우에 블루 반도체 발광소자에는 격벽부가 중첩되는 구조가 가능하게 된다.
또한, 본 발명은 금속 박막의 코팅시에 증착각도를 이용하여 증착하며, 격벽부가 돌출부를 구비함에 따라, 금속 박막과 반도체 발광소자의 배선라인의 사이에서 이격이 확보될 수 있다.
도 1은 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 일 실시예를 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1의 A부분의 부분 확대도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 2의 라인 B-B 및 C-C를 따라 취한 단면도들이다.
도 4는 도 3의 플립 칩 타입 반도체 발광 소자를 나타내는 개념도이다.
도 5a 내지 도 5c는 플립 칩 타입 반도체 발광 소자와 관련하여 컬러를 구현하는 여러가지 형태를 나타내는 개념도들이다.
도 6은 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.
도 7은 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 다른 일 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7의 라인 D-D를 따라 취한 단면도이다.
도 9는 도 8의 수직형 반도체 발광소자를 나타내는 개념도이다.
도 10은 새로운 구조의 반도체 발광소자가 적용된 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위한, 도 1의 A부분의 확대도이다.
도 11a는 도 10의 라인 E-E를 따라 취한 단면도이다.
도 11b는 도 11의 라인 F-F를 따라 취한 단면도이다.
도 12는 도 11a의 플립 칩 타입 반도체 발광 소자를 나타내는 개념도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시 예를 설명하기 위한, 도 1의 A부분의 확대도이다.
도 14는 도 13의 G-G를 따라 취한 단면도이며, 도 15는 도 13의 H-H를 따라 취한 단면도이다.
도 16a는 도 13의 평면도이고, 도 16b, 도 16c, 도 16d 및 도 16e는 각각 도 16a의 I-I, Ⅱ-Ⅱ, Ⅲ-Ⅲ, Ⅳ-Ⅳ를 따라 취한 단면도이다.
도 17은 도 16의 격벽부들의 변형예들을 나타내는 평면도이다.
도 18a 및 도 18b는 각각 도 15의 격벽부들의 변형예들을 나타내는 단면도들이다.
도 19a, 도 19b, 도 19c, 도 20a, 도 20b, 도 20c, 20d 및 도 20e는 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.
도 21은 도 20b에서 금속박막을 증착하는 개념을 나타내는 개념도이다.
도 22a, 도 22b, 도 22c, 및 도 22d는 금속 박막을 생성하는 제조방법의 다른 실시예를 나타내는 개념도이다.
도 23a 및 도 23b는 본 발명이 적용된 플립 칩 타입 반도체 발광 소자와 관련하여 컬러를 구현하는 여러가지 형태를 나타내는 개념도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
또한, 층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
본 명세서에서 설명되는 디스플레이 장치에는 휴대폰, 스마트 폰(smart phone), 노트북 컴퓨터(laptop computer), 디지털방송용 단말기, PDA(personal digital assistants), PMP(portable multimedia player), 네비게이션, 슬레이트 피씨(Slate PC), Tablet PC, Ultra Book, 디지털 TV, 데스크탑 컴퓨터 등이 포함될 수 있다. 그러나, 본 명세서에 기재된 실시 예에 따른 구성은 추후 개발되는 새로운 제품형태이라도, 디스플레이가 가능한 장치에는 적용될 수도 있음을 본 기술분야의 당업자라면 쉽게 알 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 일 실시예를 나타내는 개념도이다.
도시에 의하면, 디스플레이 장치(100)의 제어부에서 처리되는 정보는 플렉서블 디스플레이(flexible display)를 이용하여 표시될 수 있다.
플렉서블 디스플레이는 외력에 의하여 휘어질 수 있는, 구부러질 수 있는, 비틀어질 수 있는, 접힐 수 있는, 말려질 수 있는 디스플레이를 포함한다. 예를 들어, 플렉서블 디스플레이는 기존의 평판 디스플레이의 디스플레이 특성을 유지하면서, 종이와 같이 휘어지거나, 구부리거나, 접을 수 있거나 말 수 있는 얇고 유연한 기판 위에 제작되는 디스플레이가 될 수 있다.
상기 플렉서블 디스플레이가 휘어지지 않는 상태(예를 들어, 무한대의 곡률반경을 가지는 상태, 이하 제1상태라 한다)에서는 상기 플렉서블 디스플레이의 디스플레이 영역이 평면이 된다. 상기 제1상태에서 외력에 의하여 휘어진 상태(예를 들어, 유한의 곡률반경을 가지는 상태, 이하, 제2상태라 한다)에서는 상기 디스플레이 영역이 곡면이 될 수 있다. 도시와 같이, 상기 제2상태에서 표시되는 정보는 곡면상에 출력되는 시각 정보가 될 수 있다. 이러한 시각 정보는 매트릭스 형태로 배치되는 단위 화소(sub-pixel)의 발광이 독자적으로 제어됨에 의하여 구현된다. 상기 단위 화소는 하나의 색을 구현하기 위한 최소 단위를 의미한다.
상기 플렉서블 디스플레이의 단위 화소는 반도체 발광 소자에 의하여 구현될 수 있다. 본 발명에서는 전류를 빛으로 변환시키는 반도체 발광 소자의 일 종류로서 발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)를 예시한다. 상기 발광 다이오드는 작은 크기로 형성되며, 이를 통하여 상기 제2상태에서도 단위 화소의 역할을 할 수 있게 된다.
이하, 상기 발광 다이오드를 이용하여 구현된 플렉서블 디스플레이에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 2는 도 1의 A부분의 부분 확대도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 2의 라인 B-B 및 C-C를 따라 취한 단면도들이며, 도 4는 도 3a의 플립 칩 타입 반도체 발광 소자를 나타내는 개념도이고, 도 5a 내지 도 5c는 플립 칩 타입 반도체 발광 소자와 관련하여 컬러를 구현하는 여러가지 형태를 나타내는 개념도들이다.
도 2, 도 3a 및 도 3b의 도시에 의하면, 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치(100)로서 패시브 매트릭스(Passive Matrix, PM) 방식의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치(100)를 예시한다. 다만, 이하 설명되는 예시는 액티브 매트릭스(Active Matrix, AM) 방식의 반도체 발광 소자에도 적용 가능하다.
상기 디스플레이 장치(100)는 기판(110), 제1전극(120), 전도성 접착층(130), 제2전극(140) 및 복수의 반도체 발광 소자(150)를 포함한다.
기판(110)은 플렉서블 기판일 수 있다. 예를 들어, 플렉서블(flexible) 디스플레이 장치를 구현하기 위하여 기판(110)은 유리나 폴리이미드(PI, Polyimide)를 포함할 수 있다. 이외에도 절연성이 있고, 유연성 있는 재질이면, 예를 들어 PEN(Polyethylene Naphthalate), PET(Polyethylene Terephthalate) 등 어느 것이라도 사용될 수 있다. 또한, 상기 기판(110)은 투명한 재질 또는 불투명한 재질 어느 것이나 될 수 있다.
상기 기판(110)은 제1전극(120)이 배치되는 배선기판이 될 수 있으며, 따라서 상기 제1전극(120)은 기판(110) 상에 위치할 수 있다.
도시에 의하면, 절연층(160)은 제1전극(120)이 위치한 기판(110) 상에 배치될 수 있으며, 상기 절연층(160)에는 보조전극(170)이 위치할 수 있다. 이 경우에, 상기 기판(110)에 절연층(160)이 적층된 상태가 하나의 배선기판이 될 수 있다. 보다 구체적으로, 절연층(160)은 폴리이미드(PI, Polyimide), PET, PEN 등과 같이 절연성이 있고, 유연성 있는 재질로, 상기 기판(110)과 일체로 이루어져 하나의 기판을 형성할 수 있다.
보조전극(170)은 제1전극(120)과 반도체 발광 소자(150)를 전기적으로 연결하는 전극으로서, 절연층(160) 상에 위치하고, 제1전극(120)의 위치에 대응하여 배치된다. 예를 들어, 보조전극(170)은 닷(dot) 형태이며, 절연층(160)을 관통하는 전극홀(171)에 의하여 제1전극(120)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 전극홀(171)은 비아 홀에 도전물질이 채워짐에 의하여 형성될 수 있다.
본 도면들을 참조하면, 절연층(160)의 일면에는 전도성 접착층(130)이 형성되나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 절연층(160)과 전도성 접착층(130)의 사이에 특정 기능을 수행하는 레이어가 형성되거나, 절연층(160)이 없이 전도성 접착층(130)이 기판(110)상에 배치되는 구조도 가능하다. 전도성 접착층(130)이 기판(110)상에 배치되는 구조에서는 전도성 접착층(130)이 절연층의 역할을 할 수 있다.
상기 전도성 접착층(130)은 접착성과 전도성을 가지는 층이 될 수 있으며, 이를 위하여 상기 전도성 접착층(130)에서는 전도성을 가지는 물질과 접착성을 가지는 물질이 혼합될 수 있다. 또한 전도성 접착층(130)은 연성을 가지며, 이를 통하여 디스플레이 장치에서 플렉서블 기능을 가능하게 한다.
이러한 예로서, 전도성 접착층(130)은 이방성 전도성 필름(anistropy conductive film, ACF), 이방성 전도 페이스트(paste), 전도성 입자를 함유한 솔루션(solution) 등이 될 수 있다. 상기 전도성 접착층(130)은 두께를 관통하는 Z 방향으로는 전기적 상호 연결을 허용하나, 수평적인 X-Y 방향으로는 전기절연성을 가지는 레이어로서 구성될 수 있다. 따라서 상기 전도성 접착층(130)은 Z축 전도층으로 명명될 수 있다(다만, 이하 '전도성 접착층'이라 한다).
상기 이방성 전도성 필름은 이방성 전도매질(anisotropic conductive medium)이 절연성 베이스부재에 혼합된 형태의 필름으로서, 열 및 압력이 가해지면 특정 부분만 이방성 전도매질에 의하여 전도성을 가지게 된다. 이하, 상기 이방성 전도성 필름에는 열 및 압력이 가해지는 것으로 설명하나, 상기 이방성 전도성 필름이 부분적으로 전도성을 가지기 위하여 다른 방법도 가능하다. 이러한 방법은, 예를 들어 상기 열 및 압력 중 어느 하나만이 가해지거나 UV 경화 등이 될 수 있다.
또한, 상기 이방성 전도매질은 예를 들어, 도전볼이나 전도성 입자가 될 수 있다. 도시에 의하면, 본 예시에서 상기 이방성 전도성 필름은 도전볼이 절연성 베이스 부재에 혼합된 형태의 필름으로서, 열 및 압력이 가해지면 특정부분만 도전볼에 의하여 전도성을 가지게 된다. 이방성 전도성 필름은 전도성 물질의 코어가 폴리머 재질의 절연막에 의하여 피복된 복수의 입자가 함유된 상태가 될 수 있으며, 이 경우에 열 및 압력이 가해진 부분이 절연막이 파괴되면서 코어에 의하여 도전성을 가지게 된다. 이때, 코어의 형태는 변형되어 필름의 두께방향으로 서로 접촉하는 층을 이룰 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 열 및 압력은 이방성 전도성 필름에 전체적으로 가해지며, 이방성 전도성 필름에 의하여 접착되는 상대물의 높이차에 의하여 Z축 방향의 전기적 연결이 부분적으로 형성된다.
다른 예로서, 이방성 전도성 필름은 절연 코어에 전도성 물질이 피복된 복수의 입자가 함유된 상태가 될 수 있다. 이 경우에는 열 및 압력이 가해진 부분이 전도성 물질이 변형되어(눌러 붙어서) 필름의 두께방향으로 전도성을 가지게 된다. 또 다른 예로서, 전도성 물질이 Z축 방향으로 절연성 베이스 부재를 관통하여 필름의 두께방향으로 전도성을 가지는 형태도 가능하다. 이 경우에, 전도성 물질은 뽀족한 단부를 가질 수 있다.
