JP2015136196A - インバータ装置及びプラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】インバータ装置が出力する交流電圧を、その波高値電圧が一定になるように制御しつつ高電力化する。
【解決手段】制御回路5によってオン・オフ制御されるスイッチング素子4で入力電圧をスイッチングし、そのスイッチング素子がオンの期間にトランス3の励磁巻線Npに励磁電流を流し、オフの期間に出力巻線Nsから交流電圧を出力する。そのトランス3の二次側に設けられた従属巻線Nfによって、出力巻線Nsから出力される交流電圧と相似波形でそれより遥かに低い交流電圧を発生させ、その発生電圧Vfのゼロクロス点をゼロクロス検出回路6で検出し、そのゼロクロス検出信号Szをカウンタ回路7によってカウントする。そのカウント値が設定部9による設定値になったときに、比較回路8の出力信号Scが反転し、制御回路5にスイッチング素子4をオフからオンに切替制御させる。
【選択図】 図1
【解決手段】制御回路5によってオン・オフ制御されるスイッチング素子4で入力電圧をスイッチングし、そのスイッチング素子がオンの期間にトランス3の励磁巻線Npに励磁電流を流し、オフの期間に出力巻線Nsから交流電圧を出力する。そのトランス3の二次側に設けられた従属巻線Nfによって、出力巻線Nsから出力される交流電圧と相似波形でそれより遥かに低い交流電圧を発生させ、その発生電圧Vfのゼロクロス点をゼロクロス検出回路6で検出し、そのゼロクロス検出信号Szをカウンタ回路7によってカウントする。そのカウント値が設定部9による設定値になったときに、比較回路8の出力信号Scが反転し、制御回路5にスイッチング素子4をオフからオンに切替制御させる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、インバータ装置とそれを電源として使用したプラズマ発生装置に関する。
大型プラズマディスプレー用放電管、プラズマ発生装置など、種々の装置に高電圧を供給するためにスイッチングレギュレータやインバータ装置が用いられている。
一般には出力電力値が数W程度のものが多く使用されているが、プラズマ発生装置などには、出力電圧が十数KVで電力値が数十W以上の交流の出力を持つインバータ装置が使用される。
一般には出力電力値が数W程度のものが多く使用されているが、プラズマ発生装置などには、出力電圧が十数KVで電力値が数十W以上の交流の出力を持つインバータ装置が使用される。
一般のスイッチングレギュレータ(AC又はDC−DCコンバータ)は、電圧変換用のトランスの一次側の励磁巻線に直流電圧をスイッチング素子でスイッチングして断続的に印加し、二次側の出力巻線に発生する交流電流を整流及び平滑して直流電圧を出力する。
その出力電圧を一定電圧に維持するために、例えば特許文献1に見られるように、出力電圧を検出してフィードバック電圧を生成する。それによって、スイッチング素子のオン時間とオフ時間の比率(デューティ比)を制御するパルス幅変調(PWM)制御を行なっている。
その出力電圧を一定電圧に維持するために、例えば特許文献1に見られるように、出力電圧を検出してフィードバック電圧を生成する。それによって、スイッチング素子のオン時間とオフ時間の比率(デューティ比)を制御するパルス幅変調(PWM)制御を行なっている。
これは、出力電圧が下がったときには、スイッチングパルスのON幅を広げて出力電力不足を補い、逆に出力電圧が上がった時には、ON幅を狭くして過剰な出力電力を制限することによって、出力電圧を一定に制御するものである。
また、インバータ装置は、上述と同様に電圧変換用トランスの一次側の励磁巻線に直流電圧をスイッチング素子でスイッチングして断続的に印加し、二次側の出力巻線に発生する交流電圧をそのまま負荷へ出力する。
また、インバータ装置は、上述と同様に電圧変換用トランスの一次側の励磁巻線に直流電圧をスイッチング素子でスイッチングして断続的に印加し、二次側の出力巻線に発生する交流電圧をそのまま負荷へ出力する。
その場合、例えば特許文献2に見られるように、出力電圧の代わりに出力電流を検出して、それを電圧に置き換えてスイッチング素子に対するPWM制御を行うようにしたものもある。
出力電圧が直流のスイッチングレギュレータの場合には、特許文献1に記載されているようにその出力電圧を検出して、スイッチング素子をON/OFF制御するスイッチングパルスをPWM制御することが可能である。また、出力の平滑回路の電解コンデンサなどによる保持時間があるため、制御の応答性が問題になることもない。
出力電圧が直流のスイッチングレギュレータの場合には、特許文献1に記載されているようにその出力電圧を検出して、スイッチング素子をON/OFF制御するスイッチングパルスをPWM制御することが可能である。また、出力の平滑回路の電解コンデンサなどによる保持時間があるため、制御の応答性が問題になることもない。
しかし、インバータ装置の出力は交流であるために、全波であろうが半波であろうが、その波高値(ピーク電圧値)を一定に制御するのは困難であった。
その理由は、波高値の時間が1点であることと、制御の遅延があり、出力電圧波形が繰り返される周波数が高くなればなるほどその遅延の影響が顕著になって、波高値電圧が降下し過ぎたり上昇し過ぎたりするからである。
その理由は、波高値の時間が1点であることと、制御の遅延があり、出力電圧波形が繰り返される周波数が高くなればなるほどその遅延の影響が顕著になって、波高値電圧が降下し過ぎたり上昇し過ぎたりするからである。
そのため、出力が交流であって、スイッチング周波数が数十KHzと高く、出力の波高値電圧も十数KVのように高い場合は、上述した制御の応答性の問題に加えて、出力電圧検出手段や部品の耐圧の問題等も生じる。そのため、このような高電圧を出力するインバータ装置では、入力供給電圧を一定に制御するだけで、出力電圧値は無制御なのが一般であった。
前述した特許文献2に記載されているように、出力電圧値の代わりに出力電流を検出して、それを負帰還してスイッチング素子に対するPWM制御を行うようにしたものもあるが、出力電圧の波高値は監視していないし、それを制御することはできない。
前述した特許文献2に記載されているように、出力電圧値の代わりに出力電流を検出して、それを負帰還してスイッチング素子に対するPWM制御を行うようにしたものもあるが、出力電圧の波高値は監視していないし、それを制御することはできない。
