JP2015214094A - 流延膜乾燥装置及び溶液製膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】溶液製膜における流延膜の表面の荒れを防止する流延膜乾燥装置及び溶液製膜方法を提供する。
【解決手段】溶液製膜設備の流延装置は、第１流延膜乾燥装置３１を備える。第１流延膜乾燥装置３１では、複数の送風セット４０が搬送路に沿って配されている。各送風セット４０は、給気口４１ａ、吸込口４２ａが対向した向きに配された一対の給気ユニット４１と吸込ユニット４２を有している。送風ファン６１から給気ユニット４１に供給される乾燥気体が、給気口４１ａから流延バンド２１の走行方向に平行に送出される。送風ファン６１から供給される乾燥気体を、整流格子を含む給気整流部によって整流し、給気口４１ａから送出される乾燥気体の流れのうち流延膜Ｆ０に垂直な成分を抑制する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ドープから形成する流延膜の流延膜乾燥装置及び溶液製膜方法に関する。

光透過性を有するポリマーフィルム（以下、フィルムと称する）は、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムをはじめとして、近年市場が拡大している液晶表示装置の構成部材である光学フィルム（例えば、位相差フィルムや偏光板保護フィルム等）に用いられている。

フィルムの主な製造設備として、流延装置を備えた溶液製膜設備が知られている。流延装置は、環状の流延バンド（支持体）、流延ダイ、乾燥装置、剥取ローラ等を備える。流延バンドは、例えば一対のバックアップローラに掛けられて循環走行する。流延ダイは、走行する流延バンドの流延面（表面）に、ポリマーと溶媒とを含むポリマー溶液（以下、ドープと称する）を流して、流延膜を形成する。乾燥装置は、流延膜が自立して搬送可能になるまで、溶媒を蒸発させる初期乾燥を行う。剥取ローラは、初期乾燥が終了した流延膜を流延バンドから剥がし、湿潤したフィルムとして次のテンタなどによる乾燥装置に送り出す。乾燥装置では、湿潤フィルムから更に溶媒を蒸発させ、フィルムを得る。

ドープ中にポリマー、例えばセルロースアシレートの溶け残りなどの異物がある場合、ドープ中の異物が製造されるフィルムの欠陥となる。このため、流延前にドープをフィルタで濾過して異物を除去し、この濾過したドープを流延ダイに供給している。この場合には、溶媒比率を高めにしてドープの粘度を下げることによって、ドープを滞留させることなく目開き寸法が小さい、例えば５μ以下の濾材を用いて高精度な濾過をしている。

初期乾燥を行う乾燥装置として、適当な温度に調整された気体（以下、乾燥気体という）を流延膜の表面上を流すものが知られている（例えば、特許文献１〜３などを参照）。このような流延膜乾燥装置では、給気口を流延バンドと平行な方向に、例えば流延バンドの走行方向に向けて給気口から乾燥気体を送出している。これにより、流延膜の表面に沿って乾燥気体を流すようにしている。特許文献２では、給気口を幅方向（搬送方向と直交する方向）に複数に仕切る垂直な整流フィンを設けている。また、特許文献３に記載の流延膜乾燥装置では、乾燥気体の送出方向の下流側、かつ搬送路の上方に排気手段を設けている。

特開２０１２−０３０４８０号公報 特開２００６−２９７９０６号公報 特開２０１２−０７１５４１号公報

ところで、上記のようにドープの粘度を下げておくと、流延バンドに流延された流延膜の表面が短時間でならされるため、表面が高精度に平滑化されたフィルムを得ることができる。しかし、粘度の低さに伴い、流延膜の表面上の乾燥気体の流れの影響を受けて表面が荒れてしまうという問題があった。また、給気口を流延バンドの走行方向に向けて給気口から乾燥気体を送出するようにしても、十分に表面の荒れを抑えることはできなかった。

本発明は、上記事情を鑑みなされたもので、流延膜の表面の荒れを防止することができる流延膜乾燥装置及び溶液製膜方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の流延膜乾燥装置は、支持体の走行による流延膜の搬送路の上方に配される給気ユニットと、給気部よりも搬送路の下流側に配される吸込ユニットと、気体を給気ユニットに供給する送風機と、吸込ユニットに接続され吸込口から気体を吸い込む吸引機とを備える。給気ユニットは、流延膜の表面の近傍に流す給気口、及び給気口から送出される気体の流れのうち流延膜に垂直な成分を抑制する給気整流部を有する。吸込ユニットは、給気口に対向して配され、給気口から送出されて流延膜上を流れる気体を吸い込む吸込口、及び吸込口から吸い込む気体の流れの乱れの発生を抑制する吸込整流部を有する。

給気口と吸込口とが対向して対をなす給気部と吸込部とを送風セットとして、複数の送風セットを搬送路に沿って配することが好ましい。

複数の送風セットを支持体の走行方向に順に、第１送風セットと、それ以外の第２送風セットとに分け、第１送風セットでは、流延膜の搬送速度をＶｆとし、給気口から送出される気体の流延膜に対する相対流速をＶｓとしたときに、相対流速Ｖｓを
−（０．２×Ｖｆ）≦Ｖｓ≦−（０．０５×Ｖｆ）
または
＋（０．０５×Ｖｆ）≦Ｖｓ≦＋（０．２×Ｖｆ）の範囲内にして、流延膜を乾燥させることが好ましい。

給気口から送出される気体の流速は、搬送路の上流側の送風セットの流速よりも下流側の送風セットの流速が大きいことが好ましい。

送風セットにおける給気口と吸込口の間隔は、搬送路の上流側の送風セットの間隔よりも下流側の送風セットの間隔が大きいことが好ましい。

給気整流部は、給気口と送風機との間の気体の流路に配され気体の供給方向に貫通した複数のセルが形成された整流格子を含むことが好ましい。

本発明の溶液製膜方法は、走行する支持体の流延面にドープを流延することによって流延膜を形成する流延工程と、上記流延膜乾燥装置によって流延膜を乾燥する乾燥工程と、流延膜を支持体からフィルムとして剥ぎ取る剥ぎ取り工程とを有する。

本発明によれば、給気口から支持体の走行方向に平行に気体が送出されて流延膜の表面の近傍に流され、給気口から送出されて流延膜上を流れる気体を吸込口から吸い込むため、流延膜上を流れる乾燥気体の流れの乱れが抑制され、且つ送出される気体の流れのうち流延膜に垂直な成分が抑制される。これにより、流延膜の表面が荒れることがなくなる。

本発明の溶液製膜設備の概略を示す側面図である。 第１流延膜乾燥装置の概略を示す側面図である。 隣接した給気ユニットと吸込ユニットの境界下部に設けられる底部材を示す斜視図である。 給気ユニットの一部を切り欠いて示す斜視図である。 給気ユニットの内部を示す断面図である。 吸込ユニットを示す斜視図である。 乾燥気体の流速を搬送路の下流のものほど大きくした例を示す第１流延膜乾燥装置の概略の側面図である。 給気口と吸込口の間隔を搬送路の下流のものほど大きくした例を示す第１流延膜乾燥装置の概略の側面図である。 給気口の高さによって乾燥気体の流速を変える例を示す第１流延膜乾燥装置の概略の側面図である。 給気口の近傍に整流格子を配した給気ユニットを示す断面図である。 整流格子の長さを搬送路の下流のものほど短くした例を示す第１流延膜乾燥装置の概略の側面図である。

［第１実施形態］
図１において、溶液製膜設備１０は、ドープ１１からセルロースアシレートフィルム（以下、フィルムと称する）Ｆ１を製造する。溶液製膜設備１０は、流延装置１４、縦延伸装置１５、サイドスリッタ１６、テンタ１７、乾燥室１８、巻取装置１９を備えている。この溶液製膜設備１０を用いて、溶液製膜方法が実施される。

流延装置１４は、ドープ１１から溶媒を含んだ状態の湿潤したフィルムＦ１を形成する。この流延装置１４は、流延バンド２１、一対のバックアップローラ２２，２３、流延ダイ２４、剥取ローラ２５、加熱器２６〜２９、第１〜第３流延膜乾燥装置３１〜３３、これらを収容した流延室３４、及び空調装置３５などを備える。

流延バンド２１は、環状にされた無端の支持体であり、バックアップローラ２２，２３に掛け渡されて、バックアップローラ２２とバックアップローラ２３との間が水平になっている。バックアップローラ２２，２３のうちの一方、例えばバックアップローラ２２が駆動部（図示省略）によって駆動され、流延バンド２１が循環走行する。この循環走行によって、流延バンド２１は、ドープ１１が流延される流延位置ＣＰから各流延膜乾燥装置３１〜３３による乾燥エリアを通って、流延膜Ｆ０が剥ぎ取られる剥取位置ＰＰに移動し、再び流延位置ＣＰに戻る。流延バンド２１は、その移動速度、すなわち流延速度が１０ｍ／ｍｉｎ以上２５０ｍ／ｍｉｎ以下で移動できるものであることが好ましい。

