JP2015148579A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
静電容量型圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015148579A JP2015148579A JP2014023060A JP2014023060A JP2015148579A JP 2015148579 A JP2015148579 A JP 2015148579A JP 2014023060 A JP2014023060 A JP 2014023060A JP 2014023060 A JP2014023060 A JP 2014023060A JP 2015148579 A JP2015148579 A JP 2015148579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heater
- sensor
- measured
- tpv
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
図3に加熱制御回路400の第1例の要部を示す。この加熱制御回路400(400A)は、クローズドループ温度制御部401Aと、状態判定部402Aと、アラーム等信号送信部403Aとを備えている。
図5に加熱制御回路400の第2例の要部を示す。この第2例の加熱制御回路400(400B)は、クローズドループ温度制御部401Bと、状態判定部402Bと、アラーム等信号送信部403Bとを備えている。
図7に加熱制御回路400の第3例の要部を示す。この第3例の加熱制御回路400(400C)は、オープンループ温度制御部401Cと、状態判定部402Cと、アラーム等信号送信部403Cとを備えている。
図9に加熱制御回路400の第4例の要部を示す。この第4例の加熱制御回路400(400D)は、オープンループ温度制御部401Dと、状態判定部402Dと、アラーム等信号送信部403Dとを備えている。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (4)
- 被測定流体の導入部を有するハウジングと、
前記導入部を通して導かれてくる被測定流体の圧力を受けて撓むダイアフラムの変化を静電容量の変化として検出するセンサチップと、
前記センサチップを内部に収容した前記ハウジングの本体を覆うセンサケースと、
前記センサケース内を加熱するヒータと、
前記センサケース内の温度を測定する温度センサと、
前記センサケース内の温度が予め定められた温度となるように前記ヒータへの出力を制御するヒータ制御部とを備えた静電容量型圧力センサにおいて、
前記温度センサが測定する前記センサケース内の温度の推移および前記ヒータ制御部からの前記ヒータへの出力の推移に基づいて異常が発生しているか否かを判定する状態判定部
を備えることを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項1に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記ヒータ制御部は、
前記温度センサが測定する前記センサケース内の温度を計測温度Tpvとし、前記予め定められた温度を設定温度Tspとし、計測温度Tpvが設定温度Tspと等しくなるように前記ヒータへの出力をクローズドループ制御し、
前記状態判定部は、
前記計測温度Tpvと前記設定温度Tspとが等しく制御されている時の前記ヒータ制御部からの前記ヒータへの出力に基づいて前記ヒータに関する異常が発生しているか否かを判定する
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項1に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記ヒータ制御部は、
前記温度センサが測定する前記センサケース内の温度を計測温度Tpvとし、前記予め定められた温度を設定温度Tspとし、計測温度Tpvが設定温度Tspと等しくなるように前記ヒータへの出力をクローズドループ制御し、
前記状態判定部は、
前記ヒータへの出力が予め定められている上限値に達している時の前記計測温度Tpvに基づいて前記温度センサに関する異常が発生しているか否かを判定する
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 請求項1に記載された静電容量型圧力センサにおいて、
前記ヒータ制御部は、
前記予め定められた温度を目標温度Ttpとし、前記センサケース内の温度が目標温度Ttpとなるように前記ヒータへの出力をオープンループ制御し、
前記状態判定部は、
前記温度センサが測定する前記センサケース内の温度を計測温度Tpvとして取り込み、前記ヒータへの出力が前記目標温度Ttpに対応する正常な値に達している時の前記計測温度Tpvに基づいて前記ヒータもしくは前記温度センサに関する異常が発生しているか否かを判定する
ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014023060A JP6154760B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | 静電容量型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014023060A JP6154760B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | 静電容量型圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015148579A true JP2015148579A (ja) | 2015-08-20 |
JP6154760B2 JP6154760B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=53892024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014023060A Active JP6154760B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | 静電容量型圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6154760B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017090138A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 住友電気工業株式会社 | 電波センサおよび検知プログラム |
CN108572046A (zh) * | 2017-03-09 | 2018-09-25 | 阿自倍尔株式会社 | 压力传感器 |
KR20180110596A (ko) | 2017-03-29 | 2018-10-10 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 압력 센서 |
WO2018225853A1 (ja) * | 2017-06-09 | 2018-12-13 | アズビル株式会社 | 静電容量型圧力センサ |
CN109141739A (zh) * | 2017-06-28 | 2019-01-04 | 阿自倍尔株式会社 | 静电电容型压力传感器 |
KR102009244B1 (ko) * | 2018-07-30 | 2019-08-09 | 김형석 | 갈륨센서 |
CN111207882A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-05-29 | 中国科学院微电子研究所 | 压力传感器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006085907A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Kokusai Electric Semiconductor Service Inc | 電源装置及び半導体製造装置 |
JP2008541049A (ja) * | 2005-05-02 | 2008-11-20 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 加熱された圧力変換器 |
