JP2015208960A

JP2015208960A - ガスバリア性積層フィルム及び有機ｅｌデバイス

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Publication number: JP2015208960A
Application number: JP2014092999A
Authority: JP
Inventors: 良樹越山; Yoshiki Koshiyama
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2014-04-28
Filing date: 2014-04-28
Publication date: 2015-11-24
Anticipated expiration: 2034-04-28
Also published as: JP6299394B2

Abstract

【課題】安価で高いガスバリア性、且つ、基材フィルムの含有水分がＥＬ層への浸入することを抑制した有機ＥＬデバイス用基材フィルムを提供する。
【解決手段】水蒸気透過度が４０℃９０％ＲＨの条件下で０．１ｇ/ｍ^２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルム１０，２０を少なくとも２枚以上、接着剤３１を介して貼り合せたガスバリア性積層フィルム４０である。ガスバリア性フィルム１０，２０は、基材フィルム１１，２１の一方の面に、少なくとも１層以上の無機化合物からなるバリア性薄膜層１２，２２とポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層１３，２３とを備え、前記ガスバリア性積層フィルム４０は、ガスバリア性フィルム１０，２０の基材フィルム１１，２１面が互いに向かい合うように貼り合わされ、かつ前記接着剤３１は少なくとも硬化型吸湿剤３２を含有している。
【選択図】図１

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬと略す）のディスプレイ用・照明基板等の有機ＥＬデバイスへの使用に好適で、安価で高いガスバリア性を示し、且つ、高透明性、耐久性を有するガスバリア性積層フィルム、及びそのフィルムを使用した有機ＥＬデバイスに関する。

有機ＥＬは、テレビやパソコンモニタ、モバイル機器等に使用されるフラットパネルディスプレイ、照明などとして、幅広い用途が期待されている。有機ＥＬは、液晶ディスプレイなどとは異なり、自発光型である。そのため、有機ＥＬは、構造的に極薄化できること、表示画像が広視野角で見え、その表示画像の応答速度が速く、低消費電力であり、高コントラストが期待できるなどの利点から、ブラウン管や液晶ディスプレイにかわる替わるフラットパネルディスプレイとして期待されている。
一般に有機ＥＬは、ガラス、あるいはプラスチック等の基板上に、少なくともどちらか一方の電極が透光性を有する第一電極層と第二電極層とが配置され、それら電極層間に、発光媒体層を挟持した構造である。そして、有機ＥＬは、両電極層間に電圧を印可し電流を流すことにより、発光媒体層で発光が生じる、自発光型の表示デバイスである。

有機ＥＬは、酸素や水分に極めて弱く、発光材料が変質したり、電極が酸化したりすることで発光しなくなるという問題がある。この大気中の酸素や水の影響により劣化するといった問題に対処するため、金属缶やガラスキャップを用い、その空間に吸湿シートを入れ、接着剤を介して封止して大気から遮断する方法が一般的に知られている。
近年、有機ＥＬが構造的に極薄化できることを活かすために、フレキシブルなプラスチックを使用したプラスチックフィルム基材を用いたフレキシブル有機ＥＬデバイスが注目されている。一般にプラスチックフィルムは水蒸気の透過が大きいので、ＥＬ層の保護材料としてバリア層の形成が必須である。ガスバリア性フィルムとして最も一般的なものは、プラスチックフィルムからなる基材の表面に、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム等からなる無機蒸着膜を形成した透明性の高いガスバリア性フィルムである。このような透明性の高いガスバリア性フィルムについて数多く提案され、また実用化されているが、ＥＬ素子の保護材料として求められるバリアレベルとしては不十分なものが多いのが実情である。

そこで、有機ＥＬに適したガスバリア性フィルムとして、例えば、特許文献１には、基材フィルムの表面に無機薄膜層を少なくとも２層有してなるガスバリア性積層体を複数枚有し、複数枚のガスバリア性積層体を、フィルム基材側の面と無機薄膜層側の面とを接着層を介して積層してなるガスバリア性積層フィルムが開示されている。また、特許文献２には、ガスバリア性樹脂フィルムの表面にケイ素酸化物又はアルミニウムの蒸着膜を有し、裏面に吸湿剤を分散させた吸湿性樹脂フィルムを積層した構成の有機ＥＬ用封止フィルムが開示されている。

