JP2015508716A - 被覆された切削工具 - Google Patents

Abstract

本発明は、基材及び複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ被覆を含む、被覆された切削工具に関する。該被覆は３つの領域、すなわち、基材に最も近い第１の領域（Ａ）、該第１の領域と隣接している第２の領域（Ｂ）、及び最も外側の第３の領域（Ｃ）を含む。３つの領域全てはそれぞれ（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎの複層非周期構造を含み、各領域についての平均組成は互いに異なり、領域Ｃの厚さと領域Ｂの厚さとの比は１．３〜２．２であり、ｚ領域C＞ｚ領域B（式中、ｚは各領域についての平均組成の比ｚ＝Ｔｉ／Ａｌである）である。該被覆は低い残留応力を有する。

Description

本発明は、基材及びＰＶＤ被覆を含む被覆された切削工具であって、（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ被覆が非周期の複層被覆構造を有する、被覆された切削工具に関する。

切削工具上の（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ ＰＶＤ被覆は、当技術分野において広く知られている。均一な被覆及び複数の薄層を含む被覆はいずれも、当技術分野において記載されている。

欧州特許出願公開第９８３３９３号明細書は、交互の窒化物層、例えばＴｉＮ／ＴｉＡｌＮ複層の非周期の複層構造を記載している。

欧州特許出願公開第１７９５６２８号明細書は、被覆された切削工具インサートであって、交互のＡｌ_xＴｉ_1-xＮ及びＴｉ_yＡｌ_1-yＮ層（式中、ｘ＝０．４〜０．７及びｙ＝０．６〜１）の非周期の複層構造を含み、１つのＡ＋Ｂ副層の平均の厚さの範囲が３０〜３００ｎｍ、好ましくは６０〜１２０ｎｍの範囲内であるＰＶＤ被覆を有する、被覆された切削工具インサートを記載している。

複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ ＰＶＤ被覆は、通常は被覆の厚さと共に上昇する圧縮残留応力を有する。圧縮残留応力が高くなりすぎた場合、被覆は、特に切刃の付近でひびが入る。他方、より厚い被覆はより高い耐摩耗性を有し、これにより工具寿命が延びる。

複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ ＰＶＤ被覆の性能を向上させようとする努力が続いており、低い圧縮応力を有するより厚い被覆を得る目的が常に存在する。

それゆえ、本発明の目的は、より低い圧縮残留応力を有する複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ ＰＶＤ被覆を提供することである。

本発明の別の目的は、亀裂が入ることなく上昇した厚さを有することができる複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ ＰＶＤ被覆を提供することである。

本発明のさらに別の目的は、複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ ＰＶＤ被覆を製造する方法を提供することである。

以下で説明するように、今回、上記の目的は本発明により達成できることが見出された。

本発明による被覆の模式図である。図中、Ａ、Ｂ及びＣは、３つの異なる領域Ａ、Ｂ及びＣを示し、Ｄは基材を示す。 本発明による被覆のＸＲＤディフラクトグラムを示す。Ｉ（１１１）、Ｉ（２００）及びＩ（２２０）のピークの顕著な強度がはっきりと見られる。 例３（比較例１）による被覆のＸＲＤディフラクトグラムを示す。図１（本発明）と比較して、Ｉ（１１１）及びＩ（２００）のピークは顕著でない。 例２（先行技術）による被覆のＸＲＤディフラクトグラムを示す。図１（本発明）と比較して、Ｉ（１１１）及びＩ（２００）のピークは顕著でない。

本発明は、基材及び複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ被覆を含む、被覆された切削工具に関する。被覆は、３つの領域、すなわち、基材に最も近い第１の領域（Ａ）、該第１の領域と隣接している第２の領域（Ｂ）、及び最も外側の第３の領域（Ｃ）を含む。領域Ｂ及びＣはそれぞれ、交互の（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ独立層Ｘ及びＹの複層非周期構造を含み、独立層Ｘは、独立層Ｙよりも高いＴｉ含有量の組成を有する。各領域についての平均組成は互いに異なり、領域Ｃの厚さと領域Ｂの厚さとの比は１．３〜２．２、好ましくは１．４〜１．９であり、ｚ_領域C＞ｚ_領域B（式中、ｚは各領域についての平均組成の比ｚ＝Ｔｉ／Ａｌである）である。

