JP2015205262A

JP2015205262A - 洗浄装置

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Publication number: JP2015205262A
Application number: JP2014088987A
Authority: JP
Inventors: 太一伊藤; Taichi Ito
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-04-23
Filing date: 2014-04-23
Publication date: 2015-11-19

Abstract

【課題】２流体ノズルに対する洗浄液の供給の有無を安価な構成で監視すること。【解決手段】洗浄装置（１）は、板状ワーク（Ｗ）に気体と洗浄液とを混合させた２流体を噴出する２流体ノズル（４）と、２流体ノズルに洗浄液を供給する洗浄液供給源（４１）と、２流体ノズルと洗浄液供給源との間の洗浄液用配管（４２）に接続される逆止弁（４５）と、逆止弁と洗浄液供給源との間の洗浄液配管に接続され、洗浄液用配管の内部圧力を測定する圧力ゲージ（４６）とを備え、圧力ゲージの示す値が２流体ノズルにエアー及び洗浄液が供給されているときの圧力範囲に入っていれば、２流体ノズルに洗浄液が供給されていると判断する構成とした。【選択図】図３

Description

本発明は、板状ワークを洗浄する洗浄装置に関し、特に、板状ワークの加工によって生じる加工屑を、２流体ノズルから噴出される２流体で洗浄する洗浄装置に関する。

従来、板状ワークを洗浄する際には、洗浄液をエアーの圧力で板状ワークに吹き付けて洗浄する、いわゆる２流体洗浄が実施される。２流体洗浄においては、洗浄液にエアーを混合して噴霧状の小さい液滴を噴出する２流体ノズルが用いられる（例えば、特許文献１、２参照）。これらの２流体ノズルを備えた加工装置において、２流体ノズルによって生成される噴霧中の液滴の粒径は、エアーと洗浄液との混合比によって決められる。

例えば、粒径の大きい液滴よれば、大きな加工屑を除去するのに適しているが、微細な加工屑を除去するのには適していない。一方、粒径の小さい液滴によれば、微細な加工屑を除去するのに適しているが、大きな加工屑を除去するのには適していない。このように、加工屑の大きさは加工状況により異なる。よって、液滴の粒径は、加工によって生じる加工屑の大きさに応じて、洗浄液の流量等を調節することにより変更される。

また、２流体洗浄においては、洗浄液が２流体ノズルに適切に供給されているか否かを監視する必要がある。２流体ノズルに供給される洗浄液の流量は、エアーの流量に対して非常に小さいため、洗浄液の供給の有無を監視する場合、流れセンサー（特許文献３参照）、超音波式やコリオリ式の流量計（特許文献４、５参照）等の測定器を用いることが考えられる。これらの測定器によれば、２流体ノズルに対する微量な洗浄液の供給の有無を監視することができる。

特開２００８−０８０１８０号公報特開２０１１−２００７８５号公報特開２０１４−０２０３６５号公報特開２００４−０９３１４７号公報特開２００２−１６８６７２号公報

しかしながら、特許文献３から特許文献５に記載の測定器を適用すれば、２流体ノズルに洗浄液が適切に供給されているのを監視することができるものの、これらの測定器は高価であるという問題があった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、２流体ノズルに洗浄液が適切に供給されているのを安価な構成で監視できる洗浄装置を提供することを目的とする。

本発明の洗浄装置は、気体と洗浄液とを混合させた２流体を噴出する２流体ノズルと、被洗浄物を保持する保持手段と、を、備え、２流体ノズルから噴出される２流体で保持手段が保持する被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、気体供給源と２流体ノズルとを連通する気体用配管と、洗浄液供給源と２流体ノズルとを連通する洗浄液用配管と、洗浄液用配管に配設される逆止弁と、逆止弁と洗浄液供給源との間に配設され洗浄液用配管の内部圧力を認識する圧力ゲージと、を、備え、逆止弁は、２流体ノズルから洗浄液供給源に向かう方向で洗浄液用配管へ気体の流入を遮断するように方向付けられていて、２流体ノズルに気体と洗浄液を供給した時に、圧力ゲージの値が、逆止弁の作動圧力から洗浄液供給源の圧力までの範囲で予め設定される設定範囲に入っていれば２流体ノズルに洗浄液が供給されていると判断する判断部を有することを特徴とする。