国際公開第２００９／１３９３９１号特開２００２−２６０８４７号公報

上記特許文献１の構成は、ガスバリア性積層体を複数枚貼り合せているので外部から浸入する水分に対して防湿性は高い。しかしながら、ガスバリア性積層体を複数枚貼り合せたとしても、ガスバリア性積層体の基材フィルム自体が有する含有水分の浸入に対しては、表層は無機薄膜層のみで防湿するしかない。その為、ガスバリア性積層体の基材フィルムの含有水分がＥＬ層に浸入し、発光材料が変質したり、電極が酸化して発光しなくなる問題がある。
また、特許文献２の構成では、樹脂フィルムの含有水分を隣接した吸湿性樹脂フィルムが吸湿するので、樹脂フィルムの含有水分が有機ＥＬに浸入することはない。しかし、吸湿性樹脂フィルムの表面に更に第２のガスバリア性樹脂フィルムを積層したとしても水蒸気バリア性が不十分であり、長期的信頼性は得られない。また、吸湿剤を分散させた吸湿性樹脂フィルムは、大気環境下で吸湿し始めるので、吸湿性樹脂フィルムの製造からその後の保管まで不活性ガス雰囲気下又は真空下に保管する必要があり、装置及び管理コストが高くなるという問題がある。

本発明は、上記した課題を解決するためになされたものであり、安価で高いガスバリア性、且つ、基材フィルムの含有水分がＥＬ層への浸入することを抑制した有機ＥＬデバイス用基材フィルムを提供することを課題としている。

課題を解決するために、本発明の一態様であるガスバリア性積層フィルムは、水蒸気透過度が４０℃９０％ＲＨの条件下で０．１ｇ/ｍ^２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムを少なくとも２枚以上、接着剤を介して貼り合せたガスバリア性積層フィルムであって、前記ガスバリア性フィルムはそれぞれ、基材フィルムの一方の面に、少なくとも１層以上の無機化合物からなるバリア性薄膜層と、ポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層とを備え、前記ガスバリア性フィルムの貼り合わせは、ガスバリア性フィルムの前記基材フィルムの他方の面が互いに向かい合うように貼り合わされ、かつ前記接着剤は、少なくとも硬化型吸湿剤を含有していることを特徴とする。
ここで、水蒸気透過度は、ＪＩＳ−Ｋ７１２９に準じた測定で得られる値である。
また、本発明の別の一態様は、本発明の一態様であるガスバリア性積層フィルムを使用した有機ＥＬデバイスである。

本発明に係るガスバリア性フィルムは、基材フィルムの一方の面に、少なくとも１層以上の無機化合物からなるバリア性薄膜層とポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層とを備え、それ自身が水分の透過が少ないため、ガスバリア性が高い。
また、１枚のガスバリア性フィルムでは有機ＥＬデバイス用途として用いるには水蒸気透過度は高いが、ガスバリア性フィルムを複数枚貼りあわせることでガスバリア性の高い基材を提供できる。
更に、ガスバリア性フィルムのフィルム基材面を、吸湿剤を有した接着剤を介して互いに向き合うように貼り合わすことで、基材フィルムの含有水分を吸湿剤に吸わせることが出来る。

この結果、本発明に係るガスバリア性積層フィルムを使用することで、基材フィルムの含有水分がＥＬ層へ浸入して、発光材料が変質したり、電極が酸化して発光しなくなることを抑制することが出来る。このとき、前記吸湿剤に硬化型吸湿剤を使用することで、大気環境下でも吸湿機能を維持した状態でガスバリア性フィルムを貼り合せることが出来るので、吸湿性樹脂フィルムの製造を不活性ガス雰囲気下で行う必要性がなくなり、装置及び管理コストを抑制することが出来る。

本発明の有機ＥＬデバイス用ガスバリア性積層フィルムの、一実施形態の構成を示す断面模式図である。本発明の有機ＥＬデバイス用ガスバリア性積層フィルムの、一実施形態の構成を示す断面模式図である。本発明に係る、ガスバリア性フィルムの、一実施形態の構成を示す断面模式図である。