そこで、特許文献3には、出力が交流でその波高値電圧が十数KVのような高電圧インバータ装置において、その波高値電圧が一定になるように制御する発明が提案されている。
その高電圧インバータ装置は、励磁電流をスイッチングするスイッチング素子の端子間又は励磁巻線の両端間に発生する電圧をモニタ電圧とする。
その高電圧インバータ装置は、励磁電流をスイッチングするスイッチング素子の端子間又は励磁巻線の両端間に発生する電圧をモニタ電圧とする。
そして、出力電圧制御回路が、スイッチング素子のオフ期間におけるモニタ電圧の半波の完了時点から、共振電圧の第2高調波が現れる直前までの間で、モニタ電圧の波高値に応じてスイッチング素子をオンにする時期を制御するための制御信号を生成する。PWM制御回路がその制御信号を入力して、一定周波数の矩形波パルス信号によるスイッチングパルスを、その制御信号に対応してスイッチング素子をオンにする期間の割合を変化させるようにパルス幅変調して出力する。それによって、スイッチング素子のオン・オフを制御して、交流出力電圧の波高値電圧が一定になるように制御する。
このようなインバータ装置において、高電力化の手段として、トランス一次側の励磁巻線に流す電流の励磁時間を長くする必要がある。しかしながら、出力電力をより多く取り出すために、トランス一次側の励磁巻線に電流を流す励磁時間を必要以上に長くすると、出力電圧が規定値以上に上昇してしまうという問題があった。
たとえば、トランス一次側の励磁巻線に電流を流す励磁時間を長くすると、交流出力電圧の出力波形の波高値が予めシステムで規定した波高値よりも上昇してしまう。そのため、負荷に放電部を接続した場合、その放電電極から意図しない箇所へ放電が発生する恐れがある。
したがって、単純にトランス一次側の励磁巻線に電流を流す励磁時間を長くして、出力波形の波高値を高くすることはシステムの制約上出来ない。
また、出力が交流の波高値を一定に制御しつつ高電力化を図ることは実現されていない。
したがって、単純にトランス一次側の励磁巻線に電流を流す励磁時間を長くして、出力波形の波高値を高くすることはシステムの制約上出来ない。
また、出力が交流の波高値を一定に制御しつつ高電力化を図ることは実現されていない。
この発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、出力が交流でその波高値電圧が十数KVのような高電圧であるインバータ装置において、その波高値電圧が一定になるように制御しつつ高電力化することを目的とする。
この発明は上記の目的を達成するため、直流もしくは直流成分に脈流が重畳された入力電圧を、制御回路によってオン・オフ制御されるスイッチング素子によってスイッチングして、そのスイッチング素子がオンの期間にトランスの励磁巻線に励磁電流を流し、そのスイッチング素子がオフの期間に上記トランスの出力巻線から交流電圧を出力するインバータ装置において、上記トランスの出力巻線から出力される交流電圧の出力電圧波形が、連続した1.5周期以上2周期未満になるように、上記制御回路を用いて上記スイッチング素子がオフの出力期間を制御する出力期間制御手段を設けたことを特徴とする。
この発明によるインバータ装置は、交流出力電圧の波高値電圧を一定に制御しつつ高電力(大電力)を出力することができる。
〔インバータ装置を使用したプラズマ発生装置の一例〕
この発明を実施するための形態を説明するのに先立って、この発明の対象とするインバータ装置を使用したプラズマ発生装置の一例について説明する。
図10は、そのプラズマ発生装置の一例を簡略化して示す回路図であり、図11はそのインバータ装置における各部の電圧及び電流波形を示す波形図である。
図10に示すプラズマ発生装置100は、インバータ装置10とその負荷である放電部20とによって構成されている。
この発明を実施するための形態を説明するのに先立って、この発明の対象とするインバータ装置を使用したプラズマ発生装置の一例について説明する。
図10は、そのプラズマ発生装置の一例を簡略化して示す回路図であり、図11はそのインバータ装置における各部の電圧及び電流波形を示す波形図である。
図10に示すプラズマ発生装置100は、インバータ装置10とその負荷である放電部20とによって構成されている。
インバータ装置10は、商用電源11からの交流電圧を整流及び平滑する整流・平滑回路12と、その整流・平滑回路12が出力する直流電圧(脈流成分を含んでもよい)を入力電圧Vinとするトランス13を備えている。さらに、FET等によるスイッチング素子Q及びそれを制御する制御回路15も備えている。
トランス13は励磁巻線Npと出力巻線Nsを有し、その励磁巻線Npをスイッチング素子Qと直列に、整流・平滑回路12からの給電回路に接続している。そのスイッチング素子Qは、制御回路15がゲート端子に出力するスイッチング信号Spによって、オン(ON)・オフ(OFF)制御される。
トランス13は励磁巻線Npと出力巻線Nsを有し、その励磁巻線Npをスイッチング素子Qと直列に、整流・平滑回路12からの給電回路に接続している。そのスイッチング素子Qは、制御回路15がゲート端子に出力するスイッチング信号Spによって、オン(ON)・オフ(OFF)制御される。
制御回路15からスイッチング素子Qのゲートに印加されるスイッチング信号Spは、図11の(a)に示すような周期Tの矩形波であり、これはスイッチング素子Qのソース・ドレイン間電圧Vgs(Q)の波形となる。このスイッチング信号Spがローレベルの期間がOFF期間であり、ハイレベルの期間がON期間である。
インバータ装置10は、フライバック型電圧共振インバータである。したがって、入力電圧Vinをスイッチング素子Qによってスイッチングして、トランス13の励磁巻線Npに流す励磁電流をオン・オフする。そして、オンの期間に励磁巻線Npに励磁電流を流して励磁エネルギーをため、オフの期間にトランス13の出力巻線Nsから図11の(c)に示すような波形の出力電圧Voutを出力して、負荷である放電部20の電極間に印加する。
インバータ装置10は、フライバック型電圧共振インバータである。したがって、入力電圧Vinをスイッチング素子Qによってスイッチングして、トランス13の励磁巻線Npに流す励磁電流をオン・オフする。そして、オンの期間に励磁巻線Npに励磁電流を流して励磁エネルギーをため、オフの期間にトランス13の出力巻線Nsから図11の(c)に示すような波形の出力電圧Voutを出力して、負荷である放電部20の電極間に印加する。