この構成によれば、被洗浄物の洗浄中に、逆止弁の作動状況に応じて圧力ゲージの示す値が変化する。例えば、圧力ゲージの示す値が予め設定された設定範囲に入っていれば、逆止弁は、洗浄液用配管に気体が流入するのを防止しており、２流体ノズルに洗浄液が適切に供給されていると判断される。また、圧力ゲージの示す値が設定範囲より小さい値ならば、洗浄液供給源に不具合が生じていることを予測することができ、２流体ノズルには洗浄液が供給されていないと判断される。さらに、圧力ゲージの示す値が設定範囲より大きい値ならば、逆止弁に不具合が生じていることを予測することができ、２流体ノズルには洗浄液が供給されていないと判断される。このように、圧力ゲージの示す値から２流体ノズルに対する洗浄液の供給の有無を判断することができるため、洗浄液の供給を監視するための高価な測定器を設ける必要がない。よって、安価な構成で２流体ノズルに対する洗浄液の供給の有無を監視することができる。

本発明によれば、逆止弁の作動状況に応じて変化する洗浄液用配管の内部圧力を監視することにより、２流体ノズルに対する洗浄液の供給の有無を安価な構成で監視することができる。

本実施の形態に係る洗浄装置の斜視図である。本実施の形態に係る洗浄装置の模式図である。本実施の形態に係る洗浄装置の配管系統図である。本実施の形態に係る洗浄装置の洗浄中及びメンテナンス中における配管部品の作動状態を示す表である。本実施の形態に係る洗浄装置のメンテナンス動作のフロー図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る洗浄装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る洗浄装置の斜視図である。図２は、本実施の形態に係る洗浄装置の模式図である。図３は、本実施の形態に係る洗浄装置の配管系統図である。以下の説明においては、切削装置に適用される洗浄装置について説明するが、この構成に限定されない。本実施の形態に係る洗浄装置は、どのような装置に適用されてもよく、例えば、研削装置にも適用可能である。

図１及び図２に示すように、洗浄装置１は、保持手段３に保持された被洗浄物の表面を２流体洗浄するように構成されている。なお、本実施の形態における洗浄対象としての被洗浄物は、円板状の板状ワークＷで構成され、板状ワークＷの表面は複数の分割予定ライン（不図示）によって格子状に区画されている。区画された各領域には、デバイスＤが配設されている。なお、板状ワークＷの構成は特に限定されず、例えば、シリコン、ガリウムヒソ等の半導体基板にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成された半導体板状ワークでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア系の無機材料基板にＬＥＤ等の光デバイスが形成された光デバイス板状ワークでもよい。板状ワークＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持される。

洗浄装置１は、円筒状の周壁部２１と底壁部２２とからなる有底筒状のケーシング２を有している。ケーシング２は、底壁部２２の下面から延びる複数（本実施の形態では３本）の脚部２３によって支持されている。ケーシング２内には、保持手段３が収容されており、保持手段３の周囲には、エアー及び洗浄液を混合させた噴霧を板状ワークＷに向かって噴出する２流体ノズル４が設けられている。

保持手段３は、円盤状に形成されており、上面に多孔質材料で吸着面が形成されている。吸着面は保持手段３内の図示しない流路を通じて吸引源に接続されており、吸着面上に生じる負圧によって板状ワークＷが吸引保持される。保持手段３の下面中央には、電動モータ３１の駆動軸３２の上端部が固定されている。駆動軸３２は、ケーシング２の下方に位置する電動モータ３１から上方に延在し、底壁部２２に貫通形成された中心開口を通って保持手段３に接続される。また、駆動軸３２の上端側には、底壁部２２に形成された開口を覆うように下方に開口された筒状のカバー３３が設けられている。