도시에 의하면, 상기 이방성 전도성 필름은 도전볼이 절연성 베이스 부재의 일면에 삽입된 형태로 구성되는 고정배열 이방성 전도성 필름(fixed array ACF)가 될 수 있다. 보다 구체적으로, 절연성 베이스부재는 접착성을 가지는 물질로 형성되며, 도전볼은 상기 절연성 베이스부재의 바닥부분에 집중적으로 배치되며, 상기 베이스부재에서 열 및 압력이 가해지면 상기 도전볼과 함께 변형됨에 따라 수직방향으로 전도성을 가지게 된다.
다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 이방성 전도성 필름은 절연성 베이스부재에 도전볼이 랜덤하게 혼입된 형태나, 복수의 층으로 구성되며 어느 한 층에 도전볼이 배치되는 형태(double-ACF) 등이 모두 가능하다.
이방성 전도 페이스트는 페이스트와 도전볼의 결합형태로서, 절연성 및 접착성의 베이스 물질에 도전볼이 혼합된 페이스트가 될 수 있다. 또한, 전도성 입자를 함유한 솔루션은 전도성 particle 혹은 nano 입자를 함유한 형태의 솔루션이 될 수 있다.
다시 도면을 참조하면, 제2전극(140)은 보조전극(170)과 이격하여 절연층(160)에 위치한다. 즉, 상기 전도성 접착층(130)은 보조전극(170) 및 제2전극(140)이 위치하는 절연층(160) 상에 배치된다.
절연층(160)에 보조전극(170)과 제2전극(140)이 위치된 상태에서 전도성 접착층(130)을 형성한 후에, 반도체 발광 소자(150)를 열 및 압력을 가하여 플립 칩 형태로 접속시키면, 상기 반도체 발광 소자(150)는 제1전극(120) 및 제2전극(140)과 전기적으로 연결된다.
도 4를 참조하면, 상기 반도체 발광 소자는 플립 칩 타입(flip chip type)의 발광 소자가 될 수 있다.
예를 들어, 상기 반도체 발광 소자는 p형 전극(156), p형 전극(156)이 형성되는 p형 반도체층(155), p형 반도체층(155) 상에 형성된 활성층(154), 활성층(154) 상에 형성된 n형 반도체층(153) 및 n형 반도체층(153) 상에서 p형 전극(156)과 수평방향으로 이격 배치되는 n형 전극(152)을 포함한다. 이 경우, p형 전극(156)은 보조전극(170)과 전도성 접착층(130)에 의하여 전기적으로 연결될 수 있고, n형 전극(152)은 제2전극(140)과 전기적으로 연결될 수 있다.
다시 도 2, 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 보조전극(170)은 일방향으로 길게 형성되어, 하나의 보조전극이 복수의 반도체 발광 소자(150)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 보조전극을 중심으로 좌우의 반도체 발광 소자들의 p형 전극들이 하나의 보조전극에 전기적으로 연결될 수 있다.
보다 구체적으로, 열 및 압력에 의하여 전도성 접착층(130)의 내부로 반도체 발광 소자(150)가 압입되며, 이를 통하여 반도체 발광 소자(150)의 p형 전극(156)과 보조전극(170) 사이의 부분과, 반도체 발광 소자(150)의 n형 전극(152)과 제2전극(140) 사이의 부분에서만 전도성을 가지게 되고, 나머지 부분에서는 반도체 발광 소자의 압입이 없어 전도성을 가지지 않게 된다. 이와 같이, 전도성 접착층(130)은 반도체 발광 소자(150)와 보조전극(170) 사이 및 반도체 발광 소자(150)와 제2전극(140) 사이를 상호 결합시켜줄 뿐만 아니라 전기적 연결까지 형성시킨다.
또한, 복수의 반도체 발광 소자(150)는 발광 소자 어레이(array)를 구성하며, 발광 소자 어레이에는 형광체층(180)이 형성된다.
발광 소자 어레이는 자체 휘도값이 상이한 복수의 반도체 발광 소자들을 포함할 수 있다. 각각의 반도체 발광 소자(150)는 단위 화소를 구성하며, 제1전극(120)에 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 제1전극(120)은 복수 개일 수 있고, 반도체 발광 소자들은 예컨대 수 열로 배치되며, 각 열의 반도체 발광 소자들은 상기 복수 개의 제1전극 중 어느 하나에 전기적으로 연결될 수 있다.
또한, 반도체 발광 소자들이 플립 칩 형태로 접속되므로, 투명 유전체 기판에 성장시킨 반도체 발광 소자들을 이용할 수 있다. 또한, 상기 반도체 발광 소자들은 예컨대 질화물 반도체 발광 소자일 수 있다. 반도체 발광 소자(150)는 휘도가 우수하므로, 작은 크기로도 개별 단위 픽셀을 구성할 수 있다.
도시에 의하면, 반도체 발광 소자(150)의 사이에 격벽(190)이 형성될 수 있다. 이 경우, 격벽(190)은 개별 단위 화소를 서로 분리하는 역할을 할 수 있으며, 전도성 접착층(130)과 일체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 이방성 전도성 필름에 반도체 발광 소자(150)가 삽입됨에 의하여 이방성 전도성 필름의 베이스부재가 상기 격벽을 형성할 수 있다.
또한, 상기 이방성 전도성 필름의 베이스부재가 블랙이면, 별도의 블랙 절연체가 없어도 상기 격벽(190)이 반사 특성을 가지는 동시에 대비비(contrast)가 증가될 수 있다.
다른 예로서, 상기 격벽(190)으로 반사성 격벽이 별도로 구비될 수 있다. 이 경우에, 상기 격벽(190)은 디스플레이 장치의 목적에 따라 블랙(Black) 또는 화이트(White) 절연체를 포함할 수 있다. 화이트 절연체의 격벽을 이용할 경우 반사성을 높이는 효과가 있을 수 있고, 블랙 절연체의 격벽을 이용할 경우, 반사 특성을 가지는 동시에 대비비(contrast)를 증가시킬 수 있다.
형광체층(180)은 반도체 발광 소자(150)의 외면에 위치할 수 있다. 예를 들어, 반도체 발광 소자(150)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자이고, 형광체층(180)은 상기 청색(B) 광을 단위 화소의 색상으로 변환시키는 기능을 수행한다. 상기 형광체층(180)은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체(181) 또는 녹색 형광체(182)가 될 수 있다.
즉, 적색의 단위 화소를 이루는 위치에서, 청색 반도체 발광 소자(151) 상에는 청색 광을 적색(R) 광으로 변환시킬 수 있는 적색 형광체(181)가 적층될 수 있고, 녹색의 단위 화소를 이루는 위치에서는, 청색 반도체 발광 소자(151) 상에 청색 광을 녹색(G) 광으로 변환시킬 수 있는 녹색 형광체(182)가 적층될 수 있다. 또한, 청색의 단위 화소를 이루는 부분에는 청색 반도체 발광 소자(151)만 단독으로 이용될 수 있다. 이 경우, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소들이 하나의 화소를 이룰 수 있다. 보다 구체적으로, 제1전극(120)의 각 라인을 따라 하나의 색상의 형광체가 적층될 수 있다. 따라서, 제1전극(120)에서 하나의 라인은 하나의 색상을 제어하는 전극이 될 수 있다. 즉, 제2전극(140)을 따라서, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)이 차례로 배치될 수 있으며, 이를 통하여 단위 화소가 구현될 수 있다.
다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 형광체 대신에 반도체 발광 소자(150)와 퀀텀닷(QD)이 조합되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소들을 구현할 수 있다.
또한, 대비비(contrast) 향상을 위하여 각각의 형광체층들의 사이에는 블랙 매트릭스(191)가 배치될 수 있다. 즉, 이러한 블랙 매트릭스(191)는 명암의 대조를 향상시킬 수 있다.
다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 청색, 적색, 녹색을 구현하기 위한 다른 구조가 적용될 수 있다.
도 5a를 참조하면, 각각의 반도체 발광 소자(150)는 질화 갈륨(GaN)을 주로 하여, 인듐(In) 및/또는 알루미늄(Al)이 함께 첨가되어 청색을 비롯한 다양한 빛을 발광하는 고출력의 발광 소자로 구현될 수 있다.
이 경우, 반도체 발광 소자(150)는 각각 단위 화소(sub-pixel)를 이루기 위하여 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자일 수 있다. 예컨대, 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자(R, G, B)가 교대로 배치되고, 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자에 의하여 적색(Red), 녹색(Green) 및 청색(Blue)의 단위 화소들이 하나의 화소(pixel)를 이루며, 이를 통하여 풀 칼라 디스플레이가 구현될 수 있다.
도 5b를 참조하면, 반도체 발광 소자는 황색 형광체층이 개별 소자마다 구비된 백색 발광 소자(W)를 구비할 수 있다. 이 경우에는, 단위 화소를 이루기 위하여, 백색 발광 소자(W) 상에 적색 형광체층(181), 녹색 형광체층(182), 및 청색 형광체층(183)이 구비될 수 있다. 또한, 이러한 백색 발광 소자(W) 상에 적색, 녹색, 및 청색이 반복되는 컬러 필터를 이용하여 단위 화소를 이룰 수 있다.
도 5c를 참조하면, 자외선 발광 소자(UV) 상에 적색 형광체층(181), 녹색 형광체층(182), 및 청색 형광체층(183)이 구비되는 구조도 가능하다. 이와 같이, 반도체 발광 소자는 가시광선뿐만 아니라 자외선(UV)까지 전영역에 사용가능하며, 자외선(UV)이 상부 형광체의 여기원(excitation source)으로 사용가능한 반도체 발광 소자의 형태로 확장될 수 있다.
본 예시를 다시 살펴보면, 반도체 발광 소자(150)는 전도성 접착층(130) 상에 위치되어, 디스플레이 장치에서 단위 화소를 구성한다. 반도체 발광 소자(150)는 휘도가 우수하므로, 작은 크기로도 개별 단위 화소를 구성할 수 있다. 이와 같은 개별 반도체 발광 소자(150)의 크기는 한 변의 길이가 80㎛ 이하일 수 있고, 직사각형 또는 정사각형 소자일 수 있다. 직사각형인 경우에는 20X80㎛ 이하의 크기가 될 수 있다.
또한, 한 변의 길이가 10㎛인 정사각형의 반도체 발광 소자(150)를 단위 화소로 이용하여도 디스플레이 장치를 이루기 위한 충분한 밝기가 나타난다. 따라서, 단위 화소의 크기가 한 변이 600㎛, 나머지 한변이 300㎛인 직사각형 화소인 경우를 예로 들면, 반도체 발광 소자의 거리가 상대적으로 충분히 크게 된다. 따라서, 이러한 경우, HD화질을 가지는 플렉서블 디스플레이 장치를 구현할 수 있게 된다.
상기에서 설명된 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치는 새로운 형태의 제조방법에 의하여 제조될 수 있다. 이하, 도 6을 참조하여 상기 제조방법에 대하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.
본 도면을 참조하면, 먼저, 보조전극(170) 및 제2전극(140)이 위치된 절연층(160) 상에 전도성 접착층(130)을 형성한다. 제1기판(110)에 절연층(160)이 적층되어 하나의 기판(또는 배선기판)을 형성하며, 상기 배선기판에는 제1전극(120), 보조전극(170) 및 제2전극(140)이 배치된다. 이 경우에, 제1전극(120)과 제2전극(140)은 상호 직교 방향으로 배치될 수 있다. 또한, 플렉서블(flexible) 디스플레이 장치를 구현하기 위하여 제1기판(110) 및 절연층(160)은 각각 유리 또는 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다.