図11の(b)はスイッチング素子Qのソース・ドレイン間電流、すなわちスイッチング素子Qに流れる電流Id(Q)であり、これはトランス13の励磁巻線Npに流れる励磁電流の波形を示す。図11の(d)は放電部20へ流れる出力電流Ioの波形を示す。
出力電圧Voutは、出力巻線NsのインダクタンスLsと、その出力巻線Nsの分布容量Cs及び負荷である放電部20の等価静電容量(「負荷容量」という)Coの合成容量Cとによる並列共振回路によって発生する。
出力電圧Voutは、出力巻線NsのインダクタンスLsと、その出力巻線Nsの分布容量Cs及び負荷である放電部20の等価静電容量(「負荷容量」という)Coの合成容量Cとによる並列共振回路によって発生する。
それは、励磁巻線Npと出力巻線Nsの巻数比に応じた高電圧になる。そのため、出力電圧Voutの波形は、図11の(c)に示すように略正弦波形の半波状であり、この例では正の半波に相当する正(+)電圧であるが、負の半波に相当する負(−)電圧にすることもできる。
制御回路15がスイッチング信号Spをパルス幅変調(PWM)制御して、1周期TにおけるON期間とOFF期間の比率(デューティ)を変えることにより、出力電圧Voutを制御することが可能である。そのスイッチング信号Spの周波数及び周期を変更することもできる。
制御回路15がスイッチング信号Spをパルス幅変調(PWM)制御して、1周期TにおけるON期間とOFF期間の比率(デューティ)を変えることにより、出力電圧Voutを制御することが可能である。そのスイッチング信号Spの周波数及び周期を変更することもできる。
放電部20は、例えば図12に示すように、放電電極21と、それに対向するカウンタ電極22と、その放電電極21とカウンタ電極22との間に介在する誘電体23とによって構成されている。
放電電極21は、この例では銅やアルミニウム等の導電性のよい金属線21aの周囲に、絶縁体(誘電体)21bを被覆した丸棒状の複数(図示の例では15本)の放電電極21によって放電電極列を構成している。すなわち、複数の放電電極21が、平板状のカウンタ電極22の対向面22aに平行な面内で、図12で左右方向に互いに隣接する電極同士の外周が接するように並んで、紙面に垂直な方向に延びて配列されている。各放電電極21の直径(φ)は、例えば8mm程度である。
放電電極21は、この例では銅やアルミニウム等の導電性のよい金属線21aの周囲に、絶縁体(誘電体)21bを被覆した丸棒状の複数(図示の例では15本)の放電電極21によって放電電極列を構成している。すなわち、複数の放電電極21が、平板状のカウンタ電極22の対向面22aに平行な面内で、図12で左右方向に互いに隣接する電極同士の外周が接するように並んで、紙面に垂直な方向に延びて配列されている。各放電電極21の直径(φ)は、例えば8mm程度である。
カウンタ電極22は、銅やアルミニウム等の導電性のよい金属による平板状の電極であり、放熱板も兼ねている。そのカウンタ電極22の放電電極21との対向面22aに、シリコン系シート等の誘電体23を被着している。図12においては、分り易くするためにカウンタ電極22と誘電体23との間に隙間を設けているが、実際には接着等によって密着している。
放電電極21と誘電体23との間も、間隔を拡げて示しているが、実際には、表面改質を施す印刷用紙等のシート状記録材が一点鎖線の矢印Fで示すように通過できる程度の隙間があればよい。
放電電極21と誘電体23との間も、間隔を拡げて示しているが、実際には、表面改質を施す印刷用紙等のシート状記録材が一点鎖線の矢印Fで示すように通過できる程度の隙間があればよい。
このように構成した放電部20の各放電電極21とカウンタ電極22との間に、前述したインバータ装置10による6KV以上の高電圧の出力電圧Voutを印加する。それによって、大気圧中で、大気圧プラズマ放電の一種である沿面放電もしくは無声放電、または沿面放電と無声放電の複合放電による誘電体バリア放電を発生させることができる。あるいは、大気中でコロナ放電を発生させるようにしてもよい。
カウンタ電極22は接地する。放電電極21に印加する電圧は正負逆転しても、作用効果に差異はない。
カウンタ電極22は接地する。放電電極21に印加する電圧は正負逆転しても、作用効果に差異はない。
この放電部20内を、シート状の記録材を一点鎖線の矢印Fで示すように搬送して通過させることによって、その表面が上述した誘電体バリア放電によって生成されるラジカルやイオンなどの活性種に触れて改質が進行する。それは、プラズマにより、空気中の成分や記録材自体に含まれている成分によって形成される種々の親水性官能基等の基が、記録材の表面に形成されて表面エネルギーが高くなることによって進行する。例えば、記録材の表面に撥水性を有する部分を含んでいる場合に、その部分が親水化されることによって改質が行われる。
このような大気圧プラズマ放電は、一般に常圧で6KV以上で発生するといわれている。その2電極間の負荷は、放電部20のパッシブ素子の負荷容量C0であり、図10におけるトランス13の二次側における共振回路の容量Cが、その負荷容量C0と出力巻線Nsの分布容量Csとの合成容量となる。したがって、上記共振回路の共振定数は前述したLs、Cs、C0である。
電気経路上に強磁場がかかり、それらの共振定数が温度や線間長のずれなどから変動するため、インバータ装置10の出力電圧波形が完全に基本波のみとならず歪のある出力波形となる。そのため、フーリエ展開すると、高次数で交番されて減衰されていく電圧波形に分解される。
出力電圧Voutは、交番された電圧であり、その値は数KVないし数十KVで、平均出力電力は数Wないし数十KWの範囲にある。
ここで、交番された出力電圧は、実際には上述したように高次に連続された波形となるが、図11の(c)では、出力電圧Voutの波形を簡略化して、あえて基本波のみとしている。
出力電圧Voutは、交番された電圧であり、その値は数KVないし数十KVで、平均出力電力は数Wないし数十KWの範囲にある。
ここで、交番された出力電圧は、実際には上述したように高次に連続された波形となるが、図11の(c)では、出力電圧Voutの波形を簡略化して、あえて基本波のみとしている。
トランス13に印加する励磁エネルギーが十分でないと、使用目的の出力電力を取り出せなくなる。その印加する磁気エネルギーは、トランス13の励磁巻線Npへの印加電圧と励磁する時間の二乗に比例する。
そのため、出力電圧を大きくするには1周期における励磁する時間の比率を大きくする必要がある。しかし、励磁する時間を必要以上に大きくすると、出力電圧として使用目的以上に電圧が出てしまうという問題があった。
