JP2015207590A - 圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】変位を阻害することなく電極の剥離を抑制できる圧電素子を提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ素子1は、複数の圧電体層7,9と共通電極11とが積層されてなる圧電体3と、圧電体3の表面に設けられ、圧電体3を活性化する活性部20と、外部配線に接続される接続部22と、を有する表面電極5と、を備え、活性部20は、中央部の密度よりも、少なくとも端部の一部分の密度が高い。【選択図】図4
Description
本発明は、圧電素子に関する。
圧電素子の一種として、圧電アクチュエータが知られている。例えば、特許文献1には、複数の表面電極と共通電極とを有し、複数の表面電極がマトリクス状に配置された圧電アクチェータ素子が開示されている。このような圧電アクチュエータ素子は、インクジェットプリンタのヘッドに用いられ、その際、各表面電極の接続部の表面に、外部配線基板の配線が接続される。
上記従来の圧電アクチュエータ素子においては、表面電極は、外部配線基板の配線から引張方向の力が加わった場合に、その接続部において剥がれるおそれがある。そこで、電極の密度(圧電体に対する電極の被覆率)を高めて、表面電極の剥離を抑制する構造を採用することができる。しかしながら、電極密度を増大させると、圧電素子の変位を阻害するという弊害が生じ得る。
本発明は、変位を阻害することなく電極の剥離を抑制できる圧電素子を提供することを目的とする。
本発明に係る圧電素子は、複数の圧電体層と共通電極とが積層されてなる圧電体と、圧電体の表面に設けられ、圧電体を活性化する活性部と、外部配線に接続される接続部と、を有する表面電極と、を備え、活性部は、中央部の密度よりも、少なくとも端部の一部分の密度が高い。
この圧電素子では、活性部は、中央部の密度よりも、少なくとも端部の一部分の密度が高い。このように、活性部の端部の密度を中央部よりも高くすることにより、活性部の端部において圧電体に対する被覆率が高くなるため、端部において圧電体との間の接合強度の向上が図られている。したがって、圧電素子では、表面電極が圧電体から剥離することを抑制できる。一方で、活性部の中央部の密度は、端部よりも低いため、圧電体(圧電体層)の変位が阻害されることを抑制できる。以上のように、圧電素子では、変位を阻害することなく電極の剥離を抑制できる。
一実施形態においては、活性部の端部は、当該活性部の縁から活性長の3%〜30%以上内側の位置であってもよい。このような端部に配置される活性部の密度を高くすることにより、表面電極において特に剥離し易い部分の接合強度を高めることができる。
本発明によれば、変位を阻害することなく電極の剥離を抑制できる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、一実施形態に係る圧電アクチュエータ素子を示す平面図である。図2は、図1に示す圧電アクチュエータ素子の共通電極を示す平面図である。図3は、図1に示す圧電アクチュエータ素子の断面構成を示す図である。
図1〜図3に示されるように、圧電アクチュエータ素子(圧電素子)1は、アレイ構造の薄型アクチュエータ素子である。圧電アクチュエータ素子1は、圧電体3と、表面電極5と、を備えている。圧電アクチュエータ素子1の外形寸法は、一例として、縦幅20mm、横幅25mmである。
圧電体3は、複数(ここでは2層)の圧電体層7,9と、共通電極11と、が積層されている。2層の圧電体層7,9のそれぞれは、圧電セラミック材料によって構成されている。圧電セラミック材料としては、主成分であるチタン酸ジルコン酸鉛に、NbやSrなどの元素を添加した圧電セラミック材料を用いることができる。圧電体層7,9は、共通電極11を挟んで、上下に重なっている。圧電体層9の厚さは、例えば25μm程度であり、圧電体層7の厚さは、例えば15μm程度である。