상기 전도성 접착층(130)은 예를 들어, 이방성 전도성 필름에 의하여 구현될 수 있으며, 이를 위하여 절연층(160)이 위치된 기판에 이방성 전도성 필름이 도포될 수 있다.
다음에, 보조전극(170) 및 제2전극(140)들의 위치에 대응하고, 개별 화소를 구성하는 복수의 반도체 발광 소자(150)가 위치된 제2기판(112)을 상기 반도체 발광 소자(150)가 보조전극(170) 및 제2전극(140)와 대향하도록 배치한다.
이 경우에, 제2기판(112)은 반도체 발광 소자(150)를 성장시키는 성장 기판으로서, 사파이어(spire) 기판 또는 실리콘(silicon) 기판이 될 수 있다.
상기 반도체 발광 소자는 웨이퍼(wafer) 단위로 형성될 때, 디스플레이 장치를 이룰 수 있는 간격 및 크기를 가지도록 함으로써, 디스플레이 장치에 효과적으로 이용될 수 있다.
그 다음에, 배선기판과 제2기판(112)을 열압착한다. 예를 들어, 배선기판과 제2기판(112)은 ACF press head 를 적용하여 열압착될 수 있다. 상기 열압착에 의하여 배선기판과 제2기판(112)은 본딩(bonding)된다. 열압착에 의하여 전도성을 갖는 이방성 전도성 필름의 특성에 의해 반도체 발광 소자(150)와 보조전극(170) 및 제2전극(140)의 사이의 부분만 전도성을 가지게 되며, 이를 통하여 전극들과 반도체 발광소자(150)는 전기적으로 연결될 수 있다. 이 때에, 반도체 발광 소자(150)가 상기 이방성 전도성 필름의 내부로 삽입되며, 이를 통하여 반도체 발광 소자(150) 사이에 격벽이 형성될 수 있다.
그 다음에, 상기 제2기판(112)을 제거한다. 예를 들어, 제2기판(112)은 레이저 리프트 오프법(Laser Lift-off, LLO) 또는 화학적 리프트 오프법(Chemical Lift-off, CLO)을 이용하여 제거할 수 있다.
마지막으로, 상기 제2기판(112)을 제거하여 반도체 발광 소자들(150)을 외부로 노출시킨다. 필요에 따라, 반도체 발광 소자(150)가 결합된 배선기판 상을 실리콘 옥사이드(SiOx) 등을 코팅하여 투명 절연층(미도시)을 형성할 수 있다.
또한, 상기 반도체 발광 소자(150)의 일면에 형광체층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 반도체 발광 소자(150)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자이고, 이러한 청색(B) 광을 단위 화소의 색상으로 변환시키기 위한 적색 형광체 또는 녹색 형광체가 상기 청색 반도체 발광 소자의 일면에 레이어를 형성할 수 있다.
이상에서 설명된 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법이나 구조는 여러가지 형태로 변형될 수 있다. 그 예로서, 상기에서 설명된 디스플레이 장치에는 수직형 반도체 발광 소자도 적용될 수 있다. 이하, 도 5 및 도 6을 참조하여 수직형 구조에 대하여 설명한다.
또한, 이하 설명되는 변형예 또는 실시예에서는 앞선 예와 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일, 유사한 참조번호가 부여되고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음된다.
도 7은 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 다른 일 실시예를 나타내는 사시도이고, 도 8은 도 7의 라인 D-D를 따라 취한 단면도이며, 도 9은 도 8의 수직형 반도체 발광소자를 나타내는 개념도이다.
본 도면들을 참조하면, 디스플레이 장치는 패시브 매트릭스(Passive Matrix, PM) 방식의 수직형 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치가 될 수 있다.
상기 디스플레이 장치는 기판(210), 제1전극(220), 전도성 접착층(230), 제2전극(240) 및 복수의 반도체 발광 소자(250)를 포함한다.
기판(210)은 제1전극(220)이 배치되는 배선기판으로서, 플렉서블(flexible) 디스플레이 장치를 구현하기 위하여 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다. 이외에도 절연성이 있고, 유연성 있는 재질이면 어느 것이라도 사용 가능할 것이다.
제1전극(220)은 기판(210) 상에 위치하며, 일 방향으로 긴 바(bar) 형태의 전극으로 형성될 수 있다. 상기 제1전극(220)은 데이터 전극의 역할을 하도록 이루어질 수 있다.
전도성 접착층(230)은 제1전극(220)이 위치하는 기판(210)상에 형성된다. 플립 칩 타입(flip chip type)의 발광 소자가 적용된 디스플레이 장치와 같이, 전도성 접착층(230)은 이방성 전도성 필름(anistropy conductive film, ACF), 이방성 전도 페이스트(paste), 전도성 입자를 함유한 솔루션(solution) 등이 될 수 있다. 다만, 본 실시예에서도 이방성 전도성 필름에 의하여 전도성 접착층(230)이 구현되는 경우를 예시한다.
기판(210) 상에 제1전극(220)이 위치하는 상태에서 이방성 전도성 필름을 위치시킨 후에, 반도체 발광 소자(250)를 열 및 압력을 가하여 접속시키면, 상기 반도체 발광 소자(250)가 제1전극(220)과 전기적으로 연결된다. 이 때, 상기 반도체 발광 소자(250)는 제1전극(220) 상에 위치되도록 배치되는 것이 바람직하다.
상기 전기적 연결은 전술한 바와 같이, 이방성 전도성 필름에서 열 및 압력이 가해지면 부분적으로 두께방향으로 전도성을 가지기 때문에 생성된다. 따라서, 이방성 전도성 필름에서는 두께방향으로 전도성을 가지는 부분(231)과 전도성을 가지지 않는 부분(232)으로 구획된다.
또한, 이방성 전도성 필름은 접착 성분을 함유하기 때문에, 전도성 접착층(230)은 반도체 발광 소자(250)와 제1전극(220) 사이에서 전기적 연결뿐만 아니라 기계적 결합까지 구현한다.
이와 같이, 반도체 발광 소자(250)는 전도성 접착층(230) 상에 위치되며, 이를 통하여 디스플레이 장치에서 개별 화소를 구성한다. 반도체 발광 소자(250)는 휘도가 우수하므로, 작은 크기로도 개별 단위 픽셀을 구성할 수 있다. 이와 같은 개별 반도체 발광 소자(250)의 크기는 한 변의 길이가 80㎛ 이하일 수 있고, 직사각형 또는 정사각형 소자일 수 있다. 직사각형인 경우에는 20X80㎛ 이하의 크기가 될 수 있다.
상기 반도체 발광 소자(250)는 수직형 구조가 될 수 있다.
수직형 반도체 발광 소자들의 사이에는, 제1전극(220)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 배치되고, 수직형 반도체 발광 소자(250)와 전기적으로 연결된 복수의 제2전극(240)이 위치한다.
도 9를 참조하면, 이러한 수직형 반도체 발광 소자는 p형 전극(256), p형 전극(256) 상에 형성된 p형 반도체층(255), p형 반도체층(255) 상에 형성된 활성층(254), 활성층(254)상에 형성된 n형 반도체층(253) 및 n형 반도체층(253) 상에 형성된 n형 전극(252)을 포함한다. 이 경우, 하부에 위치한 p형 전극(256)은 제1전극(220)과 전도성 접착층(230)에 의하여 전기적으로 연결될 수 있고, 상부에 위치한 n형 전극(252)은 후술하는 제2전극(240)과 전기적으로 연결될 수 있다. 이러한 수직형 반도체 발광 소자(250)는 전극을 상/하로 배치할 수 있으므로, 칩 사이즈를 줄일 수 있다는 큰 강점을 가지고 있다.
다시 도 8을 참조하면, 상기 반도체 발광 소자(250)의 일면에는 형광체층(280)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 반도체 발광 소자(250)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자(251)이고, 이러한 청색(B) 광을 단위 화소의 색상으로 변환시키기 위한 형광체층(280)이 구비될 수 있다. 이 경우에, 형광체층(280)은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체(281) 및 녹색 형광체(282) 일 수 있다.
즉, 적색의 단위 화소를 이루는 위치에서, 청색 반도체 발광 소자(251) 상에는 청색 광을 적색(R) 광으로 변환시킬 수 있는 적색 형광체(281)가 적층될 수 있고, 녹색의 단위 화소를 이루는 위치에서는, 청색 반도체 발광 소자(251) 상에 청색 광을 녹색(G) 광으로 변환시킬 수 있는 녹색 형광체(282)가 적층될 수 있다. 또한, 청색의 단위 화소를 이루는 부분에는 청색 반도체 발광 소자(251)만 단독으로 이용될 수 있다. 이 경우, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소들이 하나의 화소를 이룰 수 있다.
다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 플립 칩 타입(flip chip type)의 발광 소자가 적용된 디스플레이 장치에서 전술한 바와 같이, 청색, 적색, 녹색을 구현하기 위한 다른 구조가 적용될 수 있다.
다시 본 실시예를 살펴보면, 제2전극(240)은 반도체 발광 소자들(250) 사이에 위치하고, 반도체 발광 소자들(250)과 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 반도체 발광 소자들(250)은 복수의 열로 배치되고, 제2전극(240)은 반도체 발광 소자들(250)의 열들 사이에 위치할 수 있다.
개별 화소를 이루는 반도체 발광 소자(250) 사이의 거리가 충분히 크기 때문에 제2전극(240)은 반도체 발광 소자들(250) 사이에 위치될 수 있다.
제2전극(240)은 일 방향으로 긴 바(bar) 형태의 전극으로 형성될 수 있으며, 제1전극과 상호 수직한 방향으로 배치될 수 있다.
또한, 제2전극(240)과 반도체 발광 소자(250)는 제2전극(240)에서 돌출된 연결 전극에 의해 전기적으로 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 연결 전극이 반도체 발광 소자(250)의 n형 전극이 될 수 있다. 예를 들어, n형 전극은 오믹(ohmic) 접촉을 위한 오믹 전극으로 형성되며, 상기 제2전극은 인쇄 또는 증착에 의하여 오믹 전극의 적어도 일부를 덮게 된다. 이를 통하여 제2전극(240)과 반도체 발광 소자(250)의 n형 전극이 전기적으로 연결될 수 있다.
도시에 의하면, 상기 제2전극(240)은 전도성 접착층(230) 상에 위치될 수 있다. 경우에 따라, 반도체 발광 소자(250)가 형성된 기판(210) 상에 실리콘 옥사이드(SiOx) 등을 포함하는 투명 절연층(미도시)이 형성될 수 있다. 투명 절연층이 형성된 후에 제2전극(240)을 위치시킬 경우, 상기 제2전극(240)은 투명 절연층 상에 위치하게 된다. 또한, 제2전극(240)은 전도성 접착층(230) 또는 투명 절연층에 이격되어 형성될 수도 있다.
만약 반도체 발광 소자(250) 상에 제2전극(240)을 위치시키기 위하여는 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명 전극을 사용한다면, ITO 물질은 n형 반도체층과는 접착성이 좋지 않은 문제가 있다. 따라서, 본 발명은 반도체 발광 소자(250) 사이에 제2전극(240)을 위치시킴으로써, ITO와 같은 투명 전극을 사용하지 않아도 되는 이점이 있다. 따라서, 투명한 재료 선택에 구속되지 않고, n형 반도체층과 접착성이 좋은 전도성 물질을 수평 전극으로 사용하여 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.
도시에 의하면, 반도체 발광 소자(250) 사이에는 격벽(290)이 위치할 수 있다. 즉, 개별 화소를 이루는 반도체 발광 소자(250)를 격리시키기 위하여 수직형 반도체 발광 소자(250) 사이에는 격벽(290)이 배치될 수 있다. 이 경우, 격벽(290)은 개별 단위 화소를 서로 분리하는 역할을 할 수 있으며, 상기 전도성 접착층(230)과 일체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 이방성 전도성 필름에 반도체 발광 소자(250)가 삽입됨에 의하여 이방성 전도성 필름의 베이스부재가 상기 격벽을 형성할 수 있다.
