JP2015169553A - 屈折率測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記撮像部は、前記反射画像から前記固体試料の表面反射率分布を取得する表面反射率分布取得手段と、前記表面反射率分布から前記固体試料の表面反射率Rを抽出して下記の式(1)を用いて前記固体試料の屈折率nを算出する屈折率算出手段とを備えることを特徴とする。
10 照射部
20 撮像部
21 カメラ(表面反射率分布取得手段、屈折率算出手段)
22 ライトコントロールフィルム
L1 光
L2 垂直方向の反射光
S 固体試料
Claims (5)
- 固体試料に対して垂直方向に光を照射する照射部と、
前記固体試料から垂直方向のみに反射した反射光を利用して前記固体試料を撮像して反射画像を取得する撮像部とを備え、
前記撮像部は、前記反射画像から前記固体試料の表面反射率分布を取得する表面反射率分布取得手段と、前記表面反射率分布から前記固体試料の表面反射率Rを抽出して下記の式(1)を用いて前記固体試料の屈折率nを算出する屈折率算出手段とを備えることを特徴とする屈折率測定装置。
- 前記撮像部は、前記表面反射率分布取得手段と前記屈折率算出手段とを構成し、前記表面反射率分布の最大値となる画素の反射率を前記表面反射率Rとして抽出することを特徴とする請求項1に記載の屈折率測定装置。
- 前記係数αは、前記屈折率nが既知である固体試料の表面反射率Rと当該屈折率nとから求めたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の屈折率測定装置。
- 前記撮像部は、前記固体試料から反射した反射光から垂直方向のみの反射光を撮像側に通すライトコントロールフィルムを備えることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の屈折率測定装置。
- 前記撮像部は、前記反射光の波長情報を取得することが可能なものであり、前記屈折率算出手段は、波長毎に前記式(1)を用いて前記屈折率nを算出することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の屈折率測定装置。
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