本発明の有機ＥＬデバイス用ガスバリア性積層フィルムを、実施形態に基づいて以下に詳細に説明する。
本実施形態の有機ＥＬデバイス用のガスバリア性積層フィルム４０は、図１に示すように、ガスバリア性フィルム１０，２０同士を接着剤３１で貼り合わせて構成される。図１に示す本実施形態の有機ＥＬデバイス用のガスバリア性積層フィルム４０は、水蒸気透過度が４０℃９０％の条件下で０．１ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下で厚み６μｍ以上１００μｍ以下のガスバリア性フィルム１０、２０を２枚以上、フィルム基材面が互いに向い合うよう配して、接着剤３１を介して貼り合わされた構成である。また、接着剤３１は硬化型吸湿剤３２を有している。

図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、ガスバリア性フィルム１０，２０はそれぞれ、基材フィルム１１、２１の一方の面に、少なくとも１層以上の無機化合物からなるバリア性薄膜層１２，２２とバリア性塗布膜層１３，２３とを備えている。本実施形態のバリア性塗布膜層１３，２３は、ポリビニルアルコールを含む。
前述したように、本実施形態に係るガスバリア性フィルム１０，２０は、基材フィルム１１，２１の一方の面に、少なくとも１層以上の無機化合物からなるバリア性薄膜層１２，２２とポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層１３，２３とを備えている。

（基材フィルム）
基材フィルム１１，２１は例えばポリエステル基材からなる。
基材フィルム１１，２１としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ），ポリシクロヘキサンジメタノール−テレフタレート（ＰＣＴ）などのポリエステル系樹脂フィルム、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテンなどのポリオレフィン系樹脂フィルム、ナイロン６、ナイロン１２などのポリアミド系樹脂フィルム、ポリビニルアルコールやエチレン−ビニルアルコール共重合体などのビニルアルコール系樹脂フィルム、パーフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦＡ）、４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、パーフルオロエチレン−パーフルオロプロピレン−パーフルオロビニルエーテル三元共重合体（ＥＰＥ）、エチレン−４フッ化エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、塩化−３フッ化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）等のフッ素樹脂フィルム、ポリカーボネート系樹脂フィルム、トリアセチルセルロースフィルム、シクロオレフィンフィルム、あるいはポリアクリルニトリル、アクリル系樹脂、メタクリル樹脂、ポリグリコール酸樹脂、ポリ乳酸樹脂から選択される樹脂フィルムが挙げられる。また、これらに限定されず、ポリサルホン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアリレート系樹脂など、耐熱性、強度物性、電気絶縁性等を考慮して適宜選択することが可能である。

また基材フィルム１１，２１は、上記した２種類以上の樹脂の混合物からなるフィルムや積層フィルムも用いられる。また、公知の添加剤、滑剤、可塑剤、安定剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤を添加することが可能であり、また、基材フィルム１１，２１は延伸、未延伸のどちらでも良いが、連続的なバリア性薄膜の成膜加工への適性、他のガスバリア性フィルムとの積層やシール層との積層等の後加工適性等を考慮すると、機械的強度や寸法安定性を有するものが良く、二軸方向に任意に延伸されたフィルムが好ましい。本実施形態においては、基材フィルム１１，２１としてより薄肉化できる点や強度、耐熱性、透明性ならびに安価なことから、厚みが６μｍ以上１００μｍ以下のポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムが望ましい。

上記基材フィルム１１，２１には、必要に応じてコロナ放電処理等の易接着処理、プラズマ処理やイオンエッチング、フレーム処理などを施しても差し支えない。また、別途フィルム基材上に密着性のあるアンカーコート層やハードコート層などのコーティング処理を施すこともできる。この場合工程は増えることになるが、耐久性を上げるために必要な場合もある。具体的にはアクリル樹脂やウレタン樹脂、エポキシ樹脂などが挙げられ、硬化方式は熱硬化、紫外線硬化、ＥＢ硬化などが挙げられる。