또한, 상기 이방성 전도성 필름의 베이스 부재가 블랙이면, 별도의 블랙 절연체가 없어도 상기 격벽(290)이 반사 특성을 가지는 동시에 대비비(contrast)가 증가될 수 있다.
다른 예로서, 상기 격벽(190)으로서, 반사성 격벽이 별도로 구비될 수 있다. 격벽(290)은 디스플레이 장치의 목적에 따라 블랙(Black) 또는 화이트(White) 절연체를 포함할 수 있다.
만일 제2전극(240)이 반도체 발광 소자(250) 사이의 전도성 접착층(230) 상에 바로 위치된 경우, 격벽(290)은 수직형 반도체 발광 소자(250) 및 제2전극(240)의 사이사이에 위치될 수 있다. 따라서, 반도체 발광 소자(250)를 이용하여 작은 크기로도 개별 단위 픽셀을 구성할 수 있고, 반도체 발광 소자(250)의 거리가 상대적으로 충분히 크게 되어 제2전극(240)을 반도체 발광 소자(250) 사이에 위치시킬 수 있고, HD 화질을 가지는 플렉서블 디스플레이 장치를 구현할 수 있는 효과가 있게 된다.
또한, 도시에 의하면, 대비비(contrast) 향상을 위하여 각각의 형광체 사이에는 블랙 매트릭스(291)가 배치될 수 있다. 즉, 이러한 블랙 매트릭스(291)는 명암의 대조를 향상시킬 수 있다.
상기 설명과 같이, 반도체 발광 소자(250)는 전도성 접착층(230) 상에 위치되며, 이를 통하여 디스플레이 장치에서 개별 화소를 구성한다. 반도체 발광 소자(250)는 휘도가 우수하므로, 작은 크기로도 개별 단위 픽셀을 구성할 수 있다. 따라서, 반도체 발광 소자에 의하여 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소들이 하나의 화소를 이루는 풀 칼라 디스플레이가 구현될 수 있다.
상기에서 설명된 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치에는 플립 칩 타입이 적용된 경우에는 동일평면상에 제1 및 제2전극이 배치되므로 고정세(파인 피치)의 구현이 어려운 문제가 있다. 이하, 이러한 문제를 해결할 수 있는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플립 칩 타입의 발광소자가 적용된 디스플레이 장치에 대하여 설명한다.
도 10은 새로운 구조의 반도체 발광소자가 적용된 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위한, 도 1의 A부분의 확대도이고, 도 11a는 도 10의 라인 E-E를 따라 취한 단면도이며, 도 11b는 도 11의 라인 F-F를 따라 취한 단면도이고, 도 12는 도 11a의 플립 칩 타입 반도체 발광 소자를 나타내는 개념도이다.
도 10, 도 11a 및 도 11b의 도시에 의하면, 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치(1000)로서 패시브 매트릭스(Passive Matrix, PM) 방식의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치(1000)를 예시한다. 다만, 이하 설명되는 예시는 액티브 매트릭스(Active Matrix, AM) 방식의 반도체 발광 소자에도 적용 가능하다.
디스플레이 장치(1000)는 기판(1010), 제1전극(1020), 전도성 접착층(1030), 제2전극(1040) 및 복수의 반도체 발광 소자(1050)를 포함한다. 여기에서, 제1 전극(1020) 및 제2 전극(1040)은 각각 복수의 전극 라인들을 포함할 수 있다.
기판(1010)은 제1전극(1020)이 배치되는 배선기판으로서, 플렉서블(flexible) 디스플레이 장치를 구현하기 위하여 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다. 이외에도 절연성이 있고, 유연성 있는 재질이면 어느 것이라도 사용 가능할 것이다.
제1전극(1020)은 기판(1010) 상에 위치하며, 일 방향으로 긴 바(bar) 형태의 전극으로 형성될 수 있다. 상기 제1전극(1020)은 데이터 전극의 역할을 하도록 이루어질 수 있다.
전도성 접착층(1030)은 제1전극(1020)이 위치하는 기판(1010)상에 형성된다. 전술한 플립 칩 타입(flip chip type)의 발광 소자가 적용된 디스플레이 장치와 같이, 전도성 접착층(1030)은 이방성 전도성 필름(anistropy conductive film, ACF), 이방성 전도 페이스트(paste), 전도성 입자를 함유한 솔루션(solution) 등이 될 수 있다. 다만, 본 실시예에서 상기 전도성 접착층(1030)은 접착층으로 대체될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1전극(1020)이 기판(1010)상에 위치하지 않고, 반도체 발광소자의 도전형 전극과 일체로 형성된다면, 접착층은 전도성이 필요없게 될 수 있다.
상기 반도체 발광 소자들의 사이에는, 제1전극(1020)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 배치되고, 상기 반도체 발광 소자(1050)와 전기적으로 연결된 복수의 제2전극(1040)이 위치한다.
도시에 의하면, 상기 제2전극(1040)은 전도성 접착층(1030) 상에 위치될 수 있다. 즉, 전도성 접착층(1030)은 배선기판과 제2전극(1040)의 사이에 배치된다. 상기 제2전극(1040)은 상기 반도체 발광 소자(1050)와 접촉에 의하여 전기적으로 연결될 수 있다.
상기에서 설명된 구조에 의하여, 복수의 반도체 발광 소자(1050)는 상기 전도성 접착층(1030)에 결합 되며, 제1전극(1020) 및 제2전극(1040)과 전기적으로 연결된다.
경우에 따라, 반도체 발광 소자(1050)가 형성된 기판(1010) 상에 실리콘 옥사이드(SiOx) 등을 포함하는 투명 절연층(미도시)이 형성될 수 있다. 투명 절연층이 형성된 후에 제2전극(1040)을 위치시킬 경우, 상기 제2전극(1040)은 투명 절연층 상에 위치하게 된다. 또한, 제2전극(1040)은 전도성 접착층(1030) 또는 투명 절연층에 이격 되어 형성될 수도 있다.
도시와 같이, 복수의 반도체 발광소자(1050)는 제1전극(1020)에 구비되는 복수의 전극 라인들과 나란한 방향으로 복수의 열들을 형성할 수 있다. 다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 복수의 반도체 발광소자(1050)는 제2전극(1040)을 따라 복수의 열들을 형성할 수 있다.
나아가, 디스플레이 장치(1000)는, 복수의 반도체 발광소자(1050)의 일면에 형성되는 형광체층(1080)을 더 구비할 수 있다. 예를 들어, 반도체 발광 소자(1050)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자이고, 형광체층(1080)은 상기 청색(B) 광을 단위 화소의 색상으로 변환시키는 기능을 수행한다. 상기 형광체층(1080)은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체(1081) 또는 녹색 형광체(1082)가 될 수 있다. 즉, 적색의 단위 화소를 이루는 위치에서, 청색 반도체 발광 소자(1051a) 상에는 청색 광을 적색(R) 광으로 변환시킬 수 있는 적색 형광체(1081)가 적층 될 수 있고, 녹색의 단위 화소를 이루는 위치에서는, 청색 반도체 발광 소자(1051b) 상에 청색 광을 녹색(G) 광으로 변환시킬 수 있는 녹색 형광체(1082)가 적층될 수 있다. 또한, 청색의 단위 화소를 이루는 부분에는 청색 반도체 발광 소자(1051c)만 단독으로 이용될 수 있다. 이 경우, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소들이 하나의 화소를 이룰 수 있다. 보다 구체적으로, 제1전극(1020)의 각 라인을 따라 하나의 색상의 형광체가 적층 될 수 있다. 따라서, 제1전극(1020)에서 하나의 라인은 하나의 색상을 제어하는 전극이 될 수 있다. 즉, 제2전극(1040)을 따라서, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)이 차례로 배치될 수 있으며, 이를 통하여 단위 화소가 구현될 수 있다. 다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 형광체 대신에 반도체 발광 소자(1050)와 퀀텀닷(QD)이 조합되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 발광하는 단위 화소를 구현할 수 있다.
한편, 이러한 형광체층(1080)의 대비비(Contrast) 향상을 위하여 디스플레이 장치는 각각의 형광체들의 사이에 배치되는 블랙 매트릭스(1091)를 더 포함할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(1091)는 형광체 도트 사이에 갭을 만들고, 흑색 물질이 상기 갭을 채우는 형태로 형성될 수 있다. 이를 통하여 블랙 매트릭스(1091)는 외광반사를 흡수함과 동시에 명암의 대조를 향상시킬 수 있다. 이러한 블랙 매트릭스(1091)는, 형광체층(1080)이 적층된 방향인 제1전극(1020)을 따라 각각의 형광체층들의 사이에 위치한다. 이 경우에, 청색 반도체 발광 소자(1051)에 해당하는 위치에는 형광체층이 형성되지 않으나, 블랙 매트릭스(1091)는 상기 형광체층이 없는 공간을 사이에 두고(또는 청색 반도체 발광 소자(1051c)를 사이에 두고) 양측에 각각 형성될 수 있다.
다시, 본 예시의 반도체 발광소자(1050)를 살펴보면, 본 예시에서 반도체 발광 소자(1050)는 전극을 상/하로 배치할 수 있으므로, 칩 사이즈를 줄일 수 있다는 큰 강점을 가지고 있다. 다만, 전극이 상/하로 배치되나, 본 발명의 반도체 발광소자는 플립 칩 타입(flip chip type)의 발광 소자가 될 수 있다.
도 12를 참조하면, 예를 들어, 상기 반도체 발광 소자(1050)는 제1도전형 전극(1156)과, 제1도전형 전극(1156)이 형성되는 제1도전형 반도체층(1155)과, 제1도전형 반도체층(1155) 상에 형성된 활성층(1154)과, 상기 활성층(1154) 상에 형성된 제2도전형 반도체층(1153) 및 제2도전형 반도체층(1153)에 형성되는 제2도전형 전극(1152)을 포함한다.
보다 구체적으로, 상기 제1도전형 전극(1156) 및 제1도전형 반도체층(1155)은 각각 p형 전극 및 p형 반도체층이 될 수 있으며, 상기 제2도전형 전극(1152) 및 제2도전형 반도체층(1153)은 각각 n형 전극 및 n형 반도체층이 될 수 있다. 다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 제1도전형이 n형이 되고 제2도전형이 p형이 되는 예시도 가능하다.
보다 구체적으로, 상기 제1도전형 전극(1156)은 상기 제1도전형 반도체층(1155)의 일면에 형성되며, 상기 활성층(1154)은 상기 제1도전형 반도체층(1155)의 타면과 상기 제2도전형 반도체층(1153)의 일면의 사이에 형성되고, 상기 제2도전형 전극(1152)은 상기 제2도전형 반도체층(1153)의 일면에 형성된다.
이 경우에, 상기 제2도전형 전극은 상기 제2도전형 반도체층(1153)의 일면에 배치되며, 상기 제2도전형 반도체층(1153)의 타면에는 언도프된(Undoped) 반도체층(1153a)이 형성될 수 있다.
도 12를 도 10 내지 도 11b와 함께 참조하면, 상기 제2도전형 반도체층의 일면은 상기 배선기판에 가장 가까운 면이 될 수 있고, 상기 제2도전형 반도체층의 타면은 상기 배선기판에 가장 먼 면이 될 수 있다.
또한, 상기 제1도전형 전극(1156) 및 제2도전형 전극(1152)은 반도체 발광소자의 폭방향을 따라 이격된 위치에서 각각 상기 폭방향과 수직방향(또는 두께방향)으로 서로 높이차를 가지도록 이루어진다.
