JP2015170616A5 - - Google Patents

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このとき、前記テラス部のテラス面が鏡面又は準鏡面になっていることが好ましい。
このようにテラス部のテラス面が鏡面又は準鏡面になっていることで、テラス面からの発塵を抑制し、発塵による不具合を防止することができる。

JP2014041976A 2014-03-04 2014-03-04 エピタキシャルウェーハの製造方法及びエピタキシャルウェーハ Active JP6157381B2 (ja)

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