（バリア性薄膜層）
続いて上記基材フィルム１１，２１に形成する、無機化合物からなるバリア性薄膜層１２，２２について説明する。
無機化合物からなるバリア性薄膜層１２，２２は、水蒸気や酸素等のガスの透過を防ぐものである。バリア性薄膜層１２，２２を形成する材料は特に限定されるものではなく、珪素、アルミニウム、クロム、マグネシウム等の金属の酸化物、窒化物、フッ化物や、錫含有酸化インジウム（ＩＴＯ）などの複合酸化物、窒化物等、透明で且つ酸素、水蒸気等のガスバリア性を有するものが使用できる。なかでも、金属酸化物は好ましく用いることが出来、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化珪素（ＳｉＯｘ）、インジウムとスズの複合酸化物（ＩＴＯ）が望ましく、その中でも、ＳｉＯｘやＩＴＯは透明性、防湿性とも他の金属酸化物より優れているためより好ましい。また若干窒素が入ったＳｉＯｘＮｙでもよい。また混合された材料でもよい。

金属酸化物等からなるバリア性薄膜層１２，２２を基材フィルム１１，２１上に形成する方法としては種々在り、抵抗加熱式真空蒸着法、ＥＢ（ＥｌｅｃｔｒｏｎＢｅａｍ）加熱式真空蒸着法、誘導加熱式真空蒸着法等の真空蒸着法により形成することができる。また、その他の薄膜形成方法であるスパッタリング法やイオンプレーティング法、プラズマ化学気相堆積法（ＰＥＣＶＤ法）などを用いることも可能である。但し、生産性を考慮すれば、現時点では真空蒸着法が最も優れている。真空蒸着法の加熱手段としては電子線加熱方式や抵抗加熱方式、誘導加熱方式のいずれかの方式を用いることが好ましい。また蒸着薄膜層と基材の密着性及び蒸着薄膜層の緻密性を更に向上させるために、プラズマアシスト法やイオンビームアシスト法を用いて蒸着することも可能である。また、蒸着膜の透明性を上げるために蒸着の際、酸素等の各種ガスなど吹き込む反応蒸着を用いても一向に構わない。

バリア性薄膜層１２，２２の厚さは、用いられる無機化合物の種類・構成により最適条件が異なるが、一般的には１．０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲内が望ましく、５ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましく、さらには、１０ｎｍ以上８０ｎｍ以下であることが特に好ましい。ただし膜厚が５ｎｍ未満であると均一な膜が得られないことや膜厚が十分ではないことがあり、ガスバリア材としての機能を十分に果たすことができない場合がある。また膜厚が１００ｎｍを越える場合は薄膜にフレキシビリティを保持させることができず、折り曲げ、引っ張り、あるいは温度変化による伸縮などの外的要因により、薄膜に亀裂（クラック）を生じるおそれがあるので問題がある。さらに、材料使用量の増加、膜形成時間の長時間化等に起因してコストが増加し、経済的観点からも好ましくない。

（バリア性塗布膜層）
次に、バリア性薄膜層１２，２２上に形成する、ポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層１３，２３について説明する。
ポリビニルアルコールとしては一般的なポリ酢酸ビニルを鹸化して得られる市販のものを使用することができる。ポリビニルアルコールの具体例としては、株式会社クラレ製ＰＶＡ１１０（ケン化度＝９８〜９９％、重合度＝１１００）、ＰＶＡ１１７（ケン化度＝９８〜９９％、重合度＝１７００）、ＰＶＡ１２４（ケン化度＝９８〜９９％、重合度＝２４００）、ＰＶＡ１３５Ｈ（ケン化度＝９９.７％以上、重合度＝３５００）、同社製のＲＳポリマーＲＳ−１１０（ケン化度＝９９％、重合度＝１０００）、同社製のクラレポバールＬＭ−２０ＳＯ（ケン化度＝４０％、重合度＝２０００）、日本合成化学工業株式会社製のゴーセノールＮＭ−１４（ケン化度＝９９％、重合度＝１４００）及びゴーセノールＮＨ−１８（ケン化度＝９８〜９９％、重合度＝１７００）等を使用することができる。これらを適度な温度の水にて溶解させた後、コーティング剤として使用することが可能である。バリア性薄膜層１２，２２は、例えば湿式塗布方式で形成する。

