JP2015522939A - 温度管理を備えるランプヘッドを有する基板処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 基板処理で使用するためのランプヘッドであって、
輪郭面 を有する一体構造部材と、
前記輪郭面内に配置された複数のリフレクタキャビティであり、各リフレクタキャビティが、リフレクタとして働くように、またはランプ用の取替可能なリフレクタを受け取るように成形される、複数のリフレクタキャビティと、
複数のランプ通路であり、各ランプ通路が、前記複数のリフレクタキャビティのうちの1つから前記一体構造部材中に延びる、複数のランプ通路と
を含む、ランプヘッド。 - 前記一体構造部材内に配置され、前記複数のランプ通路に近接する複数の冷却材通路をさらに含む、請求項1に記載のランプヘッド。
- 前記複数のランプ通路が、前記一体構造部材の中心軸のまわりで同心の複数の第1の円弧に配列され、前記複数の冷却材通路が、前記一体構造部材の中心軸のまわりの複数の第2の同心リング内に配置される、請求項2に記載のランプヘッド。
- 前記一体構造部材の中心軸からより遠くに配置された前記複数のランプ通路のうちの第1のものが、前記一体構造部材の中心軸のより近くに配置された前記複数のランプ通路のうちの第2のものよりも長い長さを有する、請求項3に記載のランプヘッド。
- 各ランプ通路が、前記複数のリフレクタキャビティのうちの対応するリフレクタキャビティから前記一体構造部材中に延び、各ランプ通路がランプを収容するように構成される、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のランプヘッド。
- 少なくとも2つのランプ通路が、前記複数のリフレクタキャビティのうちのリフレクタキャビティから前記一体構造部材中に延び、少なくとも1つのランプの少なくとも一部分が、前記複数のリフレクタキャビティのうちの前記リフレクタキャビティ内に配置される、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のランプヘッド。
- 前記少なくとも1つのランプの第1の端部が、前記リフレクタキャビティから延びる前記少なくとも2つのランプ通路の一方に配置され、前記少なくとも1つのランプの第2の端部が、前記リフレクタキャビティから延びる前記少なくとも2つのランプ通路の別のものに配置される、請求項6に記載のランプヘッド。
- 前記複数のリフレクタキャビティが、約10パーセントから約80パーセントの前記輪郭面に開口区域を画定する、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のランプヘッド。
- 前記複数のリフレクタキャビティが、約20パーセントから約70パーセントの前記輪郭面に開口区域を画定する、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のランプヘッド。
- 前記一体構造部材が、前記輪郭面に実質的に平行である前記輪郭面の反対側の表面を有する、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のランプヘッド。
- 基板を処理するための装置であって、
処理容積部を有する処理チャンバと、
前記処理容積部を外部容積部から分離し、輪郭外面を有するドームと、
前記外部容積部内に配置され、前記ドームを通して前記処理容積部にエネルギーを供給するように構成されたランプヘッドであり、請求項1ないし8のいずれか一項に記載される、ランプヘッドと
を含む、装置。 - 前記ドームの前記輪郭外面と前記一体構造部材の前記第1の輪郭面との間に配置された前記外部容積部の少なくとも一部分を前記外部容積部の残りから切り離すシールをさらに含む、請求項11に記載の装置。
- 前記シールが、各リフレクタキャビティを前記外部容積部および隣接するリフレクタキャビティから切り離す、請求項12に記載の装置。
- 前記シールによって切り離された前記外部容積部の少なくとも一部分にガスを供給するための流体源をさらに含み、前記ガスが、前記ランプヘッドと、前記ドームまたは前記処理容積部の少なくとも一方との間のエネルギー移送を制御する、請求項12に記載の装置。
- 前記一体構造部材の前記輪郭面が、前記ドームの前記輪郭外面と実質的に一致する、請求項11に記載の装置。
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US12018372B2 (en) | 2021-05-11 | 2024-06-25 | Applied Materials, Inc. | Gas injector for epitaxy and CVD chamber |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04297581A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | 光気相成長装置 |
JPH0845863A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-16 | Touyoko Kagaku Kk | 半導体基板の枚葉式熱処理装置 |
JPH09237763A (ja) * | 1996-02-28 | 1997-09-09 | Tokyo Electron Ltd | 枚葉式の熱処理装置 |
JP2001035803A (ja) * | 1999-07-22 | 2001-02-09 | Ushio Inc | ランプユニット及び光照射式加熱装置 |
JP2002270532A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Tokyo Electron Ltd | 加熱装置及び熱処理装置 |
JP2002270533A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置及びランプ出力制御方法 |
JP2003022982A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
JP2005222962A (ja) * | 2000-04-20 | 2005-08-18 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置及びその方法 |
US20080072820A1 (en) * | 2006-06-30 | 2008-03-27 | Applied Materials, Inc. | Modular cvd epi 300mm reactor |
JP2009200330A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Denso Corp | 半導体製造装置 |
WO2011021549A1 (ja) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
JP2011515021A (ja) * | 2008-02-22 | 2011-05-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 半導体処理チャンバーのための銀リフレクタ |