共通電極11は、上側の圧電体層7と下側の圧電体層9との間に介在している。共通電極11は、図2に示されるように、圧電体層7と圧電体層9との間のほぼ全域に亘って形成されている。共通電極11は、表面電極5の接続部22に対応する箇所にスリット11sを有している。共通電極11の厚さは、後述する表面電極5の厚さよりも厚く、好ましくは表面電極5の厚さよりも5〜50%だけ厚く、より好ましくは10〜30%だけ厚い。このようにすることで、後述する焼成工程において、素子の反りが発生しにくくなる。共通電極11の構成材料には、Ag−Pb合金(Pd30%、Ag70%)が用いられる。ただし、PdとAgの比率はこれに限らず、また、Pdの代わりにPtを用いたり、Agの代わりにAuを用いたりすることもでき、さらに、Cuで構成される電極を使用することも可能である。
図4は、表面電極を示す図である。図4(a)は、表面電極の平面図であり、図4(b)は、図4(a)におけるb−b線に沿った断面構成を示す図である。
各表面電極5は、上側の圧電体層7の表面7sに設けられている。図4に示されるように、各表面電極5は、長方形状の活性部20と、活性部20の短辺側から長辺方向に延出する接続部22と、を有している。各表面電極5は、図3に示されるように、活性部20及び接続部22の下側が圧電体層7に埋まっている。表面電極5の外形寸法は、一例として、0.4mm×0.2mmである。表面電極5の厚さは、例えば1〜2μmである。表面電極5の材料は、共通電極11と同様のものを用いることができる。
複数の表面電極5は、圧電体層7上において、マトリクス状に所定間隔で整列されており(例えば、横方向に75個及び縦方向に8列の合計600個)、また、集積度を高めるために図1のように上下に隣り合う表面電極5は接続部22側が向かい合わせになっている。なお、圧電体層7の周縁部にダミー電極を設けて、後述する外部配線基板60との張り合わせ時にバランスを取りやすくしてもよい。
図4に示されるように、活性部20は、第1密度領域20aと、第2密度領域20bと、第3密度領域20cと、を含んでいる。第1密度領域20aは、活性部20の端部20eに配置されている。具体的には、第1密度領域20aは、活性部20の縁20oに沿う端部20eに配置され、枠状を呈している。活性部20の端部20eとは、活性部20の縁20oから、活性部20の活性長(表面電極5の長さ寸法)の3%以上内側の位置のことを言う。第2密度領域20bは、第1密度領域20aの内側に配置され、活性部20の中央部を含んでいる。第2密度領域20bは、略矩形形状を呈している。第3密度領域20cは、第1密度領域20aを囲うように、第1密度領域20aの外側と活性部20の縁20oとの間の配置されている。
第1密度領域20aは、第2密度領域20b及び第3密度領域20cよりも密度が高い領域である。第2密度領域20b及び第3密度領域20cの密度は、略同等である。活性部20の密度は、圧電体層7に対する活性部20の被覆率により規定される。すなわち、第1密度領域20aは、第2密度領域20b及び第3密度領域20cよりも、圧電体層7に対する被覆率が高い。第1密度領域20aの被覆率は、例えば60%以上であり、第2密度領域20b及び第3密度領域20cの被覆率は、例えば40%以上である。すなわち、第1密度領域20aの圧電体層7に対する被覆率は、第2密度領域20b及び第3密度領域20cの被覆率に対して、1.2倍以上である。
図5は、表面電極の被覆状態を示す画像である。図5(a)は、第1密度領域20aを示す画像であり、図5(b)は、第2密度領域20bを示す画像である。図5(a)に示される第1密度領域20aは、圧電体層7に対する被覆率が例えば68%程度である。図5(b)に示される第2密度領域20bは、圧電体層7に対する被覆率が例えば45%程度である。なお、活性部20の接続部22においても、第1密度領域20aと同等の密度としてもよい。すなわち、接続部22の圧電体層7に対する被覆率を、60%以上としてもよい。
上述した圧電アクチュエータ素子1においては、表面電極5の接続部22に後述する外部配線基板60の配線62を電気的に接続して、個別電極である表面電極5と共通電極11との間に電圧が印加される。なお、配線62と共通電極11との導通には、図1に示されるスルーホール25が用いられる。それにより、表面電極5の活性部20と共通電極11との間の圧電体層7が活性化されて変位する。