また、ポリビニルアルコールだけでは金属酸化物膜との密着が不十分な場合、Ｒ１（Ｍ−ＯＲ２）（ただしＲ１、Ｒ２は炭素数１〜８の有機基、Ｍは金属原子）で表されるような金属アルコキシドを原料とする有機無機ハイブリッド材料を混合して使用しても差し支えない。ＭはＳｉ、Ａｌ、Ｔｉなどが望ましく、特にＳｉが望ましい。このポリビニルアルコールを金属酸化物層上に積層することで、貼り合わせ加工時に傷等が入りにくくなり、望ましい。

（ガスバリア性フィルム）
以上説明したようにして、基材フィルム１１，２１の一方の面に、少なくとも１層以上の無機化合物からなるバリア性薄膜層１２，２２とポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層１３，２３とを備えた本実施形態に係るガスバリア性フィルム１０，２０が得られる。このガスバリア性フィルム１０，２０の水蒸気透過度は、本実施形態のエレクトロルミネッセンス素子封止用フィルムを構成するために、水蒸気透過度が４０℃９０％Ｒ．Ｈ．の条件下で０．１ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下のガスバリアフィルムとして作製される。尚、水蒸気透過度は、ＪＩＳ−Ｋ７１２９に準じた測定で得られた値である。

（ガスバリア性積層フィルム）
次に、このガスバリア性フィルム１０，２０を少なくとも２枚以上、接着剤３１層を介して貼り合わせてガスバリア性積層フィルム４０とする。このとき、ガスバリア性フィルム１０，２０の基材フィルム１１，２１面が互いに向かい合うように貼り合せ、かつ接着剤３１として、少なくとも硬化型吸湿剤３２を含有する接着剤３１を使用する。接着剤３１における硬化型吸湿剤３２の含有割合は、全質量を１００質量％とした場合、好ましくは５質量％以上６０質量％以下であり、より好ましくは１０質量％以上４５質量％以下である。

接着剤３１としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、２液硬化型接着性樹脂や、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの酸変性物からなる熱可塑性接着性樹脂や、ゴム系、シリコーン系、アクリル系、ウレタン系などの水酸基を持つ主剤にイソシアネート硬化剤で硬化させる方式が用いられる。中でも、１液または２液反応型のポリウレタン樹脂と３官能イソシアネートとを重合硬化させたものが好ましい。加工はドライラミネート法が望ましく、塗工方式としてはグラビアコーター、ディップコーター、リバースコーター、ワイヤーバーコーター、ダイコーター等を用いることが出来る。

硬化型吸湿剤３２は、吸湿剤と硬化剤を混合したものである。硬化型吸湿剤３２における吸湿剤（化合物）の含有割合は、全質量を１００質量％とした場合、好ましくは２０質量％以上８０質量％以下であり、より好ましくは２５質量％以上６０質量％以下である。吸湿剤の含有割合が前記範囲にあると、水分を捕水する作用を硬化型吸湿剤において効果的に発現させることができる。

本実施の形態に係る吸湿剤は、下記一般式（１）で表される構成単位を有する有機金属化合物を含有する。
−［Ａｌ（ＯＲ）−Ｏ］ｎ− …（１）
式（１）中、Ｒは、それぞれ置換もしくは非置換の、アルキル基、アリール基またはアルキルカルボニル基を表す。ｎは２〜６の整数を表す。ここで、複数存在するＲは同一または異なっていてもよく、直鎖状、環状または分岐鎖を有していてもよい。Ｒの炭素数は、好ましくは５〜３０であり、より好ましくは６〜２０であり、特に好ましくは７〜１８である。上記一般式（１）で表される構成単位を有する化合物の機能の一つとしては、化合物中に存在するＡｌ−ＯＲ結合が水分と反応することにより吸湿することが挙げられる。このような化合物を用いることにより、吸湿性能に優れた吸湿剤を得ることができる。
なお、上記化合物は、下記一般式（２）で表される化合物であることが好ましい。下記一般式（２）中、Ｒは上記一般式（１）中のＲと同義である。