流延ダイ２４は、走行中の流延バンド２１の流延面（外周面）にドープ１１を吐出することにより、流延バンド２１の流延面に流延膜Ｆ０が連続的に形成される（流延工程）。減圧チャンバ３７は、流延ダイ２４の吐出口から吐出されて流延バンド２１の流延面に達するまでの間のドープ１１の背面側を減圧することによって、そのドープ部分（ビード）の振動を抑制する。なお、流延位置ＣＰは、流延バンド２１がバックアップローラ２２に巻き掛けられた位置の他に、バックアップローラ２２，２３の間の流延バンド２１上であってもよい。流延ダイ２４から押出されるドープ１１の残留溶媒量は、乾燥時の質量基準（乾量基準）で３００質量％以上５００質量％以下であることが好ましい。また、流延ダイ２４から押出されるドープの粘度（レオメーターで測定）は４０Ｐａ・ｓ以上５０Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。

流延装置１４では、流延バンド２１による流延膜Ｆ０の搬送中に、流延バンド２１から流延膜Ｆ０を剥ぎ取ることができる程度に乾燥を進める初期乾燥を行う。この初期乾燥のために、加熱器２６〜２９、第１〜第３流延膜乾燥装置３１〜３３が設けられている。加熱器２６〜２９は、流延バンド２１の流延面とは反対側の面に対向して配されており、流延バンド２１を介して流延膜Ｆ０の温度を制御し、流延膜Ｆ０から溶媒の蒸発を促す。流延バンド２１の温度は、温調機（図示省略）で温度調節された伝熱媒体を各バックアップローラ２２，２３の内部に供給することによっても制御される。バックアップローラ２３には加温された伝熱媒体が供給され、流延膜Ｆ０から溶媒の蒸発が促される。一方のバックアップローラ２２には冷却された伝熱媒体が供給され、流延膜Ｆ０を剥ぎ取った後の流延バンド２１の温度上昇が抑制される。

第１〜第３流延膜乾燥装置３１〜３３は、流延面に対向して設けてある。第１流延膜乾燥装置３１は、流延バンド２１が流延位置ＣＰからバックアップローラ２３に向かう上側搬送路の上方に配してある。第２，３流延膜乾燥装置３２，３３は、流延バンド２１がバックアップローラ２３から剥取位置ＰＰに向かう下側搬送路の下方に配してある。

第１流延膜乾燥装置３１は、複数の送風セット４０を備えている。各送風セット４０は、流延膜Ｆ０を乾燥させるための気体（以下、乾燥気体という）を送出する給気ユニット４１と、乾燥気体を吸い込む吸込ユニット４２とから構成される。そして、給気ユニット４１は先端に給気口４１ａを有し、吸込ユニット４２は先端に吸込口４２ａを有する。これら給気口４１ａと吸込口４２ａとは対向し、給気ユニット４１と吸込ユニット４２とが対をなしている。各送風セット４０は、流延膜Ｆ０の表面上に、流延バンド２１の走行方向Ｘと平行、すなわち流延膜Ｆ０の表面と平行に乾燥気体を流す。乾燥気体としては、空気や不活性ガスなどが用いられる。なお、本明細書において、「平行」、「直交」、「垂直」とは、厳密な角度±５°以下の範囲内であることを意味する。厳密な角度との誤差は、±４°未満であることが好ましく、±３°未満であることがより好ましい。

第１流延膜乾燥装置３１による乾燥を行う第１乾燥区間では、バックアップローラ２３を回って流延バンド２１の上下が反転した状態でも、流延膜Ｆ０の形状が維持できる硬さにまで乾燥を進める初期乾燥を行う（乾燥工程）。また、第１乾燥区間の流延膜Ｆ０は、流延直後であり溶媒の比率がまだ高く、乾燥気体の流れ（乾燥風）等によって流延膜Ｆ０の表面の荒れが発生しやすい区間である。このため、第１流延膜乾燥装置３１は、流延バンド２１と平行に乾燥気体を流して表面の荒れを抑制して乾燥を進める。

流延膜Ｆ０上を流れる乾燥気体に含まれる流延膜Ｆ０から蒸発した溶媒のガス濃度は、給気ユニット４１の給気口４１ａ（図２参照）と吸込ユニット４２の吸込口４２ａ（図２参照）の間で２５％以下を維持することが好ましく、より好ましくは２０％以下を、最も好ましくは５％以下を維持することである。なお、ガス濃度とは、赤外線分析法で測定される溶媒を含む乾燥気体中の蒸発溶媒成分を意味する。流延直後の流延膜Ｆ０には多量の溶媒が含有している。そのため、ガス濃度が２５％を超えると、含有溶媒量が多い流延膜Ｆ０からの溶媒の蒸発が遅くなる。ガス濃度を低くするためには、給気口４１ａとの間隔を短くしたり、乾燥気体の流量を大きくしたりする。

乾燥気体の温度は、４０℃以上１４０℃以下であることが好ましい。より好ましくは４５℃以上１１０℃以下であり、最も好ましくは５０℃以上１００℃以下である。温度が４０℃以上であると流延膜から溶媒の蒸発が進行し易くなる。また、温度が１４０℃以下であると、流延膜中の溶媒が急激に気化して流延膜Ｆ０が発泡するおそれも無くなる。

なお、図１では、図示の関係から、４個の送風セット４０を描いてあるが、この送風セット４０の個数は任意であり、適宜に設定することができる。

下側搬送路には、下流（剥取位置ＰＰ）側に向けて順番に第２流延膜乾燥装置３２，第３流延膜乾燥装置３３を配してある。第２，第３流延膜乾燥装置３２，３３を設けた第２，第３乾燥エリアでは、流延バンド２１の上下が反転した状態でも流延膜Ｆ０がその形状を維持できる硬さになっているので、乾燥気体の流れの影響はあまり受けない。そこで、第２，第３流延膜乾燥装置３２，３３は、流延膜Ｆ０に垂直にまたは斜めに乾燥気体を吹き付けて、乾燥を効果的に進める。なお、流延膜Ｆ０の溶媒の比率が下がっているので、溶媒の急激な蒸発による発泡などの問題も生じにくいため、第２，第３流延膜乾燥装置３２，３３からの乾燥気体、加熱器２９の温度を高めに設定してもよい。

流延ダイ２４と第１流延膜乾燥装置３１との間には、ラビリンスシール４４を先端に有する区画板４５が設けてある。このラビリンスシール４４によって、第１流延膜乾燥装置３１等によって生じる気体の流れが流延ダイ２４の吐出口と流延バンド２１との間のドープ１１に影響しない状態にしている。なお、図示は省略したが、ラビリンスシール４４は、その他には剥取位置ＰＰの上流側や、減圧チャンバ３７の上流側などにも区画板４５と共に設けられている。

剥取ローラ２５は、剥取位置ＰＰを一定に維持しながら流延膜Ｆ０を流延バンド２１からフィルムＦ１としてから剥ぎ取るものであり、その回転軸がバックアップローラ２２の回転軸と平行に配してある。フィルムＦ１を剥取ローラ２５に巻き掛けた状態で、溶液製膜設備１０の下流に向けてフィルムＦ１が引っ張られることにより、流延膜Ｆ０が剥取位置ＰＰで流延バンド２１から剥がされる（剥ぎ取り工程）。フィルムＦ１は、流延室３４の外側に送り出される。

空調装置３５は、流延室３４内を所定の温度に保ち且つ換気する。これにより、ドープ１１、流延膜Ｆ０のそれぞれから蒸発して気体となった溶媒の流延室３４内での蒸気圧を下げる。この空調装置３５は、気体となった溶媒を凝縮する凝縮器（コンデンサ）を内蔵しており、この凝縮器で液化された溶媒は回収装置（図示省略）に送られて回収される。

流延装置１４からのフィルムＦ１は、縦延伸装置１５に送られる。縦延伸装置１５は、フィルムＦ１を長手方向（Ｘ方向）に延伸するものである。縦延伸装置１５は、チャンバ５１の内部に複数のローラ５２を配した構成とされる。複数のローラ５２の少なくとも２つは、駆動ローラとされており、本実施形態では、最上流のひとつと最下流のひとつとを駆動ローラとしている。駆動ローラは、それぞれ回転速度が設定される。下流側の一方の回転速度は上流側の他方の回転速度よりも大きくされる。また、チャンバ５１内には乾燥空気が供給されている。乾燥空気の温度は、２０℃以上２５０℃以下の範囲であることが好ましい。