상기 높이차를 이용하여 상기 제2도전형 전극(1152)은 상기 제2도전형 반도체층(1153)에 형성되나, 반도체 발광소자의 상측에 위치하는 상기 제2전극(1040)과 인접하게 배치된다. 예를 들어, 상기 제2도전형 전극(1152)은 적어도 일부가 상기 제2도전형 반도체층(1153)의 측면(또는, 언도프된(Undoped) 반도체층(1153a)의 측면)으로부터 상기 폭방향을 따라 돌출된다. 이와 같이, 제2도전형 전극(1152)이 상기 측면에서 돌출되기에, 상기 제2도전형 전극(1152)은 반도체 발광소자의 상측으로 노출될 수 있다. 이를 통하여, 상기 제2도전형 전극(1152)은 전도성 접착층(1030)의 상측에 배치되는 상기 제2전극(1040)과 오버랩되는 위치에 배치된다.
보다 구체적으로, 반도체 발광 소자는 상기 제2도전형 전극(1152)에서 연장되며, 상기 복수의 반도체 발광 소자의 측면에서 돌출되는 돌출부(1152a)를 구비한다. 이 경우에, 상기 돌출부(1152a)를 기준으로 보면, 상기 제1도전형 전극(1156) 및 제2도전형 전극(1152)은 상기 돌출부(1152a)의 돌출방향을 따라 이격된 위치에서 배치되며, 상기 돌출방향과 수직한 방향으로 서로 높이차를 가지도록 형성되는 것으로 표현될 수 있다.
상기 돌출부(1152a)는 상기 제2도전형 반도체층(1153)의 일면에서 측면으로 연장되며, 상기 제2도전형 반도체층(1153)의 상면으로, 보다 구체적으로는 언도프된(Undoped) 반도체층(1153a)으로 연장된다. 상기 돌출부(1152a)는 상기 언도프된(Undoped) 반도체층(1153a)의 측면에서 상기 폭방향을 따라 돌출된다. 따라서, 상기 돌출부(1152a)는 상기 제2도전형 반도체층을 기준으로 상기 제1도전형 전극의 반대측에서 상기 제2전극(1040)과 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 돌출부(1152a)를 구비하는 구조는, 전술한 수평형 반도체 발광소자와 수직형 반도체 발광소자의 장점을 이용할 수 있는 구조가 될 수 있다. 한편, 상기 언도프된(Undoped) 반도체층(1153a)에서 상기 제1도전형 전극(1156)으로부터 가장 먼 상면에는 roughing 에 의하여 미세홈들이 형성될 수 있다.
상기에서 설명된 디스플레이 장치에 의하면, 반도체 발광소자들에서 출력된 빛은 형광체를 이용하여 여기시켜, 적색(R) 및 녹색(G)을 구현하게 된다. 또한, 전술한 블랙 매트릭스(191, 291, 1091, 도 3b, 도 8 및 도 11b 참조)가 형광체들의 사이에서 혼색을 방지하는 격벽의 역할을 하게 된다. 이에, 본 발명에서는, 형광체의 충진공간이 보다 넓어질 수 있는 형광체층의 구조나 플렉서블이 가능한 종래와 다른 새로운 형태의 격벽 구조를 제시한다.
이하, 본 발명의 디스플레이 장치의 구조에 대하여 첨부된 도면과 함께 상세하게 살펴본다. 도 13은 본 발명의 또 다른 실시 예를 설명하기 위한, 도 1의 A부분의 확대도이고, 도 14는 도 13의 G-G를 따라 취한 단면도이며, 도 15는 도 13의 H-H를 따라 취한 단면도이며, 도 16a은 도 13의 평면도이고, 도 16b, 도 16c, 도 16d 및 도 16e는 각각 도 16a의 I-I, Ⅱ-Ⅱ, Ⅲ-Ⅲ, Ⅳ-Ⅳ를 따라 취한 단면도이다.
도 13, 도 14, 도 15 및 도 16a의 도시에 의하면, 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치로서 도 10 내지 도 12를 참조하여 설명한 플립 칩 타입 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치(2000)를 예시한다. 보다 구체적으로, 도 10 내지 도 12를 참조하여 설명한 플립 칩 타입 반도체 발광소자에서 새로운 형광체층의 구조가 적용된 경우를 예시한다. 다만, 이하 설명되는 예시는 전술한 다른 형태의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치에도 적용 가능하다.
이하 설명되는 본 예시에서는, 앞서 도 10 내지 도 12를 참조하여 설명한 예시의 각 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일, 유사한 참조번호가 부여되고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음된다. 예를 들어, 디스플레이 장치(2000)는 기판(2010), 제1전극(2020), 전도성 접착층(2030), 제2전극(2040) 및 복수의 반도체 발광 소자(2050)를 포함하며, 이들에 대한 설명은 앞서 도 10 내지 도 12를 참조한 설명으로 갈음한다. 따라서, 본 실시예에서 상기 전도성 접착층(2030)은 접착층으로 대체되고, 복수의 반도체 발광소자들이 기판(2010)상에 배치되는 접착층에 부착되며, 상기 제1전극(2020)이 기판(2010)상에 위치하지 않고, 반도체 발광소자의 도전형 전극과 일체로 형성될 수 있다.
상기 제2전극(2040)은 전도성 접착층(2030) 상에 위치될 수 있다. 즉, 전도성 접착층(2030)은 배선기판과 제2전극(2040)의 사이에 배치된다. 상기 제2전극(2040)은 상기 반도체 발광 소자(2050)와 접촉에 의하여 전기적으로 연결될 수 있다.
전술한 바와 같이, 디스플레이 장치(2000)는, 복수의 반도체 발광소자(2050)를 덮도록 배치되는 형광체층(2080)을 구비할 수 있다. 예를 들어, 반도체 발광 소자(2050)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자이고, 형광체층(2080)은 상기 청색(B) 광을 단위 화소의 색상으로 변환시키는 기능을 수행한다.
도시에 의하면, 상기 형광체층(2080)은 빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들(2084)과, 상기 복수의 형광체부들(2084)의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들(2085)을 구비한다.
복수의 형광체부들(2084)은 적색 형광체를 구비하는 적색 형광체부(2084a)와 녹색 형광체를 구비하는 녹색 형광체부(2084b)를 포함할 수 있다. 적색의 화소를 이루는 위치에서, 청색 반도체 발광 소자(2051a) 상에는 청색 광을 적색(R) 광으로 변환시킬 수 있는 적색 형광체부(2084a)가 적층 될 수 있고, 녹색의 화소를 이루는 위치에서는, 청색 반도체 발광 소자(2051b) 상에 청색 광을 녹색(G) 광으로 변환시킬 수 있는 녹색 형광체부(2084b)가 적층될 수 있다.
한편, 적색 형광체부(2084a)와 녹색 형광체부(2084b)의 사이에는 하나의 격벽부(2085)가 배치된다. 이 경우에, 상기 복수의 격벽부들(2085) 중 적어도 하나는 상기 형광체층(2080)의 두께 방향을 따라 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩된다. 또한, 상기 복수의 격벽부들(2085) 중 적어도 하나는 상기 형광체층(2080)의 두께 방향을 따라 빛을 투과하도록 이루어진다. 보다 구체적으로, 청색의 화소를 이루는 부분에서 청색 반도체 발광 소자(2051c) 상에는 하나의 격벽부들(2085)가 배치되며, 상기 청색 반도체 발광 소자(2051c)에서 발광되는 빛을 색의 변환없이 외부로 투과한다.
이 경우에, 제1전극(2020)의 각 라인을 따라 형광체부나 격벽부가 형성될 수 있다. 따라서, 제1전극(2020)에서 하나의 라인은 하나의 색상을 제어하는 전극이 될 수 있다. 또한, 제2전극(2040)을 따라서, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)이 차례로 배치될 수 있으며, 이를 통하여 단위 화소가 구현될 수 있다. 다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 형광체 대신에 퀀텀닷(QD)이 상기 형광체부에 충전되어, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 발광하는 단위 화소를 구현할 수 있다.
보다 구체적인 예로서, 상기 복수의 격벽부들(2085)은 제1격벽부(2086)와 제2격벽부(2087)를 포함한다.
상기 제1격벽부(2086)는 상기 복수의 반도체 발광소자들의 사이를 덮도록 배치된다. 따라서, 상기 복수의 형광체부들(2084) 중 적어도 일부는 상기 제1격벽부(2086)를 사이에 두고 배치된다. 이 경우에, 상기 적어도 일부의 형광체부들(2084)은 적색 형광체, 녹색 형광체 및 황색 형광체 중 적어도 하나를 구비할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 제1격벽부(2086)는 반복적으로 형성되는 적색 형광체부(2084a)와 녹색 형광체부(2084b)의 사이 공간 중에서 청색의 화소가 배치되지 않는 부분에 위치하게 된다. 따라서, 제1격벽부(2086)의 하부에는 반도체 발광소자가 미배치된다.
한편, 상기 제2격벽부(2087)는 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나를 덮도록 이루어진다. 이 경우에, 상기 제2격벽부(2087)에 의하여 덮이는 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나는 청색 반도체 발광소자(2051c)를 포함한다. 즉, 상기 제2격벽부(2087)는 반복적으로 형성되는 적색 형광체부(2084a)와 녹색 형광체부(2084b)의 사이 공간 중에서 청색의 화소가 배치되는 부분에 위치하게 된다. 따라서, 제2격벽부(2087)의 하부에는 청색 반도체 발광소자(2051c)가 배치된다.
상기에서 설명된 구조의 구현을 위하여, 또한, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 발광하는 단위 화소내에서는 상기 제1격벽부(2086)와 상기 제2격벽부(2087)가 각각 하나씩 배치될 수 있다. 또한, 상기 제1격벽부(2086)와 상기 제2격벽부(2087)는 상기 형광체층(2080)의 두께 방향과 수직한 방향을 따라 형성되는 폭(W)의 크기가 서로 다르도록 형성될 수 있다. 이 경우에, 상기 제1격벽부(2086)는 상기 제2격벽부(2087)보다 상기 폭의 크기가 작도록 이루어진다. 상기 제2격벽부(2087)의 폭은 상기 반도체 발광소자(2050)의 폭보다 크거나 같도록 이루어지며, 따라서 상기 제1격벽부(2086)의 폭은 상기 반도체 발광소자(2050)의 폭보다 작도록 형성될 수 있다.
이 경우에, 상기 제2격벽부(2087)의 폭은 아이솔레이션된 청색 반도체 발광소자(2051c)의 폭(양단의 거리)으로부터, 적색 화소에 해당하는 아이솔레이션된 청색 반도체 발광 소자(2051a)의 단부와 녹색 화소에 해당하는 아이솔레이션된 청색 반도체 발광소자(2051b)의 단부까지의 거리(이하)까지 될 수 있다.
예를 들어, 상기 제2격벽부(2087)는 아이솔레이션된 청색 반도체 발광소자(2051c)의 일단과 적색 화소에 해당하는 아이솔레이션된 청색 반도체 발광 소자(2051a)의 단부의 가운데 지점까지 형성될 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 제2격벽부(2087)의 폭은 픽셀 간의 피치(pitch)의 70 내지 135 % 의 크기가 될 수 있다. 이는 상기 제2격벽부(2087)가 너무 크면 적색 화소 및 녹색 화소의 발광영역이 충분히 확보되지 못하게 되며, 너무 작으면 청색 화소와 적색 화소 또는 청색 화소와 녹색 화소간의 광의 간섭이 발생할 수 있기 때문이다.
이러한 예로서, 상기 제2격벽부(2087)의 폭은 아이솔레이션된 청색 반도체 발광소자(2051c)의 크기보다 일측 기준으로 1 내지 2 마이크로미터가 더 크도록 이루어질 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 반도체 발광 소자의 폭이 20 내지 22 마이크로미터이고, 피치(pitch)가 28 내지 30 마이크로미터인 경우에, 상기 제2격벽부(2087)의 폭은 20 내지 40 마이크로미터가 될 수 있다.