適切には、領域Ａは、Ｔｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦９０、好ましくは７０≦ａ≦８０である）の組成を有する均一な（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ層である。領域Ａの厚さは適切には０．０５〜０．５μｍ、好ましくは０．０７５〜０．２μｍである。

本発明の１つの実施態様において、領域Ｂ及びＣはそれぞれ交互の（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ独立層Ｘ及びＹの複層非周期構造から成り、すなわち領域Ｂ及びＣにはいかなる他の層も堆積されていない。

各領域は、各領域内において不規則な複層非周期構造を含み、すなわち、複層構造中の特定の独立層の厚さは、当該特定の独立層の直下の独立層の厚さとも直上の独立層の厚さとも関係がない。複層構造は、少なくとも１０個の連続した独立層の連なりにおいて、いかなる反復周期も有しない。独立層の平均の厚さは０．１ｎｍ超１００ｎｍ未満であり、好ましくは０．５ｎｍ超５０ｎｍ未満であり、最も好ましくは１ｎｍ超３０ｎｍ未満である。複層構造における任意の１０個の連続した層の合計は、３００ｎｍ未満である。

領域Ｂ及びＣの各範囲内において、層厚みの構造により、複層非周期構造の組成を不規則に変化させることもできる。特定の位置において測定した場合には組成は異なるが、少なくとも１００個の独立層にわたって測定した平均組成は、それぞれ領域Ｂ及び領域Ｃ全体を通して同一となる。このことは、全体の領域内において、非周期層構造に起因する不規則なばらつきを除いては、異なる組成勾配も他の制御された組成のパターンも存在しないことを意味する。

複層構造中の各独立層の組成は、その薄い厚さのために、隣接する層の寄与なしには容易に測定することはできない。測定することができるものは、より多い数の独立層にわたる、好ましくは複層構造全体にわたる平均組成である。しかし、各独立層の組成は、使用したターゲットの組成から推定することができるが、それは正確な組成を与えるものではない。より厚い層が堆積され、分析するのに十分な厚さである場合、堆積された層の組成はターゲット材料の組成と比較して数パーセント異なる可能性があることがわかっている。この事実のために、以下に記載する本発明による複層構造の独立層の全ての組成は、堆積中に使用したターゲットの組成から推定したものである。

複層構造とは、ここでは少なくとも５個の独立層を含む構造を意味する。しかしながら、複層構造は独立層を数千個まで含むことができる。領域Ｂ及びＣにおける複層構造は、互いに異なる組成を有する（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎの交互の独立層Ｘ及びＹを有する。

本発明の１つの実施態様において、独立層ＸはＴｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦９０、好ましくは７０≦ａ≦８０である）の組成を有し、独立層ＹはＴｉ_bＡｌ_1-bＮ（式中、３３≦ｂ≦４０、好ましくは３４≦ｂ≦３９である）の組成を有する。