サイドスリッタ１６は変形している両側部をフィルム幅方向中央部から切除する。サイドスリッタ１６は、切断刃としての上刃と下刃とを備え、これらの切断刃がフィルムＦ１の各側部の通過位置に配されている。

テンタ１７は、フィルムＦ１を搬送しながら、搬送方向（Ｘ方向）と直交する幅方向（Ｙ方向）に延伸するためのものである。テンタ１７は、移動する複数のクリップ５３と、エア供給部（図示無し）と、ダクト５４とを備える。各クリップ５３は、フィルムＦ１の両側部をそれぞれ把持する。複数のクリップ５３は、所定の間隔で環状のチェーンに取り付けられている。チェーンは、フィルムＦ１の搬送路の両側に配されているレールに沿って移動自在に設けられており、その移動方向はレールによって規定される。これにより各クリップ５３はレールに沿って移動する。エア供給部は、各種温度に調整した乾燥気体をダクト５４に供給し、このダクト５４からテンタ１７内のフィルムＦ１に乾燥気体を吹き付ける。

なお、縦延伸装置１５は省略してもよい。または、テンタ１７の下流側に縦延伸装置１５及びサイドスリッタ１６を設けてもよい。この例では、テンタ１７としてクリップテンタを用いており、クリップ５３が保持部材となっている。クリップテンタに代えてピンテンタを用いてもよい。ピンテンタは、フィルムＦ１の側部に複数のピンを貫通して保持するピンプレートを有し、保持部材としてのこのピンプレートが移動してフィルムＦ１を幅方向に延伸する。

乾燥室１８には、複数のローラ５７が内部に配されており、加熱された乾燥空気が供給されている。巻取装置１９は、フィルムＦ１をロール状に巻き取るためのものであり、フィルムＦ１が巻かれる巻芯５８がセットされる。

なお、テンタ１７と乾燥室１８との間にも、サイドスリッタ１６が配されている。このサイドスリッタ１６は、クリップ５３による把持跡がある側端部を切除する。また、乾燥室１８と巻取装置１９との間には、フィルムＦ１を冷却するための冷却室（図示無し）を設けてもよい。この冷却室としては、室温（例えば１５℃以上３５℃以下）程度の乾燥空気が供給されるものが挙げられる。

図２に示すように、第１流延膜乾燥装置３１は、給気ユニット４１、吸込ユニット４２の他に、送風機としての送風ファン６１と、吸引機としての第１排気ファン６２と、第２排気ファン６３と、これらを制御するコントローラ６４とを有する。それぞれ１個の給気ユニット４１と吸込ユニット４２とによって送風セット４０が構成される。

給気ユニット４１と吸込ユニット４２は、詳細を後述するように、いずれも流延膜Ｆ０の幅方向Ｙ（走行方向Ｘに直交する方向）に幅広な角ダクトの一端を折り曲げたＬ字形に形成されている。給気ユニット４１には、乾燥気体を送出する給気口４１ａが、吸込ユニット４２には、流延膜Ｆ０から蒸発した溶媒を含む乾燥気体を吸い込む吸込口４２ａがそれぞれ形成されている。

複数の送風セット４０は、所定のピッチで上側搬送路に沿って配されている。１つの送風セット４０を構成する給気ユニット４１と吸込ユニット４２とは、互いに給気口４１ａと吸込口４２ａとを対向させた向きで、吸込ユニット４２が給気ユニット４１よりも走行方向Ｘの下流側に所定の間隔で離間して配される。各給気ユニット４１は、給気口４１ａを流延バンド２１の走行方向Ｘの下流側に向けており、各吸込ユニット４２は、吸込口４２ａを流延バンド２１の走行方向Ｘとは逆方向の上流側に向けている。また、この例では、各送風セット４０における給気ユニット４１と吸込ユニット４２との間隔、すなわち給気口４１ａと吸込口４２ａとの間隔は同じであり、また隣接した送風セット４０の上流側の吸込ユニット４２の垂直な部分と下流側の給気ユニット４１の垂直な部分を密着させた状態に各送風セット４０を配している。

各給気ユニット４１には、送風ファン６１が接続されている。送風ファン６１は、温調器６１ａで温度が調整された乾燥気体を給気ユニット４１に供給する。各給気ユニット４１は、それに内蔵した給気整流部６７（図４参照）で乾燥気体を整流して、給気口４１ａから流延バンド２１の走行方向Ｘに平行な流れとして送出する。これにより、流延バンド２１の走行方向Ｘに平行な流れで、流延膜Ｆ０の表面の近傍に乾燥気体を流して、流延膜Ｆ０を乾燥させる。コントローラ６４が、送風ファン６１の駆動を制御することにより、給気口４１ａにおける乾燥気体の流れの速さ（以下、流速という）が所定の値に調整される。

流延膜Ｆ０の搬送速度Ｖｆ（ｍ／ｍｉｎ）と、流延位置ＣＰに最も近い送風セット４０の給気口４１ａにおける乾燥気体の相対流速Ｖｓ（ｍ／ｍｉｎ）とは次の条件を満たすことが好ましい。
−（０．２×Ｖｆ）≦Ｖｓ≦−（０．０５×Ｖｆ）
または
＋（０．０５×Ｖｆ）≦Ｖｓ≦＋（０．２×Ｖｆ）
これにより、流延直後の溶媒濃度が高い流延膜の表面の波立ちや荒れを抑えて、乾燥時の面荒れの発生が抑制される。特に、流延バンド２１の長さが短い既存設備を用いて高速流延を実施する場合に、乾燥時の面荒れの発生が抑制される。なお、流延位置ＣＰに最も近い送風セット４０の他に、最上流側の送風セット４０に隣接する次の適数個の送風セット４０においても、上記条件を満たすようにしてもよい。流延位置ＣＰに最も近い送風セット４０の給気口４１ａに達した時の、フィルムＦ１の残留溶媒量は、乾燥時の質量基準（乾量基準）で３００質量％以上５００質量％以下であることが好ましい。

流延膜Ｆ０の搬送速度Ｖｆ（ｍ／ｍｉｎ）は流延バンド２１の移動速度と同じである。例えば、この搬送速度Ｖｆが１００（ｍ／ｍｉｎ）で、乾燥気体の相対流速ＶｓがＶｓ＝−（０．２×Ｖｆ）を満たす場合、乾燥気体の静止したものを基準とした絶対的な流速（以下、絶対流速という）は、８０（ｍ／ｍｉｎ）である。また、Ｖｓ＝＋（０．２×Ｖｆ）を満たす場合、乾燥気体の絶対流速は、１２０（ｍ／ｍｉｎ）である。なお、具体的に相対流速を表すときには、絶対流速が搬送速度よりも大きい場合に正の符号を付し、小さい場合に負の符号を付す。したがって、例えば搬送速度が１００（ｍ／ｍｉｎ）で、絶対流速が８０（ｍ／ｍｉｎ）である場合、相対流速は−２０（ｍ／ｍｉｎ）と表す。

流速は、例えばヘンツ（Ｈｏｎｔｚｓｃｈ）社製のベーン式風速計ＨＦＡ−Ｅｘを用いて測定する。図５及び図６に示すように、ダクト７１，８１内の流速を測定する場合には、ダクト７１，８１の側面に開口７９を形成し、この開口７９からセンサ本体８０をダクト７１，８１内の流速測定部位へ挿入する。ベーン式風速計は、センサ本体８０内に羽根車（ベーン）を有し、空気などの流体による羽根車の回転数を測定する。この回転数は図示しない風速計本体に取り込まれ、流速が演算される。ダクト７１，８１に設けた開口７９は、計測を終了した後は、センサ本体８０が開口７９から引き抜かれ、開口７９は図示しない蓋部材により塞がれる。なお、測定する時のみセンサ本体８０を開口７９に挿入する代わりに、センサ本体８０を常時設置しておき、一定の流速が得られるように、センサ本体８０の出力に基づき送風ファン６１や第１排気ファン６２の回転数を制御してもよい。

流延されたばかりの流延膜Ｆ０は、大量の溶媒を含んでいて粘度が低いため、相対流速Ｖｓが（０．２×Ｖｆ）以下であると、流延膜Ｆ０の表面への波立ちの発生が抑えられる。また、相対流速が（０．０５×Ｖｆ）以上であると、乾燥が促進され、流延膜Ｆ０を剥離する際に乾燥が十分となり、流延膜Ｆ０が切れることがなくなる。

図２に示すように、各吸込ユニット４２には、第１排気ファン６２が接続されている。これにより、吸込ユニット４２は、対向した給気口４１ａから送出されて流延膜Ｆ０上を流れて蒸発した溶媒を含む乾燥気体を吸込口４２ａから吸い込む。このように給気ユニット４１ごとに吸込ユニット４２を設けることにより、流延膜Ｆ０から蒸発した溶媒を含む乾燥気体を直ぐに回収することができる。したがって、流延膜Ｆ０上に溶媒濃度が低い乾燥気体を常時流すことができ、面荒れもなく効率良く乾燥が可能になる。