そのため、出力電圧を大きくするには1周期における励磁する時間の比率を大きくする必要がある。しかし、励磁する時間を必要以上に大きくすると、出力電圧として使用目的以上に電圧が出てしまうという問題があった。
出力電圧は、Vout(t)=√2Vout・sin(ωt)でなる基本波の場合は、正弦波となる関数上にある。ここでVoutは、出力電圧値の実効値とする。
交番された電圧の波高値を制御するには、その波高値のピンポイントを時間のずれなく制御するのが望ましい。
しかし、現実的には、出力電圧は数十KVとなる交番された高電圧のため、ピンポイントでの検出は困難であるばかりか、仮に検出した信号が取り出せたとしても、電力変換するスイッチング素子Qをドライブするまでには少なくても数msec程度の時間を要する。それがスイッチング周波数ごと繰り返される。そのため、出力が交流の波高値を一定に制御しつつ高電力化を図ることは困難であった。
交番された電圧の波高値を制御するには、その波高値のピンポイントを時間のずれなく制御するのが望ましい。
しかし、現実的には、出力電圧は数十KVとなる交番された高電圧のため、ピンポイントでの検出は困難であるばかりか、仮に検出した信号が取り出せたとしても、電力変換するスイッチング素子Qをドライブするまでには少なくても数msec程度の時間を要する。それがスイッチング周波数ごと繰り返される。そのため、出力が交流の波高値を一定に制御しつつ高電力化を図ることは困難であった。
そこで、この発明による高電圧インバータ装置では、出力電圧波形の1周期の電力に、出力電圧の過渡現象によって生じる次の共振電圧(第2高調波)の半周期分の電力を加算させることによって、出力電圧を一定にして高電力化を実現する。
それによって、交流出力電圧の波高値を規定の波高値より上昇させることなく、電力を取ることができる。
それによって、交流出力電圧の波高値を規定の波高値より上昇させることなく、電力を取ることができる。
〔第1の実施形態〕
そこで、この発明によるインバータ装置及びプラズマ発生装置の第1の実施形態を図1から図5によって説明する。
図1は、そのインバータ装置を用いたプラズマ発生装置を簡略化して示す回路図である。
この図1に示すインバータ装置1とその負荷である放電部2とによって、プラズマ発生装置を構成している。
そこで、この発明によるインバータ装置及びプラズマ発生装置の第1の実施形態を図1から図5によって説明する。
図1は、そのインバータ装置を用いたプラズマ発生装置を簡略化して示す回路図である。
この図1に示すインバータ装置1とその負荷である放電部2とによって、プラズマ発生装置を構成している。
インバータ装置1は、入力端子I1,I2から直流もしくは直流成分に脈流が重畳された入力電圧Vinを入力し、それをFET等のスイッチング素子4によってスイッチングして、トランス3の励磁巻線Npに励磁電流を流す。そして、そのトランス3の出力巻線Nsから交流電圧を出力し、その出力電圧Vout を出力端子O1,O2から負荷である放電部2に給電する。
入力電圧Vinは、例えば図10に示した例と同様に、商用電源からの交流電圧を整流及び平滑する整流・平滑回路で整流及び平滑して供給される。
制御回路5も図10に示した制御回路15と同様に、入力電圧Vinによって動作し、スイッチング信号Spをスイッチング素子4のゲート端子に出力して、スイッチング素子4をオン・オフ制御する。
制御回路5も図10に示した制御回路15と同様に、入力電圧Vinによって動作し、スイッチング信号Spをスイッチング素子4のゲート端子に出力して、スイッチング素子4をオン・オフ制御する。
このインバータ装置1もフライバック型電圧共振インバータである。したがって、入力電圧Vinをスイッチング素子4によってスイッチングして、トランス3の励磁巻線Npに流す励磁電流をオン・オフする。そして、オンの期間に励磁巻線Npに励磁電流を流してトランス3に励磁エネルギーをため、オフの期間にその出力巻線Nsから図11の(c)に示したような波形の出力電圧Voutを出力して、負荷である放電部2の電極間に印加する。
その放電部2は、例えば図12によって説明した放電部20と同様に放電電極21とカウンタ電極22とが誘電体23を介して対向している。そして、インバータ装置1によって6KV以上の交流高電圧が印加されると、大気圧プラズマ放電の一種である誘電体バリア放電を発生する。
この図1に示すインバータ装置1が、図10に示したインバータ装置10と相異するのは、出力期間制御手段を設けた点である。その出力期間制御手段は、トランス3の出力巻線Nsから出力される交流電圧の出力電圧波形が連続した1.5周期以上2周期未満になるように、制御回路5を用いてスイッチング素子4がオフの出力期間を制御する。
それによって、出力電圧波形の1周期の電力に、出力電圧の過渡現象によって生じる次の共振電圧(第2高調波)の半周期分の電力を加算させることができ、出力電圧を一定にして高電力化を実現することができる。したがって、交流出力電圧の波高値を規定の波高値より上昇させることなく出力電力を増加させることができる。
それによって、出力電圧波形の1周期の電力に、出力電圧の過渡現象によって生じる次の共振電圧(第2高調波)の半周期分の電力を加算させることができ、出力電圧を一定にして高電力化を実現することができる。したがって、交流出力電圧の波高値を規定の波高値より上昇させることなく出力電力を増加させることができる。
そのため、この高電圧インバータ装置1の出力電圧が放電部2の放電電極とカウンタ電極との間に印加される大気圧プラズマ発生装置は、大気圧中で大気圧プラズマ放電の一種である前述した誘電体バリア放電を効率よく発生させることができる。それによって多量のラジカルやイオンなどの活性種が生成される。
その放電部20内を、印刷用紙等のシート状の記録材を搬送して通過させることによって、その表面が多量の活性種に触れ、撥水性を弱めて親水性を高めるなどの改質を効率よく行うことができる。
その放電部20内を、印刷用紙等のシート状の記録材を搬送して通過させることによって、その表面が多量の活性種に触れ、撥水性を弱めて親水性を高めるなどの改質を効率よく行うことができる。
この実施形態では、その出力期間制御手段が、トランス3の二次側に設けられた従属巻線(第3次巻線とも云う)Nfと、ゼロクロス検出回路6、カウンタ回路7、比較回路8及び設定部9を備えている。また、スイッチング素子4にスイッチング信号Spを出力する制御回路5には、比較回路8の出力信号を入力する端子FBを有する。