또한, 이 경우에 상기 제1격벽부(2086)의 폭은 픽셀 간의 피치(pitch)의 10 내지 40 %의 크기가 될 수 있다. 이러한 예로서, 피치가 30 마이크로미터인 경우에, 상기 제1격벽부(2086)의 폭은 10 마이크로미터 이하로 형성될 수 있다. 이는 발광면적을 충분히 확보하기 위함이다.
도시에 의하면, 상기 형광체부(2084)의 폭은 상기 반도체 발광소자(2050)의 폭보다 크도록 이루어질 수 있다. 이에 더하여, 단위 화소내에 격벽부가 2개만이 존재하고, 상기 2개 중에서 하나(예를 들어, 제1격벽부)의 폭이 작아지므로, 상기 형광체부(2084)의 폭은 보다 증가할 수 있게 된다. 이와 같이, 상기 형광체부(2084)의 폭이 커지므로 기존보다 형광체부의 충전 공간이 보다 확보될 수 있으며, 따라서 충전되는 형광체의 양이 보다 증가될 수 있다. 이 경우에, 상기 형광체부에 충전되는 형광체의 입도는 3 내지 15 마이크로 미터의 크기가 가능하게 된다.
한편, 상기 제2격벽부(2087)의 경우 한 픽셀(pixel)씩 끊어져 형성될 수 있다. 이를 통하여, 연결된 공간의 경우 빛이 가이드되어 다른 픽셀에 간섭을 일으키는 것을 완화 또는 방지할 수 있다.
상기 격벽부들(2085)의 구조에 대하여 보다 상세히 설명하면, 상기 복수의 격벽부들(2085) 중 적어도 하나는, 가장자리에 형성되는 하나 또는 하나 이상의 금속 박막들(2088)을 구비하며, 상기 금속 박막들(2088)의 사이에는 광투과성 물질(2089)이 채워지도록 형성된다.
상기 광투과성 물질(2089)은 가시광선 영역에서 투과율이 높은 물질로서, 예를 들어 에폭시 계열의 PR(포토 레지스트), PDMS(polydimethylsiloxane), 레진 등이 이용될 수 있다. 이러한 재질들은 고온에서 견고해지는 성질이 없기에 플렉서블 디스플레이에 적용되는 격벽부의 재질로서 적합하다.
예를 들어, 상기 금속 박막들(2088)은 빛이 반사되도록 상기 형광체부(2084)의 측면을 덮도록 이루어진다.
상기 금속 박막들(2088)은 격벽부들(2085)의 일측 가장자리에 배치되는 제1금속박막(2088a)과, 타측 가장자리에 배치되는 제2금속박막(2088b)을 구비할 수 있다. 상기 제1금속박막(2088a) 및 제2금속박막(2088b)은 각각, 50 내지 1000 나노미터의 두께를 가질 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 제1금속박막(2088a) 및 제2금속박막(2088b)은 각각, 100 내지 200 나노미터로 이루어질 수 있다.
상기 금속 박막들(2088)은 상기 격벽부의 상하단에는 존재하지 않게 된다. 즉, 상기 제1금속박막(2088a)과 제2금속박막(2088b)은 상기 격벽부의 폭방향을 따라 서로 분리되도록 이루어진다. 이러한 구조를 통하여 광투과성 재질을 투과하는 빛이 상기 격벽부의 상단에서 외부로 출력될 수 있게 된다.
상기 제1금속박막(2088a)과 제2금속박막(2088b)은 가시광선 영역의 반사율이 좋은 알루미늄이나 은 등의 금속 재질로 형성되어 빛을 반사하며, 이를 통하여 형광체부들의 사이에서 혼색을 방지하게 된다. 다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 상기 금속 박막은 TiOx, CrOx 등의 산화박막으로 대체되거나, 분산 브레그 반사경(DBR)의 구조가 적용될 수 있다.
상기 금속 박막들(2088)은 도시된 바와 같이, 단일 금속 박막으로 형성되나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 상기 금속 박막들(2088)은 도 18a에 도시된 바와 같이 다층 금속 박막으로 이루어질 수 있다. 도시된 바와 같이, 금속 박막(2088)의 일면에는 산화 보호와 접착력을 향상하기 위한 다른 재질의 금속 박막(I1, I2)이 형성될 수 있다. 이 경우에, 다른 재질로서 티타늄, 니켈, 크롬 등이 이용될 수 있다.
또 다른 예로서, 도 18b에 도시된 바와 같이 상기 금속 박막(2088)과 상기 광투과성 물질의 사이에는 절연막(I2)이 형성될 수 있다. 상기 절연막(I3)은 불투광성 재질로 형성되며, 이러한 예로서 SiO2, SiNx 등이 이용될 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 절연막(I2)은 블랙 매트릭스가 될 수 있다. 이 경우에, 상기 블랙 매트릭스는 대비비(contrast) 향상을 가져오는 추가적인 효과를 발휘할 수 있다.
다시 도 16a를 참조하면, 상기 복수의 격벽부들(2085)은 평면상에서 일부분이 돌출된 형상으로 이루어진다. 이러한 형상에 의하여, 상기 금속 박막(2088)의 증착 정도가 조절될 수 있다. 보다 구체적으로, 도 16b 내지 도 16e와 같이, 이러한 형상에 의하여 격벽부들(2085)의 하부가 증착되는 방향에서 가려지며, 따라서 격벽부들(2085)의 하부에는 금속 박막(2088)이 미배치되는 부분이 발생하게 된다. 이를 통하여 제2전극(2040)과 금속 박막(2088)의 사이에 단락(short)에 의한 리키지 경로(leakage path)가 발생하는 것이 방지될 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 복수의 격벽부들(2085) 중 적어도 하나는 베이스부(2085a) 및 돌출부(2085b)를 포함한다. 상기 금속 박막(2088)은 상기 복수의 격벽부들(2085)의 가장자리에 배치되므로, 상기 금속 박막(2088)도 격벽부들(2085)와 마찬가지로, 베이스부(2088a) 및 돌출부(2088b)를 구비할 수 있다.
상기 베이스부(2085a)는 제1방향을 따라 연장되며, 상기 돌출부(2085b)는 상기 베이스부(2085a)의 단부에서 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 돌출된다. 상기 제1방향은 동일한 색상으로 형성되는 하나의 형광부가 연장되는 방향이며, 상기 제2방향은 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 화소가 차례로 배치되는 방향이 될 수 있다.
상기 돌출부(2085b)에 의하여, 상기 베이스부(2085a)에 형성되는 금속 박막(또는 금속 박막의 베이스부, 2088a)과 상기 돌출부(2085b)에 형성되는 금속 박막(또는 금속 박막의 돌출부, 2088b)은 상기 형광체층(2080)의 두께 방향을 따라 서로 길이가 다르도록 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 돌출부(2085b)에 형성되는 금속 박막(또는 금속 박막의 돌출부, 2088b)은 상기 기판과의 간격이 상기 베이스부(2085a)에 형성되는 금속 박막(또는 금속 박막의 베이스부, 2088a)보다 더 크도록 이루어질 수 있다.
이 경우에, 상기 돌출부는 상기 형광체층(2080)의 두께 방향으로 상기 반도체 발광소자의 배선전극의 적어도 일부와 중첩하도록 배치된다. 예를 들어, 상기 제2방향은 상기 전도성 접착층(2030)을 기준으로 상부에 배치되는 제2전극(2040)과 평행한 방향이 될 수 있다. 이러한 구조에 의하면, 제2전극(2040)과 상기 돌출부에 형성되는 금속 박막(또는 금속 박막의 돌출부, 2088b)은 이격 거리가 충분히 확보될 수 있게 된다.
도 16a과 함께 도 17을 참조하면, 상기 복수의 격벽부들(2085) 중 적어도 하나는 상기 제1방향 또는 상기 제2방향을 따라 인접하는 격벽부와 분리된다. 이는 플렉서블의 성질을 확보하기 위함이다. 이 경우에 강성을 보강하기 위하여, 상기 돌출부(2085b)는 인접하는 격벽부의 돌출부와 적어도 일부가 서로 연결될 수 있다. 이와 같이, 본 발명은 돌출부는, 서로 연결되는 막힘구조를 이루거나, 인접하는 격벽부들에서 한쪽에만 형성되어 한쪽만 막는 한쪽 돌출구조를 형성하는 등의 여러가지 구조로 활용될 수 있다. 또한, 상기 돌출부(2085b)는 인접하는 돌출부에 대하여 일부는 서로 분리되고, 일부는 서로 연결되며, 이를 통하여 플렉서블한 성질과 강성을 모두 확보하기 위한 설계 자유도가 향상될 수 있다.
이상에서 살펴본 새로운 형광체층 구조에 의하면, 플렉서블 특성을 가지는 디스플레이에 적합한 격벽부가 구현될 수 있다. 이하에서는, 위에서 살펴본 새로운 형광체층 구조를 형성하는 제조하는 방법에 대하여 첨부된 도면과 함께 보다 구체적으로 살펴본다. 도 19a, 도 19b, 도 19c, 도 20a, 도 20b, 도 20c, 20d 및 도 20e는 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타낸 단면도들이며, 도 21은 도 20b에서 금속박막을 증착하는 개념을 나타내는 개념도이며, 도 22a, 도 22b, 도 22c, 및 도 22d는 금속 박막을 생성하는 제조방법의 다른 실시예를 나타내는 개념도이다.
도 19a, 도 19b 및 도 19c는, 도 13의 G-G방향에서 바라본 단면도들을 참조하여 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 20a, 도 20b, 도 20c, 20d 및 도 20e은, 도 13의 H-H방향에서 바라본 단면도들을 참조하여 본 발명의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 제조방법에 의하면, 기판에 복수의 반도체 발광 소자들을 결합하는 단계가 진행된다. 예를 들어, 성장기판에 제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 성장시키고, 식각을 통하여 각 반도체 발광소자를 생성한 후에 제1도전형 전극(2156)과 제2도전형 전극(2152)을 형성한다(도 19a).
성장기판(2101)(웨이퍼)은 광 투과적 성질을 가지는 재질, 예를 들어 사파이어(Al2O3), GaN, ZnO, AlO 중 어느 하나를 포함하여 형성될 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 또한, 성장기판(2101)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질, 캐리어 웨이퍼로 형성될 수 있다. 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있으며, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함하여 예를 들어, 사파이어(Al2O3) 기판에 비해 열전도성이 큰 SiC 기판 또는 Si, GaAs, GaP, InP, Ga2O3 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.
제1도전형 전극(2156) 및 제1도전형 반도체층은 각각 p형 전극 및 p형 반도체층이 될 수 있으며, 제2도전형 전극(2152) 및 제2도전형 반도체층은 각각 n형 전극 및 n형 반도체층이 될 수 있다. 다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 제1도전형이 n형이 되고 제2도전형이 p형이 되는 예시도 가능하다.
이 경우에, 전술한 바와 같이, 상기 제2도전형 전극(2152)은 적어도 일부가 상기 제2도전형 반도체층의 측면(또는, 언도프된(Undoped) 반도체층(2153a)의 측면)으로부터 돌출된다.
다음으로, 상기 플립 칩 타입(flip chip type)의 발광 소자를 전도성 접착층(2030)을 이용하여 배선기판에 결합하며, 성장기판을 제거한다(도 19b).
상기 배선기판은 제1전극(2020)이 형성된 상태이며, 상기 제1전극(2020)은 하부 배선으로서 상기 전도성 접착층(2030)내에서 도전볼 등에 의해 제1도전형 전극(2156)과 전기적으로 연결된다.
이후에, 언도프된(Undoped) 반도체층(2153a)을 식각하여 제거한 후에, 상기 돌출된 제2도전형 전극(2152)을 연결하는 제2전극(2040)을 형성한다(도 19c). 상기 제2전극(2040)은 상부 배선으로서, 상기 제2도전형 전극(2152)과 직접 연결된다.
