JP2015201692A - 帯状シートの支持装置および帯状シートの管理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1に記載された支持装置では、軸芯部材を支持する支持軸の軸線と直交するアンテナ面に当該軸線を囲むループアンテナを設け、軸芯部材に設けられたデータキャリアとループアンテナとの間で交信させる構成を採用している。特許文献1によれば、当該支持装置によって、交信を行うための軸芯部材を支持する際の正確な位置合わせが不要になる旨が記載されている。
その他、金属製のフレームの近傍にループアンテナやデータキャリアが配置された支持装置や、金属製の筐体内にて帯状シートを支持する貼付装置等がある。
図1において、貼付装置1は、半導体ウェハ(以下「ウェハ」と称す)Wに接着シートSを貼付する。
接着シートSは、基材シートBSと、基材シートBSの一方の面に積層された接着剤層ADと、当該接着剤層ADを介して仮着された剥離シートRLとを備えた帯状シートである。接着シートSは、原反Rとして、中空円筒状の軸芯部材24の外周に巻回されて予め準備されている。
そして、貼付装置1は、接着シートSを繰出可能に支持する支持装置2と、接着シートSを繰り出す繰出手段3と、繰り出された接着シートSをウェハWに押圧して貼付する押圧手段4と、ウェハWと押圧手段4とを相対移動させる移動手段5とを備える。貼付装置1は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段6によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
繰出手段3は、その全体がフレーム21に支持されている。繰出手段3は、原反Rを案内する複数のガイドローラ32,ガイドローラ33と、原反Rの剥離シートRLを折り返すことで当該剥離シートRLから接着シートSを剥離する剥離板34と、駆動機器としての回動モータ35によって駆動する駆動ローラ36と、駆動ローラ36との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ37と、駆動機器としての回動モータ39によって剥離シートRLを回収する回収ローラ38とを備えている。
押圧手段4は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成されている。押圧手段4は、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段5は、ウェハWが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハWを吸着保持可能なテーブル51と、テーブル51の下面にスライダ52が固定された駆動機器としての単軸ロボット53とを備える。移動手段5は、スライダ52をスライド駆動することで、テーブル51を左右方向に移動可能に構成されている。
フレーム21の一方の面21A(図1参照)側に位置する支持部22は、図2に示すように、円柱状の支持軸221と、支持軸221の軸線Cと同軸の基端軸222と、を備える。なお、図2においては、フレーム21の図示が省略されている。基端軸222は、支持軸221の一端側の第一端部221Aから延びる。基端軸222は、フレーム21に回転可能に支持されている。支持軸221は磁束が通過可能な材質で構成されていることが好ましい。
本実施形態で用いるデータキャリア26は、軸芯部材24の材質の影響を受けない電磁波を通信媒体とし、非接触でデータを読み取って記憶したり、非接触でデータを送信したりすることができる。このような非接触型のデータキャリア26としては、例えば、ICチップと、このICチップに接続された送受信用のコイル状のアンテナとから構成されるいわゆるICカードやICタグ等を挙げることができる。
表面シートのICインレットと反対側の面には、上記データに関連する情報を印字したり、バーコードや2次元コードを併記したりすることも可能である。回路基材および表面シートとしては、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリウレタン(PU)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリイミド等の合成樹脂フィルムや、上質紙、コート紙、クラフト紙、グラシン紙等の紙材や、不織布等のシート材料を用いることができる。
回路基材および表面シートの厚さ寸法は、特に限定されるものではなく、用途に合わせて適宜設定することができ、例えば、5μm以上2000μm以下が好ましく、10μm以上500μm以下がより好ましい。
両面粘着シートは、例えば、アクリル系、シリコーン系、ゴム系、ポリエステル系、ポリウレタン系等の粘着剤を用いて形成することができる。中でも、アクリル系粘着剤は、粘着力が制御しやすい点で優れているので、好ましい。両面粘着シートの厚さ寸法は、特に限定されるものではなく、用途に合わせて適宜設定でき、例えば、1μm以上300μm以下が好ましく、5μm以上150μm以下がより好ましい。両面粘着シートは、更に中芯を備えていてもよい。
基板271は、円環状のアンテナが配置される部材である。基板271の一面は、図示しない回路が形成されたアンテナ面273である。アンテナ面273には、ループアンテナ274が設けられている。ループアンテナ274は、導電体をループ状に巻回形成したループ部274aを有する。本実施形態では、ループ部274aは、円形に巻回形成されている。
ループアンテナ274は、保護部材によって保護されていてもよい。例えば、ループ部274aを保護部材としてのカバーで覆うことができる。