本発明による被覆は、適切には−０．５〜−１．５ＧＰａ、好ましくは−０．７５〜−１．２５ＧＰａの残留圧縮応力を有する。残留応力は、周知のｓｉｎ²ψ法を使用するＸ線回折測定により評価しており、ｓｉｎ²ψ法は、Ｉ．Ｃ．Ｎｏｙａｎ，Ｊ．Ｂ．ＣｏｈｅｎによりＲｅｓｉｄｕａｌ Ｓｔｒｅｓｓ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｂｙ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ａｎｄ Ｉｎｔｅｒｐｒｅｔａｔｉｏｎ，Ｓｐｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｇ，Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ，１９８７（ｐｐ１１７−１３０）に記載されている。この測定法は、（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ（２００）反射についてＣｕＫα放射線を使用して実施する。選択されたｓｉｎ²ψ範囲内の等距離の６〜１１個、好ましくは８個のψ角度を有するサイド傾斜技術（ψ幾何学）を使用している。９０°のΦ扇形の範囲内でのΦ角度の等距離分布が好ましい。２軸応力状態を確認するため、サンプルは、Φ＝０°及び９０°回転させながらΨ傾斜させる必要がある。せん断応力の存在可能性を調査することが推奨され、したがって、負及び正のΨ角度の双方を測定する必要がある。オイラー角１／４クレドールの場合、これは、異なるΨ角度に対してΦ＝１８０°及び２７０°でもサンプルを測定することによって成し遂げられる。測定は、可能な限り平坦な表面、好ましくはインサートの逃げ面で実施する必要がある。残留応力値を計算するためには、ポアソン比ν＝０．２０及びヤング率Ｅ＝４５０Ｇｐａの値を使用すべきである。データは、商業的に入手可能なソフトウェア、例えばＢｒｕｋｅｒ−ＡＸＳ社からのＤＩＦＦＲＡＣ^PlusＳｔｒｅｓｓ３２ｖ．１．０４を使用し、好ましくはＰｓｅｕｄｏ−Ｖｏｉｇｔ−Ｆｉｔ関数により（２００）反射を位置決めして評価する。２軸応力状態の場合、この全応力は得られた２軸応力の平均値として計算する。

本発明による被覆は、ＸＲＤにより測定した場合、適切にはＩ（１１１）、Ｉ（２００）及びＩ（２２０）の顕著な強度を有する。１１１及び２００のピークの強度の比は、適切には０．７〜１．５、好ましくは０．８〜１．４、最も好ましくは０．９〜１．３５である。１１１及び２２０のピークの強度の比は、適切には１〜７、好ましくは２〜６である。

本発明による被覆は、適切には２５〜４５ＧＰａ、好ましくは３０〜４０ＧＰａの硬度を有する。被覆はまた、４５０〜６５０ＧＰａ、好ましくは５００〜６００ＧＰａの弾性係数を有する。硬度及び弾性係数は、５０ｍＮでのナノインデンテーションを使用して評価している。

被覆全体の厚さの合計は、適切には０．５〜１５μｍ、好ましくは１〜１０μｍ、最も好ましくは３〜６μｍである。ここで与える全ての厚さは、ターゲットから見て直線上にある、適度に平坦な表面について実施された測定値を言うものである。インサートについては、堆積中にはピンスティックに取り付けられており、これはターゲットに直接面している側の中央で厚さを測定していることを意味する。不規則な表面、例えばドリル及びエンドミルの表面等については、ここで与える厚さは任意の適度に平坦な表面又は比較的大きな曲率を有しかつ任意の縁又は角部から幾らか離れた位置の表面について測定された厚さを言うものである。例えば、ドリルについては外縁で測定を行っており、エンドミルについては逃げ面で測定を行っている。測定は、ここでは研磨された断面上で行っている。