続いて、上記構成を有する圧電アクチュエータ素子1の製造方法について説明する。
圧電アクチュエータ素子1を作製する際には、まず、準備工程として、圧電体層7,9となる圧電グリーンシートを準備する。圧電グリーンシートは、圧電体層7,9を構成する圧電セラミック粉にバインダや有機溶剤などの成分を加えてペースト化し、例えばドクターブレード法によって所定厚さに作製される。なお、圧電グリーンシートには、スルーホールのための貫通孔が例えばYAGレーザにより設けられる。
次に、電極形成工程として、上側の圧電体層7となる圧電グリーンシート上に、表面電極5のとなる電極パターンを形成すると共に、下側の圧電体層9となる圧電グリーンシート上に、共通電極11となる電極パターンを形成する。電極パターンの形成には、例えば電極ペーストを塗布するスクリーン印刷が採用され得る。電極ペーストは、Ag−Pb合金(Pd:30%、Ag:70%)を含むペーストである。共通電極11となる電極パターンは、圧電体層9に対する被覆率が60%以上となるように形成されることが好ましい。
表面電極5となる電極パターンは、圧電グリーンシートの表面上において、活性部20の第1密度領域20aとなる部分が、第2密度領域20b及び第3密度領域20cとなる部分よりも密度が高くなるように、すなわち圧電グリーンシートに対する被覆率が高くなるように印刷される。このように、活性部20において密度が異なるように印刷する方法としては、第1密度領域20aとなる部分のみを2度印刷する方法(すなわち、2度塗り)がある。また、印刷方向とスキージの追い込み量を最適にし、印刷製版の厚みを厚くして、第1密度領域20aとなる電極パターンの厚みを厚く形成してもよい。
その後、プレス工程として、表面電極5となる電極パターンが形成された圧電グリーンシートと、共通電極11となる電極パターンが形成された圧電グリーンシートとを重ね合わせて、その積層方向(すなわち、圧電グリーンシートの厚さ方向)に沿ってプレスする。プレス方法としては、温間等方圧プレス(WIP)等の等方圧プレスや、一軸プレスを用いることができる。プレス条件は、一例として、水温65℃、圧力80MPaである。
最後に、焼成工程として、プレスされた圧電グリーンシートを焼成することで、図1に示した圧電アクチュエータ素子1が得られる。より詳しくは、焼成工程において、プレスされた圧電グリーンシートを安定化ジルコニアで構成されたセッターに載せて脱バインダ処理を行った後、そのセッターをマグネシア質の匣鉢に入れて、1100℃にて焼成する。なお、焼成後は、分極処理(例えば、100℃で、電界強度2kV/mmの電圧を3分間印加)する。
続いて、上述した圧電アクチュエータ素子1のインクジェットプリンタのヘッドへの適用について、図6を参照しながら説明する。図6は、圧電アクチュエータ素子を用いたインクジェットプリンタのヘッドを示す概略断面図である。
インクジェットプリンタのヘッドに適用するときには、流路部材50上に、圧電アクチュエータ素子1を接合する。流路部材50には、表面電極5に対応する領域に、互いに隔壁で仕切られた複数のインク室51が設けられている。
そして、圧電アクチュエータ素子1上には、圧電アクチュエータ素子1の表面に対面するように、フレキシブルプリント基板である外部配線基板60がCOF(チップオンフィルム)実装される。外部配線基板60は、各圧電アクチュエータ素子1に駆動電圧を印加するためのリード線等の配線62を複数備えている。配線62は、表面電極5の接続部22と対面する位置において、導電ペースト63を介して、表面電極5と電気的に接続される。導電ペースト63としては、例えば異方性導電樹脂ペースト(ACP)が用いられる。
圧電アクチュエータ素子1は、外部配線基板60の配線62により、個別電極である表面電極5と共通電極11との間に電圧が印加されると、表面電極5の活性部20と共通電極11との間の圧電体層7が活性化されて変位する。すると、インク室51内に供給されたインクが加圧されて、吐出孔からインク滴が吐出される。このようなインクジェットプリンタのヘッドは、高速で高精度なインク吐出が可能であり、高速印刷に好適である。