前述のとおり、本実施形態では、軸芯部材24は、中空円筒状であり、ループアンテナ274のループ部274aは、円形である。そのため、ループアンテナ274側から軸芯部材24を軸線Cに沿う方向で見た際に、軸芯部材24の近傍にループ部274aが配置されている。
また、本実施形態では、軸芯部材24の円筒の直径(内径)LDとループ部274aの直径(内径)LAとが同じ寸法である。そのため、ループアンテナ274側から軸芯部材24を軸線Cに沿う方向で見た際に、軸芯部材24の円筒の円と、ループ部274aの円とが重なる。
図2に示すようなループアンテナ274とデータキャリア26との配置の下で、ループアンテナ274から磁束Mが放射され、磁束Mは、データキャリア26を通過する。本実施形態では、基板271の基板開口部272側に軸芯部材24の位置決めをするための部材が設けられていないため、アンテナ面273におけるループアンテナ274の設置位置の自由度が増す。ループアンテナ274を基板開口部272側に設置できるようになり、データキャリア26に対してより近傍に設置できるようになる。
本実施形態では、図2に示すように、データキャリア26が、コイル状のアンテナ26aを有し、コイル状のアンテナ26aは、通過する磁束Mが多くなるように、対向面261に沿って配置されている。さらに、コイル状のアンテナ26aは、その長手方向が軸線Cの方向に沿って配置されている。
データキャリア26とループアンテナ274とで通信するデータとしては、ICチップのID、接着シートSの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反Rのロットナンバー、原反Rを使用した長さ、原反Rの残りの長さ、接着シートSの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートSの残数、繰り出された接着シートSの枚数、接着シートSを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートSを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートSの貼付条件、接着シートSや原反Rについての相談窓口の連絡先などが例示できる。そして、貼付装置1に設けられた図示しないモニタにデータキャリア26から読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置1の貼付条件を設定したりすることができる。
まず、軸芯部材24を支持軸221で支持させる。その際、ループアンテナ274側から軸芯部材24を軸線Cに沿う方向で見た際に、軸芯部材24の近傍にループ部274aが配置されるように調整する。
本実施形態では、軸芯部材24の円筒の直径(内径)LDとループ部274aの直径(内径)LAとが同じ寸法であるため、軸芯部材24の円筒の円と、ループ部274aの円とが重なる。また、軸芯部材24を支持する際、位置決めを行ってアンテナ部27とデータキャリア26との距離をデータの読み書きを適切に行える長さに設定する。その後、ループアンテナ274に電流を流すことで磁束Mを発生させ、データキャリア26とループアンテナ274との間で、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方を行う。交信の制御は、制御手段6によって行われる。
そして、回動モータ35および回動モータ39の駆動により、軸芯部材24を支持軸221とともに回転させることで接着シートSを繰り出し、当該接着シートSを移動手段5により搬送されるウェハWに貼付する。
そして、所定枚数のウェハWに接着シートSが貼付し終わると、リーダライタ7を制御してデータキャリア26にデータを書き込むこともできる。このときに書き込むデータとしては、例えば、繰出開始前の接着シートSの残数から接着シートSを使用した枚数を差し引いた繰出開始後の接着シートSの残数や、原反Rの残りの長さ等が例示できる。
なお、基板271の基板開口部272側に軸芯部材24の移動を規制するための固定当て板が設けられていると、ループアンテナ274を基板開口部272側に設置し難く、データキャリア26の近傍にループアンテナ274を設置し難い。
次に、本発明の第二実施形態について説明する。なお、以下の説明では、既に説明したものと、同一の部材、構成、手段等については、同一符号を付して説明を簡略または省略する。
支持装置2Aは、金属製の筐体100の内部に収容されている。フレーム21が筐体100の内部で固定されている。
本実施形態のアンテナ部27Aは、筐体100の扉101の内側に配置されている点で、第一実施形態のようにフレーム21側に配置されているアンテナ部27とは相違する。アンテナ部27Aは、円環状のアンテナが配置される基板275を備えている。基板275は、筐体100の扉101の内側に固定されている。基板275は、扉101の内側に対向する第一の面と、第一の面とは反対側の第二の面とを有し、この第二の面が、本実施形態ではアンテナ面273である。アンテナ面273には、ループアンテナ274が設けられている。ループアンテナ274は、導電体をループ状に巻回形成したループ部274aを有する。本実施形態では、ループ部274aは、円形に巻回形成されている。
軸芯部材24は、軸方向で一端側に第一端部24Aを備え、軸方向で他端側に第二端部24Bを備える。本実施形態では、第一端部24Aがフレーム21側に配置され、第二端部24Bが扉101側に配置されるように、軸芯部材24は支持軸223に支持される。
