JP2015156583A - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電振動板2の両主面211、212に金属ろう材(封止材11)を介して封止部材3,4を接合し気密封止する圧電振動デバイスであって、圧電振動板の振動部に励振電極と引出電極、圧電振動板の封止部に封止パターンとが形成され、封止パターンのうち引出電極に近接する部分では封止パターンから離隔した浮島パターンが形成され、当該浮島パターンの一部は、前記封止部の内側にて、前記金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜により、前記浮島パターンと前記引出電極と接続しており、各封止部材の封止側封止パターンと記圧電振動板の各主面の封止パターンおよび浮島パターンとを金属ろう材で接合することで、各励振電極を各封止側封止パターンあるいは各封止パターンを介して外部へ各々導出した。
【選択図】図1
Description
この第2封止部材4の一主面411には、水晶振動板2に接合するための封止側第2封止部42が設けられている。封止側第2封止部42は、図6に示すように第2封止部材4の一主面411の平面視左側に偏って位置する。
11 接合材
12 パッケージ
13 内部空間
2 水晶振動板
211 一主面
212 他主面
213 導通路
221 第1励振電極
222 第2励振電極
223 第1引出電極
224 第2引出電極
23 振動部
24 切り欠き部
241 平面視凹形状体
242 平面視長方形状体
25 振動側封止部
251 振動側第1接合パターン
2511 下地PVD膜
2512 電極PVD膜
252 振動側第2接合パターン
2521 下地PVD膜
2522 電極PVD膜
261 第1貫通孔
3 第1封止部材
311 一主面
312 他主面
32 封止側第1封止部
321 封止側第1接合パターン
3211 下地PVD膜
3212 電極PVD膜
4 第2封止部材
411 一主面
412 他主面
42 封止側第2封止部
421 封止側第2接合パターン
4211 下地PVD膜
4212 電極PVD膜
431 一外部電極端子
4311 下地PVD膜
4312 電極PVD膜
432 他外部電極端子
4321 下地PVD膜
4322 電極PVD膜
441 第2貫通孔
442 第3貫通孔
Claims (3)
- 振動部と当該振動部の周囲に封止部が一体形成した圧電振動板と、
前記圧電振動板の両主面の封止部と金属ろう材を介して接合し気密封止する板状の一対の封止部材とからなる圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動板の各主面には、前記振動部に励振電極と、前記封止部に封止パターンと、前記励振電極を前記封止パターンに引き出す引出電極とが形成され、
前記封止パターンのうち前記引出電極に近接する部分では、前記封止パターンの一部が当該封止パターンから離隔した浮島パターンを形成し、
前記封止部の内側にて前記浮島パターンと前記引出電極の間には分断部が形成され、
当該分断部の上部には、前記金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜により、前記浮島パターンと前記引出電極とを接続しており、
前記各封止部材には、前記圧電振動板の封止パターンと接合するための封止側封止パターンが形成され、
前記各封止部材の封止側封止パターンと、前記圧電振動板の各主面の封止パターンおよび浮島パターンとを金属ろう材で接合し、前記各励振電極を前記各封止側封止パターンあるいは前記各封止パターンを介して外部へ各々導出する接続経路の一部を構成したことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 金属ろう材が、錫を含有する合金であることを特徴とする特許請求項1記載の圧電振動デバイス。
- 圧電振動板の封止部の最上層に錫を含有する合金膜を電解めっきにより形成したことを特徴とする特許請求項1、または特許請求項2記載の圧電振動デバイス。
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2014
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