給気口４１ａに対向させて吸込口４２ａを設けることにより、流延膜Ｆ０上に乾燥気体を円滑に流し、流延膜Ｆ０の表面に平行な流れを長い距離で維持することができる。吸込ユニット４２を介して回収された溶媒を含む乾燥気体は、回収装置（図示せず）に送られて溶媒が回収される。なお、溶媒を回収した乾燥気体は給気ユニット４１に供給して乾燥気体として循環する。

吸込ユニット４２の吸込量は給気ユニット４１からの風量の±２０％以内、すなわち給気ユニット４１からの風量を１００としたときに、吸引量が８０から１２０の範囲とすることが好ましい。この吸込ユニット４２の吸引量が適切でないと、流延膜Ｆ０に沿った乾燥気体の流れが乱れてしまい、渦が発生することにより流延膜Ｆ０の面状を悪くしてしまうからである。

本実施形態では、送風機として送風ファン６１を、また吸引機として第１排気ファン６２を用いているが、ファン以外の送風機、吸引機を用いてもよい。送風機、吸引機としては、送出する乾燥気体の流量、吸い込む乾燥気体の流量の変動が小さいものが好ましい。

送風セット４０を構成する給気ユニット４１と吸込ユニット４２の給気口４１ａと吸込口４２ａとの間隔は、１ｍよりも短いと給気ユニット４１と吸込ユニット４２の個数が多くなりすぎて装置が煩雑になる。また、流延膜Ｆ０表面上を覆う給気ユニット４１と吸込ユニット４２の割合も大きくなり、乾燥気体が流れる流延膜Ｆ０の実質的な長さが短くなってしまうので好ましくない。間隔が２ｍよりも長くなると、溶媒の濃度が高い乾燥気体が長い距離を流れることになって乾燥の効率が低下する。また、乾燥気体の流れが流延膜Ｆ０上で乱れやすくなり、流延膜Ｆ０の表面の荒れの原因になり易い。したがって、給気口４１ａと吸込口４２ａとの間隔をＬとしたときに、１ｍ≦Ｌ≦２ｍであることが好ましい。

図３に示すように、上流側の吸込ユニット４２とこれに密着している下流側の給気ユニット４１との境界下部には底部材６８が配されている。底部材６８は、その外形が各給気ユニット４１と吸込ユニット４２とによって形成された空間と同じであり、流延膜Ｆ０の幅方向に長い略三角柱状になっている。底部材６８の底面には半円柱状の溝部６８ａが形成されている。溝部６８ａの各端部にはパイプ６９が接続されている。パイプ６９は図２に示すように、第２排気ファン６３に接続されている。これにより、溝部６８ａ内が負圧となって、給気ユニット４１と吸込ユニット４２の下方での流延膜Ｆ０上で気体の乱れが抑制され、流延膜Ｆ０の表面の荒れが防止される。

図４及び図５に示すように、給気ユニット４１は、矩形筒状のダクト７１と、給気整流部６７とを有する。ダクト７１はＬ字形状であり、垂直に延びた垂直ダクト部７１ａと、流延バンド２１の走行方向Ｘに平行な水平ダクト部７１ｂと、これら各ダクト部７１ａ，７１ｂを接続する湾曲した接続ダクト部７１ｃとを有する。ダクト７１は、流延膜Ｆ０の幅方向Ｙに長く形成され、流延膜Ｆ０の幅Ｗ０より給気口４１ａの幅Ｗ１が大きくされている。なお、図４では、流延膜Ｆ０の幅Ｗ０に対して給気口４１ａの高さＤ２を誇張して描いてある。

ダクト７１には、垂直ダクト部７１ａの上部に送風ファン６１から乾燥気体が供給される。供給された乾燥気体は、供給方向Ｄｆ（ダクト７１の筒心方向）に沿って流れ、接続ダクト部７１ｃを介して水平ダクト部７１ｂに送られる。水平ダクト部７１ｂの先端面に流延バンド２１の走行方向を向いた給気口４１ａが形成されている。給気口４１ａは、流延膜Ｆ０よりも幅広に形成されており、流延膜Ｆ０の全幅にわたって乾燥気体を送出する。

給気整流部６７は、ダクト７１に流れる乾燥気体を整流することによって、給気口４１ａから送出される乾燥気体の流れの流延膜Ｆ０に垂直な成分を抑制する。この例では、給気整流部６７は、整流ネット７３、整流格子７４、ガイドベーン７５、整流フィン７６を備える。

整流ネット７３、整流格子７４は、垂直ダクト部７１ａに設けてある。整流ネット７３は、細かい目を有する網状の部材であり、ダクト７１内の実効開口面積を制限することによって下流側の圧力（流速）分布を均一化する。整流格子７４は、整流ネット７３よりも供給方向Ｄｆの下流側に設けてある。整流格子７４は、供給方向Ｄｆに貫通したセル７４ａが複数形成されている。この整流格子７４に乾燥気体を通すことにより、乱れた乾燥気体の流れを供給方向Ｄｆに整える。この例では、整流格子７４は、セル７４ａが６角形に開口したハニカムタイプのものを用いている。セル７４ａの開口形状は、６角形に限らない。例えば、セル７４ａの開口が矩形であってもよい。なお、セル７４ａを構成する隔壁は薄いものが、乾燥気体の流れを乱さないので好ましい。

ガイドベーン７５は、接続ダクト部７１ｃに複数設けられている。各ガイドベーン７５は、幅方向に長く、取り付け位置に応じた曲率で湾曲した薄板から構成されており、接続ダクト部７１ｃで乾燥気体の流路が曲げられる際に乾燥気体の流れが乱れないようにする。整流フィン７６は、幅方向に長い薄板から構成されており、水平ダクト部７１ｂに設けられ、乾燥気体を整流した状態で給気口４１ａから送出する。

給気整流部６７の構成は一例であり、例えば、整流格子７４、ガイドベーン７５、整流フィン７６を省略し、整流ネット７３のみを用いて良い。また、整流ネット７３に、整流格子７４、ガイドベーン７５、整流フィン７６のいずれか一つまたは複数個を組み合わせて用いてもよい。給気整流部６７は、給気口４１ａから送出される乾燥気体に含まれる流れ成分のうち流延膜Ｆ０に垂直な成分を抑制する。これにより、流延膜Ｆ０の表面の荒れが防止される。この乾燥気体の流れ成分のうち流延膜Ｆ０に垂直な成分は、０．５ｍ／ｓ以下とすることが好ましい。垂直な成分が０．５ｍ／ｓ以下であると流延膜Ｆ０の表面に波立ち（面の乱れ）が発生することがなくなる。

また、給気整流部６７により、給気口４１ａから送出される乾燥気体に含まれる流れ成分のうち、流延膜Ｆ０の表面と平行な面内の流れ成分は、流延膜Ｆ０の搬送方向に対して４５°以下の傾斜角度範囲内とすることが好ましく、特に好ましくは３０°以下の傾斜角度範囲内である。乾燥気体の流れの面内での向きが流延膜の移動方向に対して平行な面内である場合には、風が移動する流延膜の表面から流延バンド２１の外側まで流れ出すことがなくなる。特に、４５°以下の傾斜角度範囲内にすると、風の回収側の吸込口４２ａを広げることなく、流延バンド２１の両端から外に吹き出した風を回収することができる。そして、流延バンド２１端部から流延バンド２１面の制約のない開放空間に流れ出した風の乱れが抑えられるため、流延膜の表面に波紋が生じることが無くなり、製品品質が向上する。

給気口４１ａの幅はＷ１であり、ダクト７１の内部の幅と同じである。接続ダクト部７１ｃの内部の供給方向Ｄｆに直交する断面サイズは、幅Ｗ１を維持しつつ、幅と直交する長さ（以下、縦寸法という）を水平ダクト部７１ｂに向かって小さくすることで漸減している。すなわち、接続ダクト部７１ｃの縦寸法は、垂直ダクト部７１ａ側では垂直ダクト部７１ａのものと同じ長さＤ１であり、この長さＤ１から漸減されて水平ダクト部７１ｂ側では水平ダクト部７１ｂのものと同じ長さＤ２となる。このように断面サイズを漸減することにより、乾燥気体の流れを圧縮し、より効果的に流速分布を均一にし、また乾燥気体の流れの乱れを抑制する。給気口４１ａの高さは水平ダクト部７１ｂの縦寸法と同じＤ２である。