データキャリア26は、第二端部24B側に設けられているため、扉101の内側に配置されたループアンテナ274から放射される磁束Mが通過し得る。
次に、本発明の第三実施形態について説明する。なお、以下の説明では、既に説明したものと、同一の部材、構成、手段等については、同一符号を付して説明を簡略または省略する。
本実施形態においても、ループアンテナ276は、導電体をループ状に巻回形成したループ部276aを有する。本実施形態では、ループ部276aは、図4に示すように、略矩形状に巻回形成されている。また、図4に示すように、ループ部276aのループの中に軸芯部材24が位置し、軸芯部材24の近傍にループ部276aが配置されている。そのため、データキャリア26とループアンテナ274との間の交信を安定して行うことができる。
軸芯部材24の内周側であってデータキャリア26が設けられた位置から、ループ部276aのループ内周側までの距離Dは、軸芯部材24が軸線C回りで回転する間に変化する。図4に示すように、近い場合は距離D1で表され、遠い場合は距離D2で表される。データキャリア26にループアンテナ276で発生した磁束を通過させるためには、距離D2が80mm以下であることが好ましく、70mm以下であることがより好ましい。80mmを超えると、ループアンテナ276とデータキャリア26とが交信不能になるおそれがある。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができる。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、データキャリア26は、データの記憶のみが可能であってもよいし、データの送信のみが可能であってもよい。
また、押圧手段4は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、押圧手段4は板状部材に接着シートが貼付できる限りにおいて何ら限定されるものではなく、例えば、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。
Claims (6)
- 中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、
前記支持軸を支えるフレームと、
前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面と、
前記アンテナ面に設けられたループアンテナと、を備え、
前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能な非接触式のデータキャリアが設けられ、
前記ループアンテナは、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループ部を有し、
前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の近傍に前記ループアンテナのループ部が配置されていることを特徴とする帯状シートの支持装置。 - 請求項1に記載の帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材は、軸方向で一端側に第一端部を備え、軸方向で他端側に第二端部を備え、
前記フレームは、前記第一端部側に配置され、
前記アンテナ面は、前記第二端部側に配置されていることを特徴とする帯状シートの支持装置。 - 請求項1または請求項2に記載の帯状シートの支持装置において、
前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の形状と、前記ループアンテナの前記ループ部の形状とが重なることを特徴とする帯状シートの支持装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材は、中空の円筒状であり、
前記ループ部は、円形であり、
前記軸芯部材の円筒の直径と前記ループ部の直径とが同じであることを特徴とする帯状シートの支持装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の帯状シートの支持装置において、
前記データキャリアは、コイル状のアンテナを有し、
前記コイル状のアンテナの長手方向が、前記軸線方向に沿って延びていることを特徴とする帯状シートの支持装置。 - 支持装置に繰出可能に支持される帯状シートを管理する帯状シートの管理方法において、
前記帯状シートは、中空筒状の軸芯部材に巻回され、
前記支持装置は、前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、前記支持軸を支えるフレームと、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面と、前記アンテナ面に設けられ、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループ部を有するループアンテナと、を備え、
前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアを設け、
前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の近傍に前記ループアンテナのループ部を配置し、
前記データキャリアと前記ループアンテナとの間で、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方を行うことを特徴とする帯状シートの管理方法。
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