従属巻線Nfは、トランス3の出力巻線Nsから出力される交流電圧と相似波形で,その交流電圧より桁違いに低い交流電圧を出力する。
従属巻線Nfは、トランス3の出力巻線Nsから出力される交流電圧と相似波形で,その交流電圧より桁違いに低い交流電圧を出力する。
トランス3の二次側の出力電圧を監視してゼロクロス点を検出するのは、二次側の出力電圧が実効値6KV以上の高電圧であるため、その耐電圧を満たす素子の選定が困難である。
そのため、トランス3の二次側に従属巻線Nfを設けて、その従属巻線Nfに、出力巻線Nsから出力される交流電圧と相似波形で実効値が数十Vから数百V程度の交流電圧を発生させる。
そのため、トランス3の二次側に従属巻線Nfを設けて、その従属巻線Nfに、出力巻線Nsから出力される交流電圧と相似波形で実効値が数十Vから数百V程度の交流電圧を発生させる。
その従属巻線Nfに発生する交流電圧をゼロクロス検出回路6に入力させ、そのゼロクロス点を検出する。そのゼロクロス検出回路6によって検出されたゼロクロス検出信号を、カウンタ回路7によってカウントさせる。
そして、そのカウンタ回路7のカウント値を比較回路8に入力させ、そのカウント値が設定部9に設定された設定値になったとき又はその直後に、比較回路8が出力信号Scを反転する。それを制御回路5が認識すると、直ちにスイッチング信号Spをローからハイにして、スイッチング素子4をオフ(OFF)からオン(ON)に切替制御する。
そして、そのカウンタ回路7のカウント値を比較回路8に入力させ、そのカウント値が設定部9に設定された設定値になったとき又はその直後に、比較回路8が出力信号Scを反転する。それを制御回路5が認識すると、直ちにスイッチング信号Spをローからハイにして、スイッチング素子4をオフ(OFF)からオン(ON)に切替制御する。
ゼロクロス検出回路6としては公知の回路を使用することができるが、その一例を図2に示す。このゼロクロス検出回路6は、発光ダイオード等の発光素子61,62とフォトトランジスタ等の受光素子63,64の対を2組備えた2回路のフォトカプラ60を使用している。その受光素子63,64のエミッタを共通接続して接地し、コレクタを共通接続したa点をプルアップ用の抵抗R1を介して正電源+Vに接続する。そのa点からゼロクロス検出信号Szを出力する。
そして、図1に示したトランス3の従属巻線Nfの発生電圧(交流電圧)Vfを、感度調整用の可変抵抗VRを通してフォトカプラ60の発光素子61,62に印加し、全波整流、絶縁、およびロジックレベルの変換を一度に行う。
そして、図1に示したトランス3の従属巻線Nfの発生電圧(交流電圧)Vfを、感度調整用の可変抵抗VRを通してフォトカプラ60の発光素子61,62に印加し、全波整流、絶縁、およびロジックレベルの変換を一度に行う。
図3によって、図2に示したゼロクロス検出回路6のゼロクロス点検出動作を説明する。発光素子61は発光レベル以上の正電圧が印加されると発光し、発光素子62は絶対値が発光レベル以上の負電圧が印加されると発光するので、従属巻線Nfの発生電圧Vfの絶対値が発光レベル以上のゼロクロス点Pz付近以外では発光素子61,62のいずれかが発光する。それによって、受光素子63,64のいずれかがその光を受光して導通状態になるため、a点は接地されてゼロレベルになる。
しかし、従属巻線Nfの発生電圧Vfの絶対値が発光レベル以下のゼロクロス点Pz付近では、発光素子61,62がいずれも発光しなくなるため、受光素子63,64がいずれも非導通状態になり、a点は正電源+Vの電圧によってハイレベルになる。
したがって、a点から図3に示すようにゼロクロス点Pzを中心とするパルス状のゼロクロス検出信号Szが出力される。その検出感度を可変抵抗VRによって調整することができる。
このゼロクロス検出信号Szを、そのままカウンタ回路7に入力させてカウントさせることもできるが、シュミットトリガ回路を通して、ゼロクロス点Pzの直前でより急峻なトリガパルスを発生させ、それをカウンタ回路7に入力させるようにするとなおよい。
したがって、a点から図3に示すようにゼロクロス点Pzを中心とするパルス状のゼロクロス検出信号Szが出力される。その検出感度を可変抵抗VRによって調整することができる。
このゼロクロス検出信号Szを、そのままカウンタ回路7に入力させてカウントさせることもできるが、シュミットトリガ回路を通して、ゼロクロス点Pzの直前でより急峻なトリガパルスを発生させ、それをカウンタ回路7に入力させるようにするとなおよい。
従属巻線Nfの発生電圧Vfは、トランス3の出力巻線Nsから出力される交流電圧と相似波形であるから、このゼロクロス検出回路6によって検出されるゼロクロス点は、出力巻線Nsから出力される交流電圧のゼロクロス点と一致するはずである。すなわち、このゼロクロス検出回路6によって、インバータ装置1の出力電圧Vout のゼロクロス点を検出できることになる。
カウンタ回路7も公知の回路を使用すればよいが、例えば図4に示すような2個のトグル形フリップ・フロップ回路(T−FF)71,72を直列に接続した2進2桁のカウンタ回路を使用することができる。T−FF71,72はトグル端子Tの入力信号が立ち下った時に反転する。
このカウンタ回路7では、カウント値の出力Q1,Q0が00にリセットされた状態から、入力端子にパルス状のゼロクロス検出信号Szが入力するごとに、01→10→11とカウントして、3個のゼロクロス点をカウントすることができる。T−FFを3個直列に接続すれば2進3桁のカウンタ回路を構成して、7個のゼロクロス点までカウントできるようにすることもできる。
このカウンタ回路7では、カウント値の出力Q1,Q0が00にリセットされた状態から、入力端子にパルス状のゼロクロス検出信号Szが入力するごとに、01→10→11とカウントして、3個のゼロクロス点をカウントすることができる。T−FFを3個直列に接続すれば2進3桁のカウンタ回路を構成して、7個のゼロクロス点までカウントできるようにすることもできる。
このカウンタ回路7の出力Q1,Qによるカウント値を比較回路8に入力させ、そのカウント値が設定部9に設定された設定値、この例では3(2進数で11)になったとき又はその直後に、比較回路8が出力信号を反転する。制御回路5がその反転を認識すると、直ちにスイッチング信号Spをローからハイにして、スイッチング素子4をオフからオンに切替制御する。
このインバータ装置1の制御動作を図5によって説明する。この図5に示す出力電圧Vout と従属巻線Nfの発生電圧Vfは相似波形である。