水平ダクト部７１ｂの天板７７は、底板７８よりも長くしてあり、搬送方向に突出した庇部７７ａを有している。これにより、給気口４１ａから送出された乾燥気体が、その流れの上方の気体を巻き込んで乱れることを抑制する。

給気ユニット４１により、流延膜Ｆ０に垂直な成分が抑制され、流延膜Ｆ０の表面に平行な乾燥気体を給気口４１ａから送出するため、乾燥効率を高くしながら、流延膜Ｆ０の表面の荒れが防止される。このように乾燥効率が高いため、第１乾燥エリアが短い場合でもまた生産効率を上げるために流延バンド２１の走行速度を高くしている場合にも、流延膜Ｆ０の表面の荒れを防止しつつ必要とする初期乾燥が可能になる。

図６に示すように、吸込ユニット４２は、吸込部としてのダクト８１と吸込整流部８２とを備える。ダクト８１は、給気ユニット４１のものと同様に、角ダクトの下部を折り曲げたＬ字形状であり、垂直ダクト部８１ａと、水平ダクト部８１ｂと、接続ダクト部８１ｃとを有する。また、このダクト８１は、流延膜Ｆ０の幅方向に長くなっている。水平ダクト部８１ｂの先端面には、吸込口４２ａが形成されており、この吸込口４２ａが流延バンド２１の走行方向と逆方向を向いている。ダクト８１は、第１排気ファン６２（図２参照）によって上部から気体が吸い出されることによって、吸込口４２ａから流延膜Ｆ０上の流延膜Ｆ０から蒸発した溶媒を含む乾燥気体を吸い込む。吸込口４２ａは、流延膜Ｆ０よりも幅広に形成されており、流延膜Ｆ０の全幅にわたって気体を吸い込む。なお、図６では、流延膜Ｆ０の幅に対して吸込口４２ａの高さを誇張して描いてある。

給気口４１ａから送出された乾燥気体の流れは、吸込口４２ａに向かって進むにしたがって幅方向に広がる。そこで、吸込口４２ａの近辺での乾燥気体の流れの乱れを極力抑えるために、広がった平行流をできるだけ回収することが好ましい。このため、流延膜Ｆ０の幅よりも広い吸込口４２ａを用いて乾燥気体を吸い込み、吸込口４２ａの近辺において流延膜Ｆ０上での乾燥気体の流れの乱れを極力抑えている。

水平ダクト部８１ｂの底板８３は、天板８４よりも長くされている。これにより、底板８３と流延膜Ｆ０との間の気体の吸込みを低減し、流延膜Ｆ０上での気体の乱れを抑制する。また、吸込口４２ａの高さＤ３を、給気口４１ａの高さＤ２よりも大きくして、流延膜Ｆ０の上方の乾燥気体を効果的に吸い込んでいる。

吸込整流部８２は、水平ダクト部８１ｂの内部に設けてある。吸込整流部８２としては、複数の整流フィン８２ａを用いている。この吸込整流部８２により、吸込口４２ａから吸い込む気体の流れの乱れの発生を抑制し、流延膜Ｆ０の表面の荒れを防止する。なお、整流フィン８２ａは、吸込口４２ａの近傍に設けてあればよく、水平ダクト部８１ｂの外側でもよい。

給気ユニット４１、吸込ユニット４２の水平ダクト部７１ｂ、８１ｂの底面は、気流が乱れないようにするため流延膜Ｆ０と接触しない範囲で可能限り流延膜Ｆ０に近づけることが好ましい。

溶液製膜設備１０では、広幅のセルロースエステルフィルム等を製造することができる。特に幅１．３ｍ以上４．０ｍ以下のものが好ましく用いられ、特に好ましくは１．４ｍ以上２．０ｍ以下である。フィルムの幅が４．０ｍを超えると搬送が困難となる。また、セルロースエステルフィルムの厚さは、使用目的によって異なるが、液晶表示装置の薄型化の観点からは、仕上がりフィルムとして１０μｍ以上２００μｍ以下、好ましくは１０μｍ以上１５０μｍ以下、更に好ましくは１５μｍ以上８０μｍ以下の範囲が好ましい。

なお、上記実施形態では、ダクト７１の端部の給気口４１ａから直接に吹き出すタイプで説明したが、例えば乾燥気体を通すダクトとは別に箱状の給気部を設け、この給気部に乾燥気体を供給するダクトを接続し、上記同様の給気口を設けた構成としてもよい。同様に溶媒を含む乾燥気体を通すダクトに箱状の吸込部を接続し、この吸込部に上記同様の吸込口を設けてもよい。

ドープ１１は、ポリマーを溶媒に溶解したものである。この実施形態では、透明な熱可塑性ポリマーとしてのセルロースアシレートを溶媒に溶解したものをドープ１１としている。セルロースアシレートの中でも、セルロースの水酸基へのアシル基の置換度が下記式（１）〜（３）を満たすようなＴＡＣ（セルローストリアセテート）を用いる場合に、本発明は特に有効である。式（１）〜（３）において、Ａ及びＢは、セルロースの水酸基中の水素原子に対するアシル基の置換度を表し、Ａはアセチル基の置換度、Ｂは炭素原子数が３〜２２のアシル基の置換度である。なお、セルロースアシレートの総アシル基置換度は、Ａ＋Ｂで求める値である。
（１） ２．７≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（２） ０≦Ａ≦３．０
（３） ０≦Ｂ≦２．９

また、ＴＡＣに代えて、または加えて、セルロースの水酸基へのアシル基の置換度が下記式（４）を満たすようなＤＡＣ（セルロースジアセテート）を用いる場合にも、本発明は特に有効である。
（４）２．０≦Ａ＋Ｂ＜２．７

レタデーションの波長分散性の観点から、式（４）を満たしながらも、ＤＡＣのアセチル基の置換度Ａ、及び炭素数３以上２２以下のアシル基の置換度の合計Ｂは、下記式（５）及び（６）を満たすことが、好ましい。
（５） １．０＜Ａ＜２．７
（６） ０≦Ｂ＜１．５

セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位、３位及び６位に遊離の水酸基（ヒドロキシル基）を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位、３位及び６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化の場合を置換度１とする）を意味する。

位相差機能を備えたフィルムＦ１を製造する場合のポリマーとしては、セルロースアシレートに代えて、他の透明な熱可塑性のポリマーであってもよい。例えば、セルロースエステル、ポリカーボネート系ポリマー、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステル系ポリマー、ポリメチルメタクリレート等のアクリル系ポリマーなどが挙げられる。

溶媒としては、例えば、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。これらの中でも炭素原子数１以上７以下のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。

溶媒は、混合物であってもよく、ポリマーがセルロースアシレートであり、溶媒の主成分がジクロロメタンである場合には、ジクロロメタンに炭素原子数１以上５以下のアルコールを１種ないし数種類混合した混合物であることが好ましい。この場合のアルコールの含有量は、溶媒全体に対し２質量％以上２５質量％以下が好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が挙げられ、本実施形態も後述の実施例に記載のように複数のアルコールをジクロロメタンに混ぜて、これらの混合物を溶媒として用いている。

溶媒について環境保護の観点を考慮する場合には、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合物を用いてもよい。これらのエーテル、ケトン，エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステル及びアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−及び−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶媒の成分として用いることができる。

次に上記構成の作用について説明する。流延ダイ２４にドープ１１が供給され、吐出口から走行する流延バンド２１に向けて吐出される。これにより、バックアップローラ２２で冷却された流延バンド２１上に流延膜Ｆ０が形成される。流延ダイ２４からドープ１１の吐出が連続的に行われ、流延バンド２１が走行を続けるから連続的に流延膜Ｆ０が形成される。

形成された流延膜Ｆ０は、流延バンド２１の走行にともなって搬送される。この搬送中では、バックアップローラ２３と加熱器２６〜２９とによって加温された流延バンド２１により流延膜Ｆ０が温められて溶媒が蒸発する。

一方、第１流延膜乾燥装置３１では、送風ファン６１から各給気ユニット４１に温度が調整された乾燥気体が供給されている。乾燥気体は、給気整流部６７によって整流されてから、流延バンド２１の走行方向に平行な方向に給気口４１ａから送出される。また、給気口４１ａに対向した吸込ユニット４２の吸込口４２ａによって吸込みが行われている。したがって、各送風セット４０の給気口４１ａと吸込口４２ａとの間には、流延バンド２１の走行方向に平行な流れで、流延膜Ｆ０が移動する方向に乾燥気体が流れた状態になっている。そして、この乾燥気体の流れは、給気整流部６７、突出させた天板７７、更には吸込整流部８２によって、乱れが少なく、流延膜Ｆ０の表面に垂直な成分が極めて良好に抑制された、流延膜Ｆ０の表面に平行な流れとなっている。