複層構造中の平均化学組成は、ＥＤＳ（エネルギー分散分光法）を使用して、被覆のトップビューについて測定する。

切削工具とは、ここではインサート、ドリル、エンドミル又は交換可能なドリル先端を意味する。

本発明の１つの実施態様において、基材は超硬合金、サーメット、セラミック又は立方晶窒化ホウ素の切削工具インサートである。

本発明の１つの実施態様において、基材は超硬合金又は高速度鋼のドリル又はエンドミルである。

本発明は、カソードアーク蒸着を使用する上記による被覆された切削工具の製造方法にも関する。堆積チャンバーは６つのフランジを含み、フランジはそれぞれ少なくとも１つの（Ｔｉ、Ａｌ）ターゲットを含む。フランジのうちの３つは組成Ｘを有するターゲットを含み、他方の３つのフランジは組成Ｙを有するターゲットを含み、該組成Ｘは該組成Ｙよりも高いＴｉ含有量を有する。方法は更に、
−組成Ｘを有するターゲットが稼働中である、窒素ガスの存在下でかつ１００〜２００Ｖ、好ましくは１２５〜１７５Ｖのバイアスでの第１の堆積工程と、
−６つのフランジ全てのターゲットが稼働中である、窒素ガスの存在下でかつ３０〜６０Ｖ、好ましくは３５〜５０Ｖのバイアスでの第２の堆積工程と、
−組成Ｙを有するターゲットを含むフランジのうちの１つを停止させて残りのターゲットを稼働中としている、Ｎ₂ガスの存在下でかつ３０〜６０Ｖ、好ましくは３５〜５０Ｖのバイアスでの第３の堆積工程と
を含む。

本発明の１つの実施態様において、堆積は連続的である。連続的であるとは、ここでは異なる堆積工程の間での変更が中断することなく行われること、すなわち、少なくとも３つのフランジが常に稼働中であることを意味する。

各フランジは少なくとも１つのターゲット、好ましくは１〜６つのターゲット、より好ましくは３〜５つのターゲット、最も好ましくは４つのターゲットを含む。適切には１つのフランジ内の全てのターゲットは全て同一の組成を有する。ターゲットをそのような方法で堆積チャンバーに設置して、組成Ｘを有するターゲットを含むフランジが常に組成Ｙを有するターゲットを含むフランジの隣にあるようにする。

本発明の１つの実施態様において、ターゲットと被覆すべき工具との間の距離は＜２００ｍｍである。

本発明の１つの実施態様において、ターゲット組成Ｘは、Ｔｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦９０、好ましくは７０≦ａ≦８０である）の組成を有し、ターゲット組成ＹはＴｉ_bＡｌ_1-bＮ（式中、３３≦ｂ≦４０、好ましくは３４≦ｂ≦３９である）の組成を有する。

独立層の非周期の連なりの厚さは上記のターゲットの前で被覆すべき基材を不規則に回転させること又は動かすことにより生成される。好ましくは非周期構造を得るように配列された３重回転基材テーブルの上に基材を設置することによりこれを行う。３重回転は、回転速度及び回転方向（時計回り又は反時計回り）に関して調整することができる。

本発明の１つの実施態様において、堆積は欧州特許出願公開第２０３７０００号明細書に記載されている堆積チャンバーで実施する。

本発明の方法は、異なる前処理工程又は後処理工程を更に含むことができる。

本発明の１つの実施態様において、方法は、基材をブラストにかけること、好ましくは基材の角を丸くする第１の乾式ブラスト工程、引き続き乾式ブラスト工程からの残留物を除去する第２の湿式ブラスト工程を含む２工程ブラスト操作にかけることを含む前処理を含む。しかしながら、ブラストは乾式ブラスト又は湿式ブラストのいずれかによっても同様に実施することができる。前処理ブラストについてのパラメーターは変更することができ、当業者によく知られている。

１つの実施態様において、上記の工程の１つ又は複数により形成された被覆を、ブラスト、代替的にはショットピーニング等を含む後処理にかける。１つの側面において、ブラストはより滑らかな表面を与えることができる。

［例１（本発明）］
超硬合金製の交換可能なドリル先端の形をした切削工具を、欧州特許出願公開第２０３７０００号明細書に記載されているＰＶＤ被覆チャンバーに設置した。堆積はアーク蒸着により実施した。堆積チャンバーはそれぞれ４つのターゲットを有する６つのフランジを含んでいた。フランジのうちの３つはＡｌ_0.25Ｔｉ_0.75合金のターゲットを含んでおり、他方の３つのフランジはＡｌ_0.67Ｔｉ_0.33合金のターゲットを含んでいた。