この実施形態では、ゼロクロス検出回路6及びカウンタ回路7は、制御回路5がスイッチング信号SpをONからOFFにし、スイッチング素子4をオンからオフに切替制御したタイミング(時点P0)で動作を開始する。
この実施形態では、ゼロクロス検出回路6及びカウンタ回路7は、制御回路5がスイッチング信号SpをONからOFFにし、スイッチング素子4をオンからオフに切替制御したタイミング(時点P0)で動作を開始する。
すなわち、時点P0でスイッチング素子4がオンからオフになると、トランス3の出力巻線Nsに出力電圧Vout が発生すると同時に従属巻線Nfの発生電圧Vfも発生する。それによって、ゼロクロス検出回路6が動作を開始し、図2に示したフォトカプラの発光素子61,62のいずれかが発光し、受光素子63,64のいずれかが導通状態になる。そのため、ゼロクロス検出信号Szがハイレベルからローレベルに立ち下がる。
それによって、図4に示したカウンタ回路7がフルカウント11の状態から00にリセットされ、新たなカウント動作を開始する。
それによって、図4に示したカウンタ回路7がフルカウント11の状態から00にリセットされ、新たなカウント動作を開始する。
その後、ゼロクロス検出回路6が、従属巻線Nfの発生電圧Vfのゼロクロス点、すなわち出力巻線Nsの出力電圧Voutのゼロクロス点P1,P2,P3を検出する毎に、パルス状のゼロクロス検出信号Szを出力し、それをカウンタ回路7がカウントする。
そして、3つ目のゼロクロス点P3でのゼロクロス検出信号Szをカウンタ回路7がカウントすると、カウント値が3(2進数で11)になり、設定部9の設定値と一致する。
それによって、比較回路8が出力信号Scを反転し、その出力信号Scを入力する制御回路5がその反転を認識すると、直ちにスイッチング信号Spをローからハイにして、スイッチング素子4をオフからオンに切替制御する。
そして、3つ目のゼロクロス点P3でのゼロクロス検出信号Szをカウンタ回路7がカウントすると、カウント値が3(2進数で11)になり、設定部9の設定値と一致する。
それによって、比較回路8が出力信号Scを反転し、その出力信号Scを入力する制御回路5がその反転を認識すると、直ちにスイッチング信号Spをローからハイにして、スイッチング素子4をオフからオンに切替制御する。
これによって、トランス3は出力電圧発生期間を終了し、励磁巻線Npに励磁電流が流れ、エネルギーの蓄積を開始する。
なお、図5から分かるように、カウンタ回路7は出力電圧波形の0.5周期ごとにゼロクロス点をカウントすることになる。
したがって、この実施形態では、トランス3の出力巻線Nsから出力される交流電圧の出力電圧波形が、連続した略1.5周期になるようにスイッチング素子4がオフの出力期間が制御されることになる。制御回路5がスイッチング素子4をオフからオンに切替制御するタイミングが多少遅れても、出力電圧波形が連続した2周期になるゼロクロス点が検出されるより前にスイッチング素子4をオンに切り替えられればよい。
なお、図5から分かるように、カウンタ回路7は出力電圧波形の0.5周期ごとにゼロクロス点をカウントすることになる。
したがって、この実施形態では、トランス3の出力巻線Nsから出力される交流電圧の出力電圧波形が、連続した略1.5周期になるようにスイッチング素子4がオフの出力期間が制御されることになる。制御回路5がスイッチング素子4をオフからオンに切替制御するタイミングが多少遅れても、出力電圧波形が連続した2周期になるゼロクロス点が検出されるより前にスイッチング素子4をオンに切り替えられればよい。
〔第2、第3の実施形態〕
次に、この発明によるインバータ装置及びプラズマ発生装置の第2、第3の実施形態を図6及び図7によって説明する。
図6及び図7は、それぞれ第2、第3の実施形態のインバータ装置を用いたプラズマ発生装置を簡略化して示す図1と同様な回路図であり、図1と同じ部分には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
この第2、第3の実施形態において、前述した第1の実施形態と異なるのは、トランス3の従属巻線Nfの発生電圧Vfを、フィルタ回路16を通してゼロクロス検出回路6に入力させるようにした点である。
図7に示す第3の実施形態においてはさらに、制御ICからなる制御回路5をマイクロコンピュータ(CPUと略称する)17によって制御するようにしている。
次に、この発明によるインバータ装置及びプラズマ発生装置の第2、第3の実施形態を図6及び図7によって説明する。
図6及び図7は、それぞれ第2、第3の実施形態のインバータ装置を用いたプラズマ発生装置を簡略化して示す図1と同様な回路図であり、図1と同じ部分には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
この第2、第3の実施形態において、前述した第1の実施形態と異なるのは、トランス3の従属巻線Nfの発生電圧Vfを、フィルタ回路16を通してゼロクロス検出回路6に入力させるようにした点である。
図7に示す第3の実施形態においてはさらに、制御ICからなる制御回路5をマイクロコンピュータ(CPUと略称する)17によって制御するようにしている。
フィルタ回路16は、トランス3の従属巻線Nfの発生電圧Vfに含まれるノーマルモードノイズを除去して、その除去した電圧信号Vf′をゼロクロス検出回路6に入力させる。
ノーマルモードノイズは、ノイズ源が信号源に対して直列に加わり、信号ラインを通して負荷に伝達されるノイズを云う。これらの実施形態では、トランス3の従属巻線Nfの発生電圧Vfにノーマルモードノイズが乗って、スパイク状のノイズがゼロレベルを跨いで、ゼロクロス検出回路6がゼロクロス点を誤検出するのを防止する。それによって、ゼロクロスの検出を高精度化することができる。
ノーマルモードノイズは、ノイズ源が信号源に対して直列に加わり、信号ラインを通して負荷に伝達されるノイズを云う。これらの実施形態では、トランス3の従属巻線Nfの発生電圧Vfにノーマルモードノイズが乗って、スパイク状のノイズがゼロレベルを跨いで、ゼロクロス検出回路6がゼロクロス点を誤検出するのを防止する。それによって、ゼロクロスの検出を高精度化することができる。
フィルタ回路16としても、公知の種々のフィルタ回路を使用することができる。
例えば、図8の(a)に示すように、入力端子INと出力端子OUTとの間にチョークコイルLaとコンデンサCaを直列に接続し、そのコンデンサCaの出力側を抵抗Raを介して接地した、LCRバンドパスフィルタを使用することができる。