電動モータ３１の外周面には、複数（本実施の形態では３つ）のエアシリンダ３４が取り付けられている。電動モータ３１は、各エアシリンダ３４から地面（設置面）に突き当てられたピストンロッド３５によって支持されており、ピストンロッド３５の伸縮によって昇降駆動される。このように、保持手段３は、電動モータ３１によってケーシング２内で高速回転され、複数のエアシリンダ３４によって板状ワークＷを載置する載置位置（上昇位置）と洗浄が行われる洗浄位置（下降位置）との間で昇降駆動される。

２流体ノズル４は、例えば、内部混合式の２流体ノズルで構成され、エアー及び洗浄液を２流体ノズル４の内部で混合し、先端から板状ワークＷの表面に向かって噴霧を噴出するように構成されている。２流体ノズル４は、保持手段３の上方で旋回可能な旋回アーム６１の先端に取り付けられており、２流体ノズル４の先端が保持手段３の吸着面に向けられている。

また、２流体ノズル４には、洗浄液用配管４２を介して洗浄液供給源４１が接続され、気体用配管５２を介して気体供給源５１とが接続されている。また、２流体ノズル４と洗浄液供給源４１との間には、洗浄液用配管４２の内部圧力を測定する圧力ゲージ４６が設けられている。圧力ゲージ４６で測定された値は、後述する制御手段７に出力される。なお、本実施の形態においては、気体供給源５１からエアーを供給する構成について説明するが、この構成に限定されない。気体供給源５１は、どのような気体を供給してもよい。

旋回アーム６１は、ケーシング２の底壁部２２から保持手段３の吸着面より高い位置まで垂直に立ち上がり、その上端から水平方向に延在した略Ｌ字状に形成されている。旋回アーム６１が取り付けられた底壁部２２の下面には、旋回アームを旋回駆動する旋回モータ６２が設けられている。２流体ノズル４は、回転駆動される保持手段３の上方で、旋回モータ６２の回転軸を支点に旋回しながら板状ワークＷに噴霧を噴出する。これにより、２流体ノズル４は、板状ワークＷに任意の位置に噴霧を噴出することができ、板状ワークＷを全面にわたって洗浄することが可能になっている。

洗浄装置１には、洗浄装置１の各部を統括制御する制御手段７が設けられている。制御手段７は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の記憶媒体を含んで構成される。メモリの一部となる記憶部７１には、２流体ノズル４に洗浄液が供給されているか否かの判断基準となる圧力ゲージ４６の設定範囲が記憶されている。また、制御手段７は、圧力ゲージ４６の値を基に、２流体ノズル４に洗浄液が適切に供給されているか否かを判断する判断部７２を備えている。判断部７２は、２流体ノズル４に気体及び洗浄液が供給されているときに、圧力ゲージ４６の値が、記憶部７１に記憶された設定範囲に入っていれば、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていると判断する。また、判断部７２によって判断された結果は、不図示のモニタに表示される。

次に、図３を参照して、２流体ノズルに接続される配管系統について説明する。図３に示すように、気体供給源５１と２流体ノズル４とを連通する気体用配管５２には、上流側から順に、気体バルブ５３と、２流体ノズル４に供給されるエアーの流量を調整する気体流量調整弁５４とが配設される。気体バルブ５３の開閉は、制御手段７（図２参照）によって自動制御される。