다만, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 언도프된 반도체층은 UV 레이저를 흡수하는 다른 형태의 흡수층으로 대체될 수 있다. 상기 흡수층은 버퍼층이 될 수 있으며, 저온 분위기에서 형성되며, 반도체층과 성장기판과의 격자상수 차이를 완화시켜 줄 수 있는 물질로 이루어 질 수 있다. 예를 들어, GaN, InN, AlN, AlInN, InGaN, AlGaN, 및 InAlGaN 과 같은 물질을 포함할 수 있다.
다음으로, 상기 복수의 반도체 발광소자들을 덮도록 배치되는 형광체층을 형성한다. 상기 형광체층은, 빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들과, 상기 복수의 형광체부들의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들을 구비하게 된다. 이 경우에 상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩될 수 있다.
도시에 의하면, 먼저, 격벽부를 형성하는 단계가 진행될 수 있다. 도 20a를 참조하면, 상기 복수의 반도체 발광 소자들에 광투과성 물질(RT)을 도포한다.
상기 광투과성 물질(RT)은 가시광선 영역에서 투과율이 높은 물질로서, 전술한 바와 같이, 에폭시 계열의 PR(포토 레지스트), PDMS(polydimethylsiloxane), 레진 등이 이용될 수 있다.
이 후에, 상기 광투과성 물질을 식각하고, 상기 광투과성 물질(RT)이 식각된 부분(LR)에 형광체를 충전하여 상기 형광체부들을 생성하는 단계가 진행된다.
보다 구체적으로, 도 20b에 의하면, 상기 광투과성 물질(RT)이 식각되며, 이 경우에 상기 광투과성 물질(RT)은 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나에 대응되는 부분에서 미식각된다. 즉, 상기 식각에 의하여 상기 광투과성 물질(RT)은 상기 복수의 반도체 발광소자들의 사이를 덮도록 배치되는 부분(LT1)과, 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나를 덮도록 배치되는 부분(LT2)으로 구획될 수 있다.
이 경우에, 상기 복수의 격벽부들은 베이스부와 및 돌출부를 포함하는 형상으로 식각될 수 있다. 예를 들어, 상기 식각된 광투과성 재질은 상기 금속 박막의 증착 방향을 따라 상기 광투과성 재질의 적어도 일부가 가려지도록 상기 베이스부의 단부에서 돌출되는 돌출부를 포함하게 된다.
도 20c에 의하면, 상기 광투과성 물질을 식각한 후에, 상기 광투과성 물질(RT)에 금속 박막(2088)을 증착하는 단계가 진행된다. 이 경우에, 상기 금속 박막(2088)은 증착 기술을 이용하거나, 또는 스퍼터(sputter)를 이용하여 광투과성 물질(RT)의 전체 외면에 증착될 수 있다. 상기 금속 박막은 전술한 바와 같이, 가시광선 영역의 반사율이 좋은 알루미늄이나 은 등의 금속 재질로 형성될 수 있다.
이 경우에, 상기 증착은 상기 디스플레이 장치의 두께방향에 대하여 경사를 가지는 방향으로 이루어진다. 도 21과 같이, 돌출부에 의하면 경사각을 이용하여 가림정도가 조절될 수 있으며, 따라서, 돌출부의 튀어나온 정도를 조절하여 금속박막의 길이를 조절한다. 한편, 상기 경사각은 25도 이상이 이용될 수 있다.
이와 같은 방법을 이용하여, 제2전극(2040)과 상기 돌출부에 형성되는 금속 박막(또는 금속 박막의 돌출부, 2088b)의 이격 거리를 확보하게 된다.
또한, 경사진 방향으로 증착이 이루어지므로, 일 방향으로 광투과성 재질의 일 측면에 대하여 증착을 수행한 후에 디스플레이를 회전하여 타측면(반대 측면)을 증착하는 프로세스가 이용될 수 있다.
이 후에, 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나에 대응되는 부분에 상기 반도체 발광소자에서 발광된 빛의 투과하도록, 상기 금속 박막의 적어도 일부를 제거한다(도 20d 참조).
이러한 예로서, 상기 격벽부의 상면(반도체 발광소자에서 가장 먼 면)에서 금속 박막이 제거될 수 있으며, 이 경우에 반도체 발광소자에 영향을 최소화하도록, 건식 식각에 의하여 상기 금속 박막의 상부가 제거될 수 있다.
다음으로, 도 20e와 같이, 금속 박막이 증착된 광투과성 재질의 사이에 형광체를 충전하여 형광체부를 생성한다.
상기 형광체부를 생성하는 예로서, 먼저, 포토 레지스터를 도포 및 현상한 후에, 적색 형광체 및 녹색 형광체를 순차적으로 도포하는 방법이 이용될 수 있다.
다른 예로서, 상기 금속 박막이 증착된 광투과성 재질의 사이에 황색 형광체을 충전한 후에, 적색, 녹색, 및 청색이 반복되는 컬러 필터를 합착하는 방법이 이용될 수 있다. 이 경우에, 형광체부는 컬러 필터와 조합되어 에 적색, 녹색, 및 청색의 단위화소를 구현하게 된다.
한편, 상기 금속 박막은 상기 광투과성 물질에서 상기 복수의 반도체 발광소자들의 사이를 덮도록 배치되는 부분에서는 상부가 제거되지 않는 구조가 될 수 있다. 이러한 제조방법에 의하면, 먼저 도 20b와 같이, 광투과성 물질이 식각되며, 이 경우에 상기 광투과성 물질은 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나에 대응되는 부분에서 미식각된다. 즉, 상기 식각에 의하여 상기 광투과성 물질은 상기 복수의 반도체 발광소자들의 사이를 덮도록 배치되는 부분과, 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나를 덮도록 배치되는 부분으로 구획될 수 있다.
이 후에, 포토 리소그래피를 통하여 포토 레지스트(PR)가 패터닝(도 22a)되며, 현상에 의하여 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나를 덮도록 배치되는 부분에서만 포토 레지스트가 남고 나머지는 제거(도 22b)된다.
이 후에, 상기 광투과성 물질에 금속 박막을 증착(도 22c)하며, 리프트 오프를 이용하여 금속 박막은 상기 복수의 반도체 발광소자들의 사이를 덮도록 배치되는 부분에서 제거(도 22d)된다. 이러한 방법에 의하면, 반도체 발광소자를 덮는 격벽부의 상면(반도체 발광소자에서 가장 먼 면)에서, 금속 박막이 제거될 수 있으며, 나머지 부분에서는 광투과성 재질의 외면을 모두 덮도록 유지될 수 있다. 이를 통하여 반사효율이 보다 증가될 수 있다.
이상에서, 본 발명의 형광체층을 제조하는 방법에 대하여 설명하였다. 한편, 본 발명의 형광체층의 구조는 여러가지 형태로 변형될 수 있으며, 이하 이러한 여러가지 실시예에 대하여 설명한다.
도 23a 및 도 23b는 본 발명이 적용된 플립 칩 타입 반도체 발광 소자와 관련하여 컬러를 구현하는 여러가지 형태를 나타내는 개념도들이다.
이하 설명되는 본 예시에서는, 앞서 도 13 내지 도 22d를 참조하여 설명한 예시의 각 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일, 유사한 참조번호가 부여되고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음된다. 예를 들어, 디스플레이 장치(3000)는 기판(3010), 제1전극(미도시), 전도성 접착층(3030), 제2전극(3040) 및 복수의 반도체 발광 소자(3050)를 포함하며, 이들에 대한 설명은 앞서 도 13 내지 도 22d를 참조한 설명으로 갈음한다. 따라서, 본 실시예에서 상기 전도성 접착층(3030)은 접착층으로 대체되고, 복수의 반도체 발광소자들이 기판(3010)상에 배치되는 접착층에 부착되며, 상기 제1전극이 기판(3010)상에 위치하지 않고, 반도체 발광소자의 도전형 전극과 일체로 형성될 수 있다.
상기 제2전극(3040)은 전도성 접착층(3030) 상에 위치될 수 있다. 즉, 전도성 접착층(3030)은 배선기판과 제2전극(3040)의 사이에 배치된다. 상기 제2전극(3040)은 상기 반도체 발광 소자(3050)와 접촉에 의하여 전기적으로 연결될 수 있다.
전술한 바와 같이, 디스플레이 장치(3000)는, 복수의 반도체 발광소자(3050)를 덮도록 배치되는 형광체층(3080)을 구비할 수 있다.
도시에 의하면, 상기 형광체층(3080)은 빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들(3084)과, 상기 복수의 형광체부들(3084)의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들(3085)을 구비한다.
상기 격벽부들(3085)의 구조에 대하여 보다 상세히 설명하면, 상기 복수의 격벽부들(3085) 중 적어도 하나는, 가장자리에 형성되는 하나 또는 하나 이상의 금속 박막들(3088)을 구비하며, 상기 금속 박막들(3088)의 사이에는 광투과성 물질(LT)이 채워지도록 형성된다.
상기 광투과성 물질(LT)은 가시광선 영역에서 투과율이 높은 물질로서, 예를 들어 에폭시 계열의 PR(포토 레지스트), PDMS(polydimethylsiloxane), 레진 등이 이용될 수 있다. 이러한 재질들은 고온에서 견고해지는 성질이 없기에 플렉서블 디스플레이에 적용되는 격벽부의 재질로서 적합하다.
예를 들어, 상기 금속 박막들(3088)은 빛이 반사되도록 상기 형광체부(3084)의 측면을 덮도록 이루어진다. 상기 금속 박막들(3088)은 상기 격벽부의 상하단에는 존재하지 않게 된다. 이러한 구조를 통하여 광투과성 재질을 투과하는 빛이 상기 격벽부의 상단에서 외부로 출력될 수 있게 된다.
본 도면들을 참조하면, 상기 격벽부들(3085)은 상기 복수의 반도체 발광소자들(3051a, 3051b, 3052) 중 서로 인접 배치된 한 쌍의 반도체 발광소자를 함께 덮도록 이루어진다.
보다 구체적으로, 상기 복수의 반도체 발광소자들은 상기 한 쌍의 반도체 발광소자(3051b, 3052)와 함께 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소를 형성하는 적어도 하나의 반도체 발광소자(3051a)를 구비하고, 복수의 형광체부들(3084) 중 적어도 하나는 상기 적어도 하나의 반도체 발광소자(3051a)를 덮도록 이루어진다.
예를 들어, 반도체 발광 소자(3050)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자(3051b)와, 녹색(G) 광을 발광하는 녹색 반도체 발광소자(3052)를 구비하며, 상기 격벽부는 상기 청색 반도체 발광 소자(3051b)와, 녹색 반도체 발광소자(3052)를 함께 덮도록 이루어진다. 따라서, 상기 격벽부들(3085)에서는 청색(B) 광과 녹색(G) 광이 구현될 수 있다. 한편, 상기 격벽부들(3085)의 사이에는 적색 형광체가 충전된 적색 형광체부(3084a)가 형성되며, 상기 적색 형광체부(3084a)의 하부에는 청색 반도체 발광 소자(3051a)가 배치될 수 있다.
이와 같이, 본 예시에서는 적색 형광체부(3084a)와 격벽부(3085)가 일 방향을 따라서 순차적으로 배치되며, 적색 형광체부(3084a)에서는 적색 광을 격벽부(3085)에서는 녹색 및 청색 광을 출력하게 된다.