JP2009133838A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-06-18 | Canon Anelva Technix Corp | 静電容量型隔膜式圧力センサ |
US20120197554A1 (en) * | 2010-12-10 | 2012-08-02 | Glaudel Stephen P | Self-heated mems based capacitance diaphragm gauge |
JP2013050400A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Azbil Corp | デュアル物理量センサ |
-
2014
- 2014-02-10 JP JP2014023060A patent/JP6154760B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006085907A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Kokusai Electric Semiconductor Service Inc | 電源装置及び半導体製造装置 |
JP2008541049A (ja) * | 2005-05-02 | 2008-11-20 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 加熱された圧力変換器 |
JP2009133838A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-06-18 | Canon Anelva Technix Corp | 静電容量型隔膜式圧力センサ |
US20120197554A1 (en) * | 2010-12-10 | 2012-08-02 | Glaudel Stephen P | Self-heated mems based capacitance diaphragm gauge |
JP2013050400A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Azbil Corp | デュアル物理量センサ |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017090138A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 住友電気工業株式会社 | 電波センサおよび検知プログラム |
CN108572046A (zh) * | 2017-03-09 | 2018-09-25 | 阿自倍尔株式会社 | 压力传感器 |
CN108692854B (zh) * | 2017-03-29 | 2021-06-25 | 株式会社堀场Stec | 压力传感器 |
KR20180110596A (ko) | 2017-03-29 | 2018-10-10 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 압력 센서 |
JP2018169226A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社堀場エステック | 圧力センサ |
CN108692854A (zh) * | 2017-03-29 | 2018-10-23 | 株式会社堀场Stec | 压力传感器 |
TWI778034B (zh) * | 2017-03-29 | 2022-09-21 | 日商堀場Stec股份有限公司 | 壓力感測器 |
KR102425681B1 (ko) * | 2017-03-29 | 2022-07-28 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 압력 센서 |
US10718677B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-07-21 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Pressure sensor with reduced deviation of temperature distribution |
WO2018225853A1 (ja) * | 2017-06-09 | 2018-12-13 | アズビル株式会社 | 静電容量型圧力センサ |
CN110709683A (zh) * | 2017-06-09 | 2020-01-17 | 阿自倍尔株式会社 | 静电电容型压力传感器 |
CN110709683B (zh) * | 2017-06-09 | 2021-08-24 | 阿自倍尔株式会社 | 静电电容型压力传感器 |
CN109141739A (zh) * | 2017-06-28 | 2019-01-04 | 阿自倍尔株式会社 | 静电电容型压力传感器 |
CN109141739B (zh) * | 2017-06-28 | 2020-11-20 | 阿自倍尔株式会社 | 静电电容型压力传感器 |
KR102009244B1 (ko) * | 2018-07-30 | 2019-08-09 | 김형석 | 갈륨센서 |
CN111207882A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-05-29 | 中国科学院微电子研究所 | 压力传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6154760B2 (ja) | 2017-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6154760B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
KR100927567B1 (ko) | 압력 센서 | |
JP6093722B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
TWI306503B (en) | Pressure sensor device and method | |
TWI778034B (zh) | 壓力感測器 | |
JP6748006B2 (ja) | 圧力センサ | |
KR20180095449A (ko) | 정전 용량형 압력 센서 | |
WO2018225853A1 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
JP5889540B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6748000B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6248009B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4414746B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
JP2017072384A (ja) | 圧力センサ | |
JP5159685B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
JP5718140B2 (ja) | 圧力センサ | |
US20220291068A1 (en) | Pressure sensor device | |
JP2014126502A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
KR20040102631A (ko) | 진공 측정기 | |
JP6985071B2 (ja) | 異常検知方法および異常検知装置 | |
JP2006052997A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
KR20110077711A (ko) | 분위기 모니터용 센서 및 그 제조방법 | |
JP2000321161A (ja) | 静電容量型真空センサ | |
JP2005069959A (ja) | 静圧動圧検知センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6154760 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |