JP2015155176A - 液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド - Google Patents
液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド Download PDFInfo
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Abstract
Description
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、樹脂部材を該樹脂部材の一部が前記供給口に入り込むように配置する工程と、
前記樹脂部材に、前記供給口に通じるフィルター開口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
また、本発明の一形態は、
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドであって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、前記供給口に通じるフィルター開口を有するフィルター部材を備え、
前記フィルター部材の一部が前記供給口に入り込んでいることを特徴とする液体吐出ヘッドである。
まず、図1(A)に示すように、エネルギー発生素子5を第一の面(表面とも称す)上に有し、該第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口11を有する基板(例えばシリコン基板)4を用意する。
樹脂部材の軟化点は、例えば、熱機械的分析装置(SII社製TMASS6100)を用いて測定することができる。樹脂部材の軟化点は、30〜100℃であることが好ましく、40〜60℃であることがより好ましい。
実施形態1では、フィルター部材を基板の裏面側に形成した後に、基板表面に流路形成部材を設ける製造工程について説明した。しかし、本発明において、流路形成部材を設ける順序は限定されるものではなく、例えば、図2に示す工程図のように、供給口11及びフィルター部材9を形成する前に、基板表面上に流路形成部材を設けてもよい。
実施形態1では、図1(D)の工程で露光した樹脂部材を図1(E)の工程で現像してフィルター部材9を形成してから、図1(F)の工程で流路形成部材を設けた。しかし、本実施形態のように、図1(E)の工程で露光された樹脂部材2を現像せずに未露光部を潜像状態で維持して次の工程に進み、図1(F)の工程で吐出口の潜像を有する流路形成部材と樹脂部材2の現像処理を一括で行ってもよい。これにより、吐出口とフィルター開口を同時に形成することができる。
本実施形態に示すように、図2(A)で流路形成部材の吐出口の潜像を現像せずに未露光部を潜像状態で維持して次の工程に進み、図2(F)の工程で、吐出口の潜像を有する流路形成部材と樹脂部材2の現像処理を一括で行ってもよい。これにより、吐出口とフィルター開口を同時に形成することができる。
まず、図1(A)に示すように、エネルギー発生素子5を第一の面上に有し、該第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有するシリコン基板4を用意した。供給口11は、エッチング液としてのTMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)の22%水溶液(80℃)にシリコン基板を20時間浸すことにより形成した(エッチングマスクは不図示)。なお、図1(A)において、シリコン基板4の第一の面上には、エネルギー発生素子5を保護する保護膜3が形成されている。
実施例1では、樹脂部材2としてエポキシ樹脂を用いたが、実施例2では樹脂部材2としてアクリル樹脂(日立化成社製、KA−606L)を用いた。熱機械的分析装置(SII社製TMASS6100)を用い、8mm×8mmに切断したサンプル針入プローブで該樹脂部材の軟化点を測定したところ、48℃であった。該アクリル樹脂を樹脂部材として用い、かつ下記の露光・現像条件で樹脂部材を露光したこと以外は、実施例1と同様にして液体吐出ヘッドを作製した。
本実施例では、流路形成部材を基板上に形成した後に、フィルター部材を形成した。
2 樹脂部材
3 保護膜
4 基板
5 エネルギー発生素子
6 マスク
7 露光部
8 未露光部
9 フィルター部材
10 吐出口
11 供給口
13 流路形成部材
14 流路側壁形成部材
15 吐出口形成部材(オリフィスプレート)
20 流路
21 フィルター開口
Claims (13)
- 液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、樹脂部材を該樹脂部材の一部が前記供給口に入り込むように配置する工程と、
前記樹脂部材に、前記供給口に通じるフィルター開口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記樹脂部材は、前記第二の面上に圧着されて配置される請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材は、該樹脂部材の軟化点以上の温度で前記基板に圧着される請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材は、ローラー方式又は一括面押し方式により前記基板に圧着される請求項2又は3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材は、該樹脂部材が形成された支持体を用いて前記基板に転写される請求項1乃至4のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材はフィルム状である請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材は、エポキシ樹脂、アクリル樹脂又はウレタン樹脂である請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材のうち前記供給口に入り込んだ部分の厚さが0.5〜10μmである請求項1乃至7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材のうち前記第二の面上に位置する部分の厚さが2〜80μmである請求項8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂部材は感光性樹脂であり、
前記樹脂部材に露光処理及び現像処理を行うことにより、前記フィルター開口を形成する、請求項1乃至9のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記基板の前記第一の面上に、前記供給口に連通する流路及び該流路に連通する吐出口を形成する流路形成部材を形成する工程を有し、
前記吐出口は、前記流路形成部材の現像処理によって形成され、
前記樹脂部材の現像処理と前記流路形成部材の現像処理を一括に行う、請求項10に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドであって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、前記供給口に通じるフィルター開口を有するフィルター部材を備え、
前記フィルター部材の一部が前記供給口に入り込んでいることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記供給口上に位置する前記フィルター部材部分の厚さが前記基板の前記第二の面上に位置する前記フィルター部材部分の厚さよりも大きい請求項12に記載の液体吐出ヘッド。
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