또 다른 예로서, 도 23b를 참조하면, 반도체 발광 소자(3050)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자(3051b)와, 적색(R) 광을 발광하는 적색 반도체 발광소자(3053)를 구비하며, 상기 격벽부(3085)는 상기 청색 반도체 발광 소자(3051b)와, 적색 반도체 발광소자(3053)를 함께 덮도록 이루어진다. 따라서, 상기 격벽부들(3085)에서는 청색(B) 광과 적색(R) 광이 구현될 수 있다. 한편, 상기 격벽부들(3085)의 사이에는 녹색 형광체가 충전된 녹색 형광체부(3084b)가 형성되며, 상기 녹색 형광체부(3084b)의 하부에는 청색 반도체 발광 소자(3051c)가 배치될 수 있다.
이러한 구조에 의하면, 녹색 형광체부(3084b)와 격벽부(3085)가 일 방향을 따라서 순차적으로 배치되며, 녹색 형광체부(3084b)에서는 녹색 광을 격벽부(3085)에서는 적색 및 청색 광을 출력하게 된다.
이상에서 설명한 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.

Claims (20)

  1. 기판에 장착되는 복수의 반도체 발광소자들; 및
    빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들과, 상기 복수의 형광체부들의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들을 구비하며, 상기 복수의 반도체 발광소자들을 덮도록 배치되는 형광체층을 포함하며,
    상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩되며,
    상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는, 가장자리에 형성되는 하나 또는 하나 이상의 금속 박막들을 구비하며, 상기 금속 박막들의 사이에는 광투과성 물질이 채워지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 격벽부들은,
    상기 복수의 반도체 발광소자들의 사이를 덮도록 배치되는 제1격벽부와, 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나를 덮는 제2격벽부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2격벽부에 의하여 덮이는 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나는 청색 반도체 발광소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 형광체부들 중 적어도 일부는 상기 제1격벽부를 사이에 두고 배치되며, 상기 적어도 일부의 형광체부들은 적색 형광체, 녹색 형광체 및 황색 형광체 중 적어도 하나를 구비하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1격벽부와 상기 제2격벽부는 상기 형광체층의 두께 방향과 수직한 방향을 따라 형성되는 폭의 크기가 서로 다르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1격벽부는 상기 제2격벽부보다 상기 폭의 크기가 작은 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 격벽부들은 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 서로 인접 배치된 한 쌍의 반도체 발광소자를 함께 덮도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 반도체 발광소자들은 상기 한 쌍의 반도체 발광소자와 함께 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소를 형성하는 적어도 하나의 반도체 발광소자를 구비하고,
    상기 복수의 형광체부들 중 적어도 하나는 상기 적어도 하나의 반도체 발광소자를 덮도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 금속 박막에서 빛이 반사되도록 상기 금속 박막들은 상기 형광체부들의 측면을 덮도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 금속 박막과 상기 광투과성 물질의 사이에 형성되는 절연막을 더 포함하는 디스플레이 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는,
    제1방향을 따라 연장되는 베이스부; 및
    상기 베이스부의 단부에서 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 돌출되는 돌출부를 포함하는 디스플레이 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 베이스부에 형성되는 금속 박막과 상기 돌출부에 형성되는 금속 박막은 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 서로 길이가 다르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 돌출부에 형성되는 금속 박막은 상기 기판과의 간격이 상기 베이스부에 형성되는 금속 박막보다 더 크도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 형광체층의 두께 방향으로 상기 반도체 발광소자의 배선전극의 적어도 일부와 중첩하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 제1방향 또는 상기 제2방향을 따라 인접하는 격벽부와 분리되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  17. 기판에 복수의 반도체 발광 소자들을 결합하는 단계; 및
    상기 복수의 반도체 발광소자들을 덮도록 배치되는 형광체층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 형광체층은, 빛의 파장을 변환하는 복수의 형광체부들과, 상기 복수의 형광체부들의 사이에 형성되는 복수의 격벽부들을 구비하며,
    상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는 상기 형광체층의 두께 방향을 따라 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나와 중첩되며,
    상기 형광체층을 형성하는 단계는,
    상기 복수의 반도체 발광 소자들에 광투과성 물질을 도포하는 단계; 및
    상기 광투과성 물질을 식각하고, 상기 광투과성 물질이 식각된 부분에 형광체를 충전하여 상기 형광체부들을 생성하는 단계를 포함하며,
    상기 광투과성 물질은 상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나에 대응되는 부분에서 미식각되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치의 제조방법.
  18. 삭제
  19. 제17항에 있어서,
    상기 형광체층을 형성하는 단계는,
    상기 광투과성 물질을 식각한 후에, 상기 광투과성 물질에 금속 박막을 증착하는 단계; 및
    상기 복수의 반도체 발광소자들 중 적어도 하나에 대응되는 부분에 상기 반도체 발광소자에서 발광된 빛의 투과하도록, 상기 금속 박막의 적어도 일부를 제거하는 단계를 더 포함하는 디스플레이 장치의 제조방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 복수의 격벽부들 중 적어도 하나는,
    베이스부; 및
    상기 금속 박막의 증착 방향을 따라 상기 광투과성 재질의 적어도 일부가 가려지도록 상기 베이스부의 단부에서 돌출되는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치의 제조방법.
KR1020150044420A 2015-03-30 2015-03-30 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 KR101688163B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150044420A KR101688163B1 (ko) 2015-03-30 2015-03-30 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
US14/857,563 US9666765B2 (en) 2015-03-30 2015-09-17 Display device using semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same
EP15002725.8A EP3076442B1 (en) 2015-03-30 2015-09-21 Display device using semiconductor light emitting device
CN201610069529.8A CN106024801B (zh) 2015-03-30 2016-02-01 使用半导体发光器件的显示器件及其制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150044420A KR101688163B1 (ko) 2015-03-30 2015-03-30 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160116550A KR20160116550A (ko) 2016-10-10
KR101688163B1 true KR101688163B1 (ko) 2016-12-20

Family

ID=54185821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150044420A KR101688163B1 (ko) 2015-03-30 2015-03-30 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9666765B2 (ko)
EP (1) EP3076442B1 (ko)
KR (1) KR101688163B1 (ko)
CN (1) CN106024801B (ko)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11160148B2 (en) 2017-06-13 2021-10-26 Ideal Industries Lighting Llc Adaptive area lamp
US11792898B2 (en) 2012-07-01 2023-10-17 Ideal Industries Lighting Llc Enhanced fixtures for area lighting
KR102377794B1 (ko) * 2015-07-06 2022-03-23 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR102481524B1 (ko) 2016-01-11 2022-12-26 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
WO2017146477A1 (ko) 2016-02-26 2017-08-31 서울반도체주식회사 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법
US10529696B2 (en) 2016-04-12 2020-01-07 Cree, Inc. High density pixelated LED and devices and methods thereof
WO2018097667A1 (ko) * 2016-11-24 2018-05-31 엘지이노텍 주식회사 반도체 소자 및 이를 포함하는 표시 장치
KR102650341B1 (ko) 2016-11-25 2024-03-22 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR102611980B1 (ko) 2016-12-14 2023-12-08 삼성전자주식회사 멀티 컬러를 구현할 수 있는 발광 소자
KR102400901B1 (ko) * 2017-05-29 2022-05-23 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
US10734363B2 (en) 2017-08-03 2020-08-04 Cree, Inc. High density pixelated-LED chips and chip array devices
JP7290001B2 (ja) * 2017-08-03 2023-06-13 クリーエルイーディー・インコーポレーテッド 高密度ピクセル化ledチップ、チップアレイデバイス、及びその製造方法
KR102462881B1 (ko) * 2017-09-14 2022-11-03 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR101994440B1 (ko) * 2017-11-03 2019-06-28 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 차량용 램프
CN114759060A (zh) * 2017-12-13 2022-07-15 群创光电股份有限公司 电子装置及其制造方法
US11355548B2 (en) 2017-12-20 2022-06-07 Lumileds Llc Monolithic segmented LED array architecture
US11355549B2 (en) 2017-12-29 2022-06-07 Lumileds Llc High density interconnect for segmented LEDs
CN110112123A (zh) * 2018-02-01 2019-08-09 晶元光电股份有限公司 发光装置及其制造方法
WO2019151550A1 (ko) * 2018-02-01 2019-08-08 엘지전자 주식회사 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR102582649B1 (ko) * 2018-02-12 2023-09-25 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US10529773B2 (en) 2018-02-14 2020-01-07 Cree, Inc. Solid state lighting devices with opposing emission directions
KR102522529B1 (ko) * 2018-04-10 2023-04-14 삼성전자주식회사 발광 다이오드 디스플레이 장치
FR3083371B1 (fr) 2018-06-28 2022-01-14 Aledia Dispositifs émetteurs, écran d'affichage associé et procédés de fabrication d'un dispositif émetteur
US11552228B2 (en) * 2018-08-17 2023-01-10 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component
KR102617962B1 (ko) 2018-10-02 2023-12-27 삼성전자주식회사 반도체 발광소자
US10903265B2 (en) 2018-12-21 2021-01-26 Cree, Inc. Pixelated-LED chips and chip array devices, and fabrication methods
KR102221426B1 (ko) * 2019-07-02 2021-03-02 셀로코아이엔티 주식회사 발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법
EP4052296A1 (en) 2019-10-29 2022-09-07 Creeled, Inc. Texturing for high density pixelated-led chips
US11552222B2 (en) 2020-05-21 2023-01-10 Lextar Electronics Corporation Display device
US11437548B2 (en) 2020-10-23 2022-09-06 Creeled, Inc. Pixelated-LED chips with inter-pixel underfill materials, and fabrication methods
CN115528161A (zh) * 2022-10-26 2022-12-27 上海天马微电子有限公司 显示面板的制作方法、显示面板及显示装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101422037B1 (ko) 2012-09-04 2014-07-23 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR101476207B1 (ko) 2012-06-08 2014-12-24 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7915627B2 (en) * 2007-10-17 2011-03-29 Intematix Corporation Light emitting device with phosphor wavelength conversion
CN102232250A (zh) * 2008-10-01 2011-11-02 三星Led株式会社 使用液晶聚合物的发光二极管封装件
KR20120023034A (ko) * 2009-06-12 2012-03-12 샤프 가부시키가이샤 표시 패널 및 표시 장치
TWI591845B (zh) 2009-07-21 2017-07-11 晶元光電股份有限公司 光電系統
US8785952B2 (en) * 2011-10-10 2014-07-22 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device and light emitting device package including the same
US20150171372A1 (en) * 2012-07-04 2015-06-18 Sharp Kabushiki Kaisha Fluorescent material, fluorescent coating material, phosphor substrate, electronic apparatus, and led package
DE102012106859B4 (de) 2012-07-27 2019-01-03 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung eines mehrfarbigen LED-Displays
KR101452768B1 (ko) 2012-08-21 2014-10-21 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR101476686B1 (ko) * 2013-04-01 2014-12-26 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101476207B1 (ko) 2012-06-08 2014-12-24 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR101422037B1 (ko) 2012-09-04 2014-07-23 엘지전자 주식회사 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치

Also Published As

Publication number Publication date
US20160293805A1 (en) 2016-10-06
US9666765B2 (en) 2017-05-30
CN106024801A (zh) 2016-10-12
EP3076442A1 (en) 2016-10-05
EP3076442B1 (en) 2018-08-01
CN106024801B (zh) 2019-05-07
KR20160116550A (ko) 2016-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101688163B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR101947643B1 (ko) 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치
KR101771461B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR20170083906A (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
US11088301B2 (en) Display device using semiconductor light-emitting element
KR102377794B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR101521939B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
EP3518626B1 (en) Display apparatus using semiconductor light emitting device and manufacturing method therefor
KR102605471B1 (ko) 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치
KR101529934B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR101688160B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR20170096471A (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR20170005643A (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR102014258B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR20160136148A (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR102400901B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR20180130357A (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR101707970B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR102462881B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR20170069723A (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR20180038272A (ko) 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법
KR101771463B1 (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치
KR20160003511A (ko) 반도체 발광 소자 및 이의 제조방법
KR20190030057A (ko) 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right