（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ接着層（層Ａ）を、Ａｌ_0.25Ｔｉ_0.75ターゲットを使用して窒素雰囲気中で８μｂａｒの圧力で堆積させた。上記接着層の厚さは約０．１５μｍであった。第２の層（層Ｂ）を、窒素雰囲気中で２０μｂａｒの圧力で、全てのフランジを稼働中にさせて堆積させた。非周期層状構造は、工具の３重回転により堆積チャンバーの内部で得られた。第２の層の厚さは１．９μｍであった。この層の平均組成はＳＥＭ−ＥＤＳにより決定してＡｌ_0.42Ｔｉ_0.58であった。第３の層（層Ｃ）を、窒素雰囲気中で２０μｂａｒの圧力で、６つのフランジのうちの５つを使用して堆積させ、ターゲット組成Ａｌ_0.67Ｔｉ_0.33を有する１つのフランジを停止させ、稼働中のＡｌ_0.67Ｔｉ_0.33合金ターゲットの量が稼働中のＡｌ_0.25Ｔｉ_0.75合金ターゲットの量の２／３となるようにした。

非周期層状構造は工具の３重回転により堆積チャンバーの内部で得られた。第３の層の厚さは３μｍであった。第３の層の平均ターゲット組成は、ＳＥＭ−ＥＤＳにより決定してＡｌ_0.38Ｔｉ_0.62であった。適用した被覆の厚さの合計は５μｍであった。トップビューでＳＥＭ−ＥＤＳにより測定した被覆全体の組成はＡｌ_0.40Ｔｉ_0.60であった。

［例２（先行技術）］
例１と同様のサイズ、形状及び組成を有する交換可能なドリル先端の形をした切削工具を、Ｏｅｒｌｉｋｏｎ ＢａｌｚｅｒｓからのＲＣＳと称されるＰＶＤ被覆チャンバーに設置し、堆積をアーク蒸着により実施した。ＴｉＮ接着層を、Ｔｉターゲットを使用して窒素及びアルゴン雰囲気中で堆積させた。ＴｉＮ接着層の被覆の厚さは０．１５μｍであった。第２の層を、Ｎ₂雰囲気中で３２μｂａｒの圧力でＡｌ_0.50Ｔｉ_0.50及びＴｉの合金から成るターゲットを使用して堆積させた。非周期層状構造は、工具の３重回転により堆積チャンバーの内部で得られた。第２の層の厚さは３．２μｍであった。この被覆の平均組成はＳＥＭ−ＥＤＳにより決定してＡｌ_0.15Ｔｉ_0.85であった。第３の外層を、窒素及びアルゴン雰囲気中でＡｌ_0.16Ｔｉ_0.84合金から成るターゲットを使用して堆積させた。非周期層状構造は、工具の３重回転により堆積チャンバーの内部で得られた。第３の層の厚さは０．３μｍであった。第３の層の平均組成はＳＥＭ−ＥＤＳにより決定してＡｌ_0.16Ｔｉ_0.84であった。適用した被覆の厚さの合計は３．７μｍであった。

［例３（比較例１）］
比較例として、層Ａ、Ｂ及びＣを含む被覆を、例１と同様の原理を使用して堆積させたが、層Ｂの厚さと層Ｃの厚さとの比が１であったという違いがあった。すなわち、両方の層は同じ厚さを有していた。被覆の厚さの合計は３．２μｍであった。この被覆を比較例１と称する。

［例４（比較例２）］
別の比較例として、層Ａ及びＢのみを含む被覆を堆積させた。被覆は、例１と同様の原理を使用して堆積させた。この被覆を比較例２と称する。

［例５（残留応力）］
残留応力を、例１〜５において堆積させた被覆について測定した。測定は、本明細書中に記載したものを使用してＸＲＤにより実施した。結果を表１に示す。

［例６］
例１及び２からの工具を掘削で試験した。
操作：掘削
ワークピース材料：ＳＳ２５４１
切削速度：８０ｍ／分
供給：０．３ｍｍ／回転
冷却剤あり

工具寿命の基準は切刃に沿った破損及び角部の摩耗であった。工具寿命の基準を満足するまでに空けられた穴の数で工具寿命を測定した。結果を表２に示す。

［例７］
例１、２及び３（比較例１）からの工具を掘削で試験した。
操作：掘削
ワークピース材料：ＳＳ２５４１
切削速度：１００ｍ／分
供給：０．４ｍｍ／回転
冷却剤あり