また、洗浄液供給源４１と２流体ノズル４とを連通する洗浄液用配管４２には、洗浄液用配管４２を開閉する洗浄液バルブ４３が配設されている。洗浄液バルブ４３の開閉は、制御手段７によって自動制御され、洗浄液バルブ４３の開閉の情報は、判断部７２（図２参照）に送信される。洗浄液バルブ４３の下流側には、２流体ノズル４に供給される洗浄液の流量を調整する洗浄液流量調整弁４４が配設されている。洗浄液流量調整弁４４の下流側には、洗浄液用配管４２内にエアーが侵入（逆流）するのを防止する逆止弁４５が配設されている。また、洗浄液流量調整弁４４と逆止弁４５との間には、上述した圧力ゲージ４６が配設されている。

このように構成された洗浄装置１では、板状ワークＷが保持手段３に保持され、保持手段３は、洗浄が行われる洗浄位置まで降下される。そして、２流体ノズル４から板状ワークＷの表面に向かって、エアーと洗浄液とが混合された２流体を噴出させながら保持手段３が高速回転される。板状ワークＷの表面に、混合された２流体が吹き付けられることで、板状ワークＷから加工屑等が洗い流される。そして、洗浄時の廃液は、ケーシング２に接続されたドレインホース２４（図１参照）を介して外に排出される。

また、本実施の形態に係る洗浄装置１においては、洗浄中に、逆止弁４５の作動状況に応じて圧力ゲージ４６の示す値が変化する。そして、その圧力ゲージ４６の示す値から、２流体ノズル４に洗浄液が適切に供給されているかどうかを判断することが可能になっている。このため、高価な測定器で洗浄液の供給を監視する必要がなく、安価な構成で２流体ノズル４に対する洗浄液の供給の有無を監視することができる。

次に、図２から図４を参照して、本実施の形態に係る洗浄装置の洗浄時及びメンテナンス時の動作について説明する。図４は、本実施の形態に係る洗浄装置の洗浄中及びメンテナンス中における配管部品の作動状態を示す表である。本実施の形態においては、洗浄中に洗浄液の供給の有無を監視するだけでなく、メンテナンス中に、圧力ゲージの値の示す値を基に各配管部品の異常を予測することが可能になっている。

なお、図４の表において、最上段の行に示す各項目は、左から順に、各項目のタイトル、気体の供給の有無、洗浄液の供給の有無、圧力ゲージの示す値、逆止弁の状態、洗浄液バルブの開閉、洗浄液バルブの開閉指令の有無、及び備考を示している。各項目について、ＮＯ．１からＮＯ.８では、洗浄中及びメンテナンス中の各配管部品の状態が記載されている。また、本実施の形態においては、気体供給源の圧力が５００ｋＰａ、流量が１００ｌ／ｍｉｎ、気体用配管の内径が４ｍｍになっており、洗浄液供給源の圧力が３００ｋＰａ、流量が１０〜４０ｍｌ／ｍｉｎ、洗浄液用配管の内径が４ｍｍになっている。逆止弁の作動圧力は、１０ｋＰａになっている。また、記憶部に記憶される洗浄液用配管の内部圧力の設定範囲は、１５〜１５０ｋＰａに設定されている。この設定範囲は、逆止弁の作動圧力から洗浄液供給源の圧力までの所定範囲を示している。また、設定範囲は、２流体ノズルに洗浄液のみを供給した時の圧力ゲージの値から、気体と洗浄液とを供給して洗浄する時の圧力ゲージの値までの範囲であることが好ましい。

図４に示すにように、ＮＯ．１の項目では、洗浄液バルブ４３の開閉指令が開になっており、洗浄液バルブ４３が正常に開かれている。また、逆止弁４５も開かれており、圧力ゲージ４６は、１５０ｋＰａを示している。この場合、圧力ゲージ４６の示す値が設定範囲内であるため、判断部７２では、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていると判断される。

ＮＯ．２の項目においても同様に、圧力ゲージ４６の示す値は設定範囲内であるため、判断部７２では、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていると判断される。しかしながら、ＮＯ．２の項目においては、逆止弁４５が故障して開いたままになっている。このように、洗浄中の動作においては、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていることを判断することができるものの、逆止弁４５の故障を発見することはできない。そこで、本実施の形態では、後述するＮＯ．６の項目（メンテナンス中の動作）において、逆止弁４５の故障を予測することが可能になっている。