搬送が進み、流延膜Ｆ０が第１流延膜乾燥装置３１による第１乾燥エリアに入り、各送風セット４０の給気口４１ａと吸込口４２ａとの間を搬送されている間では、乾燥気体が流延膜Ｆ０の表面近傍を流れる。これにより、流延膜Ｆ０からの溶媒の蒸発が促されて乾燥が効果的に進む。

給気口４１ａから送出され流延膜Ｆ０から蒸発した溶媒を含んだ乾燥気体は、吸込口４２ａで吸い込んでいるため、乾燥気体が吸込口４２ａの下流に流れることを防止する。このため、上流側で蒸発した溶媒が乾燥気体と共に下流側に流れて、乾燥気体に含まれる溶媒の濃度を上昇させることがない。これにより、流延膜Ｆ０の上に流れる乾燥気体が溶媒の濃度の低い状態を維持して乾燥がより効果的に進む。

第１乾燥エリアに搬送されてくる流延膜Ｆ０は、溶媒の比率が高く乾燥気体の流れの乱れによって表面の荒れが生じやすい。しかし、各送風セット４０の給気ユニット４１と吸込ユニット４２との間では、流延膜Ｆ０の表面に垂直な成分が極めて良好に抑制された流延膜Ｆ０の表面に平行な流れであるため、流延膜Ｆ０の表面が荒れることがない。また、送風セット４０間の境界部分においても、底部材６８の溝部６８ａを負圧にしているから流延膜Ｆ０の表面の気体の流れが乱れることがないので、流延膜Ｆ０の表面が荒れることがない。

第１流延膜乾燥装置３１を通過した流延膜Ｆ０は、バックアップローラ２３を回って下側搬送路に移動する。流延膜Ｆ０は、上下が反転した状態でも形状が維持できる硬さにまで乾燥が進められている。

下側搬送路の搬送中に、バックアップローラ２３と加熱器２９による流延バンド２１の加熱と、第２，第３流延膜乾燥装置３２，３３からの乾燥気体の吹き付けにより、流延膜Ｆ０は、流延バンド２１から剥ぎ取り可能な状態にまで更に乾燥が進められる。

流延膜Ｆ０が流延バンド２１から剥がされてフィルムＦ１として剥取ローラ２５に巻き掛けた状態となっている。そして、溶液製膜設備１０の下流に向けてフィルムＦ１が引っ張られることにより、流延膜Ｆ０が剥取位置ＰＰで流延バンド２１から剥がされる。フィルムＦ１は、流延室３４の外側に送り出され、縦延伸装置１５へ送られる。

縦延伸装置１５では、フィルムＦ１は、２つの駆動ローラを含む複数のローラ５２に順番に巻き掛けられて搬送されながら、回転速度が前述のように異なる２つの駆動ローラにより長手方向に延伸されて伸ばされる。また、フィルムＦ１は、乾燥空気が供給されているチャンバ５１内を通過する間に更に乾燥される。

フィルムＦ１は、縦延伸装置１５からサイドスリッタ１６に連続的に案内され、両側部が切除される。両側部が切り離されたフィルムＦ１は、テンタ１７へ送られる。テンタ１７では、フィルムＦ１の両側部がそれぞれクリップ５３で把持され、クリップ５３を搬送方向に移動しながら、対向するクリップの間隔を大きくすることによって、フィルムＦ１は幅方向に延伸される。テンタ１７ではフィルムＦ１を幅方向に０．５％以上３００％以下に拡げることが好ましい。また、フィルムＦ１はダクト５４からの乾燥気体より、加熱または冷却される。

テンタ１７によって延伸されたフィルムＦ１は、乾燥室１８に送られる。フィルムＦ１は、乾燥空気が供給されている乾燥室１８内を各ローラ５７に巻き掛けられて通過する間に、更に乾燥される。乾燥されたフィルムＦ１は、乾燥室１８から巻取装置１９に送られて巻芯５８に巻き取られる。乾燥室１８と巻取装置１９との間に冷却室を設けた場合には、フィルムＦ１は、冷却室内を通過することにより温度が下げられてから巻取装置１９に案内される。

以上のように製造されたフィルムＦ１は、流延直後に流延膜Ｆ０に垂直な流れ成分を抑制した流延バンド２１の走行方向に平行に乾燥気体を流しているので、表面の荒れが十分に抑えられている。

［第２実施形態］
第２実施形態は、上流側の給気ユニットよりも下流側の給気ユニットから送出する乾燥気体の流速（風量）を大きくしたものである。なお、以下に説明する他は、第１実施形態と同じであり、同じ構成部材には同一の符号を付してその説明を省略する。

図７に示すように、第１流延膜乾燥装置３１は、第１〜第７送風セット８６ａ〜８６ｇを有している。第１〜第７送風セット８６ａ〜８６ｇは、それぞれ給気ユニット４１、吸込ユニット４２に流量調整器８７、８８が設けられている他は、送風セット４０と同様である。流量調整器８７は、送風ファン６１から給気ユニット４１に供給される乾燥気体の流量を調整し、流量調整器８８は、吸込ユニット４２から第１排気ファン６２に吸い込まれる乾燥気体の流量を調整する。

搬送路の上流側の給気ユニット４１よりも下流側の給気ユニット４１から送出される乾燥気体の流速を大きくした状態に各流量調整器８７を調整してある。この例では、下流に配される給気ユニット４１ほど送出する乾燥気体の流速を大きくしている。すなわち、給気口４１ａから送出される乾燥気体の流速は、最上流の第１送風セット８６ａの給気ユニット４１のものが最も小さく、この第１送風セット８６ａよりも第２送風セット８６ｂから送出される乾燥気体の流速が大きい。また、第２送風セット８６ｂよりも第３送風セット８６ｃから送出される乾燥気体の流速が大きい。そして、最下流の第７送風セット８６ｇの給気ユニット４１から送出される乾燥気体の流速が最も大きい。なお、この場合でも、最上流の第１送風セット８６ａの給気ユニット４１の流速は、相対流速Ｖｓ（ｍ／ｍｉｎ）、流延膜Ｆ０の搬送速度Ｖｆ（ｍ／ｍｉｎ）が上述の条件を満たすことが好ましい。

一方、流量調整器８８は、吸込ユニット４２の吸込口４２ａからの吸込量を、対応する給気ユニット４１の給気口４１ａから送出される乾燥気体の流量に応じたものに調整している。これにより、吸込口４２ａからの吸込量は、第１送風セット８６ａのものが最も小さく、最下流の第７送風セット８６ｇのものが最も大きくなるように下流のものほど大きくなっている。

なお、各流量調整器８７、８８によって各給気ユニット４１、各吸込ユニット４２の流量が相対的に調整される場合には、送風ファン６１、第１排気ファン６２による流量の調整をあわせて行い、絶対的な流量を調整すればよい。

各流量調整器８７、８８は、乾燥気体の流量を調整して、送風セット４０ごとに異なった流量の乾燥気体を流延膜Ｆ０の表面に平行に流し、下流に搬送されるほど流延膜Ｆ０の表面に流れる乾燥気体の流速を大きくしている。

この実施形態によれば、第１〜第７送風セット８６ａ〜８６ｇによって流延膜Ｆ０の表面に流される乾燥気体の流速は、流延膜Ｆ０が搬送されるにしたがって漸増する。このため、流延膜Ｆ０が下流に向けて搬送されるほど、乾燥の効率が高くなる。流延膜Ｆ０は、下流に搬送されるほど乾燥が進み、乾燥気体の流れに対する表面の荒れの影響を受けにくくなる。したがって、表面の荒れを防止しながらより効率的に乾燥を進めることができ乾燥時間を短くすることができる。

また、本実施形態によれば、乾燥時間の短縮化により、流延装置１４における搬送長、すなわち流延バンド２１の短縮化が図れる。更に、本実施形態は、既設の流延装置などのように、第１乾燥エリアの長さが決まっており、流延直後の乾燥気体の流速だけでは、必要とする硬さにまで乾燥を進めることができない場合にも有用である。

上記各実施形態では、各送風セット４０は、給気口と吸込口の間隔Ｌが同じであるが、上流側の送風セットの間隔Ｌよりも下流側の送風セットの間隔Ｌを大きくしてもよい。なお、以下の図８、図９、図１１では、第１〜第４の４個の送風セット８９ａ〜８９ｄとして説明しているが、送風セット８９ａ〜８９ｄの個数は適宜増減してよい。図８に示す第１流延膜乾燥装置３１は、第１〜第４送風セット８９ａ〜８９ｄを有しており、給気口４１ａからの流速が大きいほど、第１〜第４送風セット８９ａ〜８９ｄの給気口４１ａと吸込口４２ａとの間隔が大きくなっている（Ｌ１＜Ｌ２＜Ｌ３＜Ｌ４）。すなわち、上流側の送風セットのものよりも下流側の送風セットのものを大きくしてある。

