JP5417211B2 - エピタキシャル成長基板及び半導体装置、エピタキシャル成長方法 - Google Patents
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本発明のエピタキシャル成長基板は、(111)面を主面とするシリコン単結晶基板と、III族窒化物半導体からなり前記シリコン単結晶基板上に形成されたバッファ層と、を具備するエピタキシャル成長基板であって、前記シリコン単結晶基板は、オリエンテーションフラットが、(110)面に相当する箇所から周回方向に25〜35°、85〜95°、145〜155°のいずれかの角度だけ回転させた所に形成されたことを特徴とする。
本発明のエピタキシャル成長基板において、前記バッファ層には、窒化アルミニウム(AlN)からなる層が含まれることを特徴とする。
本発明のエピタキシャル成長基板において、前記バッファ層には、超格子構造が含まれることを特徴とする。
本発明の半導体装置は、前記エピタキシャル成長基板と、当該エピタキシャル成長基板上に形成されたIII族窒化物半導体からなる能動層を具備することを特徴とする。
本発明の半導体装置は、前記能動層中において、前記主面と平行な方向に動作電流が流されて動作することを特徴とする。
本発明のエピタキシャル成長方法は、オリエンテーションフラットが形成された、(111)面を主面とするシリコン単結晶基板上に、III族窒化物半導体からなるバッファ層、III族窒化物半導体からなる能動層を順次形成するエピタキシャル成長方法であって、前記シリコン単結晶基板において、前記オリエンテーションフラットを、(110)面に相当する箇所から周回方向に25〜35°、85〜95°、145〜155°のいずれかの角度だけ回転させた所に形成することを特徴とする。
11 Si基板
20 バッファ層
21 初期成長層
22 超格子積層体
30 能動層
31 チャネル層
32 電子供給層
221 第1層
222 第2層
Claims (6)
- (111)面を主面とするシリコン単結晶基板と、III族窒化物半導体からなり前記シリコン単結晶基板上に形成されたバッファ層と、を具備するエピタキシャル成長基板であって、
前記シリコン単結晶基板は、オリエンテーションフラットが、(110)面に相当する箇所から周回方向に25〜35°、85〜95°、145〜155°のいずれかの角度だけ回転させた所に形成されたことを特徴とするエピタキシャル成長基板。 - 前記バッファ層には、窒化アルミニウム(AlN)からなる層が含まれることを特徴とする請求項1に記載のエピタキシャル成長基板。
- 前記バッファ層には、超格子構造が含まれることを特徴とする請求項1又は2に記載のエピタキシャル成長基板。
- 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のエピタキシャル成長基板と、当該エピタキシャル成長基板上に形成されたIII族窒化物半導体からなる能動層を具備することを特徴とする半導体装置。
- 前記能動層中において、前記主面と平行な方向に動作電流が流されて動作することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- オリエンテーションフラットが形成された、(111)面を主面とするシリコン単結晶基板上に、III族窒化物半導体からなるバッファ層、III族窒化物半導体からなる能動層を順次形成するエピタキシャル成長方法であって、
前記シリコン単結晶基板において、前記オリエンテーションフラットを、(110)面に相当する箇所から周回方向に25〜35°、85〜95°、145〜155°のいずれかの角度だけ回転させた所に形成することを特徴とするエピタキシャル成長方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010027915A JP5417211B2 (ja) | 2010-02-10 | 2010-02-10 | エピタキシャル成長基板及び半導体装置、エピタキシャル成長方法 |
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Publications (2)
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JP2010027915A Active JP5417211B2 (ja) | 2010-02-10 | 2010-02-10 | エピタキシャル成長基板及び半導体装置、エピタキシャル成長方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5417211B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6108609B2 (ja) * | 2013-04-25 | 2017-04-05 | クアーズテック株式会社 | 窒化物半導体基板 |
JP6157381B2 (ja) | 2014-03-04 | 2017-07-05 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャルウェーハの製造方法及びエピタキシャルウェーハ |
JP6261388B2 (ja) | 2014-03-05 | 2018-01-17 | 信越半導体株式会社 | 半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP7207588B1 (ja) * | 2022-03-10 | 2023-01-18 | 信越半導体株式会社 | Iii族窒化物半導体ウエーハ及びその製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3518455B2 (ja) * | 1999-12-15 | 2004-04-12 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体基板の作製方法 |
JP4084544B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2008-04-30 | 豊田合成株式会社 | 半導体基板及び半導体素子の製造方法 |
JP4525894B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2010-08-18 | サンケン電気株式会社 | 半導体素子形成用板状基体及びこの製造方法及びこれを使用した半導体素子 |
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Publication number | Publication date |
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JP2011165962A (ja) | 2011-08-25 |
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