JP2015511064A - Euv投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのような照明光学ユニットを含む光学系 - Google Patents
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Abstract
Description
S=F×(1−(ΔyFF,max/YFF))
5 照明視野
18 中間焦点面
19 視野ファセットミラー
29 光学リターデーション構成要素
Claims (14)
- リソグラフィマスク(7)を配置することができる照明視野(5)に照明光(16)を案内するためのEUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット(4;26)であって、
前記照明光(16)を前記照明視野(5)に案内するための複数のファセット(25)を有するファセットミラー(19)を含み、
照明光部分ビーム(16i)を案内するそれぞれ1つの照明チャネル(27i)が、前記ファセット(25)のうちの1つによって予め決定され、
正確に1つの照明チャネル(27i)が、前記ファセット(25)のうちのそれぞれ1つにわたって案内され、
照明光学ユニット(4;26)が、照明光学ユニット(4;26)が作動している時に、前記照明視野(5)内の同じ点に同時に入射する異なる照明チャネル(27i)にわたって案内された照明光部分ビーム(16i)のあらゆる対が前記照明光(16)のコヒーレンス持続時間τκよりも大きい相互進行時間差を有するように具現化される、
ことを特徴とする照明光学ユニット(4;26)。 - 前記照明光(16)を前記照明視野(5)に案内するための複数の第1のファセット(25)を有する第1のファセットミラー(19)を含み、
前記照明光(16)のビーム経路内で前記第1のファセットミラー(19)の下流に配置され、かつ複数の第2のファセット(28)を含む第2のファセットミラー(20)を含み、前記第1及び第2のファセット(25,28)は、照明光部分ビーム(16i)を案内するそれぞれ1つの照明チャネル(27)が第1のファセット(25)と関連の第2のファセット(28)とによって予め決定されるように配置され、正確に1つの照明チャネル(27)が、該ファセット(25,28)のうちのそれぞれ1つにわたって案内される、
ことを特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット。 - 進行時間差が、前記照明チャネル(27)のビーム経路の経路長の差に依存して前記照明光部分ビーム(16i)の間に現れるような実施形態を特徴とし、
前記照明光(16)の前記ビーム経路内の前記照明光部分ビーム(16i)へのその分割の前の場所(18)と前記照明視野(5)との間で測定された2つの異なる照明光部分ビーム(16i)の進行時間の間の各差(Δt)が、該照明視野(5)内の各場所に対して該照明光(16)のコヒーレンス持続時間(τκ)よりも常に大きい、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明光学ユニット。 - 少なくとも1つの照明光部分ビーム(16k)を複数の部分ビーム成分(16k l)に分割するための光学リターデーション構成要素(29;33)を特徴とし、該部分ビーム成分(16k l)は、それら自体の間で、前記照明光(16)の前記ビーム経路内の前記照明光部分ビーム(16i)へのその分割の上流及び該リターデーション構成要素の上流の両方に位置する場所(18)と前記照明視野(5)との間で測定されたいずれの照明光部分ビーム(16k)の該部分ビーム成分(16k l)の進行時間の間の各差(Δt)も、依然として該照明光(16)の前記コヒーレンス持続時間(τκ)よりも大きいような対毎の進行時間差を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 前記第1のファセットミラーは、視野ファセットミラー(19)として具現化され、前記第2のファセットミラーは、瞳ファセットミラー(20)として具現化され、
前記視野ファセットミラー(19)の下流に配置されて前記照明光(16)の前記部分ビームのうちのそれぞれ1つを反射するための複数の瞳ファセット(28)を含む前記瞳ファセットミラー(20)を含む前記照明視野(14)に前記視野ファセット(25)の結像を重ねるための伝達光学ユニット(21)を含み、
照明光学ユニットは、前記照明光源(2)の像が前記瞳ファセットミラー(20)の前記瞳ファセット(28)の場所に収まるように配置することができ、