ＮＯ．３の項目では、洗浄液バルブ４３の開閉指令が開になっているが洗浄液バルブ４３が故障して閉じたままになった状態を示している。そのため、圧力ゲージ４６は１０ｋＰａ以下を示しており、圧力ゲージ４６の示す値は設定範囲外である。よって、判断部７２では、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていないと判断される。この場合、洗浄液バルブ４３の開閉指令が開であるにもかかわらず、圧力ゲージ４６の示す値が１０ｋＰａであるため、洗浄液バルブ４３が故障して閉じたままになっていると予測することができる。

ＮＯ．４の項目では、逆止弁４５が故障して閉じたままになった状態を示している。２流体ノズル４には、エアーと洗浄液とが供給されており、洗浄液バルブ４３の開閉指令は、開となっていて洗浄液バルブ４３も開かれている。また、圧力ゲージ４６は３００ｋＰａを示しており、圧力ゲージ４６の示す値は設定範囲外である。よって、判断部７２では、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていないと判断される。この場合、洗浄液バルブ４３の開閉指令が開であるにもかかわらず、圧力ゲージ４６の示す値が、洗浄液供給源４１の圧力を示す３００ｋＰａになっている。このため、洗浄液用配管４２には、洗浄液が適切に供給されているものの、２流体ノズル４には洗浄液が供給されていないことから、逆止弁４５が故障して閉じたままになっていると予測することができる。なお、後述するＮＯ．８の項目においても、逆止弁４５が故障して閉じたままになっていることを予測することが可能になっている。

ＮＯ．５の項目では、各配管部品が正常に作動している状態を示している。２流体ノズル４には、エアーのみが供給されており、洗浄液バルブ４３の開閉指令は、閉となっている。また、圧力ゲージ４６は１０ｋＰａ以下を示しており、圧力ゲージ４６の示す値は設定範囲外である。この場合、洗浄液バルブ４３は閉じられて２流体ノズル４には洗浄液が供給されていない。また、逆止弁４５は、作動圧力に到達していないため、閉じられていると考えられる。よって、エアーは洗浄液用配管４２内に流入しておらず、逆止弁４５及び洗浄液バルブ４３は正常に作動していると予測することができる。

ＮＯ．６の項目では、逆止弁４５が故障して開いたままになった状態を示している。２流体ノズル４には、エアーのみが供給されており、洗浄液バルブ４３の開閉指令は、閉となっている。また、圧力ゲージ４６は１５０ｋＰａを示しており、圧力ゲージ４６の示す値は設定範囲内である。この場合、洗浄液バルブ４３が閉じられているにもかかわらず、圧力ゲージ４６が設定範囲内の値を示しているため、エアーが洗浄液用配管４２を逆流していると考えられる。よって、逆止弁４５が故障して開いたままになっていると予測することができる。

ＮＯ．７の項目では、洗浄液バルブ４３の開閉指令は、閉となっており、開閉指令では２流体ノズル４には、エアー及び洗浄液は供給されていない状態を示している。例えば、圧力ゲージ４６が１０ｋＰａ以下を示している場合、逆止弁４５及び洗浄液バルブ４３が正常に作動している（閉じている）と判断することができる。しかし、圧力ゲージ４６が１５ｋＰａを示している場合、圧力ゲージ４６の示す値は設定範囲内であるため、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていると判断されてしまう。このように、洗浄液バルブ４３の開閉指令が閉であるにもかかわらず、圧力ゲージ４６の示す値が１５ｋＰａであるため、洗浄液バルブ４３には漏れが生じていると考えられる。よって、洗浄液バルブ４３が故障して開いたままになっていると予測することができる。また、洗浄液バルブ４３の故障を予測すると共に逆止弁４５の故障を予測することもできる。例えば、圧力ゲージ４６が洗浄液供給源４１の圧力を示す３００ｋＰａであった場合には、逆止弁４５が故障して閉じたままになっていると予測することができる。