工具寿命の基準は切刃に沿った破損及び角部の摩耗であった。工具寿命の基準を満足するまでに空けられた穴の数で工具寿命を測定した。結果を表３に示す。

Claims (11)

1. 基材及び複層（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ被覆を含む、被覆された切削工具であって、該被覆が３つの領域、すなわち、
   基材に最も近い第１の領域（Ａ）、
   該第１の領域と隣接している第２の領域（Ｂ）、及び
   最も外側の第３の領域（Ｃ）
   を含み、領域Ｂ及びＣがそれぞれ交互の（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ独立層Ｘ及びＹの複層非周期構造を含み、該独立層Ｘが該独立層Ｙよりも高いＴｉ含有量の組成を有し、各領域についての平均組成が互いに異なり、かつ、
   領域Ｃの厚さと領域Ｂの厚さとの比が１．３〜２．２であり、ｚ_領域C＞ｚ_領域B（式中、ｚは各領域についての平均組成の比ｚ＝Ｔｉ／Ａｌである）であることを特徴とする、
   被覆された切削工具。
2. 前記独立層ＸがＴｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦９０である）の組成を有し、前記独立層ＹがＴｉ_bＡｌ_1-bＮ（式中、３３≦ｂ≦４０である）の組成を有することを特徴とする、請求項１に記載の被覆された切削工具。
3. 前記独立層ＸがＴｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦８０である）の組成を有し、前記独立層ＹがＴｉ_bＡｌ_1-bＮ（式中、３４≦ｂ≦３９である）の組成を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の被覆された切削工具。
4. 前記非周期構造における１０個の連続した独立層の厚さの合計が、３００ｎｍ未満であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の被覆された切削工具。
5. 圧縮残留応力が−０．５〜−１．５ＧＰａであることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の被覆された切削工具。
6. 前記領域Ｃの厚さと領域Ｂの厚さとの比が１．４〜１．９であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の被覆された切削工具。
7. 前記領域Ａが、Ｔｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦９０である）の組成を有する均一な（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ層であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の被覆された切削工具。
8. 被覆すべき基材を提供する工程と、それぞれ少なくとも１つの（Ｔｉ、Ａｌ）ターゲットを含む合計６つのフランジを含む堆積チャンバーに該基材を設置する工程とを含み、３つのフランジが組成Ｘを有するターゲットを含み、他方の３つのフランジが組成Ｙを有するターゲットを含み、該組成Ｘが該組成Ｙよりも高いＴｉ含有量を有する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の被覆された切削工具の製造方法であって、次の工程、すなわち、
   −組成Ｘを有するターゲットが稼働中である、窒素ガスの存在下でかつ１００〜２００Ｖのバイアスでの第１の堆積工程と、
   −６つのフランジ全てのターゲットが稼働中である、窒素ガスの存在下でかつ３０〜６０Ｖのバイアスでの第２の堆積工程と、
   −組成Ｙを有するターゲットを含むフランジのうちの１つを停止させて残りのターゲットを稼働中としている、窒素ガスの存在下でかつ３０〜６０Ｖのバイアスでの第３の堆積工程と
   を含む、被覆された切削工具の製造方法。
9. ターゲットＸがＴｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦９０である）の組成を有し、ターゲットＹがＴｉ_bＡｌ_1-bＮ（式中、３３≦ｂ≦４０である）の組成を有することを特徴とする、請求項８に記載の被覆された切削工具の製造方法。
10. ターゲットＸがＴｉ_aＡｌ_1-aＮ（式中、７０≦ａ≦８０である）の組成を有し、ターゲットＹがＴｉ_bＡｌ_1-bＮ（式中、３４≦ｂ≦３９である）の組成を有することを特徴とする、請求項８又は９に記載の被覆された切削工具の製造方法。
11. 堆積が連続的であることを特徴とする、請求項８〜１０のいずれか１項に記載の被覆された切削工具の製造方法。

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