JP2015522939A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 基板処理で使用するためのランプヘッドであって、
   輪郭面を有する一体構造部材と、
   前記輪郭面内に配置された複数のリフレクタキャビティであり、各リフレクタキャビティが、リフレクタとして働くように、またはランプ用の取替可能なリフレクタを受け取るように成形される、複数のリフレクタキャビティと、
   複数のランプ通路であり、各ランプ通路が、前記複数のリフレクタキャビティのうちの１つから前記一体構造部材中に延びる、複数のランプ通路と
   を含む、ランプヘッド。
2. 前記一体構造部材内に配置され、前記複数のランプ通路に近接する複数の冷却材通路をさらに含む、請求項１に記載のランプヘッド。
3. 前記複数のランプ通路が、前記一体構造部材の中心軸のまわりで同心の複数の第１の円弧に配列され、前記複数の冷却材通路が、前記一体構造部材の中心軸のまわりの複数の第２の同心リング内に配置される、請求項２に記載のランプヘッド。
4. 前記一体構造部材の中心軸からより遠くに配置された前記複数のランプ通路のうちの第１のものが、前記一体構造部材の中心軸のより近くに配置された前記複数のランプ通路のうちの第２のものよりも長い長さを有する、請求項３に記載のランプヘッド。
5. 各ランプ通路が、前記複数のリフレクタキャビティのうちの対応するリフレクタキャビティから前記一体構造部材中に延び、各ランプ通路がランプを収容するように構成される、請求項１から４のいずれか一項に記載のランプヘッド。
6. 少なくとも２つのランプ通路が、前記複数のリフレクタキャビティのうちのリフレクタキャビティから前記一体構造部材中に延び、少なくとも１つのランプの少なくとも一部分が、前記複数のリフレクタキャビティのうちの前記リフレクタキャビティ内に配置される、請求項１から４のいずれか一項に記載のランプヘッド。
7. 前記少なくとも１つのランプの第１の端部が、前記リフレクタキャビティから延びる前記少なくとも２つのランプ通路の一方に配置され、前記少なくとも１つのランプの第２の端部が、前記リフレクタキャビティから延びる前記少なくとも２つのランプ通路の別のものに配置される、請求項６に記載のランプヘッド。
8. 前記複数のリフレクタキャビティが、約１０パーセントから約８０パーセントの前記輪郭面に開口区域を画定する、請求項１から４のいずれか一項に記載のランプヘッド。
9. 前記複数のリフレクタキャビティが、約２０パーセントから約７０パーセントの前記輪郭面に開口区域を画定する、請求項１から４のいずれか一項に記載のランプヘッド。
10. 前記一体構造部材が、前記輪郭面に実質的に平行である前記輪郭面の反対側の表面を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載のランプヘッド。
11. 基板を処理するための装置であって、
    処理容積部を有する処理チャンバと、
    前記処理容積部を外部容積部から分離し、輪郭外面を有するドームと、
    前記外部容積部内に配置され、前記ドームを通して前記処理容積部にエネルギーを供給するように構成された、請求項１から４のいずれか一項に記載のランプヘッドと
    を含む、装置。
12. 前記ドームの前記輪郭外面と前記一体構造部材の前記輪郭面との間に配置された前記外部容積部の少なくとも一部分を前記外部容積部の残りから切り離すシールをさらに含む、請求項１１に記載の装置。
13. 前記シールが、各リフレクタキャビティを前記外部容積部および隣接するリフレクタキャビティから切り離す、請求項１２に記載の装置。
14. 前記シールによって切り離された前記外部容積部の少なくとも一部分に流体を供給するための流体源をさらに含み、前記流体が、前記ランプヘッドと、前記ドームまたは前記処理容積部の少なくとも一方との間のエネルギー移送を制御する、請求項１２に記載の装置。
15. 前記一体構造部材の前記輪郭面が、前記ドームの前記輪郭外面と実質的に一致する、請求項１１に記載の装置。