前記瞳ファセットミラー(20)は、前記照明視野(5)の視野点の各1つに前記照明光(16)の前記部分ビームを入射させることができる様々な前記照明チャネルが前記光源(2)と該照明視野(5)の該視野点のそれぞれ1つとの間に異なるチャネル長をそれぞれ有するような傾斜を用いて配置される、
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 前記第1のファセットミラーは、視野ファセットミラー(19)として具現化され、前記第2のファセットミラーは、瞳ファセットミラー(20)として具現化され、
前記視野ファセットミラー(19)の下流に配置されて前記照明光(16)の前記部分ビームのうちのそれぞれ1つを反射するための複数の瞳ファセット(28)を含む前記瞳ファセットミラー(20)を含む前記照明視野(5)に前記視野ファセット(25)の結像を重ねるための伝達光学ユニット(21)を含み、
照明光学ユニットは、前記照明光源(2)の像が前記瞳ファセットミラー(20)の前記瞳ファセット(28)の場所に収まるように配置することができ、
前記瞳ファセットミラー(20)の主ミラー面(55’)が、前記照明視野(5)の視野点の各1つに前記照明光(16)の前記部分ビームを入射させることができる様々な前記照明チャネルが前記光源(2)と該照明視野(5)の該視野点のそれぞれ1つとの間に異なる照明チャネル長をそれぞれ有するように平面基準面(55)から偏位する、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 前記ファセットミラー(19)上に入射する時の照明ビーム(16)の全体ビーム断面が前記ファセット(25)のうちの1つの反射面の20%よりも大きい照明ビーム(16)を該照明光(16)が前記照明視野(5)を照明するように該ファセットミラー(19)の該ファセット(25)にわたって走査する走査デバイス(36)を含み、
前記走査デバイス(36)は、いずれの与えられた時間においても前記照明視野(5)内のそれぞれ1つの視野点(42)が各場合に前記ファセット(25)のうちの最大で1つのものによってのみ照明されるように具現化される、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 前記走査デバイス(36)は、複数のファセット(25)にわたって延びる走査領域(48;67)が前記ファセットミラー(19)上で走査されるように具現化されることを特徴とする請求項7に記載の照明光学ユニット。
- 前記ファセットミラー(19)上に入射する時の照明ビーム(16)の全体ビーム断面が前記ファセット(25)のうちの1つの反射面の200%よりも大きい照明ビーム(16)を前記照明光(16)が前記照明視野(5)を照明するように該ファセットミラー(19)の該ファセット(25)にわたって走査する走査デバイス(36)を含み、
前記走査デバイス(36)は、いずれの与えられた時間においても前記照明視野(5)内のそれぞれ1つの視野点(42)が、光路長差が少なくとも1つのコヒーレンス長だけそれぞれ異なるファセット(25)によってのみ照明されるように具現化される、
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 照明光がそれに沿って案内される照明チャネル対(27i,27j)の場合に、前記時間差(Δt)が前記照明光(16)のコヒーレンス持続時間(τκ)よりも短いような前記照明視野(5)の少なくとも1つの点での入射が存在し、これらの照明チャネル対(27i,27j)の前記照明チャネル(27)のうちの少なくとも1つの断面区域が、該照明視野(5)を照明することに寄与しないことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の照明光学ユニットを含み、かつ
EUV光源(2)を含む、
ことを特徴とする光学系。 - 請求項11に記載の光学系を含み、かつ
照明視野(5)に配置された物体視野を像視野(11)に結像するための投影光学ユニット(10)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置(1)。 - 投影露光の方法であって、
請求項12に記載の投影露光装置(1)を与える段階と、
ウェーハ(13)を与える段階と、
リソグラフィマスク(7)を与える段階と、
前記投影露光装置(1)の投影光学ユニット(10)を用いて前記リソグラフィマスク(7)の少なくとも一部を前記ウェーハ(13)感光層の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項13に記載の方法によって生成された微細構造化又はナノ構造化構成要素。
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