この場合、トランス3の従属巻線Nfのインダクタンス及び浮遊容量とゼロクロス検出回路6における負荷容量で共振周波数帯域が決定されるので、その共振周波数帯域の電圧信号のみを通過させる通過周波数特性を持つようにするとよい。
例えば、図8の(a)に示すように、入力端子INと出力端子OUTとの間にチョークコイルLaとコンデンサCaを直列に接続し、そのコンデンサCaの出力側を抵抗Raを介して接地した、LCRバンドパスフィルタを使用することができる。
この場合、トランス3の従属巻線Nfのインダクタンス及び浮遊容量とゼロクロス検出回路6における負荷容量で共振周波数帯域が決定されるので、その共振周波数帯域の電圧信号のみを通過させる通過周波数特性を持つようにするとよい。
また、図8の(b)に示すように、入力端子INと出力端子OUTとの間にチョークコイルLaとLbを直列に接続し、その中間の接続点をコンデンサCbを介して接地した、T型ローパスフィルタを使用してもよい。
さらに、図8の(c)に示すように、入力端子INと出力端子OUTとの間にチョークコイルLcを接続し、その両端をそれぞれコンデンサCcを介して接地したπ型ローパスフィルタを使用してもよい。
これらの場合は、上述した共振周波数帯域以下の低周波の電圧信号のみを通過させる通過周波数特性を持つようにするとよい。
さらに、図8の(c)に示すように、入力端子INと出力端子OUTとの間にチョークコイルLcを接続し、その両端をそれぞれコンデンサCcを介して接地したπ型ローパスフィルタを使用してもよい。
これらの場合は、上述した共振周波数帯域以下の低周波の電圧信号のみを通過させる通過周波数特性を持つようにするとよい。
図7に示した第3の実施形態は、制御ICからなる制御回路5をマイクロコンピュータ(CPU)17によって制御するので、比較回路8の出力信号Scの反転を正確に認識できる。さらに、その認識後に、制御回路5が発生するスイッチング信号Spをローからハイにして、スイッチング素子4をオフからオンに切替制御する処理を、迅速且つ確実に実行することができる。
あるいはまた、そのマイクロコンピュータ17に、ソフトウエアによってカウンタ機能と比較機能及び設定機能を持たせることもできる。その場合は、ゼロクロス検出回路6から出力されるゼロクロス検出信号Szを、直接マイクロコンピュータ17に入力させて、前述した各実施形態のインバータ装置1と同様に動作させることが可能である。
すなわち、出力期間制御手段を、トランス3の従属巻線Nfとゼロクロス検出回路6及びマイクロコンピュータ17によって構成することになる。それによって、より高精度な出力期間制御が可能になる。
すなわち、出力期間制御手段を、トランス3の従属巻線Nfとゼロクロス検出回路6及びマイクロコンピュータ17によって構成することになる。それによって、より高精度な出力期間制御が可能になる。
〔第4の実施形態〕
次に、この発明によるインバータ装置及びプラズマ発生装置の第4の実施形態を図9によって説明する。
図9は、その第4の実施形態のインバータ装置を用いたプラズマ発生装置を簡略化して示す図1及び図6と同様な回路図であり、その各図と同じ部分には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
次に、この発明によるインバータ装置及びプラズマ発生装置の第4の実施形態を図9によって説明する。
図9は、その第4の実施形態のインバータ装置を用いたプラズマ発生装置を簡略化して示す図1及び図6と同様な回路図であり、その各図と同じ部分には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
この第4の実施形態において、図6に示した第2の実施形態と異なるのは、インバータ装置1の共振トランスとして、トランス3に代えて、個別の磁路を有する独立した複数のトランスT1,T2によって構成したトランス30を用いた点である。
このトランス30を構成するトランスT1,T2の各励磁巻線Np1とNp2を並列に接続して、スイッチング素子4がオンの期間に同時に励磁電流を流し、各出力巻線Ns1とNs2を互いに直列に接続して、その両端を出力端子O1,O2に接続している。
このトランス30を構成するトランスT1,T2の各励磁巻線Np1とNp2を並列に接続して、スイッチング素子4がオンの期間に同時に励磁電流を流し、各出力巻線Ns1とNs2を互いに直列に接続して、その両端を出力端子O1,O2に接続している。
さらに、一方のトランスT1の二次側に従属巻線(第3次巻線)Nfを設け、その派生電圧Vfをフィルタ回路16を介して、ゼロクロス検出回路6に入力させる。
トランスT1とT2は、なるべく特性が同じものを使用し、各出力巻線Ns1とNs2の出力電圧波形の時間軸が同期しているのが望ましい。
この第4の実施形態によれば、トランスT1の出力電圧とトランスT2の出力電圧とが積み上げ方式で加算され、容易に高い出力電圧を得ることができる。また、出力電圧が前述の各実施形態と同じでよければ、入力電圧を低くすることができる。
トランスT1とT2は、なるべく特性が同じものを使用し、各出力巻線Ns1とNs2の出力電圧波形の時間軸が同期しているのが望ましい。
この第4の実施形態によれば、トランスT1の出力電圧とトランスT2の出力電圧とが積み上げ方式で加算され、容易に高い出力電圧を得ることができる。また、出力電圧が前述の各実施形態と同じでよければ、入力電圧を低くすることができる。
なお、トランスT1,T2の各励磁巻線Np1とNp2を直列に接続して、スイッチング素子4がオンの期間に同時に励磁電流を流すようにしてもよい。また、各出力巻線Ns1とNs2を互いに並列に接続してしもよい。その場合は出力電圧は高くできないが、出力電流を約2倍に増加することができる。
使用するトランスの数は2個に限らず3個以上でもよい。その場合も、従属巻線Nfはを、その共振トランスを構成する複数のトランスのうちのいずれか1個のトランスの二次側に設ければよい。また、その複数のトランスの各励磁巻線を並列又は直列に接続して、スイッチング素子4がオンの期間に同時に励磁電流を流し、その複数のトランスの各出力巻線を互いに直列又は並列に接続すればよい。
いずれの場合も、トランスにおける共振の鋭さを示すQ値が大きい程出力電圧を高めることができる。
また、この第4の実施形態を一部変更して、第3の実施形態のように制御回路5の動作を制御するマイクロコンピュータを設けてもよい。さらに、そのマイクロコンピュータに、カウンタ機能と比較機能及び設定機能を持たせるようにしてもよい。
あるいは、第1の実施形態のようにフィルタ回路16を省略してもよい。