ＮＯ．８の項目では、逆止弁４５が故障して閉じたままになった状態を示している。２流体ノズル４には、洗浄液のみが供給されており、洗浄液バルブ４３の開閉指令は、開となっている。また、圧力ゲージ４６は３００ｋＰａを示しており、圧力ゲージ４６の示す値は設定範囲外である。この場合、圧力ゲージ４６の示す値が洗浄液供給源４１の圧力と同じため、洗浄液用配管４２には洗浄液が適切に供給されているものの、逆止弁４５が閉じられて、２流体ノズル４には洗浄液が供給されていないと考えられる。よって、逆止弁４５が故障して閉じたままになっていると予測することができる。

以上のように、洗浄中に、逆止弁４５や洗浄液バルブ４３の作動状況に応じて、洗浄液用配管４２の内部圧力が変化する。本実施の形態においては、洗浄中に圧力ゲージ４６の値を監視するだけで、２流体ノズル４に洗浄液が適切に供給されているか否かを判断することが可能になっている。そして、２流体ノズル４までの配管系統に異常があった場合、に、洗浄装置の定期的なメンテナンス作業によって、異常の原因となる配管部品を特定することが可能になっている。

メンテナンス中においては、例えば、ＮＯ．５及びＮＯ．６の項目に示すように、２流体ノズル４にエアーのみを供給して、そのときの圧力ゲージ４６の示す値から、逆止弁４５の作動状況を予測することができる。また、ＮＯ．７の項目においては、２流体ノズル４に何も供給しなくても、圧力ゲージ４６の示す値から洗浄液バルブ４３の故障を予測することができる。さらに、ＮＯ．８の項目においては、２流体ノズル４に洗浄液のみを供給して、そのときの圧力ゲージ４６の示す値から、逆止弁４５の作動状況を予測することができる。このように、メンテナンス中に、２流体ノズル４に対するエアー又は洗浄液の供給の有無に応じて変化する圧力ゲージ４６の示す値を基に、配管部品の作動業況を把握することが可能になっている。

次に、図５を参照して本実施の形態に係る洗浄装置のメンテナンス動作のフローについて説明する。図５は、本実施の形態に係る洗浄装置のメンテナンス動作のフロー図である。なお、メンテナンスはどのタイミングで実施されてもよく、例えば、洗浄の開始直後にメンテナンスモードに入り、２流体ノズルに正常に洗浄液が供給されているかを判断してもよい。また、図５において、Ｐは圧力ゲージの示す圧力値であり、Ｔ１は設定圧力の下限値（図４において１５ｋＰａ）を示し、Ｔ２は設定圧力の上限値（図４において１５０ｋＰａ）を示している。

先ず、図５Ａに示すように、洗浄液バルブ４３（図３参照）の開閉指令が開になる（ステップＳＴ１０１）。そして、気体バルブ５３（図３参照）の開閉指令が開になると（ステップＳＴ１０２：ＹＥＳ）、判断部７２（図２参照）は、圧力ゲージ４６（図３参照）の示す圧力値Ｐが設定範囲の上限値Ｔ２以下であるかを判断する（ステップＳＴ１０３）。ステップＳＴ１０３において、圧力値Ｐが上限値Ｔ２より大きい場合（ステップＳＴ１０３：ＮＯ）、判断部７２は、逆止弁４５が故障していると判断する（ステップＳＴ１０６）。これにより、逆止弁４５の故障を発見することができる（図４のＮＯ．４参照）。また、ステップＳＴ１０３において、圧力値Ｐが上限値Ｔ２以下である場合（ステップＳＴ１０３：ＹＥＳ）、判断部７２は、圧力値Ｐが設定範囲の下限値Ｔ１より小さいかを判断する（ステップＳＴ１０４）。