さらに上記化合物は、下記式（３）または下記式（４）で表されることがより好ましい。

上記式（３）で表される化合物の市販品としては、例えばオリープＡＯＯ（製品名、ホープ製薬株式会社製、５０％ＡＦ（アロマフリー）ソルベント溶液）が挙げられる。また、上記式（４）で表される化合物の市販品としては、例えばオリープＡＯＳ（製品名、ホープ製薬株式会社製、５０％ＡＦ（アロマフリー）ソルベント溶液）が挙げられる。

硬化剤としては、熱硬化剤や紫外線硬化剤を使用することができる。熱硬化剤は、硬化性モノマーと開始剤を含有する。硬化性モノマーとしては、透光性を有し、分子中に１個以上の重合性反応基を有する化合物であれば特に制限されない。このような重合性反応基としては、例えば（メタ）アクリロイル基、ビニル基、ビニルエーテル基等が挙げられるが、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。（メタ）アクリロイル基を有する化合物としては、分子中に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する多官能（メタ）アクリレートや、分子中に１個の（メタ）アクリロイル基を有する単官能（メタ）アクリレートが挙げられる。これら単官能（メタ）アクリレートや多官能（メタ）アクリレートは併用してもよい。多官能モノマーの市販品としては、例えばビスコート＃１９５、＃２３０、＃２６０、＃３３５ＨＰ、＃５４０、＃７００（以上、大阪有機化学工業株式会社製）；ＴＭＰＴ、９Ｇ、９ＰＧ、７０１、ＢＰＥ−５００、ＤＣＰ、ＤＯＤ−Ｎ、ＨＤ−Ｎ、ＮＯＤ−Ｎ、ＮＰＧ（以上、新中村化学工業株式会社製）等が挙げられる。開始剤は加熱により分解して上述の硬化性モノマーを重合し得る活性種を発生させることができれば特に制限されない。紫外線硬化剤には、透光性のあるモノマーと、光重合開始剤とが含まれる。透光性のあるモノマーとしては１官能乃至３官能以上の多官能アクリレート（アクリル酸エステル）又は１官能乃至３官能以上の多官能メタクリレート（メタクリル酸エステル）等が使用可能である。なお、アクリレートとメタクリレートについては、いずれか一方のみを使用しても良いし、適宜混合して使用することも可能である。光重合開始剤は、無色透明であることが好ましいが、１〜３ｗｔ％添加すればよいので、色があっても紫外線照射後に得られる硬化物が透明になるので特に問題はない。

以下に、本発明の具体的実施例について説明する。
＜実施例１＞
ガスバリア性積層フィルムは、有機ＥＬ素子を作製して評価を行った。具体的には、真空成膜法によりガスバリア性積層フィルム上に透明電極（ＩＴＯ）を成膜し、その上に正孔輸送層、発光層である有機ＥＬ層、背面電極（Ｃａ/Ａｌ）、保護膜（ＳｉＮｘ）を形成し、有機ＥＬ素子を作製した。有機ＥＬ素子の封止は、有機ＥＬ素子と封止用ガスバリア性積層フィルムをアクリル系のシート状接着剤を介して真空ラミネータで貼り合せを行った。

以下に、ガスバリア性積層フィルムの作製法を記す。東洋紡社製、１６μｍＰＥＴフィルムＥ５１０７に真空蒸着法によりＳｉＯｘ層（バリア性薄膜層）を５０ｎｍ形成した。その上層にポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層を０．３μｍに加工し、ガスバリア性フィルムを作成した。
このガスバリアフィルムの水蒸気透過度は０．０５ｇ／ｍ^２・ｄａｙだった。このガスバリア性フィルム２枚を、ＰＥＴフィルム面が互いに向き合うように、硬化型吸湿剤を含んだポリエステル系接着剤（膜厚：１０ｕｍ）で貼り合せを行った。硬化型吸湿剤は、ポリエステル系接着剤中に３０質量％含有させた。なお、硬化型吸湿剤は硬化剤と吸湿剤を混ぜたもので、吸湿剤は硬化剤中に４０質量％含有させた。硬化剤はＮＫエステル（新中村化学工業）、開始剤にＩｒｇａｃｕｒｅ９０７（チバガイギ）、促進剤にトリエタノールアミンを用い、９８：１：１の割合で混合したものを使用し、吸湿剤にはオリーブＡＯＯ（ホ−プ製薬）を使用した。