給気口４１ａから送出される乾燥気体の流速が大きくなると、乾燥気体の流れを維持できる距離も大きくなるので、給気口４１ａから送出される乾燥気体の流速が大きくなるほど給気口４１ａと吸込口４２ａとの間隔を大きくしてある。

搬送路の上流においては流延膜Ｆ０が軟らかいため、流延膜Ｆ０の表面上に大きな相対流速で乾燥気体を流すことができないので、流延膜Ｆ０の表面近傍では蒸発した溶媒が拡散し難く、溶媒の蒸気圧が上がりやすい。そして、流延膜Ｆ０の表面近傍の溶媒の蒸気圧が高いと、流延膜Ｆ０の表面から溶媒が蒸発し難くなり、乾燥が促進されにくい状態になる。しかし、この例では、上流側の送風セット４０の間隔は短くして、流延膜Ｆ０の表面近傍に常に溶媒の蒸気圧の低い新鮮な乾燥気体を流すことによって、流延膜Ｆ０の表面の荒れを抑制しながら、乾燥が促進されにくい状態を抑制して乾燥を効率的に進めている。下流側においては、流延膜Ｆ０の粘度が上がっており、大きな相対流速で乾燥気体を流すことができるため、送風セットの間隔を広くしながら溶媒の蒸発を効率的に行うことができる。これは、装置の簡素化やコストダウン、流延膜Ｆ０の表面性状の観察、例えば観察用カメラなどの設置ができるなどの利点がある。

図８に示す実施形態では、流量調整器８８を用いて乾燥気体の流速を調整しているが、例えば各給気ユニット４１にそれぞれ送風ファンを、また各吸込ユニット４２にそれぞれ排気ファンを設けて、各ファンの送風量、排気量を調整することによって乾燥気体の流速を調整してもよい。また、流量調整器８８を用いて、給気口４１ａから送出される乾燥気体の流速を調整する代りに、各給気ユニット４１への乾燥気体の供給量を同じにしながら、図９に示すように、流速を大きくするものほど給気口４１ａの高さを小さくしてもよい。この例では、第１〜第４送風セット８９ａ〜８９ｄの各給気ユニット４１の給気口４１ａは、下流のものほど高さが小さくなっており、高さが小さい給気口ほど送出される乾燥気体が圧縮されるため流速が大きくなる。なお、水平ダクト部の縦寸法を給気口の高さと同じにすることが好ましい。

また、上記各実施形態では、各送風セットの送出する乾燥気体の流速を下流に向かうにしたがって漸増しているが、各送風セットを２以上のグループに分けて、同じグループ内の各送風セットでは送出する乾燥気体の流速を同じにし、グループ間では下流のものほど流速を大きくすることも好ましい。例えば、第１流延膜乾燥装置の各送風セットを前半グループと後半グループとに分けて、後半グループ内の各送風セットの給気ユニットから送出する乾燥気体の流速を前半グループ内の各送風セットのものよりも大きくすることも好ましい。

上記各実施形態では、給気整流部の整流格子を給気ユニットの垂直ダクト部内に設けているが、乱れが少ない乾燥気体を送出する点からは、整流格子を給気口に近い位置に配することが好ましい。図１０に示す例では、給気整流部６７を整流格子９１だけで構成し、この整流格子９１を水平ダクト部７１ｂ内に設けている。なお、整流格子９１の背後（図中右側）に整流ネットを配したり、接続ダクト部７１ｃにガイドベーンを設けたりしてもよい。給気口から送出された乾燥気体を給気整流部としての整流格子を通って流延膜Ｆ０上に送り出してもよい。

また、流延膜は、下流に搬送されるほど乾燥が進み、表面の荒れについては乾燥気体の流れによる影響を受けにくくなるから、下流側に配される給気ユニット内の給気整流部を上流側のものに比べて簡素化したり、図１１に示す整流格子９２ａ〜９２ｄのように、下流側のものほど長さを短くしたりしてもよい。

上記実施形態では、流延膜Ｆ０を乾燥して固化させる乾燥流延における乾燥に本発明を実施したが、流延膜を冷却固化させて自己支持性を付与するいわゆる冷却流延において乾燥風を吹き付ける場合に本発明を実施してもよい。この場合には、例えば温調機から冷却した伝熱媒体をバックアップローラ２２，２３に供給することにより、流延バンド２１を冷却し流延膜Ｆ０の流動性が低下させる。

（実施例１）
（ドープの組成）
セルローストリアセテート（置換度２．８４、 粘度平均重合度３０６、含水率０．２質量％、ジクロロメタン溶液中６質量％の粘度 ３１５ｍＰａ・ｓ、平均粒子径１．５ｍｍであって標準偏差０．５ｍｍである粉体） １００質量部
ジクロロメタン（第１溶媒） ３２０質量部
メタノール（第２溶媒） ８３質量部
１−ブタノール（第３溶媒） ３質量部
可塑剤Ａ（トリフェニルフォスフェート） ７．６質量部
可塑剤Ｂ（ジフェニルフォスフェート） ３．８質量部
ＵＶ剤ａ：２（２’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ベンゾ
トリアゾール ０．７質量部
ＵＶ剤ｂ：２（２’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−アミルフェニル）−５−
クロルベンゾトリアゾール ０．３質量部
クエン酸エステル混合物（クエン酸、モノエチルエステル、ジエチルエステル、トリエチ
ルエステル混合物） ０．００６質量部
微粒子（二酸化ケイ素（平均粒径１５ｎｍ）、モース硬度 約７） ０．０５質量部

（装置及び条件）
流延ダイ２４は、幅が１．１ｍであり、吐出口からのドープの流延幅を１０００ｍｍとした。ドープ１１の温度を３６℃に維持し、流延ダイ２４から押し出されるドープ１１の粘度を４５Ｐａ・ｓとした。また、ラビリンスシール４４によって流延ダイ２４近傍の静圧変動を±１Ｐａ以下に抑制した。なお、溶媒含有率は、サンプリング時におけるフィルム質量をｘ、そのサンプリングフィルムを乾燥した後の質量をｙとするとき｛（ｘ−ｙ）／ｙ｝×１００で算出される乾量基準の値である。

流延バンド２１は、幅１．２ｍで長さが７０ｍのステンレス製のものをバックアップローラ２２，２３に巻き掛けた。上側搬送路の長さは約２５ｍであった。バックアップローラ２２，２３は、流延バンド２１の温度調整を行うことができるように、内部に伝熱媒体を送液できるものを用いた。流延ダイ２４側のバックアップローラ２２には５℃の伝熱媒体を流し、他方のバックアップローラ２３には乾燥のために４０℃の伝熱媒体を流した。流延直前の流延バンド２１の幅方向の中央部の表面温度は１６℃であり、その両側端との温度差は５℃以下であった。

第１流延膜乾燥装置３１としては、図７に示す流量調整器８７，８８を設けた給気ユニット４１，吸込ユニット４２を備えた７個の送風セット８６ａ〜８６ｇを上側搬送路に沿って配した。給気ユニット４１は、図４に示すように、整流ネット７３、整流格子７４、ガイドベーン７５、整流フィン７６を有する給気整流部６７を備える。また、吸込ユニット４２は図６に示すように、吸込整流部８２を備えている。各送風セット８６ａ〜８６ｇでは、給気口４１ａは、幅Ｗ１が１２００ｍｍ、高さＤ２が５０ｍｍの矩形形状とし、幅方向において給気口４１ａの中心と流延膜Ｆ０の中心とを合致させ、流延膜Ｆ０と給気ユニット４１の底面との間隔を５ｍｍとした。また、吸込ユニット４２の吸込口４２ａは、幅が１３００ｍｍ、高さＤ３が５０ｍｍの矩形形状とし、幅方向において、やはり吸込口４２ａの中心と流延膜Ｆ０の中心とを合致させ、流延膜Ｆ０と吸込ユニット４２の底面との間隔を５ｍｍとした。

各送風セットにおける給気口４１ａから吸込口４２ａまでの間隔Ｌ（以下、単に間隔Ｌと称する）は、表１のように、各実施例１〜７で変えた。Ｖ１は給気口４１ａにおける乾燥気体の吸気速度であり、Ｖ２は吸込口４２ａにおける乾燥気体の吸込速度であり、Ｖｓ１はＶ１−Ｖｆであって、流延膜に対する乾燥気体の相対流速である。なお、給気口４１ａにおける給気速度Ｖ１は、図５のダクト７１内に設けたセンサ本体８０により測定した。同様にして吸込口４２ａにおける吸込速度Ｖ２は図６のダクト８１内に設けたセンサ本体８０により測定した。