ステップＳＴ１０４において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より小さい場合（ステップＳＴ１０４：ＹＥＳ）、判断部７２は、洗浄液バルブ４３が故障していると判断する（ステップＳＴ１０７）。これにより、洗浄液バルブ４３の故障を発見することができる（図４のＮＯ．３参照）。また、ステップＳＴ１０４において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より大きい場合（ステップＳＴ１０４：ＮＯ）、判断部７２は、２流体ノズル４に洗浄液が正常に流れていると判断する（ステップＳＴ１０８）。

ステップＳＴ１０２において、気体バルブ５３の開閉指令が閉になると（ステップＳＴ１０２：ＮＯ）、判断部７２は、圧力値Ｐが下限値Ｔ１以上であるかを判断する（ステップＳＴ１０５）。ステップＳＴ１０５において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より小さい場合（ステップＳＴ１０５：ＮＯ）、判断部７２は２流体ノズル４に洗浄液が正常に流れていると判断する（ステップＳＴ１０８）。また、ステップＳＴ１０５において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１以上である場合（ステップＳＴ１０５：ＹＥＳ）、判断部７２は、逆止弁４５が故障していると判断する（ステップＳＴ１０９）。これにより、逆止弁４５の故障を発見することができる（図４のＮＯ．８参照）。

なお、図５ＡのステップＳＴ１０８において、判断部７２は、２流体ノズル４に洗浄液が正常に流れていると判断するものの、逆止弁４５及び洗浄液バルブ４３の作動状態を判断することはできない（図４のＮＯ．１又はＮＯ．２参照）。そこで、ステップＳＴ１０８の後には、図５Ｂに示すフローに進む。

図５Ｂにおいては、先ず、洗浄液バルブ４３の開閉指令が閉になる（ステップＳＴ２０１）。そして、気体バルブ５３の開閉指令が開になると（ステップＳＴ２０２：ＹＥＳ）、判断部７２は、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より小さいかを判断する（ステップＳＴ２０３）。ステップＳＴ２０３において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１以上である場合（ステップＳＴ２０３：ＮＯ）、判断部７２は、逆止弁４５が故障していると判断する（ステップＳＴ２０６）。これにより、逆止弁４５の故障を発見することができる（図４のＮＯ．６参照）。また、ステップＳＴ２０３において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より小さい場合（ステップＳＴ２０３：ＹＥＳ）、判断部７２は、逆止弁４５が正常に作動していると判断する（ステップＳＴ２０７（図４のＮＯ．５参照））。

ステップＳＴ２０２において、気体バルブ５３の開閉指令が閉になると（ステップＳＴ２０２：ＮＯ）、判断部７２は、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より大きいかを判断する（ステップＳＴ２０４）。ステップＳＴ２０４において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１以下である場合（ステップＳＴ２０４：ＮＯ）、判断部７２は、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より小さいかを判断する（ステップＳＴ２０５）。

ステップＳＴ２０５において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より小さい場合（ステップＳＴ２０５：ＹＥＳ）、判断部７２は、逆止弁４５及び洗浄液バルブ４３が正常に作動していると判断する（ステップＳＴ２０７（図４のＮＯ．７上段参照））。また、ステップＳＴ２０５において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１以上、すなわち下限値Ｔ１に等しい場合（ステップＳＴ２０５：ＮＯ）、判断部７２は、洗浄液バルブ４３が故障していると判断する（ステップＳＴ２０８）。これにより、洗浄液バルブ４３に漏れが生じていることを発見することができる（図４のＮＯ．７中段参照）。

また、ステップＳＴ２０４において、圧力値Ｐが下限値Ｔ１より大きい場合（ステップＳＴ２０４：ＹＥＳ）、判断部７２は、逆止弁４５及び洗浄液バルブ４３が故障していると判断する（ステップＳＴ２０９）。これにより、洗浄液バルブ４３は故障して開いてしまい、逆止弁４５は故障して開かなくなっているのを発見することができる（図４のＮＯ．７下段参照）。

