JP2015185669A - 板状部材の支持装置および支持方法 - Google Patents
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また、本発明の板状部材の支持装置では、前記外壁部材は、前記支持面から突没可能に設けられている、ことが好ましい。
さらに、本発明の板状部材の支持装置では、前記外壁部材は、前記支持面に向かって接近可能に設けられている、ことが好ましい。
また、外壁部材が支持面から突没可能に、または、支持面に向かって接近可能に設けられれば、外壁部材が支持面から突出していない状態または、支持面から離間した状態で、当該板状部材における被支持面の反対面に所定の処理を行うときに、外壁部材が障害となって所定の処理が行えなくなることを防止することができる。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
また、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
外壁部材53は、樹脂やステンレス等の弾性変形可能な材料により形成された複数の外壁構成部材54を有し、当該複数の外壁構成部材54が支持台26の外周方向に並びかつ隣り合う外壁構成部材54の一部同士が支持台26の径方向に重なるように配置されている。また、外壁部材53は、支持面27に直交する方向であって当該支持面27から離間する方向(上方向)に向かうに従ってウエハWFの中央に近づくように変形可能に設けられている。具体的には、各外壁構成部材54は、その上端側が支持台26の中央側に傾くように癖付けされている。これにより、各外壁構成部材54は、図1中符号AAで示すように、支持面27の外縁27Aによって、その弾性復元の量が規制され、上方向に向かうに従ってウエハWFの中央に近づくように変形するようになっている。なお、各外壁構成部材54が支持台26の径方向に重なる部分や、各外壁構成部材54の内面54Aと支持面27の外縁27Aとの接触部等は、空気が漏れないまたは、漏れにくいように密着しているが、例えば空気が漏れないまたは、漏れにくいようにゴムや樹脂等のパッキン材である漏洩防止手段を設けてもよい。
先ず、図1中二点鎖線で示すように、外壁部材53が支持面27から突出しない初期位置にある状態で、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持手段20の支持面27上にウエハWFを載置して退避すると、減圧手段40が図示しない吸引手段を駆動し、ウエハWFの吸着保持動作を行う。
この際、ウエハWFが全く反っていない場合や、ウエハWFの反り量が小さい場合、図1中二点鎖線で示すように、被支持面WF1全面が支持面27に密着し、圧力検知手段30によってチャンバ26A内の圧力が所定圧力以下に減圧されたことが検知され、この検知結果を基に、図示しない処理装置によって被支持面WF1の反対側の被処理面WF2に所定の処理が施される。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図2において、支持装置10Aは、第1実施形態の支持装置10に対し、支持手段20および吸引補助手段50の代わりに支持手段60および吸引補助手段70を設けた点が相違する。
吸引補助手段70は、支持台26の支持面27の上方に設けられた駆動機器としての直動モータ71の出力軸71Aに支持され、複数の貫通孔72Aを有する円板状の支持フレーム72と、この支持フレーム72の下面に配置された外壁部材73とを備えている。
外壁部材73は、弾性変形可能または弾性変形不能な部材で構成され、内径がウエハWFの直径より大きい円筒状に形成されている。
先ず、図2中実線で示すように、外壁部材73が支持面27から離間した初期位置にある状態で、第1実施形態と同様にして支持面27上にウエハWFを載置すると、減圧手段40が図示しない吸引手段を駆動し、ウエハWFの吸着保持動作を行う。
この際、第1実施形態と同様に、ウエハWFの吸着保持動作を行っても、圧力検知手段30によってチャンバ26A内の圧力が所定圧力以下に減圧されないことが検知されると、この検知結果を基に、吸引補助手段70が直動モータ71を駆動し、初期位置にある外壁部材73を支持面27に向かって接近させ、図2中二点鎖線で示すように、外壁部材73の下端を支持面27に当接させる。これにより、浮上り空間SPが減圧され、離間部分WF4が支持面27に引き寄せられて被支持面WF1全面が支持面27に密着される。このとき、ウエハWFの上面側は、貫通孔72Aによって減圧されることはない。その後、第1実施形態と同様の所定の処理が行われた後、上記同様の動作が繰り返される。
また、外壁構成部材54は、上方向に向かうに従ってウエハWFの中央に近づくように変形可能でなくてもよいし、外壁部材53を第2実施形態と同様に1の部材で円筒状に形成してもよい。
さらに、外壁部材53は、弾性変形不能な材料により形成してもよい。
さらに、外壁部材73は、第1実施形態の外壁部材53と同様に、複数の部材で円筒状に構成してもよいし、1の部材または複数の部材によって、図2中符号BBで示すように、上方向に向かうに従ってウエハWFの中央に近づく半球ドーム形状としてもよい。
また、第1、第2実施形態において、外壁部材53、73の外周面を円筒状に形成し、内周面を半球ドーム形状にしてもよい。
さらに、第1、第2実施形態において、外壁部材53、73を支持面27に対して固定してもよいし、人手によって支持面27の周囲に着脱自在に構成してもよい。
また、第1、第2実施形態では、ウエハWFの外縁が上方に反り上がった場合を説明したが、支持装置10、10Aは、ウエハWFの中央が上方に反り上がった場合にでも上記同様に対応ができる。
さらに、吸引補助手段は、吸引補助手段50と吸引補助手段70との両方を合わせ持つものでもよく、この場合、支持面27の上方で外壁部材53の上面と外壁部材73の下面とが当接したり、支持面27の上方で外壁部材53と外壁部材73とが重なり合ったりする構成でもよい。
また、支持台26、支持フレーム52、72および外壁部材53、73の平面形状は、円形以外であってもよく、例えば、支持フレーム52、72の平面形状は、被着体の外縁形状に左右されることなく、例えば楕円形や多角形とすることができ、支持台26、外壁部材53、73の平面形状は、被着体の外縁形状に沿う形状、例えば楕円形や多角形とすることができる。
さらに、本願発明において圧力検知手段30は設けなくてもよく、例えば、減圧手段40がウエハWFの吸着保持動作を行う度に、毎回吸引補助手段50、70が直動モータ51、71を駆動し、外壁部材53を支持面27から突出させたり、外壁部材73を支持面27に接近させたりしてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…支持手段
27…支持面
40…減圧手段
50、70…吸引補助手段
53、73…外壁部材
WF…ウエハ(板状部材)
WF1…被支持面
Claims (5)
- 板状部材を支持する支持面を有する支持手段と、
前記支持面から前記板状部材の被支持面に吸引力を付与する減圧手段と、
前記支持面で支持した板状部材の外方で当該板状部材を取り囲むことで、前記減圧手段が前記板状部材を前記支持面に引き寄せることを補助する外壁部材を有する吸引補助手段とを備えていることを特徴とする板状部材の支持装置。 - 前記外壁部材は、前記支持面に直交する方向であって、当該支持面から離間する方向に向かうに従って前記板状部材の中央に近づくように変形可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の支持装置。
- 前記外壁部材は、前記支持面から突没可能に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の板状部材の支持装置。
- 前記外壁部材は、前記支持面に向かって接近可能に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の板状部材の支持装置。
- 板状部材を支持面で支持する工程と、
前記支持面から前記板状部材の被支持面に吸引力を付与する工程と、
前記支持面で支持した板状部材の外方を外壁部材が取り囲むことで、前記板状部材を前記支持面に引き寄せることを補助する工程とを備えていることを特徴とする板状部材の支持方法。
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CN112658986B (zh) * | 2019-10-16 | 2024-03-08 | 株式会社迪思科 | 被加工物的保持方法 |
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