以上説明したように、本実施形態の圧電アクチュエータ素子1は、表面電極5の活性部20において、活性部20の端部20eに位置する第1密度領域20aの密度が第2密度領域20b及び第3密度領域20cの密度よりも高い。これにより、圧電アクチュエータ素子1では、第1密度領域20aにおいて圧電体層7に対する被覆率が高くなるため、第1密度領域20aによって圧電体3との間の接合強度の向上が図られている。したがって、圧電アクチュエータ素子1では、表面電極5が圧電体3(圧電体層7)から剥離することを抑制できる。また、圧電アクチュエータ素子1では、第2密度領域20b及び第3密度領域20cの密度が第1密度領域20aに比べて低いため、圧電体3(圧電体層7)の変位が表面電極5により阻害されることを抑制できる。
特に、第1密度領域20aは、電極剥離が生じ易い活性部20の端部20eに設けられているため、端部20eにおいて圧電体3と表面電極5との接合強度を確保できる。したがって、圧電アクチュエータ素子1では、表面電極5の剥離を効果的に抑制することができる。
本発明は、上記実施形態に限定されるものでない。図7は、他の実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の断面構成を示す図である。図7(a)及び図7(b)に示されるように、活性部20の第1密度領域20aは、第2密度領域20bよりも厚み寸法が大きくてもよい。第1密度領域20aの厚み寸法は、例えば1.3umであり、第2密度領域20bの厚み寸法は、例えば1.0umである。このように、第1密度領域20aの厚み寸法を第2密度領域20bの厚み寸法よりも大きくすることにより、第1密度領域20aの密度を、第2密度領域20bの密度よりも高くすることができる。
図8は、他の実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の表面電極を示す平面図である。図8に示されるように、表面電極30は、活性部32と、接続部34と、を有している。活性部32は、第1密度領域32aと、第2密度領域32bと、を含んでいる。第1密度領域32aは、活性部32の長辺方向の端部32eに配置され、活性部32の短辺方向に沿って延在していると共に、活性部32の長辺方向において対向している。このような表面電極30を有する圧電アクチュエータ素子においても、第1密度領域32aにおいて、圧電体層7に対する被覆率が高くなるため、第1密度領域32aによって圧電体3との間の接合強度の向上が図られている。したがって、圧電アクチュエータ素子では、表面電極30が圧電体3(圧電体層7)から剥離することを抑制できる。また、圧電アクチュエータ素子では、第2密度領域32bの密度が第1密度領域32aに比べて低いため、圧電体3(圧電体層7)の変位が表面電極30により阻害されることを抑制できる。
共通電極11において、端部の密度を中央部の密度よりも高く設定してもよい。
上記実施形態では、圧電体層が2層である積層構造のみを示したが、層数は適宜変更可能であり、電極の層数も適宜変更可能である。また、圧電体層の厚さも適宜変更可能である。さらに、ダミー層を挿入してもよい。
1…圧電アクチュエータ素子(圧電素子)、3…圧電体、5,30…表面電極、7,9…圧電体層、7s…表面、11…共通電極、20,32…活性部、22,34…接続部、20e,32e…端部、20o…縁。
Claims (2)
- 複数の圧電体層と共通電極とが積層されてなる圧電体と、
前記圧電体の表面に設けられ、前記圧電体を活性化する活性部と、外部配線に接続される接続部と、を有する表面電極と、を備え、
前記活性部は、中央部の密度よりも、少なくとも端部の一部分の密度が高い、圧電素子。 - 前記活性部の前記端部は、当該活性部の縁から活性長の3%〜30%以上内側の位置である、請求項1記載の圧電素子。
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