また、この第4の実施形態を一部変更して、第3の実施形態のように制御回路5の動作を制御するマイクロコンピュータを設けてもよい。さらに、そのマイクロコンピュータに、カウンタ機能と比較機能及び設定機能を持たせるようにしてもよい。
あるいは、第1の実施形態のようにフィルタ回路16を省略してもよい。
この発明によるプラズマ発生装置は、コロナ放電によってプラズマを発生する装置や、多少ガスが入った低圧雰囲気でプラズマ放電を発生する装置にも適用可能である。
以上、この発明の各実施形態について説明してきたが、その各実施形態の各部の具体的な構成や処理の内容等は、そこに記載したものに限るものではない。
また、この発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の各請求項に記載された技術的特徴を有する以外は、何ら限定されるものではないことは言うまでもない。
さらに、以上説明してきた各実施形態の構成例、動作例及び変形例等は、適宜変更又は追加したり一部を削除してもよく、相互に矛盾しない限り任意に組み合わせて実施することも可能であることは勿論である。
以上、この発明の各実施形態について説明してきたが、その各実施形態の各部の具体的な構成や処理の内容等は、そこに記載したものに限るものではない。
また、この発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の各請求項に記載された技術的特徴を有する以外は、何ら限定されるものではないことは言うまでもない。
さらに、以上説明してきた各実施形態の構成例、動作例及び変形例等は、適宜変更又は追加したり一部を削除してもよく、相互に矛盾しない限り任意に組み合わせて実施することも可能であることは勿論である。
1,10:インバータ装置 2,20:放電部(負荷装置)
3,13,30:トランス 4:スイッチング素子 5,15:制御回路
6:ゼロクロス検出回路 7:カウンタ回路 8:比較回路 9:設定部
11:商用電源 12:整流・平滑回路 16:フィルタ回路
17:マイクロコンピュータ(CPU)
21:放電電極 21a:金属線 21b:絶縁体 22:カウンタ電極
22a:対向面 23:誘電体 60:フォトカプラ 61:発光素子
62:受光素子 71,72:トグル形フリップ・フロップ回路(T−FF)
100:プラズマ発生装置 Q:スイッチング素子
3,13,30:トランス 4:スイッチング素子 5,15:制御回路
6:ゼロクロス検出回路 7:カウンタ回路 8:比較回路 9:設定部
11:商用電源 12:整流・平滑回路 16:フィルタ回路
17:マイクロコンピュータ(CPU)
21:放電電極 21a:金属線 21b:絶縁体 22:カウンタ電極
22a:対向面 23:誘電体 60:フォトカプラ 61:発光素子
62:受光素子 71,72:トグル形フリップ・フロップ回路(T−FF)
100:プラズマ発生装置 Q:スイッチング素子
Claims (10)
- 直流もしくは直流成分に脈流が重畳された入力電圧を、制御回路によってオン・オフ制御されるスイッチング素子によってスイッチングして、該スイッチング素子がオンの期間にトランスの励磁巻線に励磁電流を流し、該スイッチング素子がオフの期間に前記トランスの出力巻線から交流電圧を出力するインバータ装置において、
前記トランスの出力巻線から出力される交流電圧の出力電圧波形が、連続した1.5周期以上2周期未満になるように、前記制御回路を用いて前記スイッチング素子がオフの出力期間を制御させる出力期間制御手段を設けたことを特徴とするインバータ装置。 - 前記出力期間制御手段は、前記トランスの二次側に設けられ、前記出力巻線から出力される交流電圧と相似波形で該交流電圧より桁違いに低い交流電圧を出力する従属巻線と、該従属巻線から出力される前記交流電圧のゼロクロス点を検出するゼロクロス検出回路と、該ゼロクロス検出回路によって検出されたゼロクロス検出信号をカウントするカウンタ回路とを備え、該カウンタ回路のカウント値が設定値になったとき又はその直後に、前記制御回路に前記スイッチング素子をオフからオンに切替制御させることを特徴とする請求項1に記載のインバータ装置。
- 前記ゼロクロス検出回路及び前記カウンタ回路は、前記制御回路が前記スイッチング素子をオンからオフに切替制御したタイミングで動作を開始することを特徴とする請求項2に記載のインバータ装置。
- 請求項2又は3に記載のインバータ装置において、前記従属巻線から出力される前記交流低電圧からノーマルモードノイズを除去して前記ゼロクロス検出回路に入力させるフィルタ回路を設けたことを特徴とするインバータ装置。
- 前記トランスを、個別の磁路を持つ複数のトランスによって構成し、該複数のトランスの各励磁巻線を並列又は直列に接続して、前記スイッチング素子がオンの期間に同時に励磁電流を流し、該複数のトランスの各出力巻線を互いに直列又は並列に接続したことを特徴とする請求項1に記載のインバータ装置。
- 前記トランスを、個別の磁路を持つ複数のトランスによって構成し、該複数のトランスの各励磁巻線を並列又は直列に接続して、前記スイッチング素子がオンの期間に同時に励磁電流を流し、該複数のトランスの各出力巻線を互いに直列又は並列に接続したことを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載のインバータ装置。
- 前記従属巻線を、前記複数のトランスのうちのいずれか1個のトランスの二次側に設けたことを特徴とする請求項6に記載のインバータ装置。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載のインバータ装置において、前記制御回路を制御するマイクロコンピュータを備えたことを特徴とするインバータ装置。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載のインバータ装置と、放電電極とカウンタ電極を有する放電部とを備え、前記インバータ装置から出力される交流電圧が前記放電部の前記放電電極とカウンタ電極との間に印加されることによってプラズマ放電を発生することを特徴とするプラズマ発生装置。
- 前記放電部が、前記放電電極とカウンタ電極との間に介在する誘電体を有し、前記放電電極とカウンタ電極との間で誘電体バリア放電を発生させる放電部であることを特徴とする請求項9に記載のプラズマ発生装置。
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