このように、図５ＡのステップＳＴ１０８で各配管部品の作動状況を判断することができなくても、図５Ｂのフローを経ることで、各配管部品の作動状況を判断することができる。そして、ステップＳＴ２０７において、正常と判断された場合、洗浄液バルブ４３の開閉指令を開にして、通常の洗浄動作を実施することができる。なお、メンテナンスモードでは、図５Ａと図５Ｂとを行なえば良く、図５Ｂのフローを実施した後に、図５Ａのフローを実施しても良い。

以上説明したように、本実施の形態に係る洗浄装置１においては、板状ワークＷの洗浄中に、逆止弁４５の作動状況に応じて圧力ゲージ４６の示す値が変化する。例えば、圧力ゲージ４６の示す値が予め設定された設定範囲に入っていれば、２流体ノズル４に洗浄液が供給されていると判断される。また、圧力ゲージ４６の示す値が設定範囲より小さい値ならば、２流体ノズル４には洗浄液が供給されておらず、洗浄液バルブ４３に不具合が生じていることを予測することができる。さらに、圧力ゲージ４６の示す値が設定範囲より大きい値ならば、２流体ノズル４には洗浄液が供給されておらず、逆止弁４５に不具合が生じていることを予測することができる。このように、逆止弁４５の作動状況から２流体ノズル４に対する洗浄液の供給の有無を判断することができるため、洗浄液の供給を監視するための高価な測定器を設ける必要がない。よって、安価な構成で２流体ノズル４に対する洗浄液の供給の有無を監視することができる。また、圧力ゲージ４６の示す値と、洗浄液バルブ４３の開閉指令を監視するだけで、２流体ノズル４に接続される配管部品の作動状況を把握することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、上記した実施の形態において、保持手段３は、リングフレームＦに支持された板状ワークＷを保持する構成としたが、この構成に限定されない。板状ワークＷはリングフレームＦに支持されなくてもよく、保持手段３は、例えば、板状ワークＷの裏面に貼着された保護テープを介して板状ワークＷを保持してもよい。また、ワークの外周縁を保持するエッジクランプで板状ワークを保持しても良い。

以上説明したように、本発明は、２流体ノズルに対する洗浄液の供給の有無を安価な構成で監視することができるという効果を有し、特に、板状ワークの加工によって生じる加工屑を、２流体ノズルから噴出される２流体で洗浄する洗浄装置に有用である。

Ｗ板状ワーク（被洗浄物）
１洗浄装置
３保持手段
４２流体ノズル
４１洗浄液供給源
４２洗浄液用配管
４５逆止弁
４６圧力ゲージ
５１気体供給源
５２気体用配管
７２判断部

Claims

気体と洗浄液とを混合させた２流体を噴出する２流体ノズルと、被洗浄物を保持する保持手段と、を、備え、該２流体ノズルから噴出される該２流体で該保持手段が保持する被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
気体供給源と該２流体ノズルとを連通する気体用配管と、
洗浄液供給源と該２流体ノズルとを連通する洗浄液用配管と、
該洗浄液用配管に配設される逆止弁と、
該逆止弁と該洗浄液供給源との間に配設され該洗浄液用配管の内部圧力を認識する圧力ゲージと、を、備え、
該逆止弁は、該２流体ノズルから該洗浄液供給源に向かう方向で該洗浄液用配管へ気体の流入を遮断するように方向付けられていて、
該２流体ノズルに気体と洗浄液を供給した時に、該圧力ゲージの値が、該逆止弁の作動圧力から該洗浄液供給源の圧力までの範囲で予め設定される設定範囲に入っていれば該２流体ノズルに洗浄液が供給されていると判断する判断部を有する洗浄装置。