JP2015204366A - 駆動システム及び駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フィードバック制御系において、制御部52により、駆動目標RとプレートステージPST(制御対象)のねじれφ(制御量)の計測結果との偏差eをゲイン倍し、得られた量e2をフィルタ523に通してその結果を操作量UとしてプレートステージPST(プレートステージ駆動系PSD)に出力する。これとともに、量e2をフィルタ523の通過帯域に等しい阻止帯域を有するフィルタ524に通し、その出力と制御対象のモデル情報(ノミナルモデルPn)とを用いて偏差eを補正する。それにより、フィルタ523を設計することで、直接的に、フィードバック制御系の感度関数を設計することが可能となる。
【選択図】図4
Description
Claims (9)
- 操作量を与えて制御対象を駆動する駆動システムであって、
前記制御対象の位置に関連する制御量を計測する計測部と、
前記制御量から求められる第1の量に所定の値を乗じて第2の量を求め、該第2の量を第1フィルタに通して前記操作量として出力するとともに、前記第2の量を前記第1フィルタの通過帯域と所定の関係にある阻止帯域を有する第2フィルタに通し、該第2フィルタの出力と前記制御対象のモデル情報とを用いて前記第1の量を補正する制御部と、
を備える駆動システム。 - 前記第1及び第2フィルタは、前記第1フィルタを表す第1関数と前記制御対象の応答を表す伝達関数との積と、前記第2フィルタを表す第2関数と前記モデル情報を与える第3関数との積と、の和が前記第3関数に等しくなるように設計され、
前記所定の値は、前記第1の量を求める際に前記制御量とともに用いられる目標量と前記制御量とについての感度関数が前記第1関数Fを用いて1−Fに近似するように設定された値である、請求項1に記載の駆動システム。 - 前記モデル情報は、前記制御対象の運動を剛体の運動として記述する関数により与えられる、請求項1又は2に記載の駆動システム。
- エネルギビームで物体を露光して前記物体上にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体を保持して所定面上を移動する移動体を前記制御対象とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の駆動システムを備える露光装置。 - 操作量を与えて制御対象を駆動する駆動方法であって、
前記制御対象の位置に関連する制御量を計測することと、
前記制御量から求められる第1の量に所定の値を乗じて第2の量を求め、該第2の量を第1フィルタに通して前記操作量として出力するとともに、前記第2の量を前記第1フィルタの通過帯域と所定の関係にある阻止帯域を有する第2フィルタに通し、該第2フィルタの出力と前記制御対象のモデル情報とを用いて前記第1の量を補正することと、
を含む駆動方法。 - 前記第1及び第2フィルタは、前記第1フィルタを表す第1関数と前記制御対象の応答を表す伝達関数との積と、前記第2フィルタを表す第2関数と前記モデル情報を与える第3関数との積と、の和が前記第3関数に等しくなるように設計され、
前記所定の値は、前記第1の量を求める際に前記制御量とともに用いられる目標量と前記制御量とについての感度関数が前記第1関数Fを用いて1−Fに近似するように設定された値である、請求項5に記載の駆動方法。 - 前記モデル情報は、前記制御対象の運動を剛体の運動として記述する関数により与えられる、請求項5又は6に記載の駆動方法。
- エネルギビームで物体を露光して前記物体上にパターンを形成する露光方法であって、
請求項5〜7のいずれか一項に記載の駆動方法により、前記物体を保持して所定面上を移動する移動体を前記制御対象として駆動する露光方法。 - 請求項8に記載の露光方法を利用して、物体上にパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記物体を現像することと、
を含むデバイス製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2009205641A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Canon Inc | 反復学習制御回路を備える位置制御装置 |
JP2012114436A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Asml Netherlands Bv | コントローラ、リソグラフィ装置、オブジェクト位置の制御方法及びデバイス製造方法 |
WO2013161858A1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-10-31 | 株式会社ニコン | 制御装置、ステージ装置、露光装置、及び制御方法 |
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