JP2015522927A5 - - Google Patents
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Claims (23)
- 電気化学デバイスを製造する方法であって、
基板の上に前記電気化学デバイスの層を堆積すること、及び
前記層をマイクロ波アニールすること、を含み、前記マイクロ波アニールは、前記層内でのマイクロ波エネルギーの優先的な吸収を伴うアニール条件を選択することを含む、方法。 - 前記電気化学デバイスが薄膜バッテリである、請求項１に記載の方法。
- 前記電気化学デバイスがエレクトロクロミックデバイスである、請求項１に記載の方法。
- 前記電気化学デバイスが厚膜バッテリである、請求項１に記載の方法。
- 前記層はカソード層であり、前記マイクロ波アニールは前記カソード層を結晶化し、及び前記カソード層はカソード電流コレクタ上に堆積され、前記カソード電流コレクタは前記基板上に堆積される、請求項２に記載の方法。
- 前記カソード層は、ＬｉＣｏＯ２層である、請求項５に記載の方法。
- 前記ＬｉＣｏＯ ２ 層は物理的気相堆積により堆積される、請求項６に記載の方法。
- 前記層は上部透明導電性酸化物（ＴＣＯ）層であり、及び前記マイクロ波アニールは前記上部ＴＣＯ層の光透過率及び電気伝導率を改善し、並びに前記上部ＴＣＯ層は、下部ＴＣＯ層、カソード、固体電解質及びアノードを含むエレクトロクロミックデバイススタック上に堆積される、請求項３に記載の方法。
- 前記上部ＴＣＯ層は、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）層である、請求項８に記載の方法。
- 前記ＩＴＯ層はスパッタ堆積される、請求項９に記載の方法。
- 前記層は、ニッケル酸化物を含む電極であり、前記マイクロ波アニールは前記電極を形成する、請求項３に記載の方法。
- 前記電極は、下部ＴＣＯ層、電極、及び固体電解質を含むエレクトロクロミックデバイススタックに堆積される、請求項１１に記載の方法。
- 前記電極は、下部ＴＣＯ層に堆積される、請求項１１に記載の方法。
- 前記厚膜バッテリはリチウムイオンバッテリであり、前記層はスラリとして堆積されるリチウムイオンカソードであり、並びに、前記マイクロ波アニールは前記カソードを乾燥させ及び形成する、請求項４に記載の方法。
- 電気化学デバイスを形成する装置であって、
電気化学デバイス層を基板の上に堆積する第一のシステム、及び、前記デバイス層をマイクロ波アニールする第二のシステム、を備え、前記第二のシステムは、前記層内でのマイクロ波エネルギーの優先的な吸収を提供するように構成される、装置。 - 前記装置はクラスタツール装置である、請求項１５に記載の装置。
- 前記装置はインラインツール装置である、請求項１５に記載の装置。
- 前記第一のシステムと前記第二のシステムは単一のツールに統合されている、請求項１５に記載の装置。
- 前記電気化学デバイスは薄膜バッテリであり、前記第一のシステムは、基板上に形成されるカソード電流コレクタ上にカソード層を堆積させるように構成されるシステムであり、前記第二のシステムは、前記カソード層を結晶化させるように構成される、請求項１５に記載の装置。
- 前記電気化学デバイスはエレクトロクロミックデバイスであり、前記第一のシステムは、前記基板上のエレクトロクロミックデバイススタック上に上部透明導電性酸化物（ＴＣＯ）層を堆積させるように構成されるシステムであり、前記スタックは下部ＴＣＯ層、カソード、固体電解質及びアノードを含み、並びに、前記第二のシステムは、前記上部ＴＣＯ層の光透過率及び電気伝導率を改善するように構成される、請求項１５に記載の装置。
- 前記電気化学デバイスはエレクトロクロミックデバイスであり、前記第一のシステムは、前記基板上のエレクトロクロミックデバイススタック上にニッケル酸化物電極を堆積させるように構成されるシステムであり、前記スタックは、前記基板上に形成される下部ＴＣＯ層、電極、及び固体電解質を含み、並びに、前記第二のシステムは、ニッケル酸化物を含む電極である前記ニッケル酸化物電極を形成するように構成される、請求項１５に記載の装置。
- 前記電気化学デバイスはエレクトロクロミックデバイスであり、前記第一のシステムは、前記基板上のエレクトロクロミックデバイススタック上にニッケル酸化物電極を堆積させるように構成されるシステムであり、前記スタックは下部ＴＣＯ層を含み、及び、前記第二のシステムは、ニッケル酸化物を含む電極である前記ニッケル酸化物電極を形成するように構成される、請求項１５に記載の装置。
- 前記電気化学デバイスはリチウムイオンバッテリであり、前記第一のシステムは、カソード材料の層をスラリとして堆積させるように構成されるシステムであり、並びに、前記第二のシステムは、前記カソード材料を乾燥させ及び形成するように構成される、請求項１５に記載の装置。
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