JP2012502502A (ja) * | 2008-09-10 | 2012-01-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 冷却が改善されたラピッドサーマルプロセシングランプヘッド |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4047496A (en) * | 1974-05-31 | 1977-09-13 | Applied Materials, Inc. | Epitaxial radiation heated reactor |
US5156820A (en) * | 1989-05-15 | 1992-10-20 | Rapro Technology, Inc. | Reaction chamber with controlled radiant energy heating and distributed reactant flow |
US5002630A (en) | 1989-06-06 | 1991-03-26 | Rapro Technology | Method for high temperature thermal processing with reduced convective heat loss |
US5108792A (en) | 1990-03-09 | 1992-04-28 | Applied Materials, Inc. | Double-dome reactor for semiconductor processing |
TW315493B (en) * | 1996-02-28 | 1997-09-11 | Tokyo Electron Co Ltd | Heating apparatus and heat treatment apparatus |
JP3616687B2 (ja) | 1996-03-04 | 2005-02-02 | 東洋製罐株式会社 | 耐熱耐圧性に優れた自立性容器 |
US6007635A (en) * | 1997-11-26 | 1999-12-28 | Micro C Technologies, Inc. | Platform for supporting a semiconductor substrate and method of supporting a substrate during rapid high temperature processing |
JP5049443B2 (ja) | 2000-04-20 | 2012-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理システム |
US6476362B1 (en) * | 2000-09-12 | 2002-11-05 | Applied Materials, Inc. | Lamp array for thermal processing chamber |
US7075037B2 (en) | 2001-03-02 | 2006-07-11 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment apparatus using a lamp for rapidly and uniformly heating a wafer |
US6818864B2 (en) * | 2002-08-09 | 2004-11-16 | Asm America, Inc. | LED heat lamp arrays for CVD heating |
US7691204B2 (en) * | 2005-09-30 | 2010-04-06 | Applied Materials, Inc. | Film formation apparatus and methods including temperature and emissivity/pattern compensation |
US7860379B2 (en) | 2007-01-15 | 2010-12-28 | Applied Materials, Inc. | Temperature measurement and control of wafer support in thermal processing chamber |
KR101458001B1 (ko) | 2008-06-17 | 2014-11-04 | 주성엔지니어링(주) | 기판 처리 장치 |
-
2013
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- 2013-04-22 CN CN201380021316.2A patent/CN104246969B/zh active Active
- 2013-04-22 KR KR1020147032448A patent/KR102108408B1/ko active IP Right Grant
- 2013-04-26 TW TW102115084A patent/TWI646298B/zh active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04297581A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | 光気相成長装置 |
JPH0845863A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-16 | Touyoko Kagaku Kk | 半導体基板の枚葉式熱処理装置 |
JPH09237763A (ja) * | 1996-02-28 | 1997-09-09 | Tokyo Electron Ltd | 枚葉式の熱処理装置 |
JP2001035803A (ja) * | 1999-07-22 | 2001-02-09 | Ushio Inc | ランプユニット及び光照射式加熱装置 |
JP2005222962A (ja) * | 2000-04-20 | 2005-08-18 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置及びその方法 |
JP2002270532A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Tokyo Electron Ltd | 加熱装置及び熱処理装置 |
JP2002270533A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置及びランプ出力制御方法 |
JP2003022982A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
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JP2009200330A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Denso Corp | 半導体製造装置 |
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