＜実施例２＞
バリア性塗布膜層に、テトラエトキシシランの加水分解物とポリビニルアルコールを含む膜を使用してガスバリア性フィルム（水蒸気透過度は０．０２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ）を作製した。このガスバリア性フィルムを使用したことを除いては、実施例１の手順を繰り返して有機ＥＬ素子を得た。
＜実施例３＞
実施例１で作製したガスバリア性積層フィルムをポリエステル系接着剤を介して２枚貼りあわせてガスバリア性積層フィルムを作製した。このガスバリア性積層フィルムを使用したことを除いては、実施例１の手順を繰り返して有機ＥＬ素子を得た（図２参照）。

＜比較例１＞
実施例１で作製したガスバリア性フィルムをＰＥＴフィルム面とバリア性塗布膜層面が向き合うように貼り合せてガスバリア性積層フィルムを作製したことを除いては、実施例１の手順を繰り返して有機ＥＬ素子を得た。
＜比較例２＞
ポリエステル系中に硬化型吸湿剤を含有させなかったことを除いては、実施例１の手順を繰り返して有機ＥＬ素子を得た。

（評価）
実施例１〜３及び比較例１、２に記載した有機ＥＬ素子を６０℃９０％ＲＨの条件にて放置し、ダークスポットと呼ばれる非発光点の有無を確認した。ダークスポットの直径が０．０５ｍｍ未満のものを○、それ以外のものを×とした。評価結果を表１に記す。

＜評価結果＞
実施例１の有機ＥＬ素子は、ガスバリア性積層フィルム中の硬化型吸湿剤が基材フィルムの含有水分を吸湿し、尚且つ、ガスバリア性積層体の表面はガスバリア性塗布膜層であるので、外部からの透湿を抑制し、ダークスポットが発生を抑制することが出来た。さらに実施例２でガスバリア性フィルムのバリア性を向上させたり、実施例３でガスバリア性積層フィルムを更に重ねることで封止性能は向上した。一方、比較例１で、基材フィルム面とバリア性塗布膜層面を貼り合せて作製したガスバリア性積層フィルム使用では、ダークスポット発生までの時間が早まった。また、比較例２で硬化型吸湿剤を含まないガスバリア性積層フィルム使用では、高温高湿槽放置数時間でダークスポットが発生した。

１０、２０…ガスバリア性フィルム
１１、２１…基材フィルム
１２、２２…バリア性薄膜層
１３、２３…バリア性塗布膜層
３１…接着剤
３２…硬化型吸湿剤
４０…ガスバリア性積層フィルム

Claims

水蒸気透過度が４０℃９０％ＲＨの条件下で０．１ｇ/ｍ^２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムを少なくとも２枚以上、接着剤を介して貼り合せたガスバリア性積層フィルムであって、
前記ガスバリア性フィルムはそれぞれ、基材フィルムの一方の面に、少なくとも１層以上の無機化合物からなるバリア性薄膜層と、ポリビニルアルコールを含むバリア性塗布膜層とを備え、
前記ガスバリア性フィルムの貼り合わせは、ガスバリア性フィルムの前記基材フィルムの他方の面が互いに向かい合うように貼り合わされ、かつ前記接着剤は、少なくとも硬化型吸湿剤を含有していることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。
前記基材フィルムは、厚みが６ｕｍ以上１００ｕｍ以下のポリエステル基材であることを特徴とする請求項１に記載するガスバリア性積層フィルム。
前記バリア性薄膜層は、真空成膜で形成された金属酸化物の薄膜からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載するガスバリア性積層フィルム。
前記バリア性塗布膜層は、湿式塗布方式で形成された薄膜からなることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のガスバリア性積層フィルム。
前記硬化型吸湿剤は、有機金属化合物を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のガスバリア性積層フィルム。
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のガスバリア性積層フィルムを使用した有機ＥＬデバイス。