JP2015130533A - 固体撮像装置及びカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換素子と画素トランジスタからなる画素が複数配列され、画素トランジスタのうちの転送トランジスタにおける転送ゲートのチャネル幅が、光電変換素子側よりフローティングディフージョン領域側で広く構成され、転送ゲートが光電変換素子の角部に配置され、かつフローティングディフージョン領域側で凸形状に形成されている固体撮像装置を構成する。
【選択図】図2
Description
なお、図示しないが、選択トランジスタTr4を省略した3トランジスタとフォトダイオードPDで画素を構成することも可能である。
その他、第1実施形態の構成で説明したと同様の効果を奏する。
Claims (19)
- 光電変換素子と画素トランジスタからなる画素が複数配列され、
前記画素トランジスタのうちの転送トランジスタにおける転送ゲートのチャネル幅が、前記光電変換素子側よりフローティングディフージョン領域側で広く構成され、
前記転送ゲートが前記光電変換素子の角部に配置され、かつ前記フローティングディフージョン領域側で凸形状に形成され、
前記フローティングディフージョン領域は、4個の前記光電変換素子に囲まれた位置に設けられ、
前記フローティングディフージョン領域を囲む4個の前記光電変換素子は、前記フローティングディフージョン領域と、リセットトランジスタと、増幅トランジスタと、選択トランジスタとを共有する
固体撮像装置。 - 前記転送ゲートが、略台形状である請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記転送ゲートは、前記フローティングディフージョン領域と前記転送ゲートとが接する位置の両端部間を結ぶ直線と平行な方向において、
前記フローティングディフージョン領域と接する位置の前記転送ゲートの端部間の長さが、前記両端部間を結ぶ直線から前記フローティングディフージョン領域側に向けて小さくなる部分を有する
請求項1又は2に記載の固体撮像装置。 - 前記フローティングディフージョン領域の一部に高濃度領域が形成されている請求項1から3のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフージョン領域の前記高濃度領域を囲い、かつ素子分離領域との間の他部が、前記高濃度領域の不純物濃度より低い低濃度領域で形成されている請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフージョン領域の前記高濃度領域がコンタクト部と共用されている請求項4又は5に記載の固体撮像装置。
- 前記高濃度領域は、前記転送ゲートの凸部の先端に隣接している請求項4から6のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 複数の前記光電変換素子と、それぞれの前記光電変換素子の信号電荷を読み出す複数の前記転送トランジスタの組が、垂直及び水平方向の直交座標系に配列される請求項1から7のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記画素は、前記フローティングディフージョン領域を囲む4個の前記光電変換素子のうちの2個の前記光電変換素子が並ぶ第1行、他の2個の前記光電変換素子が並ぶ第2行、及び、前記リセットトランジスタと、前記増幅トランジスタと、前記選択トランジスタとが並ぶ第3行からなる平面配置を有する請求項1から8のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記画素トランジスタからの画像信号が垂直信号線に読み出される請求項1から9のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記垂直信号線に接続された水平転送部を有し、前記画像信号が前記垂直信号線から前記水平転送部に読み出される請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記水平転送部は、増幅器、アナログ/デジタル変換器、列選択回路、及び水平転送線から選ばれる少なくとも1つ以上を備える請求項11に記載の固体撮像装置。
- アナログ/デジタル変換器を有し、画素信号をデジタル信号に変換する請求項1から11のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記アナログ/デジタル変換器の後段に信号処理回路が配置され、前記デジタル信号に信号処理を行なう請求項13に記載の固体撮像装置。
- 少なくとも、前記光電変換素子と、前記リセットトランジスタ、前記増幅トランジスタ、及び、前記選択トランジスタとの間には、前記素子分離領域が設けられている請求項1から14のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記転送ゲート下において、前記光電変換素子、前記フローティングディフージョン領域、及び、前記素子分離領域に囲まれた領域にチャネル部を有する請求項1から15のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記転送ゲート下において、前記光電変換素子と前記チャネル部とが接続する前記光電変換素子側のチャネル幅の長さが、前記フローティングディフージョン領域と前記チャネル部とが接続する前記フローティングディフージョン領域側のチャネル幅の長さよりも小さい請求項16に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフージョン領域、前記光電変換素子、及び、前記チャネル部を囲む前記素子分離領域が、前記フローティングディフージョン領域と逆導電型の半導体層から形成されている請求項16又は17に記載の固体撮像装置。
- 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の光電変換素子に入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路と、を備え、
前記固体撮像装置は、
光電変換素子と画素トランジスタからなる画素が複数配列され、
前記画素トランジスタのうちの転送トランジスタにおける転送ゲートのチャネル幅が、前記光電変換素子側よりフローティングディフージョン領域側で広く構成され、
前記転送ゲートが前記光電変換素子の角部に配置され、かつ前記フローティングディフージョン領域側で凸形状に形成され、
前記フローティングディフージョン領域は、4個の前記光電変換素子に囲まれた位置に設けられ、
前記フローティングディフージョン領域を囲む4個の前記光電変換素子は、前記フローティングディフージョン領域と、リセットトランジスタと、増幅トランジスタと、選択トランジスタとを共有する
カメラ。
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