乾燥気体としては、空気を用い、給気口４１ａからの送出直後の温度を４０℃に調整した。また、第１送風セット８６ａの給気口４１ａに達した時の流延膜Ｆ０中の溶媒比率は乾量基準で４００質量％になるようにした。

下側搬送路では、第２，第３流延膜乾燥装置３２，３３によって流延膜Ｆ０の表面に乾燥風気体を垂直に吹付け、また加熱器２９によって乾燥を進め、流延膜Ｆ０中の溶媒比率が乾量基準で３０質量％になった時点で流延バンド２１から剥取ローラ２５で支持しながら湿潤したフィルムＦ１として剥ぎ取った。第２，第３流延膜乾燥装置３２，３３では、乾燥気体として空気を用い、給気口からの送出直後の温度が５０℃に調整した。また、加熱器２９によって、流延バンド２１を５０℃に加熱した。また、第２，第３流延膜乾燥装置３２，３３からの乾燥気体の流速は１０ｍ／ｓ（６００ｍ／ｍｉｎ）とした。

縦延伸装置１５による縦延伸は、次のような条件で行った。延伸装置の入り口と出口に配されるフィルムをニップするローラはその表面温度を３０℃とし、その間に単独で配されるローラの表面温度は、入り口側を５０℃に設定し、出口側を８０℃に設定した。その間のローラの表面温度は７０℃とし、入り口側と出口側のニップローラの周速差により、縦方向に１．１倍の延伸を行った。

縦延伸の後、サイドスリッタ１６によって、フィルムＦ１の変形している両側部を切り落としてからテンタ１７に送った。テンタ１７では、フィルムＦ１を搬送しながら、次のような条件で幅方向に延伸を行った。テンタ内温度を１３０℃、フィルムの幅方向の拡張角度を＋３度として幅方向に１．２倍の延伸を実施した。

幅方向の延伸後、乾燥室１８で１４０℃、１０分間の乾燥を行い、溶媒含有量を０．５％とした。この後に、巻取装置１９で、フィルムＦ１をロール状に巻き取った。

（評価）
製造されたフィルムＦ１の表面性状の評価では、膜厚の均一性を膜厚の最大高低差で評価した。フィルムＦ１の膜厚の最大高低差（Ｐ−Ｖ値）は、ＦＵＪＩＮＯＮ製の縞解析装置（ＦＸ−０３）により測定した。この時、測定面積は直径が６０ｍｍの範囲とし、この範囲内における最大高低差を測定した。入力する屈折率の値としては、セルロースアシレートの平均屈折率１．４８を用いた。測定した最大高低差の大きさを次の基準によりＡ〜Ｄで評価した。
（評価基準）
Ａ：膜厚の最大高低差が２．０μｍ以下。
Ｂ：膜厚の最大高低差が２．０μｍを超えて３．０μｍ以下。
Ｃ：膜厚の最大高低差が３．０μｍを超えて５．０μｍ以下。
Ｄ：膜厚の最大高低差が５．０μｍを超える。
ＣやＤの品質では製品として出荷することはできない。

（実施例２）
表１に示すように、流延膜Ｆ０の搬送速度Ｖｆを６０ｍ／ｍｉｎとし、各送風セットの給気速度Ｖ１、吸込速度Ｖ２を変更して相対流速Ｖｓ１を実施例１と同じ条件とした以外は、実施例１と同じ条件にした。実施例２では、面状評価はＡであった。このように流延膜Ｆ０の搬送速度Ｖｆを変更しても、同様にして面状の良いフィルムが得られることが判る。

（実施例３）
表１に示すように、製品厚みを２０μｍとした以外は実施例１と同じ条件とした。面状評価はＡであった。このように、製品厚みが２０μｍと薄いフィルムに対しても、同様にして面状の良いフィルムが得られることが判る。

（実施例４）
表１に示すように、実施例２の第３送風セットを無くして送風セットの総数を６とし、第１及び第２送風セットの間隔Ｌを変更した以外は実施例２と同じ条件とした。面状評価はＢであった。このように、送風セットの総数を減少したり、各送風セットの間隔Ｌを変更したりしても、同様に面状の良いフィルムが得られることが判る。

（実施例５）
表１に示すように、実施例４に対して、第１〜第３送風セットの間隔Ｌが上流側から順に次第に大きくなるように変更した以外は、実施例４と同じ条件とした。面状評価はＡであった。このように、各送風セットの間隔Ｌを上流側から順に次第に大きくすることにより、面状の良いフィルムが得られることが判る。

（実施例６）
表１に示すように、実施例４に対して、第２〜第６送風セットを無くして第１送風セットのみとした以外は、実施例４と同じ条件とした。面状評価はＢであった。このように、送風セットを一つとしても、面状の良いフィルムが得られることが判る。

（実施例７）
表１に示すように、実施例４に対して、第１〜第６送風セットにおける相対流速Ｖｓ１が上流側から順に次第に大きくなるように変更した以外は、実施例４と同じ条件とした。面状評価はＡであった。このように、各送風セットにおける相対流速Ｖｓ１を上流側から順に次第に大きくすることにより、面状の良いフィルムが得られることが判る。

（比較例１）
送風セットを用いることなく、従来のように流延膜に対し垂直の乾燥風を当てる方式で流延膜を乾燥した以外は実施例１と同じ条件とした。面状評価はＤであった。

（比較例２）
送風セットの吸込ユニットを無くして給気ユニットのみとした以外は実施例２と同じ条件とした。面状評価はＣであった。

１０ 溶液製膜設備
１１ ドープ
１４ 流延装置
２１ 流延バンド
２４ 流延ダイ
３１〜３３ 流延膜乾燥装置
４０ 送風セット
４１ 給気ユニット
４１ａ 給気口
４２ 吸込ユニット
４２ａ 吸込口

Claims (7)

1. 走行する支持体上にドープを流して形成される流延膜を前記支持体上で乾燥する流延膜乾燥装置において、
   前記支持体の走行による前記流延膜の搬送路の上方に配され、前記支持体の走行方向に向けられ、前記流延膜を乾燥させるための気体を前記支持体の走行方向に平行に送出して前記流延膜の表面の近傍に流す給気口、及び前記給気口から送出される前記気体の流れのうち前記流延膜に垂直な成分を抑制する給気整流部を有する給気ユニットと、
   前記給気ユニットよりも前記搬送路の下流側に前記給気口に対向して配され、前記給気口から送出されて前記流延膜上を流れる前記気体を吸い込む吸込口、及び前記吸込口から吸い込む前記気体の流れの乱れの発生を抑制する吸込整流部を有する吸込ユニットと、
   前記気体を前記給気ユニットに供給する送風機と、
   前記吸込ユニットに接続され前記吸込口から前記気体を吸い込む吸引機と、
   を備える流延膜乾燥装置。
2. 前記給気口と前記吸込口とが対向して対をなす前記給気ユニットと前記吸込ユニットとを送風セットとして、複数の前記送風セットが前記搬送路に沿って配されている請求項１記載の流延膜乾燥装置。
3. 複数の前記送風セットを前記支持体の走行方向に順に、第１送風セットと、それ以外の第２送風セットとに分け、
   前記第１送風セットでは、前記流延膜の搬送速度をＶｆとし、前記給気口から送出される前記気体の前記流延膜に対する相対流速をＶｓとしたときに、前記相対流速Ｖｓを
   −（０．２×Ｖｆ）≦Ｖｓ≦−（０．０５×Ｖｆ）
   または
   ＋（０．０５×Ｖｆ）≦Ｖｓ≦＋（０．２×Ｖｆ）の範囲内にして、
   前記流延膜を乾燥させる請求項２記載の流延膜乾燥装置。
4. 前記給気口から送出される前記気体の流速は、前記搬送路の上流側の前記送風セットの前記流速よりも下流側の前記送風セットの前記流速が大きい請求項２または３記載の流延膜乾燥装置。
5. 前記送風セットにおける前記給気口と前記吸込口の間隔は、前記搬送路の上流側の前記送風セットの前記間隔よりも下流側の前記送風セットの前記間隔が大きい請求項２から４いずれか１項記載の流延膜乾燥装置。
6. 前記給気整流部は、前記給気口と前記送風機との間の前記気体の流路に配され前記気体の供給方向に貫通した複数のセルが形成された整流格子を含む請求項１から５のいずれか１項に記載の流延膜乾燥装置。
7. 走行する支持体の上にドープを流して流延膜を形成する流延工程と、
   請求項１から６のいずれか１項記載の流延膜乾燥装置を用いて前記流延膜を乾燥する乾燥工程と、
   前記流延膜を前記支持体からフィルムとして剥ぎ取る剥ぎ取り工程と、
   を有する溶液製膜方法。

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